JPH10142786A - フォトレジストフィルム - Google Patents
フォトレジストフィルムInfo
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- JPH10142786A JPH10142786A JP31269796A JP31269796A JPH10142786A JP H10142786 A JPH10142786 A JP H10142786A JP 31269796 A JP31269796 A JP 31269796A JP 31269796 A JP31269796 A JP 31269796A JP H10142786 A JPH10142786 A JP H10142786A
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- meth
- acrylate
- phosphor
- ethylenically unsaturated
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- Pending
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- Luminescent Compositions (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 下地（セル等）追従性に優れ、蛍光体の分散
安定性に優れたフォトレジスト層を提供すること。 【解決手段】 ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合を１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）とする。
安定性に優れたフォトレジスト層を提供すること。 【解決手段】 ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合を１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体を含有した
感光性樹脂組成物を用いたフォトレジストフィルムに関
し、更に詳しくは、プラズマディスプレイ等の蛍光表示
体の製造時に有用なフォトレジストフィルムに関する。
感光性樹脂組成物を用いたフォトレジストフィルムに関
し、更に詳しくは、プラズマディスプレイ等の蛍光表示
体の製造時に有用なフォトレジストフィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、各種平板ディスプレイの開発が盛
んに行われており、中でもプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）が注目を浴びており、今後ラップトップ型パ
ソコンの表示画面から、各種電光掲示板、更には、いわ
ゆる「壁掛けテレビ」へとその用途は拡大しつつある。
そして、このＰＤＰの表示パネルのセル内には、表示の
ための蛍光体が塗布されており、加電圧によりセル内の
封入ガスで発生した紫外線で該蛍光体が発色するのであ
る。かかる蛍光体としては、従来より各色蛍光体を分散
させた液状のフォトレジストが用いられているが、本出
願人はかかる液状のフォトレジストに代えて、蛍光体入
りのドライフィルムレジスト（フォトレジストフィル
ム）を提案した。（特開平６−２７３９２５号公報）
んに行われており、中でもプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）が注目を浴びており、今後ラップトップ型パ
ソコンの表示画面から、各種電光掲示板、更には、いわ
ゆる「壁掛けテレビ」へとその用途は拡大しつつある。
そして、このＰＤＰの表示パネルのセル内には、表示の
ための蛍光体が塗布されており、加電圧によりセル内の
封入ガスで発生した紫外線で該蛍光体が発色するのであ
る。かかる蛍光体としては、従来より各色蛍光体を分散
させた液状のフォトレジストが用いられているが、本出
願人はかかる液状のフォトレジストに代えて、蛍光体入
りのドライフィルムレジスト（フォトレジストフィル
ム）を提案した。（特開平６−２７３９２５号公報）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
フォトレジストフィルムについて、更に検討を重ねた結
果、該フォトレジストフィルムのセルへの追従性に関し
て、まだまだ改善の余地があることが判明した。
フォトレジストフィルムについて、更に検討を重ねた結
果、該フォトレジストフィルムのセルへの追従性に関し
て、まだまだ改善の余地があることが判明した。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、フ
ォトレジストフィルムのセルへの追従性に関して鋭意研
究をした結果、ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合が１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）である感光性樹脂組成物をベースフィル
ムに積層してなるフォトレジストフィルムが、セルへの
追従性に優れ、蛍光体の分散性にも優れていることを見
いだし、更にはエチレン性不飽和化合物としてグルセリ
ンアクリレートを用いるとき本発明の作用効果がより顕
著であることを見いだし本発明を完成するに至った。
ォトレジストフィルムのセルへの追従性に関して鋭意研
究をした結果、ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合が１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）である感光性樹脂組成物をベースフィル
ムに積層してなるフォトレジストフィルムが、セルへの
追従性に優れ、蛍光体の分散性にも優れていることを見
いだし、更にはエチレン性不飽和化合物としてグルセリ
ンアクリレートを用いるとき本発明の作用効果がより顕
著であることを見いだし本発明を完成するに至った。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明を詳細に述べる。
【０００６】本発明の感光性樹脂組成物は、ベースポリ
マー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開
始剤（Ｃ）及び蛍光体（Ｄ）からなり、ベースポリマー
（Ａ）としては、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹
脂、ポリウレタン系樹脂などが用いられる。これらの中
では、（メタ）アクリレートを主成分とし、必要に応じ
てエチレン性不飽和カルボン酸や他の共重合可能なモノ
マーを共重合したアクリル系共重合体が重要である。ア
セトアセチル基含有アクリル系共重合体を用いることも
できる。ここで（メタ）アクリル酸エステルとしては、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレ
ート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）
アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エ
チルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル
（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレ
ートなどが例示される。
マー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開
始剤（Ｃ）及び蛍光体（Ｄ）からなり、ベースポリマー
（Ａ）としては、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹
脂、ポリウレタン系樹脂などが用いられる。これらの中
では、（メタ）アクリレートを主成分とし、必要に応じ
てエチレン性不飽和カルボン酸や他の共重合可能なモノ
マーを共重合したアクリル系共重合体が重要である。ア
セトアセチル基含有アクリル系共重合体を用いることも
できる。ここで（メタ）アクリル酸エステルとしては、
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレ
ート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）
アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エ
チルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル
（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレ
ートなどが例示される。
【０００７】エチレン性不飽和カルボン酸としては、ア
クリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボ
ン酸が好適に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマー
ル酸、イタコン酸などのジカルボン酸、あるいはそれら
の無水物やハーフエステルも用いることができる。これ
らの中では、アクリル酸とメタクリル酸が特に好まし
い。
クリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボ
ン酸が好適に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマー
ル酸、イタコン酸などのジカルボン酸、あるいはそれら
の無水物やハーフエステルも用いることができる。これ
らの中では、アクリル酸とメタクリル酸が特に好まし
い。
【０００８】稀アルカリ現像型とするときは、エチレン
性不飽和カルボン酸を１５〜３０重量％程度（酸価で１
００〜２００ｍｇKOH／ｇ程度）共重合することが必要
である。他の共重合可能モノマーとしては、アクリルア
ミド、メタクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリ
ロニトリル、スチレン、α−メチルスチレン、酢酸ビニ
ル、アルキルビニルエーテルなどが例示できる。
性不飽和カルボン酸を１５〜３０重量％程度（酸価で１
００〜２００ｍｇKOH／ｇ程度）共重合することが必要
である。他の共重合可能モノマーとしては、アクリルア
ミド、メタクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリ
ロニトリル、スチレン、α−メチルスチレン、酢酸ビニ
ル、アルキルビニルエーテルなどが例示できる。
【０００９】エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては、
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス
（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロ
パン、２，２−ビス−（４−（メタ）アクリロキシポリ
エトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−
（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ（メタ）アクリレート、グルセリントリア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが挙げら
れ、２官能モノマーと３官能モノマーの併用が好まし
く、特に３官能モノマーとしてグルセリン変性トリアク
リレートを用いることが好ましい。
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス
（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロ
パン、２，２−ビス−（４−（メタ）アクリロキシポリ
エトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−
（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ（メタ）アクリレート、グルセリントリア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが挙げら
れ、２官能モノマーと３官能モノマーの併用が好まし
く、特に３官能モノマーとしてグルセリン変性トリアク
リレートを用いることが好ましい。
【００１０】これらの多官能モノマーと共に、単官能モ
ノマーを適当量併用することもでき、かかる単官能モノ
マーの例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アク
リレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−
フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピルフタレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）
アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチル
アシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフ（メ
タ）アクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルア
ミドなどが挙げられる。
ノマーを適当量併用することもでき、かかる単官能モノ
マーの例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アク
リレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−
フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキ
シプロピルフタレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）
アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチル
アシッドホスフェート、フタル酸誘導体のハーフ（メ
タ）アクリレート、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルア
ミドなどが挙げられる。
【００１１】本発明においては、ベースポリマー（Ａ）
とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）含有割合を特定の範囲
にコントロールすることを最大の特徴とするもので、か
かる含有割合（Ａ）／（Ｂ）を１００／１２０〜１００
／１５０（重量比）にすることが必要である。かかる
（Ａ）／（Ｂ）が、１００／１２０未満では、追従性が
低下し、逆に１００／１５０を越えると、コールドフロ
ーの原因となって本発明の効果を得ることができない。
好ましくは１００／１２０〜１００／１５０で、更に好
ましくは１００／１２０〜１００／１３０である。
とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）含有割合を特定の範囲
にコントロールすることを最大の特徴とするもので、か
かる含有割合（Ａ）／（Ｂ）を１００／１２０〜１００
／１５０（重量比）にすることが必要である。かかる
（Ａ）／（Ｂ）が、１００／１２０未満では、追従性が
低下し、逆に１００／１５０を越えると、コールドフロ
ーの原因となって本発明の効果を得ることができない。
好ましくは１００／１２０〜１００／１５０で、更に好
ましくは１００／１２０〜１００／１３０である。
【００１２】更に、光重合開始剤（Ｃ）としては、ベン
ゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンｎ−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、
ベンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジメチルケ
タール、ジベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナ
フトキノン、３，３'−ジメチル−４−メトキシベンゾ
フェノン、ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチル
アミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ジエチルアミノベン
ゾフェノン、ピバロインエチルエーテル、１，１−ジク
ロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフ
ェノン、ヘキサアリールイミダゾール二量体、２，２'
−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，４'，５'−テト
ラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２−クロロチ
オキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジ
エチルチオキサントン、２，２'−ジエトキシアセトフ
ェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフ
ェノン、２，２'−ジクロロ−４−フェノキシアセトフ
ェノン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシイ
ソブチルフェノン、ジベゾスパロン、１−（４−イソプ
ロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
プロパノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニ
ル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、トリブロモ
フェニルスルホン、トリブロモメチルフェニルスルホン
などが挙げられ、これらの１種または２種以上が用いら
れる。このときの、光重合開始剤（Ｃ）の総配合割合
は、ベースポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との合計量１００重量部に対し１〜２０重量部程
度とするのが適当である。
ゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンｎ−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、
ベンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジメチルケ
タール、ジベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナ
フトキノン、３，３'−ジメチル−４−メトキシベンゾ
フェノン、ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチル
アミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ジエチルアミノベン
ゾフェノン、ピバロインエチルエーテル、１，１−ジク
ロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフ
ェノン、ヘキサアリールイミダゾール二量体、２，２'
−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，４'，５'−テト
ラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２−クロロチ
オキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジ
エチルチオキサントン、２，２'−ジエトキシアセトフ
ェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフ
ェノン、２，２'−ジクロロ−４−フェノキシアセトフ
ェノン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシイ
ソブチルフェノン、ジベゾスパロン、１−（４−イソプ
ロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
プロパノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニ
ル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、トリブロモ
フェニルスルホン、トリブロモメチルフェニルスルホン
などが挙げられ、これらの１種または２種以上が用いら
れる。このときの、光重合開始剤（Ｃ）の総配合割合
は、ベースポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との合計量１００重量部に対し１〜２０重量部程
度とするのが適当である。
【００１３】また、蛍光体（Ｄ）としては、特に限定さ
れないが、希土類オキシハライド等を母体とし、この母
体を付活剤で付活したものが好ましく、例えば紫外線励
起型蛍光体としては、Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ、ＹＶＯ4：Ｅｕ、
（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ（以上赤色）、ＢａＡｌ12Ｏ
19：Ｍｎ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ、ＬａＰＯ4：Ｔｂ（以
上緑色）、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ16
Ｏ27：Ｅｕ（以上青色）等が挙げられ、その他の蛍光体
としては、Ｙ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍ
ｎ、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ2Ｏ3（以上赤色）、Ｚ
ｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ、（Ｚｎ
Ｃｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ，Ａｓ，Ｙ
3Ａｌ5Ｏ12：Ｃｅ、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ、Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：
Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色
顔料、Ｙ2ＳｉＯ3：Ｃｅ（以上青色）等を使用すること
ができ、好適には比重が４．０以上（更には４．０〜
８．０）のものが用いられる。
れないが、希土類オキシハライド等を母体とし、この母
体を付活剤で付活したものが好ましく、例えば紫外線励
起型蛍光体としては、Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ、ＹＶＯ4：Ｅｕ、
（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ（以上赤色）、ＢａＡｌ12Ｏ
19：Ｍｎ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ、ＬａＰＯ4：Ｔｂ（以
上緑色）、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ16
Ｏ27：Ｅｕ（以上青色）等が挙げられ、その他の蛍光体
としては、Ｙ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍ
ｎ、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ2Ｏ3（以上赤色）、Ｚ
ｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ、（Ｚｎ
Ｃｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ，Ａｓ，Ｙ
3Ａｌ5Ｏ12：Ｃｅ、Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ、Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：
Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色
顔料、Ｙ2ＳｉＯ3：Ｃｅ（以上青色）等を使用すること
ができ、好適には比重が４．０以上（更には４．０〜
８．０）のものが用いられる。
【００１４】本発明において、蛍光体（Ｄ）を含有させ
る方法としては、特に限定されず公知の方法、例えば上
記の（Ａ）〜（Ｃ）の樹脂組成物に所定量の蛍光体
（Ｄ）を添加して、十分混合撹拌して蛍光体を均一に分
散させる方法等がある。この場合の蛍光体（Ｄ）の含有
量は、感光性樹脂組成物中のベースポリマー（Ａ）とエ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）の総量１００重量部に対し
て１〜５０重量部が好ましく、より好ましくは１０〜３
０重量部である。本発明の感光性樹脂組成物には、その
ほか、染料（着色、発色）、密着性付与剤、可塑剤、酸
化防止剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張力改質材、安定
剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤、などの添加剤を適宜
添加することができる。本発明の（Ａ）〜（Ｄ）を含有
した感光性樹脂組成物を用いたフォトレジストフィルム
用積層体の製造及びそれを用いた蛍光体のパターン形成
方法について説明する。
る方法としては、特に限定されず公知の方法、例えば上
記の（Ａ）〜（Ｃ）の樹脂組成物に所定量の蛍光体
（Ｄ）を添加して、十分混合撹拌して蛍光体を均一に分
散させる方法等がある。この場合の蛍光体（Ｄ）の含有
量は、感光性樹脂組成物中のベースポリマー（Ａ）とエ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）の総量１００重量部に対し
て１〜５０重量部が好ましく、より好ましくは１０〜３
０重量部である。本発明の感光性樹脂組成物には、その
ほか、染料（着色、発色）、密着性付与剤、可塑剤、酸
化防止剤、熱重合禁止剤、溶剤、表面張力改質材、安定
剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤、などの添加剤を適宜
添加することができる。本発明の（Ａ）〜（Ｄ）を含有
した感光性樹脂組成物を用いたフォトレジストフィルム
用積層体の製造及びそれを用いた蛍光体のパターン形成
方法について説明する。
【００１５】（成層方法） 上記の感光性樹脂組成物
は、これをポリエステルフイルム、ポリプロピレンフイ
ルム、ポリスチレンフイルムなどのベースフイルム面に
塗工した後、その塗工面の上からポリエチレンフイル
ム、ポリビニルアルコール系フイルムなどの保護フイル
ムを被覆してフォトレジストフィルム用積層体とする。
この時の感光性樹脂組成物の膜厚は、蛍光体の含有量や
ＰＤＰの構造によっても異なり一概に言えないが、通常
は１０〜２００μｍの中から好適に選択される。
は、これをポリエステルフイルム、ポリプロピレンフイ
ルム、ポリスチレンフイルムなどのベースフイルム面に
塗工した後、その塗工面の上からポリエチレンフイル
ム、ポリビニルアルコール系フイルムなどの保護フイル
ムを被覆してフォトレジストフィルム用積層体とする。
この時の感光性樹脂組成物の膜厚は、蛍光体の含有量や
ＰＤＰの構造によっても異なり一概に言えないが、通常
は１０〜２００μｍの中から好適に選択される。
【００１６】（露光） フォトレジストフィルムによっ
て画像を形成させるにはベースフイルム（ポリエステル
フィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ナイロンフ
ィルム、セルロースフィルム等）と感光性樹脂組成物層
との接着力及び保護フイルムと感光性樹脂組成物層との
接着力を比較し、接着力の低い方のフイルムを剥離して
から感光性樹脂組成物層の側を、ＰＤＰ用基板に貼着す
る訳であるが、かかる基板は例えば透過型パネルでもよ
いが、本発明の効果を最大限に利用する為には、予めガ
ラス隔壁によってセルが形成されたＰＤＰ用平面基板
（反射型パネル）を用いることが好ましく、例えば、該
ＰＤＰ用平面基板上に本発明のフォトレジストフィルム
を積層し、上部よりセルの凹形状に合致する凸形状をも
つ金型等で押圧してセル形状に該フォトレジストフィル
ムを追従させた後、他方のフイルム上にパターンマスク
を密着させて露光する。この時必要に応じて、該フォト
レジストフィルムを２枚以上積層することも可能であ
る。また、感光性樹脂組成物が粘着性を有しないとき
は、前記他方のフイルムを剥離してからパターンマスク
を感光性樹脂組成物層に直接接触させて露光することも
できる。露光は、通常紫外線照射により行い、その際の
光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンア
ーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカル
ランプなどが用いられる。紫外線照射後は、必要に応じ
加熱を行って、硬化の完全を図ることもできる。
て画像を形成させるにはベースフイルム（ポリエステル
フィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ナイロンフ
ィルム、セルロースフィルム等）と感光性樹脂組成物層
との接着力及び保護フイルムと感光性樹脂組成物層との
接着力を比較し、接着力の低い方のフイルムを剥離して
から感光性樹脂組成物層の側を、ＰＤＰ用基板に貼着す
る訳であるが、かかる基板は例えば透過型パネルでもよ
いが、本発明の効果を最大限に利用する為には、予めガ
ラス隔壁によってセルが形成されたＰＤＰ用平面基板
（反射型パネル）を用いることが好ましく、例えば、該
ＰＤＰ用平面基板上に本発明のフォトレジストフィルム
を積層し、上部よりセルの凹形状に合致する凸形状をも
つ金型等で押圧してセル形状に該フォトレジストフィル
ムを追従させた後、他方のフイルム上にパターンマスク
を密着させて露光する。この時必要に応じて、該フォト
レジストフィルムを２枚以上積層することも可能であ
る。また、感光性樹脂組成物が粘着性を有しないとき
は、前記他方のフイルムを剥離してからパターンマスク
を感光性樹脂組成物層に直接接触させて露光することも
できる。露光は、通常紫外線照射により行い、その際の
光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンア
ーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカル
ランプなどが用いられる。紫外線照射後は、必要に応じ
加熱を行って、硬化の完全を図ることもできる。
【００１７】（現像） 露光後は、レジスト上のフイル
ムを剥離除去してから現像を行う。本発明の感光性樹脂
組成物は稀アルカリ現像型であるので、露光後の現像
は、炭酸ソーダ、炭酸カリウムなどのアルカリ１〜２重
量％程度の稀薄水溶液を用いて行う。 （焼成） 上記処理後のセル形成基板を５００〜５５０
℃で焼成を行い、セル内部に蛍光体を固定する。このよ
うにして、ガラス基板上に蛍光体を固定することができ
るのである。フルカラーのＰＤＰを形成するためには、
赤色、青色、緑色のそれぞれの蛍光体を含有するフォト
レジストフィルムを用いて上記の（露光）〜（焼成）を
繰り返し行うことで作製することができる。
ムを剥離除去してから現像を行う。本発明の感光性樹脂
組成物は稀アルカリ現像型であるので、露光後の現像
は、炭酸ソーダ、炭酸カリウムなどのアルカリ１〜２重
量％程度の稀薄水溶液を用いて行う。 （焼成） 上記処理後のセル形成基板を５００〜５５０
℃で焼成を行い、セル内部に蛍光体を固定する。このよ
うにして、ガラス基板上に蛍光体を固定することができ
るのである。フルカラーのＰＤＰを形成するためには、
赤色、青色、緑色のそれぞれの蛍光体を含有するフォト
レジストフィルムを用いて上記の（露光）〜（焼成）を
繰り返し行うことで作製することができる。
【００１８】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。なお、例中「部」とあるのは、断りのない限り重
量基準を意味する。 実施例１ （ドープの調整） 下記のベースポリマー（Ａ）５５
部、下記のエチレン性不飽和化合物（Ｂ）７０部、下記
処方の光重量開始剤（Ｃ）８部及び下記の蛍光体（Ｄ）
５０部をを混合して樹脂組成物を調製した。ベースポリマー（Ａ） メチルメタクリレート／ｎ−ブチルメタクリレート／２
−エチルヘキシルアクリレート／スチレン／メタクリル
酸の共重合割合が重量基準で３２／３０／１５／２／２
１である共重合体（酸価１４３．３、ガラス転移点６
６．３℃、重量平均分子量８万）
する。なお、例中「部」とあるのは、断りのない限り重
量基準を意味する。 実施例１ （ドープの調整） 下記のベースポリマー（Ａ）５５
部、下記のエチレン性不飽和化合物（Ｂ）７０部、下記
処方の光重量開始剤（Ｃ）８部及び下記の蛍光体（Ｄ）
５０部をを混合して樹脂組成物を調製した。ベースポリマー（Ａ） メチルメタクリレート／ｎ−ブチルメタクリレート／２
−エチルヘキシルアクリレート／スチレン／メタクリル
酸の共重合割合が重量基準で３２／３０／１５／２／２
１である共重合体（酸価１４３．３、ガラス転移点６
６．３℃、重量平均分子量８万）
【００１９】エチレン性不飽和化合物（Ｂ） テトラエチレングリコールジアクリレート／グルセリン
トリアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴ
Ａ−４８０」）の重量比２５／１０の混合物
トリアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴ
Ａ−４８０」）の重量比２５／１０の混合物
【００２０】光重合開始剤（Ｃ） ベンゾフェノン／４，４’−ジエチルアミノベンゾフェ
ノン／２，２−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，
４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾー
ルの重量比８／０．１５／１の混合物蛍光体（Ｄ） Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ （発光波長；６４２ｎｍ，粒径；２．２±０．５μｍ，
比重；５．１）
ノン／２，２−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，
４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾー
ルの重量比８／０．１５／１の混合物蛍光体（Ｄ） Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ （発光波長；６４２ｎｍ，粒径；２．２±０．５μｍ，
比重；５．１）
【００２１】（ドライフィルムの作製） 上記のドープ
を、ギャップ１０ミルのアプリケーターを用いて厚さ２
０μｍのポリエステルフイルム上に塗工し、室温で１分
３０秒放置した後、６０℃、９０℃、１１０℃のオーブ
ンでそれぞれ３分間ずつ乾燥して、レジスト厚７０μｍ
のドライフイルム（フォトレジストフィルム）となした
（ただし保護フイルムは設けていない）。（ＰＤＰ基板
へのラミネート） オーブンで６０℃に予熱した隔壁
（高さ１００μｍ、幅８０μｍ、スリット１５０μｍの
ストライプパターン）形成ガラス基板（２００ｍｍ×２
００ｍｍ×２ｍｍ）に、上記のフォトレジストフィルム
をラミネートロール温度１００℃、ロール圧３ｋｇ／ｃ
ｍ2、ラミネート速度１．０ｍ／ｓｅｃの条件でラミネ
ートした。 （露光，現像） ラミネート後、ポリエステルフイルム
の上に、隔壁の内側（隔壁上は除く）が露光されるよう
に、全面にパターンを乗せて、オーク製作所製の露光機
で８０ｍｊにて露光した。露光後１５分間のホールドタ
イムを取った後、１％Ｎａ2ＣＯ3水溶液、３０℃で、最
少現像時間の１．５倍の時間で現像した。このときのセ
ルへのフォトレジストフィルムの追従性を以下の要領で
評価した。
を、ギャップ１０ミルのアプリケーターを用いて厚さ２
０μｍのポリエステルフイルム上に塗工し、室温で１分
３０秒放置した後、６０℃、９０℃、１１０℃のオーブ
ンでそれぞれ３分間ずつ乾燥して、レジスト厚７０μｍ
のドライフイルム（フォトレジストフィルム）となした
（ただし保護フイルムは設けていない）。（ＰＤＰ基板
へのラミネート） オーブンで６０℃に予熱した隔壁
（高さ１００μｍ、幅８０μｍ、スリット１５０μｍの
ストライプパターン）形成ガラス基板（２００ｍｍ×２
００ｍｍ×２ｍｍ）に、上記のフォトレジストフィルム
をラミネートロール温度１００℃、ロール圧３ｋｇ／ｃ
ｍ2、ラミネート速度１．０ｍ／ｓｅｃの条件でラミネ
ートした。 （露光，現像） ラミネート後、ポリエステルフイルム
の上に、隔壁の内側（隔壁上は除く）が露光されるよう
に、全面にパターンを乗せて、オーク製作所製の露光機
で８０ｍｊにて露光した。露光後１５分間のホールドタ
イムを取った後、１％Ｎａ2ＣＯ3水溶液、３０℃で、最
少現像時間の１．５倍の時間で現像した。このときのセ
ルへのフォトレジストフィルムの追従性を以下の要領で
評価した。
【００２２】［セルへの追従性 ］上記のラミネート後
の隔壁形成ガラス基板の一部を試料として、ストライプ
パターンと垂直方向に該基板を切断して断面をＳＥＭ
（走査型電子顕微鏡）で観察して、以下の如く評価し
た。 ○ −−− 気泡の混入が全く見られない △ −−− 隔壁との間に一部気泡が見られる × −−− 隔壁底部に空洞が見られ、隔壁下部に追従
していない （焼成） 現像後に焼成炉に入れて、約５５０℃に昇温
させて樹脂分を焼失させ、蛍光体単体のパターンを形成
させた。得られた焼成後の基板について、以下の如く蛍
光体の分散性を評価した。 ［蛍光体の分散性］上記の焼成後の隔壁形成ガラス基板
を試料として、ストライプパターンと垂直方向に該基板
を切断して、断面の蛍光体の充填高さのバラツキ（最小
高さ〜最大高さ）をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察
して、以下の如く評価した。 ○ −−− ４５〜５５μｍ △ −−− ４０〜６０μｍ × −−− ３０〜７０μｍ
の隔壁形成ガラス基板の一部を試料として、ストライプ
パターンと垂直方向に該基板を切断して断面をＳＥＭ
（走査型電子顕微鏡）で観察して、以下の如く評価し
た。 ○ −−− 気泡の混入が全く見られない △ −−− 隔壁との間に一部気泡が見られる × −−− 隔壁底部に空洞が見られ、隔壁下部に追従
していない （焼成） 現像後に焼成炉に入れて、約５５０℃に昇温
させて樹脂分を焼失させ、蛍光体単体のパターンを形成
させた。得られた焼成後の基板について、以下の如く蛍
光体の分散性を評価した。 ［蛍光体の分散性］上記の焼成後の隔壁形成ガラス基板
を試料として、ストライプパターンと垂直方向に該基板
を切断して、断面の蛍光体の充填高さのバラツキ（最小
高さ〜最大高さ）をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察
して、以下の如く評価した。 ○ −−− ４５〜５５μｍ △ −−− ４０〜６０μｍ × −−− ３０〜７０μｍ
【００２３】実施例２ 実施例１において、ベースポリマー（Ａ）を５２部、エ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を７３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 実施例３ 実施例１において、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）をテ
トラエチレングリコールジアクリレート／グルセリント
リアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴＡ
−４８０」）の重量比２５／２５の混合物とした以外は
同様に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行っ
た。
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を７３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 実施例３ 実施例１において、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）をテ
トラエチレングリコールジアクリレート／グルセリント
リアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴＡ
−４８０」）の重量比２５／２５の混合物とした以外は
同様に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行っ
た。
【００２４】比較例１ 実施例１において、ベースポリマー（Ａ）を６２部、エ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を６３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 比較例２ 実施例１において、ベースポリマー（Ａ）を４５部、エ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を８０部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。
実施例及び比較例の評価結果を表１に示す。
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を６３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 比較例２ 実施例１において、ベースポリマー（Ａ）を４５部、エ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を８０部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。
実施例及び比較例の評価結果を表１に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【発明の効果】本発明のフォトレジストフィルムは、ベ
ースポリマー、エチレン性不飽和化合物、蛍光体を含有
し、かつベースポリマーとエチレン性不飽和化合物の含
有割合を特定の範囲としているため、下地（セル等）追
従性に優れ、蛍光体の分散安定性に優れたフォトレジス
ト層を供給することができ、ＰＤＰの蛍光体形成用途に
大変有用である。
ースポリマー、エチレン性不飽和化合物、蛍光体を含有
し、かつベースポリマーとエチレン性不飽和化合物の含
有割合を特定の範囲としているため、下地（セル等）追
従性に優れ、蛍光体の分散安定性に優れたフォトレジス
ト層を供給することができ、ＰＤＰの蛍光体形成用途に
大変有用である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年２月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲の欄の請求項２
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、フ
ォトレジストフィルムのセルへの追従性に関して鋭意研
究をした結果、ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合が１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）である感光性樹脂組成物をベースフィル
ムに積層してなるフォトレジストフィルムが、セルへの
追従性に優れ、蛍光体の分散性にも優れていることを見
いだし、更にはエチレン性不飽和化合物としてグリセリ
ンアクリレートを用いるとき本発明の作用効果がより顕
著であることを見いだし本発明を完成するに至った。
ォトレジストフィルムのセルへの追従性に関して鋭意研
究をした結果、ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合が１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）である感光性樹脂組成物をベースフィル
ムに積層してなるフォトレジストフィルムが、セルへの
追従性に優れ、蛍光体の分散性にも優れていることを見
いだし、更にはエチレン性不飽和化合物としてグリセリ
ンアクリレートを用いるとき本発明の作用効果がより顕
著であることを見いだし本発明を完成するに至った。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては、
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス
（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロ
パン、２，２−ビス−（４−（メタ）アクリロキシポリ
エトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−
（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが挙げら
れ、２官能モノマーと３官能モノマーの併用が好まし
く、特に３官能モノマーとしてグリセリン変性トリアク
リレートを用いることが好ましい。
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス
（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロ
パン、２，２−ビス−（４−（メタ）アクリロキシポリ
エトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−
（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが挙げら
れ、２官能モノマーと３官能モノマーの併用が好まし
く、特に３官能モノマーとしてグリセリン変性トリアク
リレートを用いることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】エチレン性不飽和化合物（Ｂ） テトラエチレングリコールジアクリレート／グリセリン
トリアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴ
Ａ−４８０」）の重量比２５／１０の混合物
トリアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴ
Ａ−４８０」）の重量比２５／１０の混合物
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】実施例２ 実施例１において、ベースポリマー（Ａ）を５２部、エ
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を７３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 実施例３ 実施例１において、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）をテ
トラエチレングリコールジアクリレート／グリセリント
リアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴＡ
−４８０」）の重量比２５／２５の混合物とした以外は
同様に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行っ
た。
チレン性不飽和化合物（Ｂ）を７３部とした以外は同様
に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行った。 実施例３ 実施例１において、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）をテ
トラエチレングリコールジアクリレート／グリセリント
リアクリレート（ダイセルユービーシー社製、「ＯＴＡ
−４８０」）の重量比２５／２５の混合物とした以外は
同様に行ってドライフィルムを得て、同様に評価を行っ
た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｃ０９Ｋ 11/08 Ｊ
Claims (4)
- 【請求項１】 ベースポリマー、エチレン性不飽和化合
物、蛍光体を含有し、かつベースポリマーとエチレン性
不飽和化合物の含有割合が１００／１２０〜１００／１
５０（重量比）である感光性樹脂組成物をベースフィル
ムに積層してなることを特徴とするフォトレジストフィ
ルム。 - 【請求項２】 エチレン性不飽和化合物としてグルセリ
ントリアクリレートを用いることを特徴とする請求項１
記載のフォトレジストフィルム。 - 【請求項３】 蛍光体の含有量がベースポリマーとエチ
レン性不飽和化合物の総量１００重量部に対して１〜５
０重量部であることを特徴とする請求項１または２記載
のフォトレジストフィルム。 - 【請求項４】 蛍光表示体製造時における蛍光体のパタ
ーン形成材料に用いることを特徴とする請求項１〜３い
ずれか記載のフォトレジストフィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31269796A JPH10142786A (ja) | 1996-11-07 | 1996-11-07 | フォトレジストフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31269796A JPH10142786A (ja) | 1996-11-07 | 1996-11-07 | フォトレジストフィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142786A true JPH10142786A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18032348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31269796A Pending JPH10142786A (ja) | 1996-11-07 | 1996-11-07 | フォトレジストフィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10142786A (ja) |
-
1996
- 1996-11-07 JP JP31269796A patent/JPH10142786A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060404 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060406 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060727 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |