JPH10135701A - 導波管接続装置 - Google Patents
導波管接続装置Info
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- JPH10135701A JPH10135701A JP8359375A JP35937596A JPH10135701A JP H10135701 A JPH10135701 A JP H10135701A JP 8359375 A JP8359375 A JP 8359375A JP 35937596 A JP35937596 A JP 35937596A JP H10135701 A JPH10135701 A JP H10135701A
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- clamp
- flanges
- waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えばマイクロ波電力を利用した加熱装置、
プラズマ発生装置、粒子加速装置などに用いる導波管の
接続装置に係り、導波管を精度よく且つ隙間なく接続す
ることができ、しかも狭いスペース内に配置された導波
管にあっても容易・迅速に接続作業を行うことができる
ようにする。 【解決手段】 互いに接続すべき導波管１・１の端部に
フランジ１０・１０を形成し、その両フランジ１０・１
０を互いに重ね合わせて接続するようにした導波管接続
装置において、上記両フランジ１０・１０の合せ面と反
対側にテーパ面を設け、そのテーパ面に係合する断面略
Ｖ字形のクランプ片３１〜３３と、そのクランプ片３１
〜３３を上記テーパ面に圧接させる締付手段等とからな
る連結クランプ３を備えたことを特徴とする。
プラズマ発生装置、粒子加速装置などに用いる導波管の
接続装置に係り、導波管を精度よく且つ隙間なく接続す
ることができ、しかも狭いスペース内に配置された導波
管にあっても容易・迅速に接続作業を行うことができる
ようにする。 【解決手段】 互いに接続すべき導波管１・１の端部に
フランジ１０・１０を形成し、その両フランジ１０・１
０を互いに重ね合わせて接続するようにした導波管接続
装置において、上記両フランジ１０・１０の合せ面と反
対側にテーパ面を設け、そのテーパ面に係合する断面略
Ｖ字形のクランプ片３１〜３３と、そのクランプ片３１
〜３３を上記テーパ面に圧接させる締付手段等とからな
る連結クランプ３を備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばマイクロ波
電力を利用した加熱装置、プラズマ発生装置、粒子加速
装置などに用いる導波管の接続装置に関する。
電力を利用した加熱装置、プラズマ発生装置、粒子加速
装置などに用いる導波管の接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば半導体ウェーハの化学的気
相成長（ＣＶＤ）やエッチングに広く利用されるプラズ
マ源の励振には、マイクロ波電力（主に２４５０ＭＨｚ
帯）が使用され、そのようなマイクロ波電力の伝送に
は、導波管系、特に方形導波管を複数個接続したものが
多く用いられている。
相成長（ＣＶＤ）やエッチングに広く利用されるプラズ
マ源の励振には、マイクロ波電力（主に２４５０ＭＨｚ
帯）が使用され、そのようなマイクロ波電力の伝送に
は、導波管系、特に方形導波管を複数個接続したものが
多く用いられている。
【０００３】また上記のような導波管を接続するに当た
っては、各導波管の端部に溶接またはろう付等で一体的
に設けたフランジを互いに重ね合せ、その各フランジに
形成した複数個の貫通孔にボルトを挿通し、その各ボル
トにナットをねじ込んで締付固定するようにしている。
っては、各導波管の端部に溶接またはろう付等で一体的
に設けたフランジを互いに重ね合せ、その各フランジに
形成した複数個の貫通孔にボルトを挿通し、その各ボル
トにナットをねじ込んで締付固定するようにしている。
【０００４】この場合、各導波管は精度よく且つ隙間な
く接続する必要があり、上記のフランジや貫通孔の寸法
等は、工業規格（たとえば日本電子機械工業会規格ＥＩ
ＡＪＴＴ−３００９方形導波管用フランジ）等で規定さ
れている。
く接続する必要があり、上記のフランジや貫通孔の寸法
等は、工業規格（たとえば日本電子機械工業会規格ＥＩ
ＡＪＴＴ−３００９方形導波管用フランジ）等で規定さ
れている。
【０００５】また互いに接続した導波管の接続面（合せ
面）におけるずれと接触によるマイクロ波電力の反射量
を減らすため、フランジを接続する際には、両フランジ
の貫通孔にほぼ密着嵌合するシャンク付のボルトを用い
たり、位置決めピンを貫通孔に挿通して位置決め固定し
てから上記のボルト・ナットで締付け固定するようにし
ている。
面）におけるずれと接触によるマイクロ波電力の反射量
を減らすため、フランジを接続する際には、両フランジ
の貫通孔にほぼ密着嵌合するシャンク付のボルトを用い
たり、位置決めピンを貫通孔に挿通して位置決め固定し
てから上記のボルト・ナットで締付け固定するようにし
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
にフランジや貫通孔を規格に従って精度よく形成し、そ
の貫通孔にシャンク付のボルトや位置決めピンを挿通し
て位置決め固定するようにしても、導波管を精度よく、
しかも隙間なく接続するのは、必ずしも容易ではなかっ
た。
にフランジや貫通孔を規格に従って精度よく形成し、そ
の貫通孔にシャンク付のボルトや位置決めピンを挿通し
て位置決め固定するようにしても、導波管を精度よく、
しかも隙間なく接続するのは、必ずしも容易ではなかっ
た。
【０００７】また前記のように隣り合う１組のフランジ
を接続するのに、多数のボルト・ナットを締付けなけれ
ばならず作業が大変面倒であり、しかもボルト・ナット
の締付は、均一に且つ充分に締付ける必要があるが、往
々にして締付け力が不足したり、不均一となって両フラ
ンジ間に隙間が生じ、電波洩れや伝送が不安定となる等
のおそれがあった。
を接続するのに、多数のボルト・ナットを締付けなけれ
ばならず作業が大変面倒であり、しかもボルト・ナット
の締付は、均一に且つ充分に締付ける必要があるが、往
々にして締付け力が不足したり、不均一となって両フラ
ンジ間に隙間が生じ、電波洩れや伝送が不安定となる等
のおそれがあった。
【０００８】さらに前記のような導波管系には、通常多
くの導波管が用いられ、しかも狭いスペースに配置され
ることが多く、導波管の組み込みや、実験などのために
導波管を入れ替える場合などには、多大な労力と時間を
要し、非能率的でコストも嵩む等の問題があった。
くの導波管が用いられ、しかも狭いスペースに配置され
ることが多く、導波管の組み込みや、実験などのために
導波管を入れ替える場合などには、多大な労力と時間を
要し、非能率的でコストも嵩む等の問題があった。
【０００９】本発明は上記の問題点に鑑みて提案された
もので、導波管を精度よく且つ隙間なく接続することが
でき、しかも狭いスペース内に配置された導波管にあっ
ても容易・迅速に接続作業を行うことのできる導波管接
続装置を提供することを目的とする。
もので、導波管を精度よく且つ隙間なく接続することが
でき、しかも狭いスペース内に配置された導波管にあっ
ても容易・迅速に接続作業を行うことのできる導波管接
続装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による導波管接続装置は、以下の構成とした
ものである。
めに本発明による導波管接続装置は、以下の構成とした
ものである。
【００１１】即ち、互いに接続すべき導波管の端部にフ
ランジを形成し、その両フランジを互いに重ね合わせて
接続するようにした導波管接続装置において、上記両フ
ランジの合せ面と反対側にテーパ面を設け、そのテーパ
面に係合する断面略Ｖ字形のクランプ片と、そのクラン
プ片を上記テーパ面に圧接させる締付手段とからなる連
結クランプを備えたことを特徴とする。
ランジを形成し、その両フランジを互いに重ね合わせて
接続するようにした導波管接続装置において、上記両フ
ランジの合せ面と反対側にテーパ面を設け、そのテーパ
面に係合する断面略Ｖ字形のクランプ片と、そのクラン
プ片を上記テーパ面に圧接させる締付手段とからなる連
結クランプを備えたことを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記のように構成された連結クランプのクラン
プ片を、上記テーパ面に係合させ、上記締付手段により
クランプ片を上記テーパ面に圧接させることによって、
互いに接続すべき導波管を隙間なく良好に接続すること
が可能となる。
プ片を、上記テーパ面に係合させ、上記締付手段により
クランプ片を上記テーパ面に圧接させることによって、
互いに接続すべき導波管を隙間なく良好に接続すること
が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明による導波管接続装
置を、図に示す実施形態に基づいて具体的に説明する。
図１は本発明による導波管接続装置の一実施形態を示す
平面図、図２はその正面図、図３、図４は図２における
Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ線断面図、図５は分解正面図である。
置を、図に示す実施形態に基づいて具体的に説明する。
図１は本発明による導波管接続装置の一実施形態を示す
平面図、図２はその正面図、図３、図４は図２における
Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂ線断面図、図５は分解正面図である。
【００１４】図において、１・１は互いに接続すべき導
波管で、その各導波管１は図示例においては扁平角筒状
の方形導波管が用いられ、その各導波管の端部には長方
形状のフランジ１０が溶接もしくはろう付等により一体
的に設けられている。その各フランジ１０の周方向複数
箇所には略等間隔に貫通孔１１が形成され、その各貫通
孔１１は、両フランジ１０・１０を図１のように向い合
せて重ねた状態において互いに一致するように設けられ
ている。
波管で、その各導波管１は図示例においては扁平角筒状
の方形導波管が用いられ、その各導波管の端部には長方
形状のフランジ１０が溶接もしくはろう付等により一体
的に設けられている。その各フランジ１０の周方向複数
箇所には略等間隔に貫通孔１１が形成され、その各貫通
孔１１は、両フランジ１０・１０を図１のように向い合
せて重ねた状態において互いに一致するように設けられ
ている。
【００１５】上記両フランジ１０・１０の合せ面と反対
側の面には、フランジの外側に行くに従って先窄まりの
テーパ面２ａを形成するための断面略三角形状のテーパ
面形成部材２を配設したもので、そのテーパ面形成部材
２は本実施形態においては図６に示すように正面略Ｌ字
形に形成され、各フランジ１０の上記合せ面と反対側に
それぞれ２つずつ設けられている。
側の面には、フランジの外側に行くに従って先窄まりの
テーパ面２ａを形成するための断面略三角形状のテーパ
面形成部材２を配設したもので、そのテーパ面形成部材
２は本実施形態においては図６に示すように正面略Ｌ字
形に形成され、各フランジ１０の上記合せ面と反対側に
それぞれ２つずつ設けられている。
【００１６】上記の各テーパ面形成部材２は同一形状に
形成され、その各形成部材２には図６に示すように前記
の貫通孔１１に挿通する位置決めピン２１を圧入等で一
体的に設けると共に、対向するテーパ面形成部材２の位
置決めピン２１を挿通する挿通孔２２が設けられてい
る。
形成され、その各形成部材２には図６に示すように前記
の貫通孔１１に挿通する位置決めピン２１を圧入等で一
体的に設けると共に、対向するテーパ面形成部材２の位
置決めピン２１を挿通する挿通孔２２が設けられてい
る。
【００１７】また図１〜図４において、３は上記両導波
管１・１のフランジ１０・１０を互いに向い合せた状態
で連結固定するための接続クランプで、その接続クラン
プ３は上記両フランジ１０・１０の周縁に係合する断面
略Ｖ字形の４つのクランプ片３１・３２・３３・３３
と、それらのクランプ片を連結保持させる断面略コ字形
の左右一対のホルダ３４・３４等よりなる。
管１・１のフランジ１０・１０を互いに向い合せた状態
で連結固定するための接続クランプで、その接続クラン
プ３は上記両フランジ１０・１０の周縁に係合する断面
略Ｖ字形の４つのクランプ片３１・３２・３３・３３
と、それらのクランプ片を連結保持させる断面略コ字形
の左右一対のホルダ３４・３４等よりなる。
【００１８】上記クランプ片３１・３２は長方形状のフ
ランジ１０の長辺側に配置され、クランプ片３３・３３
はフランジ１０の短辺側に配置されている。その短辺側
のクランプ片３３・３３は、それぞれ上記コ字形ホルダ
３４・３４の内面側にボルト３５等で取付け支持され、
その両ホルダ３４・３４はクランプ片３２に連結軸３６
により回動可能に連結保持されている。３５ａは上記各
クランプ片３３とホルダ３４との間に介在させた短筒状
の間隔保持用スペーサである。
ランジ１０の長辺側に配置され、クランプ片３３・３３
はフランジ１０の短辺側に配置されている。その短辺側
のクランプ片３３・３３は、それぞれ上記コ字形ホルダ
３４・３４の内面側にボルト３５等で取付け支持され、
その両ホルダ３４・３４はクランプ片３２に連結軸３６
により回動可能に連結保持されている。３５ａは上記各
クランプ片３３とホルダ３４との間に介在させた短筒状
の間隔保持用スペーサである。
【００１９】一方、クランプ片３１の長手方向両端部に
は、傾斜面３１ａを形成すると共に、切欠凹部３１ｂが
形成され、その切欠凹部３１ｂに係合するＴボルト３７
およびナット３８を上記各ホルダ３４の自由端側に設け
ると共に、上記傾斜面３１ａにカラー３９ａを介して当
接するロッド３９が各ホルダ３４に設けられている。
は、傾斜面３１ａを形成すると共に、切欠凹部３１ｂが
形成され、その切欠凹部３１ｂに係合するＴボルト３７
およびナット３８を上記各ホルダ３４の自由端側に設け
ると共に、上記傾斜面３１ａにカラー３９ａを介して当
接するロッド３９が各ホルダ３４に設けられている。
【００２０】上記の構成において、互いに接続すべき導
波管１・１を連結固定するに当たっては、図６に示すよ
うに各導波管１・１の端部に設けたフランジ１０・１０
を突き合わせる。その合せ面には、必要に応じて薄いテ
ープやフィルム等のシールド材（例えば、商品名；スコ
ッチ導電性テープＮｏ．１２４５、１２６７等）を介在
させてもよい。
波管１・１を連結固定するに当たっては、図６に示すよ
うに各導波管１・１の端部に設けたフランジ１０・１０
を突き合わせる。その合せ面には、必要に応じて薄いテ
ープやフィルム等のシールド材（例えば、商品名；スコ
ッチ導電性テープＮｏ．１２４５、１２６７等）を介在
させてもよい。
【００２１】上記両フランジ１０・１０の合せ面と反対
側の面には、それぞれテーパ面形成部材２を配置するも
ので、その際、各テーパ面形成部材２の位置決めピン２
１をフランジ１０の貫通孔１１および対向するテーパ面
形成部材２の挿通孔２２に挿通して位置決め保持させ
る。
側の面には、それぞれテーパ面形成部材２を配置するも
ので、その際、各テーパ面形成部材２の位置決めピン２
１をフランジ１０の貫通孔１１および対向するテーパ面
形成部材２の挿通孔２２に挿通して位置決め保持させ
る。
【００２２】その状態で、図５に示すように両フランジ
１０・１０の一方の長辺側（図の場合は下側）に、左右
のホルダ３４・３４を開いた状態でクランプ片３２を添
わせ、他方の長辺側（図の場合は上側）にクランプ片３
１を配置する。なおその際、前記各Ｔボルト３７にねじ
込んだナット３８は予め緩めておく。
１０・１０の一方の長辺側（図の場合は下側）に、左右
のホルダ３４・３４を開いた状態でクランプ片３２を添
わせ、他方の長辺側（図の場合は上側）にクランプ片３
１を配置する。なおその際、前記各Ｔボルト３７にねじ
込んだナット３８は予め緩めておく。
【００２３】次いで、図２に示すように左右のホルダ３
４・３４を互いに接近する方向に回動して各Ｔボルト３
７の頭部３７ａをクランプ片３１の切欠凹部３１ｂに係
合し、その各Ｔボルト３７にねじ込んだナット３８を締
付ける。すると、上記両ホルダ３４・３４が互いに接近
する方向に回動し、その各ホルダ３４に設けた左右のク
ランプ片３３・３３も互いに接近する方向に移動する。
４・３４を互いに接近する方向に回動して各Ｔボルト３
７の頭部３７ａをクランプ片３１の切欠凹部３１ｂに係
合し、その各Ｔボルト３７にねじ込んだナット３８を締
付ける。すると、上記両ホルダ３４・３４が互いに接近
する方向に回動し、その各ホルダ３４に設けた左右のク
ランプ片３３・３３も互いに接近する方向に移動する。
【００２４】又それと同時に、上記各ホルダ３４に設け
たロッド３９が、カラー３９ａを介してクランプ片３１
の両端部の傾斜面３１ａに両側から押し付けられ、その
傾斜面３１ａによる楔作用でクランプ片３１に導波管１
の中心方向に向かう力が生じると共に、その反力で左右
のホルダ３４・３４及び連結軸３６を介してクランプ３
２が導波管１の中心方向に引き寄せられて、上下のクラ
ンプ片３１・３２も互いに接近する方向に付勢される。
たロッド３９が、カラー３９ａを介してクランプ片３１
の両端部の傾斜面３１ａに両側から押し付けられ、その
傾斜面３１ａによる楔作用でクランプ片３１に導波管１
の中心方向に向かう力が生じると共に、その反力で左右
のホルダ３４・３４及び連結軸３６を介してクランプ３
２が導波管１の中心方向に引き寄せられて、上下のクラ
ンプ片３１・３２も互いに接近する方向に付勢される。
【００２５】その結果、前記長方形状の両フランジ１０
・１０の四周に配置した断面略Ｖ字形の４つのクランプ
片３１・３２・３３・３３は、それぞれフランジ１０・
１０の内方に向かって押し付けられることになり、その
Ｖ字形クランプ片の楔作用で前記テーパ面形成部材２を
介して上記両フランジ１０・１０が互いに圧接する方向
に押し付けられる。それによって両フランジ１０・１０
を良好に且つ強固に密着させた状態で連結固定できるも
のである。
・１０の四周に配置した断面略Ｖ字形の４つのクランプ
片３１・３２・３３・３３は、それぞれフランジ１０・
１０の内方に向かって押し付けられることになり、その
Ｖ字形クランプ片の楔作用で前記テーパ面形成部材２を
介して上記両フランジ１０・１０が互いに圧接する方向
に押し付けられる。それによって両フランジ１０・１０
を良好に且つ強固に密着させた状態で連結固定できるも
のである。
【００２６】なお上記の実施形態においては、テーパ面
形成部材２を全体略Ｌ字形に形成したが、その形状等は
適宜である。また上記各テーパ面形成部材２は、必要に
応じて接着剤や両面接着テープ等でフランジ側面に固定
するようにしてもよく、あるいは図７に示すように各フ
ランジ１０・１０の合せ面と反対側に配置されるテーパ
面形成部材２を予め金属板等の薄いシート状の連結部材
２０等で連結した状態で組付けるようにしてもよい。
形成部材２を全体略Ｌ字形に形成したが、その形状等は
適宜である。また上記各テーパ面形成部材２は、必要に
応じて接着剤や両面接着テープ等でフランジ側面に固定
するようにしてもよく、あるいは図７に示すように各フ
ランジ１０・１０の合せ面と反対側に配置されるテーパ
面形成部材２を予め金属板等の薄いシート状の連結部材
２０等で連結した状態で組付けるようにしてもよい。
【００２７】さらに上記のようなテーパ面形成部材２
は、必ずしも用いなくてもよく、例えば図８に示すよう
に両フランジ１０・１０をやや肉厚に形成し、その各フ
ランジ１０の合せ面と反対側の角部に面取り加工等を施
すことによってテーパ面１０ａを形成するようにしても
よい。また上記のようなテーパ面を形成することなく、
前記両フランジ１０・１０の合せ面と反対側の角部に直
接クランプ片３１〜３３を当接させるようにしてもよ
い。
は、必ずしも用いなくてもよく、例えば図８に示すよう
に両フランジ１０・１０をやや肉厚に形成し、その各フ
ランジ１０の合せ面と反対側の角部に面取り加工等を施
すことによってテーパ面１０ａを形成するようにしても
よい。また上記のようなテーパ面を形成することなく、
前記両フランジ１０・１０の合せ面と反対側の角部に直
接クランプ片３１〜３３を当接させるようにしてもよ
い。
【００２８】また接続クランプ３の構成も適宜変更可能
であり、例えば図示例においては左右のクランプ片３３
・３３をホルダ３４を介してクランプ片３２に回動可能
に連結したが、両クランプ片３３・３３をクランプ片３
２に直接回動可能に連結すると共に、その各クランプ片
３３の他端を直接クランプ片３１にＴボルト３７等で連
結するようにしてもよい。又そのＴボルト３７等の代わ
りにバックル等を用いることもできる。
であり、例えば図示例においては左右のクランプ片３３
・３３をホルダ３４を介してクランプ片３２に回動可能
に連結したが、両クランプ片３３・３３をクランプ片３
２に直接回動可能に連結すると共に、その各クランプ片
３３の他端を直接クランプ片３１にＴボルト３７等で連
結するようにしてもよい。又そのＴボルト３７等の代わ
りにバックル等を用いることもできる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明による導波管
接続装置は、前記の構成であるから、接続すべき導波管
１・１の両フランジ１０・１０を良好に且つ強固に密着
させた状態で連結固定できるもので、前記従来のように
両フランジ１０・１０間に隙間が生じて高周波が洩れた
り、反射するのを確実に防止することができる。また狭
いスペースに配置された導波管にあっても容易かつ迅速
に接続することが可能となり、操作性のよい、しかも出
力損失の少ない良好な導波管接続装置を提供できる等の
効果がある。
接続装置は、前記の構成であるから、接続すべき導波管
１・１の両フランジ１０・１０を良好に且つ強固に密着
させた状態で連結固定できるもので、前記従来のように
両フランジ１０・１０間に隙間が生じて高周波が洩れた
り、反射するのを確実に防止することができる。また狭
いスペースに配置された導波管にあっても容易かつ迅速
に接続することが可能となり、操作性のよい、しかも出
力損失の少ない良好な導波管接続装置を提供できる等の
効果がある。
【図１】本発明による導波管接続装置の一実施形態を示
す平面図。
す平面図。
【図２】上記実施形態における導波管接続装置の正面
図。
図。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ線断面図。
【図５】上記実施形態における導波管接続装置の分解正
面図。
面図。
【図６】（ａ）・（ｂ）は上記実施形態における導波管
接続部の平面図および正面図。
接続部の平面図および正面図。
【図７】テーパ面形成部材をシート状の部材で連結した
例の側面図。
例の側面図。
【図８】フランジに面取り加工等を施してテーパ面を形
成した例の側面図。
成した例の側面図。
１ 導波管 １０ フランジ １１ 貫通孔 ２ テーパ面形成部材 ３ 接続クランプ ３１〜３３ クランプ片 ３４ ホルダ
Claims (5)
- 【請求項１】 互いに接続すべき導波管の端部にフラン
ジを形成し、その両フランジを互いに重ね合わせて接続
するようにした導波管接続装置において、上記両フラン
ジの合せ面と反対側にテーパ面を設け、そのテーパ面に
係合する断面略Ｖ字形のクランプ片と、そのクランプ片
を上記テーパ面に圧接させる締付手段とからなる連結ク
ランプを備えたことを特徴とする導波管接続装置。 - 【請求項２】 前記の断面略Ｖ字形クランプ片を、接続
すべき方形導波管の端部に形成した方形フランジの４つ
の辺に配置し、その４つのクランプ片のうち互いに対向
するいずれか２つのクランプ片の一端を、他の１つのク
ランプ片に連結軸で回動可能に連結すると共に、上記２
つのクランプ片の他端を残りのクランプ片にＴボルトと
ナットとからなる締付手段により連結して締付ける構成
とし、かつ上記残りのクランプ片の両端部に傾斜面を形
成すると共に、その傾斜面に当接して上記クランプ片を
導波管の中心方向に押圧するロッドを上記２つのクラン
プ片側に設けてなる請求項１記載の導波管接続装置。 - 【請求項３】 前記両フランジの合せ面と反対側の面
に、断面略三角形状のテーパ面形成部材を配置すること
によって前記テーパ面を形成するようにした請求項１ま
たは２記載の導波管接続装置。 - 【請求項４】 前記各フランジの合せ面と反対側の面に
配置されるテーパ面形成部材を、予め薄いシート状の連
結部材で連結してなる請求項３記載の導波管接続装置。 - 【請求項５】 前記各フランジの合せ面と反対側の面
に、面取り加工等を施すことによって前記テーパ面を形
成するようにした請求項１または２記載の導波管接続装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35937596A JP3827382B2 (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | 導波管接続装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35937596A JP3827382B2 (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | 導波管接続装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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