JPH10315132A - 電解インプロセスドレッシング研削装置及び導電性砥石のツルーイング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電解インプロセスドレッシング研削に使用す
る導電性砥石をツルーイングする時のツルーイング能率
を高める。 【解決手段】 ツルーイング砥石７にて被ツルーイング
砥石１をツルーイングする。このツルーイング時、ノズ
ル５，６より噴射するツルーイング液として、ｐＨ９.
５以下でかつ導電率を３０００μｓ／ｃｍ以上のものを
使用し、通常の研削加工を行うときの電解作用よりも強
くする。ツルーイング液と研削加工用研削液は、混在し
ないように独立して使用され、最初に、ツルーイング液
を使用してツルーイングを行ない、このあと、通常の研
削加工用の研削液に切り換えて、電解インプロセスドレ
ッシング研削を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電解インプロセス
ドレッシング研削装置及び該導電性砥石のツルーイング
方法、より詳細には、ツルーイング時にはツルーイング
液を、研削加工作業時には研削加工液をそれぞれ使用す
ることにより、ツルーイング時の電解作用を研削加工時
の電解作用よりも強くすることを可能とし、高能率なツ
ルーイングを可能とした電解インプロセスドレッシング
研削装置及び該電解インプロセスドレッシング装置に使
用する導電性砥石のツルーイング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】研削加工に使用される砥石中には、砥粒
となるダイヤモンドやアルミナ等の硬質な微小粒子が含
まれており、これらの微小粒子が結合剤によって固着さ
れ、これら粒子が砥石の研削面に突き出して被削材を切
削するようにしている。しかし、砥粒は微細で切り込み
深さが浅いため、研削加工時に、砥石の目つぶれや、目
づまりによる研削抵抗の増加や被削材との焼き付き等の
現象が発生する問題がある。このような問題に対処する
ため、近年、電解インプロセスドレッシング研削法が開
発され、注目されるに至っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】電解インプロセスドレ
ッシング研削装置においては、導電性砥石を使用する
が、かかる砥石として、鉄系金属、鋳鉄、コバルト、ニ
ッケル及びこれらの組合せからなる結合剤で砥粒を保持
した所謂メタルボンド砥石が使用される。メタルボンド
砥石の砥粒は強固に保持されているため該砥石のツルー
イングを行うことは容易ではない。従って、前記メタル
ボンド砥石を使用する場合に、如何に高能率なツルーイ
ングを実現し、研削加工作業が中断した状態であるツル
ーイング時間の短縮を図るかが問題となる。

【０００４】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、被ツルーイング砥石と該被ツルーイング砥
石の加工用面に対向して設置された電極に電圧を印加
し、被ツルーイング砥石をツルーイング砥石によりツル
ーイングする電解インプロセスドレッシング研削装置に
おけるツルーイングにおいて、前記ツルーイング砥石を
電解しながらツルーイングを行うときに、高能率なツル
ーイングを実現できる電解インプロセスドレッシング研
削装置及びツルーイング方法を提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、導電
性砥石と該導電性砥石の加工面に対向して配設されて電
極との間に電圧を印加し、該導電性砥石を電解によりド
レッシングしながら加工をする電解インプロセスドレッ
シング研削装置において、前記導電性砥石を電解しなが
らツルーイングするツルーイング砥石を有し、該ツルー
イング砥石にて前記導電性砥石を電解しながらツルーイ
ングする時の電解作用を前記導電性砥石にて電解インプ
ロセスドレッシング研削加工する時の電解作用よりも強
くしたものである。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ツルーイング時に使用するツルーイング用の研
削液と、前記導電性砥石をにて電解インプロセスドレッ
シング加工する時に使用する研削加工液との２種類の研
削液を備え、これら２種類の研削液を別々の２個以上の
タンク又はタンク室に収容し、これら２液が混在しない
ようにしたものである。

【０００７】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記タンク又はタンク室に、加熱装置及び／
又は撹拌装置を有するようにしたものである。

【０００８】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかの発明において、前記ツルーイング用研削液のｐＨ
を９．５以下、導電率を３０００μｓ／ｃｍ以上にした
ものである。

【０００９】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記ツルーイング用研削液を加熱
する加熱手段を有し、該ツルーイング用研削液を４０℃
〜８０℃に加熱したものである。

【００１０】請求項６の発明は、請求項１乃至５のいず
れかの発明において、前記導電性砥石から電解によりイ
オンとして溶出する成分を、前記研削液から分離する手
段を有するようにしたものである。

【００１１】請求項７の発明は、請求項１乃至６のいず
れかの発明において、前記導電性砥石の加工用面に対向
して配設された電極を有し、該電極の面積を、該導電性
砥石の加工用面の２５％以上としたものである。

【００１２】請求項８の発明は、請求項１乃至７いずれ
かの発明において、前記導電性砥石を電解しながらツル
ーイングする時、前記導電性砥石と該導電性砥石の加工
作用面に対向して配設された電極との間に交流電流を供
給したものである。

【００１３】請求項９の発明は、導電性砥石に電圧を印
加し、前記砥石を電解によりドレッシングしながら加工
をする電解インプロセスドレッシング研削法において、
研削加工を開始する前に前記導電性砥石を電解しながら
ツルーイングし、該導電性砥石を電解しながらツルーイ
ングするときの電解作用を電解インプロセスドレッシン
グ研削加工時の電解作用よりも強くしたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】

（実施例１）図１は、本発明による電解インプロセスド
レッシング研削装置に適用される電解インプロセスドレ
ッシング研削砥石及びツルーイング（ツルア）砥石部の
概略構成図、図４は、本発明による電解インプロセスド
レッシング装置の全体構成を概念的に示す図で、図１に
おいて、１は導電性砥石（被ツルーイング砥石）、２は
回転軸、３は導電部、４は電極、５及び６はノズル、７
はツルア砥石（ツルーイング砥石）、８は回転軸であ
り、図４において、４０は研削液を収容するタンク、５
０は冷却装置、６０はフィルタリング装置、１００は図
１に示した砥石部を含む研削機構部で、タンク４０内に
はヒータ４１，撹拌装置４２，ポンプ４３を具備する。
なお、ここで、使用する研削液は、ツルーイング時に使
用するツルーイング液及び電解インプロセスドレッシン
グ研削（以下、研削加工という）に使用する研削加工液
のいずれかであるが、以下の説明では、タンク４０内に
はツルーイング液が収容されており、研削加工液は図示
しないタンク内に収容されているものとする。

【００１５】被ツルーイング砥石（導電性砥石）１は、
回転軸２のまわりに回動可能に支持され、外周面が加工
用面となっており、例えば、＃８００の鉄系ボンドダイ
ヤモンド砥石である。この被ツルーイング砥石１には、
該被ツルーイング砥石１に通電するための導電部３が電
気的に接触して設置され、また、該被ツルーイング砥石
１の少くとも加工用面に電解を及ぼすように該加工用面
に対向して電極４が設置されている。

【００１６】ノズル５は、前記加工用面と電極４との間
に、ノズル６は前記被ツルーイング砥石１とツルーイン
グ砥石７の作用点にそれぞれ研削液を供給している。ツ
ルーイング砥石７は、回転軸８のまわりに回動可能なよ
うに支持された砥石であり、例えば、＃８０のＧＣ（Gr
een Silicon Grain）砥石を使用する。

【００１７】図４において、ツルーイング液はタンク４
０内のヒータ４１で所定の温度に加熱され、撹拌装置４
２で撹拌されてポンプ４３により研削機構部１００に給
供される。また、研削液も、図示しない同様のタンクに
収容され、加熱、また、撹拌可能となっている。

【００１８】ここで、導伝性砥石である被ツルーイング
砥石１を導電部３を介して図示しない直流電源の正極
に、また、該被ツルーイング砥石１の少くとも加工用面
に対向して設けた電極４を陰極に接続して直流パルス電
圧を印加して電解をかけながらツルーイングを行う。こ
のとき、被ツルーイング砥石１と電極４との間にノズル
５よりツルーイング液を満し、ツルーイング砥石７と被
ツルーイング砥石１の作用点にノズル６よりツルーイン
グ液を供給するが、該ツルーイング液は研削加工に通常
使用する研削加工液とは異なる種類のものを使用する。

【００１９】本実施例では、ツルーイング液として、研
削加工に通常使用される研削加工液に比べイオン濃度を
高くし導電率を３２００μｓ／ｃｍ、アミン等のアルカ
リ成分を少量にしたｐＨ（ペーハー）９.３のものを使
用した。なお、ツルーイング液は、タンク４０の中で撹
拌装置４２により十分に撹拌し、均一になった状態で供
給した。また、電解条件は、電源の設定値で９０Ｖ、３
０Ａ、直流パルス電圧のオン，オフ時間とも２μ秒とし
た。

【００２０】このような条件のもとでツルーイングを行
った結果、従来のツルーイング方法の約１／３の時間で
約４０μｍの被ツルーイング砥石の振れを約５μｍにま
で減少させることができた。次に、このようにしてツル
ーイングを行った後に、ツルーイング液を通常使用され
る研削加工液に切り替え、研削加工液タンクから研削加
工に通常使用される研削加工液を供給して初期ドレッシ
ングを行い、次いで、電解インプロセスドレッシング研
削を実施した。

【００２１】図４においては、タンク４０は１個のみ記
載し、他は記載を省略しているが、該タンク４０は、研
削液の種類別に独立のものを２個以上使用し、ツルーイ
ング時にはツルーイング液を収容している研削液タンク
を使用し、ツルーイングが終了して研削加工を行う場合
には、研削加工液を収容しているタンクに切り替える。
タンクが単一の場合には、研削液が混在しないように該
タンクの内部が仕切り区分により分離され、それぞれ独
立のタンク室を形成するタンクを使用し、ツルーイング
時にはツルーイング液が収容されているタンク室のツル
ーイング液を使用し、研削加工時には研削加工液が収容
されているタンク室の研削加工用研削液を使用するよう
タンク室を切り換えて使い分けをする。

【００２２】（実施例２）図２は、本発明による電解イ
ンプセスドレッシング研削装置に適用される他の電解イ
ンプロセスドレッシング研削砥石及びツルーイング砥石
部の概略構成図で、図中、２１は導電部、２２は電極、
２３はノズルで、その他、図１と同様の作用をする部分
には、図１の場合と同じ参照番号を付してある。

【００２３】図２に示す実施例において、被ツルーイン
グ砥石１は回転軸２のまわりに回動可能に支持され、例
えば、＃１７０の鉄系ボンドダイヤモンド砥石を使用す
る。ツルーイング砥石７は、例えば、＃３２５の鉄系ボ
ンドダイヤモンド砥石を使用する。導電部２１は、前記
ツルーイング砥石７と電気的に接触して設置され、電極
２２は前記ツルーイング砥石７の少くともツルーイング
用面すなわち被ツルーイング砥石１に対して作用を及ぼ
す面に電解を及ぼすように前記ツルーイング用面に対向
して設置されている。ノズル２３は、ツルーイング砥石
７のツルーイング用面と電極２２との間に、タンク４０
から送られるツルーイング研削液を供給する。

【００２４】いま、被ツルーイング砥石１を、導電部３
を介して図示されない直流電源の正極に、また、前記被
ツルーイング砥石１の加工用面に対向して設置されてい
る電極４を前記電源の陰極にそれぞれ接続するととも
に、同じくツルーイング砥石であるツルア７を導電部２
１を介して図示されない直流電源の正極に、またツルー
イング砥石７のツルーイング用面すなわち被ツルーイン
グ砥石１に対して作用を及ぼす面に対向して設けられた
電極２２を前記電源の陰極にそれぞれ接続して、被ツル
ーイング砥石１とツルーイング砥石７の双方に電解をか
けながらツルーイングを行う。

【００２５】このとき、被ツルーイング砥石１に対向し
て設置された電極４の対向面積を、被ツルーイング砥石
１の加工用面の約４０％の面積にする。そして、被ツル
ーイング砥石１と電極４との間及びツルーイング砥石７
と電極２２との間にそれぞれノズル５及びノズル２３に
よりツルーイング液を満し、被ツルーイング砥石１とツ
ルーイング砥石７の作用点にノズル６よりツルーイング
液を供給してツルーイングを行う。このとき、前記実施
例１と同様、該ツルーイング液は、研削加工に通常使用
される研削加工液とは異なる種類のものを使用する。

【００２６】すなわち、ツルーイング液として研削加工
に通常使用される研削加工液に比べ、イオン濃度を高く
して導電率を３２００μｓ／ｃｍに、また、アミン等の
アルカリ成分を少量にしてｐＨを９.３にしたものを使
用した。そして、このツルーイング液をヒータ４１で約
６０℃に加熱し、タンク４０中で撹拌装置４２により十
分に撹拌して均一にした状態で、ポンプ４３により供給
した。なお、加熱の際、加熱されたツルーイング液が蒸
発するのを避けるため、タンクは可能な限り密閉にし
た。

【００２７】このときの電解条件は、電源の設定値で９
０Ｖ、３０Ａパルス時間のオン，オフ時間とも２μ秒と
した。このような条件のもとで、ツルーイングを行った
結果、従来のツルーイング方法の約１／３の時間で、約
５０μｍの被ツルーイング砥石の振れが約４μｍになっ
た。次に、このようにしてツルーイングを行った後に、
実施例１と同様に、前記ツルーイング液を有するタンク
４０を研削加工に通常使用される研削加工液を有する図
示しないタンクに切換えて、該研削加工に通常使用され
る研削加工液を供給して初期ドレッシングを行い、次い
で、電解インプロセスドレッシング研削を実施した。

【００２８】（実施例３）図３は、本発明による電解イ
ンプロセスドレッシング研削装置に適用される他の電解
インプロセスドレッシング研削砥石及びツルーイング部
の概略構成図で、図中、ＡＣは交流電源で、その他、図
１と同様の作用をする部分には、図１の場合と同じ参照
番号を付し、その都度での説明は省略する。被ツルーイ
ング砥石１は回転軸２のまわりに回動可能に支持され、
例えば、＃２０００の鉄系ボンドダイヤモンド砥石を使
用する。ツルーイング砥石７は、例えば、＃３２５の鉄
系ボンドダイヤモンド砥石を使用する。導電部３が被ツ
ルーイング砥石１と電気的に接触するようになっている
こと、該被ツルーイング砥石１の少なくとも加工用面に
電解を及ぼすように該加工用面と対向して電極４が設け
られていること、ノズル５及びノズル６からツルーイン
グ液がそれぞれ上記加工用面と電極との間及び被ツルー
イング砥石１とツルーイング砥石７との作用点に供給さ
れることは、いずれも実施例１の場合と同じである。

【００２９】この実施例は、被ツルーイング砥石１の導
電部３と前記電極４との間にＡＣ電源から交流電圧を印
加して電解をかけ、交流電流を供給しながらツルーイン
グを行うもので、このとき、被ツルーイング砥石１に対
向して設置する電極４の対向面積を、被ツルーイング砥
石１の加工作用面の約３０％の面積とする。そして、被
ツルーイング砥石１と電極４との間にノズル５よりツル
ーイング液を満し、被ツルーイング砥石１とツルーイン
グ砥石７との作用点にノズル６よりツルーイング液を供
給するが、ここでも、該ツルーイング液は、研削加工に
通常使用する研削加工液とは異る種類のものを使用す
る。すなわち、ツルーイング液として、イオン濃度を高
くして導電率を３２００μｓ／ｃｍにし、アミン等のア
ルカリ成分を少量にしてｐＨを９.３（ＰＨ９.３）にし
たものを使用した。このツルーイング液は、タンク４０
の撹拌装置４２で十分撹拌し均一になった状態でポンプ
４３により供給した。

【００３０】このときの電解条件は、電源の設定値で９
０Ｖ、３０Ａ、パルス時間間隔はオン，オフ時間とも２
μ秒とした。このような条件のもとでツルーイングを行
った結果、従来のツルーイング方法の約１／４の時間
で、約４０μｍの被ツルーイング砥石の振れが約５μｍ
になった。

【００３１】ここで、鉄系ボンドダイヤモンド砥石が電
解されると、前記ツルーイング液中に鉄イオンが溶出し
て鉄イオン濃度が増加する。長時間又は繰り返し鉄系ボ
ンドダイヤモンド砥石の電解を続けると、該ツルーイン
グ液中の鉄イオン濃度が上昇して電解効率が悪くなる。
そして、ついには、飽和溶解度に達することになる。

【００３２】そこで、ツルーイングに使用されたツルー
イング液を、研削機構部１００からタンク４０へ送給す
る経路中に冷却装置５０及びフィルタリング装置６０を
設け、冷却装置５０でツルーイング液を冷却してツルー
イング液の飽和溶解度を低下させて該ツルーイング液中
の鉄イオンを水酸化鉄として沈殿させ、さらに、沈殿さ
せた水酸化鉄をフィルタリング装置６０によりツルーイ
ング液から分離する。このようにして、鉄イオン濃度の
減少したツルーイング液を前記タンク４０に回収し、再
び、ツルーイングに使用する。

【００３３】このようにしてツルーイング液を回収しな
がらツルーイングを行った後で、前述と同じように、ツ
ルーイング液を収容するタンクを通常使用される研削加
工液を収容するタンクに切換えて、研削加工に通常使用
される研削加工液を供給して、初期ドレッシング、さら
には、電解インプロセスドレッシング研削を実施した。
なお、研削加工時においても研削加工液中の鉄イオンの
沈殿、分離が行われ、研削液の回収が行われることは当
然である。

【００３４】

【発明の効果】請求項１の発明は、導電性砥石と該導電
性砥石の加工面に対向して配設されて電極との間に電圧
を印加し、該導電性砥石を電解によりドレッシングしな
がら加工をする電解インプロセスドレッシング研削装置
において、前記導電性砥石を電解しながらツルーイング
するツルア砥石を有し、該ツルーイング砥石にて前記導
電性砥石を電解しながらツルーイングする時の電解作用
を前記導電性砥石にて電解インプロセスドレッシング研
削加工する時の電解作用よりも強くしものである。而し
て、導電性砥石を電解しながらツルーイングするときに
は、ツルーイング砥石による機械的な作用と電解による
電気化学的な作用によって導電性砥石の形状を整えて振
れを取り除くが、本発明によると、電解インプロセスド
レッシング研削に最適な電解作用と比較して電解作用を
強くすることによって、積極的に導電性砥石を溶出さ
せ、電解による砥石の溶出量を大きくしてツルーイング
の効率を上げることができ、よって、加工の中断した状
態であるツルーイングの時間の短縮につながり、加工に
よる生産性を上げることができる。

【００３５】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ツルーイング時に使用するツルーイング用の研
削液と、前記導電性砥石をドレッシングする初期ドレッ
シング及び該導電性砥石にて電解インプロセスドレッシ
ング研削加工に使用する研削加工液の２種類の研削液を
備え、これら２種類の研削液を別々の２個以上のタンク
又はタンク室に収容し、これら２液が混在しないように
したので、ツルーイング用の研削液と、初期ドレッシン
グ及び電解インプロセスドレッシング研削用の研削液を
２種類用意し、それぞれの研削液がタンク中で混在しな
いようにすることによって、ツルーイング用の研削液と
して電解作用を強くするような研削液を使い、初期ドレ
ッシング及び電解インプロセスドレッシング研削用の研
削液としては通常使用される研削液を使うことが可能と
なり、それぞれの電解に最適な研削液を使用することが
可能となる。また、ツルーイングにおいては、導電性砥
石の形状を整えて振れを取り除くため、機械的及び電気
化学的に除去された不導体皮膜を含む砥石成分や砥粒が
研削液中に混入し、研削液が変質してしまう。このよう
な状態の研削液をそのまま電解インプロセスドレッシン
グ研削に使用すると、所望の電解作用が得られなくなる
ことや加工面のスクラッチ発生が危惧されるが、本発明
によって、それを防止または減少させることが可能とな
る。また、研削液の変質を極力少なくできるので、研削
液の交換間隔が著しくのびる。

【００３６】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記タンク又はタンク室に、加熱装置及び／
又は撹拌装置を有するので、電気化学的な反応の速度を
高めることによって、導電性砥石の溶出量を多くするこ
とができ、高能率でツルーイングすることが可能とな
る。また、研削液を撹拌することによってタンク中の研
削液濃度を均一にして所望の電解作用を高能率で安定し
て起こさせることが可能となり、高能率で安定したツル
ーイングが可能となる。

【００３７】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかの発明において、前記ツルーイング用研削液のｐＨ
（ペーハー）を９．５以下、導電率を３０００μｓ／ｃ
ｍ以上にしたので、電解による導電性砥石の溶出量を多
くすることができ、高能率でツルーイングすることが可
能となる。

【００３８】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れか発明において、前記ツルーイング用研削液を加熱す
る加熱手段を有し、該ツルーイング用研削液を４０℃〜
８０℃に加熱するようにしたので、電気化学的な反応の
速度を高めることによって、導電性砥石の溶出量を多く
することができ、高能率でツルーイングすることが可能
となる。

【００３９】請求項６の発明は、請求項１乃至５のいず
れかの発明において、前記導電性砥石から電解によりイ
オンとして溶出する成分を、前記研削液から分離する手
段を有するので、電解によって導電性砥石から溶出した
イオンの研削液中の濃度を抑えることによって、電解に
よる導電性砥石の溶出量を多くするという効果を持続す
ることができ、高能率でツルーイングすることが可能と
なる。

【００４０】請求項７の発明は、請求項１乃至６のいず
れかの発明において、前記導電性砥石の加工用面に対向
して配設された電極の面積を、該導電性砥石の加工用面
の２５％以上としたので、ツルーイング時の電極の面積
を増加することによって、電解電流量を多くすること
で、導電性砥石の溶出量を多くすることができ、高能率
でツルーイングすることが可能となる。

【００４１】請求項８の発明は、請求項１乃至７のいず
れかの発明において、前記導電性砥石を電解しながらツ
ルーイングする時、前記導電性砥石と該導電性砥石の加
工作用面に対向して配設された電極との間に交流電流を
供給するようにしたので、導電性砥石の溶出量を多くす
ることができ、高能率でツルーイングすることが可能と
なる。

【００４２】請求項９の発明は、導電性砥石に電圧を印
加し、前記砥石を電解によりドレッシングしながら加工
をする電解インプロセスドレッシング研削法において、
研削加工を開始する前に前記導電性砥石を電解しながら
ツルーイングし、該導電性砥石を電解しながらツルーイ
ングするときの電解作用を電解インプロセスドレッシン
グ研削加工時の電解作用よりも強くしたものである。而
して、導電性砥石を電解しながらツルーイングするとき
には、ツルーイング砥石による機械的な作用と電解によ
る電気化学的な作用によって導電性砥石の形状を整えて
振れを取り除くが、本発明によると、電解インプロセス
ドレッシング研削に最適な電解作用と比較して電解作用
を強くすることによって、積極的に導電性砥石を溶出さ
せ、電解による砥石の溶出量を大きくしてツルーイング
の効率を上げることができ、よって、加工の中断した状
態であるツルーイングの時間の短縮につながり、加工に
よる生産性を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による電解インプロセスドレッシング
研削装置に適用される電解インプロセスドレッシング研
削砥石部の要部概略構成図である。

【図２】 本発明による電解インプロセスドレッシング
研削装置に適用される他の電解インプロセスドレッシン
グ研削砥石部の要部概略構成図である。

【図３】 本発明による電解インプロセスドレッシング
研削装置に適用される他の電解インプロセスドレッシン
グ研削砥石部の要部概略構成図である。

【図４】 本発明による電解インプロセスドレッシング
装置の全体構成を概念的に示す図である。

【符号の説明】

１…導電性砥石（被ツルーイング砥石）、２，８…回転
軸、３，２１…導電部、４，２２…電極、５，６，２３
…ノズル、７…ツルア砥石（ツルーイング砥石）、４０
…タンク、４１…ヒータ、４２…撹拌装置、４３…ポン
プ、５０…冷却装置、６０…フィルタリング装置、１０
０…研削機構部。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性砥石と該導電性砥石の加工面に対
   向して配設されて電極との間に電圧を印加し、該導電性
   砥石を電解によりドレッシングしながら加工をする電解
   インプロセスドレッシング研削装置において、前記導電
   性砥石を電解しながらツルーイングするツルーイング砥
   石を有し、該ツルーイング砥石にて前記導電性砥石を電
   解しながらツルーイングする時の電解作用を前記導電性
   砥石にて電解インプロセスドレッシング研削加工する時
   の電解作用よりも強くしたことを特徴とする電解インプ
   ロセスドレッシング研削装置。
2. 【請求項２】 前記ツルーイング時に使用するツルーイ
   ング用の研削液と、前記導電性砥石にて電解インプロセ
   スドレッシング加工する時に使用する研削加工液との２
   種類の研削液を備え、これら２種類の研削液を別々の２
   個以上のタンク又はタンク室に収容し、これら２液が混
   在しないようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
   電解インプロセスドレッシング装置。
3. 【請求項３】 前記タンク又はタンク室に、加熱装置及
   び／又は撹拌装置を有することを特徴とする請求項１又
   は２に記載の電解インプロセスドレッシング装置。
4. 【請求項４】 前記ツルーイング用研削液はｐＨが９．
   ５以下、導電率が３０００μｓ／ｃｍ以上であることを
   特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電解イン
   プロセスドレッシング研削装置。
5. 【請求項５】 前記ツルーイング用研削液を加熱する加
   熱手段を有し、該ツルーイング用研削液を４０℃〜８０
   ℃に加熱することを特徴とする請求項１乃至４のいずれ
   かに記載の電解インプロセスドレッシング研削装置。
6. 【請求項６】 前記導電性砥石から電解によりイオンと
   して溶出する成分を、前記研削液から分離する手段を有
   することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載
   の電解インプロセスドレッシング研削装置。
7. 【請求項７】 前記導電性砥石の加工用面に対向して配
   設された電極を有し、該電極の面積を、該導電性砥石の
   加工用面の２５％以上としたことを特徴とする請求項１
   乃至６のいずれかに記載の電解インプロセスドレッシン
   グ装置。
8. 【請求項８】 前記導電性砥石を電解しながらツルーイ
   ングする時、前記導電性砥石と該導電性砥石の加工作用
   面に対向して配設された電極との間に交流電流を供給す
   ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の
   電解インプロセスドレッシング研削装置。
9. 【請求項９】 導電性砥石に電圧を印加し、前記砥石を
   電解によりドレッシングしながら加工をする電解インプ
   ロセスドレッシング研削装置において、研削加工を開始
   する前に前記導電性砥石を電解しながらツルーイング
   し、該導電性砥石を電解しながらツルーイングするとき
   の電解作用を電解インプロセスドレッシング研削加工時
   の電解作用よりも強くすることを特徴とする導電性砥石
   のツルーイング法。