JPH10340921A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH10340921A JPH10340921A JP9151234A JP15123497A JPH10340921A JP H10340921 A JPH10340921 A JP H10340921A JP 9151234 A JP9151234 A JP 9151234A JP 15123497 A JP15123497 A JP 15123497A JP H10340921 A JPH10340921 A JP H10340921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- inner lead
- semiconductor substrate
- semiconductor device
- electrode portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/60—Strap connectors, e.g. thick copper clips for grounding of power devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/40—Leadframes
- H10W70/421—Shapes or dispositions
- H10W70/424—Cross-sectional shapes
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 TABテープのボンディングを行うときのボ
ンディング強度を向上し、接合部の剥がれを低減する。 【解決手段】 半導体装置1に長方形のボンディングパ
ッドを形成してインナーリード6との接合面積を増やす
為、複数箇のボンディング用の接合点5を設けることに
より、ボンディング強度を向上しインナーリード6の剥
がれを低減する。
ンディング強度を向上し、接合部の剥がれを低減する。 【解決手段】 半導体装置1に長方形のボンディングパ
ッドを形成してインナーリード6との接合面積を増やす
為、複数箇のボンディング用の接合点5を設けることに
より、ボンディング強度を向上しインナーリード6の剥
がれを低減する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置に関し、
特に半導体素子の周囲に配置された電極部の構造に関す
る。
特に半導体素子の周囲に配置された電極部の構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般にTABの製法方法は、半導体装置
の特開平2−181453で示されるような長方形又は
正方形の電極部とTABテープのインナーリードとをバ
ンプ又は熱圧着法により接合して製造している。又、接
合構造は、特開平2−28933で示されるように長方
形の平面形状バンプや熱圧着による一箇所での接合によ
っていた。
の特開平2−181453で示されるような長方形又は
正方形の電極部とTABテープのインナーリードとをバ
ンプ又は熱圧着法により接合して製造している。又、接
合構造は、特開平2−28933で示されるように長方
形の平面形状バンプや熱圧着による一箇所での接合によ
っていた。
【0003】しかし最近では、電極部のピッチ縮小化の
ため、パッド幅が60μm程度、長さが200〜240
μm程度の長方形の電極部が実用化されつつある。この
場合、電極部は半導体装置の辺に対して直交方向が長く
なっており、この長手方向に沿って、バンプ又は熱圧着
法によりインナーリードを接合することになる。しかし
インナーリードのボンディングツールによる接合面積は
一般的に40μφ程度であり、1つの接合では電極部面
積に対して小さな接合面積しか得られない。
ため、パッド幅が60μm程度、長さが200〜240
μm程度の長方形の電極部が実用化されつつある。この
場合、電極部は半導体装置の辺に対して直交方向が長く
なっており、この長手方向に沿って、バンプ又は熱圧着
法によりインナーリードを接合することになる。しかし
インナーリードのボンディングツールによる接合面積は
一般的に40μφ程度であり、1つの接合では電極部面
積に対して小さな接合面積しか得られない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
技術においては電極部とTABのインナーリードとの接
合強度が弱く剥がれ易いという問題があった。その理由
は、TABと電極部との接合ポイントが一箇所であり、
接続面積が小さく接合強度が弱い為である。
技術においては電極部とTABのインナーリードとの接
合強度が弱く剥がれ易いという問題があった。その理由
は、TABと電極部との接合ポイントが一箇所であり、
接続面積が小さく接合強度が弱い為である。
【0005】本発明は、半導体装置の電極部とTABの
インナーリードとの接合強度を向上させることを目的と
する。
インナーリードとの接合強度を向上させることを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置にお
いては、半導体基板上に設けられた電極部と外部端子に
接続されたインナーリードとの接合部に複数の接合点が
設けられている。電極部は半導体基板の辺に直交する方
向に長辺を有する長方形を有し、接合点が電極部の長手
方向に配列されてもよく、又は電極部が正方形状であっ
て接合点が正方形状に配列されてもよい。
いては、半導体基板上に設けられた電極部と外部端子に
接続されたインナーリードとの接合部に複数の接合点が
設けられている。電極部は半導体基板の辺に直交する方
向に長辺を有する長方形を有し、接合点が電極部の長手
方向に配列されてもよく、又は電極部が正方形状であっ
て接合点が正方形状に配列されてもよい。
【0007】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。図1に示すように、半導体装
置1は、半導体基板2の上に入出力する為の電極部3が
集積回路4で形成され外部入出力端子との接続はインナ
ーリード6を介して接合点5(ボンディング)により実
施される。従来の接合方法では正方形の電極部に1箇所
の接合点のみでインナーリードと接続されていたのに対
し、本発明は半導体装置の辺に対し直交方向を長くし
て、長方形に電極部を配置し、インナーリードとの接続
では複数個の接合点をもうけて接合面積を大きく確保で
きるようにしており、従来以上の接合強度を得る事がで
きる。
図面を参照して説明する。図1に示すように、半導体装
置1は、半導体基板2の上に入出力する為の電極部3が
集積回路4で形成され外部入出力端子との接続はインナ
ーリード6を介して接合点5(ボンディング)により実
施される。従来の接合方法では正方形の電極部に1箇所
の接合点のみでインナーリードと接続されていたのに対
し、本発明は半導体装置の辺に対し直交方向を長くし
て、長方形に電極部を配置し、インナーリードとの接続
では複数個の接合点をもうけて接合面積を大きく確保で
きるようにしており、従来以上の接合強度を得る事がで
きる。
【0008】
【実施例】次に本発明の半導体装置の一実施例について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【0009】図1は本発明の半導体素子の周囲に配置さ
れた電極部3の構造を示す平面図である。集積回路1の
周囲に複数個の電極部3が配置されており、各電極部3
は長方形状に配置された接合点3個を介して半導体基板
上に接合されている。従ってTABのインナーリード6
の接合部5が3箇所設けられているので、電極部3との
接合強度を従来の一箇所の場合に比べて大幅に向上させ
ることができる。
れた電極部3の構造を示す平面図である。集積回路1の
周囲に複数個の電極部3が配置されており、各電極部3
は長方形状に配置された接合点3個を介して半導体基板
上に接合されている。従ってTABのインナーリード6
の接合部5が3箇所設けられているので、電極部3との
接合強度を従来の一箇所の場合に比べて大幅に向上させ
ることができる。
【0010】上述の実施例では接合点5は長方形状に配
置されているが、正方形状に配列してもよい。また、接
合点5の数は3箇以上設けてもよい。
置されているが、正方形状に配列してもよい。また、接
合点5の数は3箇以上設けてもよい。
【0011】このような大きな電極部面積に対し、1つ
の接合面積はツールにより制限されるが、複数点のボン
ディングを行うことにより接合面積を大きくでき、特別
なボンディングツールを使用することなく接合強度を大
幅に向上することができるものである。
の接合面積はツールにより制限されるが、複数点のボン
ディングを行うことにより接合面積を大きくでき、特別
なボンディングツールを使用することなく接合強度を大
幅に向上することができるものである。
【0012】
【発明の効果】以上述べたようにインナーリードと電極
部との間の接合点を複数個もうけることにより、単一点
での接合より接合面積が増え、接合強度が向上するとい
う効果がある。
部との間の接合点を複数個もうけることにより、単一点
での接合より接合面積が増え、接合強度が向上するとい
う効果がある。
【図1】本発明の半導体装置の複数点ボンディングの一
実施形態を示す平面図。
実施形態を示す平面図。
【図2】図1のA−A線断面図。
【図3】従来のボンディング形態を示す平面図。
1 半導体装置 2 半導体基板 3 電極部 4 集積回路 5 接合点 6 インナーリード
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体基板上に設けられた電極部と外部
端子に接続されたインナーリードとの接合部に複数の接
合点を設けたことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 電極部が半導体基板の辺に直交する方向
に長辺を有する長方形を有し、接合点が電極部の長手方
向に配列されている請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】 電極部が正方形状であり、接合点が正方
形状に配列されている請求項1記載の半導体装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9151234A JPH10340921A (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 半導体装置 |
| EP98110205A EP0884779A3 (en) | 1997-06-09 | 1998-06-04 | Structure of bonding an inner lead to an electrode in a semiconductor device |
| KR1019980021089A KR100267517B1 (ko) | 1997-06-09 | 1998-06-08 | 반도체 장치에서 내부 단자를 전극에 접합시키는 구조 |
| CN98114740A CN1203453A (zh) | 1997-06-09 | 1998-06-09 | 将内引线焊接到半导体器件电极的焊接结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9151234A JPH10340921A (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10340921A true JPH10340921A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15514191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9151234A Pending JPH10340921A (ja) | 1997-06-09 | 1997-06-09 | 半導体装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0884779A3 (ja) |
| JP (1) | JPH10340921A (ja) |
| KR (1) | KR100267517B1 (ja) |
| CN (1) | CN1203453A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3722224B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2005-11-30 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体チップ及び半導体装置並びに半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02174136A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-05 | Seiko Epson Corp | 回路基板構造 |
| JPH04196450A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Seiko Epson Corp | 半導体パッケージ |
| JPH06140554A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Rohm Co Ltd | 電子部品の引出しリードおよびその接合法 |
| JP2606606B2 (ja) * | 1994-10-14 | 1997-05-07 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| JPH098202A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Nec Shizuoka Ltd | 集積回路のリードフレーム |
-
1997
- 1997-06-09 JP JP9151234A patent/JPH10340921A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-04 EP EP98110205A patent/EP0884779A3/en not_active Withdrawn
- 1998-06-08 KR KR1019980021089A patent/KR100267517B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-09 CN CN98114740A patent/CN1203453A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0884779A2 (en) | 1998-12-16 |
| KR100267517B1 (ko) | 2000-10-16 |
| CN1203453A (zh) | 1998-12-30 |
| EP0884779A3 (en) | 2001-03-21 |
| KR19990006757A (ko) | 1999-01-25 |
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