JPH1091914A

JPH1091914A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH1091914A
Application number: JP24220796A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Aoki; 薫青木; Katsumi Sakata; 勝美坂田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 1998-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの製造工程における接合不良やコ
アブロック折れ等の発生を防止して、磁気ヘッドの製造
歩留まりを向上させる。【解決手段】一対の非磁性基板１１、１２により金属
磁性層１３を挟み込んでなる一対の磁気コア半体１０
を、互いに相対向する上記金属磁性層１３の側端部を突
き合わせて接合し、この突き合わせ接合面間に磁気ギャ
ップｇを形成する。上記磁気コア半体１０は、素材の非
磁性基板材１８の一方の主面１８ａに金属磁性層１３が
成膜された後に、その金属磁性層１３の表面が研磨され
て製作される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばビデオテー
プレコーダやデジタルデータレコーダ等の磁気記録再生
装置に搭載される磁気ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばビデオテープレコーダやデジタル
データレコーダ等の磁気記録再生装置においては、ビデ
オ画像の高画質化、データの記憶容量の拡大等を目的と
して、情報信号の短波長化による高密度記録化が進めら
れている。

【０００３】このような高密度記録化に対応して、磁気
記録媒体には、磁性粉として強磁性体粉末を用いたいわ
ゆるメタルテープや、ベースフィルム上に強磁性金属材
料を直接被着した蒸着テープ等のような、高抗磁力磁気
記録媒体が使用されるようになっている。

【０００４】一方、磁気ヘッドにおいても、このような
高抗磁力磁気記録媒体の使用に対応して、高密度記録
化、再生化を達成するために、磁気コア材料に金属磁性
材料を用いるとともに、狭トラック化及び狭ギャップ化
を図った磁気ヘッドが開発されている。

【０００５】このような磁気ヘッドとしては、図１４に
示すように、一対の非磁性基板１０２と１０３とにより
高透磁率かつ高飽和磁束密度を有する金属磁性層１０４
を挟み込んでなるいわゆるラミネートタイプの磁気ヘッ
ド１００が提供されている。すなわち、磁気ヘッド１０
０は、一対の非磁性基板１０２Ａと１０３Ａとにより金
属磁性層１０４Ａを挟み込んでなる第１の磁気コア半体
１０１Ａと、一対の非磁性基板１０２Ｂと１０３Ｂとに
より金属磁性層１０４Ｂを挟み込んでなる第２の磁気コ
ア半体１０１Ｂとを有する。

【０００６】なお、本明細書においては、一対で構成さ
れる部材については特に個別に説明する場合を除いて、
１０１、１０２、１０３、等の符号を用いて総称する。

【０００７】上記第１の磁気コア半体１０１Ａと第２の
磁気コア半体１０１Ｂとは、それぞれの金属磁性層１０
４Ａと金属磁性層１０４Ｂとが相対向する側端部を突き
合わされて接合されることによって、磁気ヘッド１００
が構成される。磁気ヘッド１００は、第１の磁気コア半
体１０１Ａと第２の磁気コア半体１０１Ｂとの突合せ接
合面間に磁気ギャップｇが形成される。

【０００８】また、磁気ヘッド１００は、磁気コア半体
１０１の対向側面にそれぞれ凹設された凹部１０５Ａ、
１０５Ｂによって、突き合わせた状態において磁気ギャ
ップｇのデプスｄｐを規制するとともに図示しないコイ
ルが巻回される捲線溝１０５が形成される。また、磁気
ヘッド１００は、この捲線溝１０５の上面が、所定の曲
率を持った磁気記録媒体摺動面１０６として構成され
る。

【０００９】さらに、磁気ヘッド１００には、捲線溝１
０５に対応して磁気コア半体１０１の一方側面にそれぞ
れ凹設された凹部１０７Ａ、１０７Ｂによって捲線ガイ
ド溝１０７が形成される。さらにまた、磁気ヘッド１０
０には、磁気記録媒体摺動面１０６の長手方向の両側縁
に沿って、金属磁性層１０４に対して略平行な当たり幅
規制溝１０８Ａ、１０８Ｂが形成される。

【００１０】以上のように構成された磁気ヘッド１００
は、磁気記録媒体摺動面１０６上を摺動する磁気記録媒
体に情報信号を記録し、または磁気記録媒体摺動面１０
６上を摺動する磁気記録媒体から情報信号を読み取るよ
うにしている。

【００１１】磁気ヘッド１００は、そのギャップｇのト
ラック幅が、非磁性基板１０２と１０３とにより挟み込
まれた金属磁性層１０４の膜厚Ｔによって規定される。
したがって、磁気ヘッド１００は、金属磁性層１０４の
膜厚Ｔを制御することによって、容易に狭トラック化を
図ることができるという特徴を有している。また、この
磁気ヘッド１００は、金属磁性層１０４が一対の非磁性
基板１０２、１０３に挟み込まれていることから、疑似
ギャップが発生することがないといった特徴を有してい
る。

【００１２】ところで、磁気ヘッド１００は、図１５に
示すように、金属磁性層１０４を、金属磁性膜１０４ａ
と、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化物
等からなる電気的絶縁膜１０４ｂとを交互に積層して構
成することにより、渦電流損失を回避でき、特に高周波
帯域での周波数特性が改善され、高出力化が図れるとい
った磁気ヘッドを構成することができるといった特徴を
有している。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述した磁気ヘッド１
００は以下のように製造される。先ず、非磁性基板１０
２、１０３となる非磁性基板材を素材として、この非磁
性基板材に金属磁性膜１０４を成膜し、熱処理を施した
短冊状コア基板が製作される。そして、製作された複数
個の短冊状コア基板に接合膜を成膜して、これらを一体
に接合した磁気コア基板が製作される。そして、この磁
気コア基板が切断されて磁気コア半体ブロックが製作さ
れる。そして、この製作された一対の磁気コア半体ブロ
ックそれぞれの一方側面に捲線溝が形成され、これら一
対の磁気コア半体ブロックが接合されて、磁気コアブロ
ックが製作される。この磁気コアブロックに磁気記録媒
体摺動面と捲線ガイド溝と当たり幅規制溝とが形成さ
れ、この磁気コアブロックが所定の幅に切断されて、磁
気ヘッド１００が製造される。

【００１４】この磁気ヘッドは図１４、図１５に示すよ
うに、非磁性基板１０２、１０３となる非磁性基板材の
被膜付け面に異物１０９等が付着したりしていると、金
属磁性層１０４を膜付けする際に、この異物１０９等が
金属磁性層１０４内に封装されてしまうことがあった。
また、磁気ヘッド１００は、真空雰囲気でスパッタ法
や、蒸着法等により非磁性基板材の一方主面に金属磁性
層１０４が膜付けされるが、例えば真空状態が不充分な
場合に大気中に含まれた異物１０９等が金属磁性層１０
４に取り込まれてしまうことがあった。磁気ヘッド１０
０は、これらの異物１０９が原因となり、非磁性基板材
の主面に成膜された金属磁性層１０４の表面に微小な突
起１１０が形成されてしまうことがあった。

【００１５】同様に、磁気ヘッド１００は、金属磁性層
１０４に熱処理を施す際に、雰囲気中に存在する異物等
がこの金属磁性層１０４の表面に付着してしまうことが
あった。したがって、磁気ヘッド１００は、付着した異
物等により金属磁性層１０４の表面に微小な突起１１０
が形成される。

【００１６】磁気ヘッド１００は、金属磁性層１０４に
上述した微小な突起１１０が形成されている場合に、上
記短冊状コア基板を接合して磁気コア基板を形成する際
にその接合状態が不完全となってしまう。このため、磁
気ヘッド１００は、その後の捲線溝の形成工程、切断工
程等を施す際に、ブロック折れが発生する等の問題が生
じ、歩留りが悪くなるといった問題点があった。

【００１７】そこで本発明は、上述した従来の問題点を
解決し、接合不良やコアブロック折れといった不都合の
発生を防止して歩留りを向上させた磁気ヘッドの製造方
法を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成した本発
明の磁気ヘッドの製造方法は、一対の非磁性基板により
金属磁性層を挟み込んでなる一対の磁気コア半体を、互
いに相対向する上記金属磁性層の側端部を突き合わせて
接合し、この突合せ接合面間に磁気ギャップを形成して
なる磁気ヘッドが、上記磁気コア半体を、非磁性基板の
一方主面にそれぞれ金属磁性層を膜付けした後にその成
膜面が研磨されて製作されることを特徴とする。

【００１９】上述した本発明に係る磁気ヘッドの製造方
法によれば、スパッタ法や蒸着法により非磁性基板の一
方主面に金属磁性層が膜付けされ或いはこの金属磁性層
に熱処理が施される際に、異物等が付着することにより
微小な突起が形成された金属磁性層が高精度の表面とさ
れることにより、非磁性基板の接合不良や後工程におけ
るコアブロック折れ等の不都合の発生が解消され、歩留
まり率の大幅な向上が図られる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について、図面を参照しながら詳細に説明する。実施
の形態は、例えばビデオテープレコーダやデジタルデー
タレコーダ等の磁気記録再生装置に使用されるラミネー
トタイプの磁気ヘッド１の製造に関してである。この磁
気ヘッド１は、図１に示すように基本的な構成を上述し
た従来の磁気ヘッド１００とほぼ同様とし、一対の非磁
性基板１１Ａと１２Ａとにより金属磁性層１３Ａを挟み
込んでなる磁気コア半体１０Ａと、一対の非磁性基板１
１Ｂと１２Ｂとにより金属磁性層１３Ｂを挟み込んでな
る磁気コア半体１０Ｂとを組み合わせて構成される。

【００２１】すなわち、磁気ヘッド１は、磁気コア半体
１０Ａと磁気コア半体１０Ｂとが、各金属磁性層１３Ａ
と１３Ｂの互いに相対向する側端部が突き合わされると
ともに、その突合せ面間に磁気ギャップｇを形成して一
体に接合されてなる。この磁気ヘッド１には、磁気コア
半体１０の対向側面にそれぞれ凹設された凹部１４Ａ、
１４Ｂとが突き合わされて、磁気ギャップｇのデプスｄ
ｐを規制するとともに図示しないコイルが巻回される捲
線溝１４が形成されてなる。また、磁気ヘッド１は、こ
の捲線溝１４の上面が、所定の曲率を持った磁気記録媒
体摺動面１５として構成される。

【００２２】磁気ヘッド１には、その両側面に、磁気コ
ア半体１０の一方側面にそれぞれ凹設された凹部１６
Ａ、１６Ｂとによって、捲線溝１４に対応する捲線ガイ
ド溝１６が形成されてなる。また、磁気ヘッド１には、
磁気記録媒体摺動面１５の長手方向の両側縁に沿って、
金属磁性層１３に対して互いに平行な当たり幅規制溝１
７Ａ、１７Ｂが形成されてなる。この当たり幅規制溝１
７Ａ、１７Ｂは、磁気記録媒体に対する磁気ヘッド１の
当たり幅を規制するものである。

【００２３】以上のように構成された磁気ヘッド１は、
磁気記録媒体摺動面１５上を摺動する磁気記録媒体に情
報信号等を記録するとともに、磁気記録媒体摺動面１５
上を摺動する磁気記録媒体から記録された情報信号等を
再生する。この磁気ヘッド１は、ギャップｇのトラック
幅が、一対の非磁性基板１１と１２とにより挟み込まれ
る金属磁性層１３の膜厚Ｔによって規定され、この金属
磁性層１３の膜厚Ｔを制御することによって、狭トラッ
ク化を実現している。また、この磁気ヘッド１は、金属
磁性層１３が一対の非磁性基板１１、１２に挟み込まれ
た構造となっていることから、疑似ギャップが発生する
ことがないという特徴を有している。

【００２４】なお、磁気ヘッド１は、上述した従来の磁
気ヘッド１００と同様に、金属磁性層１３を、金属磁性
膜と、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化
物等からなる電気的絶縁膜とを交互に積層して構成して
もよい。磁気ヘッド１は、この構成により、渦電流損失
が回避され、特に高周波帯域での周波数特性を改善し
て、高出力化が図られる。

【００２５】磁気ヘッド１は、図２に示すように、非磁
性基板材１８を素材として、金属磁性膜成膜工程Ｓ１、
金属磁性膜熱処理工程Ｓ２及び金属磁性膜研磨工程Ｓ３
との工程によって短冊状コア基板１９を製作する工程
と、製作された複数個の短冊状コア基板１９に接合膜を
成膜する接合膜成膜工程Ｓ４と、成膜された複数個の短
冊状コア基板１９を一体に接合して磁気コア基板２０を
製作する短冊状コア基板接合工程Ｓ５と、磁気コア基板
２０を切断して磁気コア半体ブロック２１を製作する磁
気コア基板切断工程Ｓ６と、磁気コア半体ブロック２１
の一方側面に捲線溝１４を形成する捲線溝形成工程Ｓ７
と磁気コア半体ブロック２１を接合する磁気コア半体ブ
ロック接合工程Ｓ８によって磁気コアブロック２２を製
作する工程と、この磁気コアブロック２２に磁気記録媒
体摺動面１５と捲線ガイド溝１６とを形成する磁気記録
媒体摺動面・捲線ガイド溝形成工程Ｓ９と、磁気コアブ
ロック２２に当たり幅規制溝１７Ａ、１７Ｂを形成する
当たり幅規制溝形成工程Ｓ１０と、磁気コアブロック２
２を所定の幅に切断する切断工程Ｓ１１とを経て製造さ
れる。

【００２６】素材の非磁性体基板材１８は、後述するよ
うに磁気ヘッド１の非磁性体基板１１、１２を構成する
部材で、図３に示すように、両主面が鏡面加工を施され
ることによって高面精度に形成されている。非磁性体基
板材１８には、金属磁性膜成膜工程Ｓ１において真空条
件下においてスパッタ法や蒸着法等により、図４に示す
ようにその一方主面１８ａに磁気コアを構成する金属磁
性層１３が全面に亘って成膜される。

【００２７】金属磁性層１３の成膜材料としては、例え
ば、（１）Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｓ
ｉ、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ等、又はこれ
らに８原子％以下のＣｏ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔ
ａ、Ｒｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎ、Ｃ、Ｏ等のうちの１種又は
数種を添加して構成された結晶質材料、（２）Ｃｏに主
としてＺｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ａｕ、Ｐ
ｄ、Ｒｕ等のうちの１種又は数種を添加して構成された
アモルファス材料、（３）Ｃｏ、Ｆｅに主としてＮｉ、
Ｚｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ａｌ、
Ｂ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｒｕ等のうちの１種又は
数種と、Ｎ、Ｃ、Ｏのうちの１種又は数種とを添加して
構成された微結晶材料が挙げられる。

【００２８】なお、金属磁性層１３は、かかる金属磁性
材料だけからなる構成としてもよいが、図５に示すよう
に金属磁性膜１３ａと電気的絶縁膜１３ｂとを複数層に
積層してなる積層膜構造によって構成してもよい。この
場合、金属磁性層１３は、上述した従来の磁気ヘッド１
００と同様に、金属磁性材料からなる金属磁性膜１３ａ
にＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｓｉ₃Ｎ₄等の酸化物や窒化物等
からなる電気的絶縁膜１３ｂを積層して構成される。

【００２９】非磁性基板材１８には、金属磁性膜熱処理
工程Ｓ２において、Ｎ₂雰囲気中で成膜した金属磁性層
１３に熱処理が施される。これによって、金属磁性層１
３を成膜した際に反りが生じた非磁性基板材１８の金属
磁性層１３における内部応力を緩和することができ、非
磁性基板材１８の反りを解消することができる。

【００３０】非磁性基板材１８は、図４に示すように、
上述した金属磁性膜成膜工程Ｓ１において、その主面１
８ａに異物２３等が付着している場合に、成膜される金
属磁性層１３内にこの異物２３等が封装されてしまう。
また、非磁性基板材１８は、金属磁性膜成膜工程Ｓ１に
おいて、成膜装置内に異物２３等が存在している場合
に、この異物２３等が金属磁性層１３に取り込まれてし
まう。さらに、非磁性基板材１８は、金属磁性膜熱処理
工程Ｓ２において、熱処理装置内に異物２３等が存在し
ている場合に、この異物２３が金属磁性層１３の表面に
付着してしまう。

【００３１】非磁性基板材１８には、上述した金属磁性
膜成膜工程Ｓ１、金属磁性膜熱処理工程Ｓ２における異
物２３等が原因となって、図４及び図５（Ａ）に示すよ
うにその主面１８ａに成膜された金属磁性層１３の表面
に微小な突起２４が形成されてしまう。したがって、非
磁性基板材１８には、金属磁性膜研磨工程Ｓ３におい
て、例えば後述するテープラッピング装置３０によって
テープラッピング処理を施す等により金属磁性層１３の
表面が研磨され、微小な突起２４が除去された短冊状コ
ア基板１９が形成される。

【００３２】以上の工程を経て製作された短冊状コア基
板１９には、接合膜成膜工程Ｓ４において、その両主面
にスパッタ法或いは蒸着法等によって融着ガラス薄膜ま
たはＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属薄膜等が成膜されるこ
とにより、図５（Ｂ）に示すように接合膜２５が形成さ
れる。そして、この接合膜２５が形成された短冊状コア
基板１９は、短冊状コア基板接合工程Ｓ５において、図
６に示すように、複数枚が接合膜２５が形成された主面
を互いに重ね合わせて整列された状態、すなわち、複数
枚が互いに厚み方向に接合された状態で加圧固定される
とともに熱処理が施されることによって一体化されて磁
気コア基板２０が製作される。

【００３３】短冊状コア基板１９は、上述した金属磁性
膜研磨工程Ｓ３において一方の接合面となる金属磁性層
１３の表面が高精度に形成されていることから、接合不
良が生じることなく全面に亘って相互に密着した状態で
確実に接合される。また、短冊状コア基板接合工程Ｓ５
においては、上述したように金属磁性膜熱処理工程Ｓ２
において金属磁性層１３に熱処理を施して基板の反りを
解消しているため、相互の密着が確実に行われる。

【００３４】磁気コア基板２０は、次の磁気コア基板切
断工程Ｓ６において所定の厚み寸法を以って切断され、
図７に示すように、互いに対称形をなす磁気コア半体ブ
ロック２１Ａ、２１Ｂが切断形成される。すなわち、磁
気コア基板２０は、図６のＡ１−Ａ２、Ｂ１−Ｂ２、Ｃ
１−Ｃ２線で示すように、その上面２０ａから垂直な方
向でかつ前面２０ｂに対して所定のアジマス角θに相当
する分の傾斜を付されて切断される。

【００３５】磁気コア基板２０は、上述したようにテー
プラッピング処理が施されることによって高精度の接合
面とされた短冊状コア基板１９が互いに良好な状態で一
体に接合されていることから、磁気コア基板切断工程Ｓ
６において大きな応力が加えられても一部が破損したり
剥離するといった不都合が生じることは無い。したがっ
て、磁気コア基板切断工程Ｓ６は、磁気コア基板２０か
ら、歩留りよく磁気コア半体ブロック２１を製作するこ
とができる。

【００３６】磁気コア半体ブロック２１には、捲線溝形
成工程Ｓ７において、図８に示すように相対向する垂直
な側面２１ａ、２１ｂにそれぞれ長手方向の全域に亘っ
て水平な凹溝２６Ａ、２６Ｂが切削形成される。これら
凹溝２６Ａ、２６Ｂは、後述するように磁気ギャップｇ
のデプスｄｐを規定するとともにコイルが巻回される磁
気ヘッド１の捲線溝１４を構成する。この捲線溝形成工
程Ｓ７においても、歩留りよく凹溝２６Ａ、２６Ｂの切
削形成が行われる。

【００３７】磁気コア半体ブロック２１は、次の磁気コ
ア半体ブロック接合工程Ｓ８において再び一体に接合さ
れることによって、図９に示す磁気コアブロック２２が
製作される。すなわち、磁気コア半体ブロック２１に
は、上述した凹溝２６Ａ、２６Ｂを形成した側面２１
ａ、２１ｂに鏡面処理が施される。さらに、磁気コア半
体ブロック２１には、これら側面２１ａ、２１ｂにそれ
ぞれ接合膜が成膜される。これら接合膜は、磁気ギャッ
プｇのスペーサとしても作用し、融着用ガラス薄膜或い
はＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属薄膜やＳｉＯ2等の非磁
性膜からなり、スパッタ法等の真空薄膜形成法によって
成膜される。

【００３８】磁気コア半体ブロック２１は、相対する側
面２１ａ、２１ｂが、それぞれの金属磁性層１３を互い
に精密に突き合わさせるようにして重ね合わされ、ガラ
ス融着法或いは低温金属接合法等によって一体に接合さ
れて磁気コアブロック２２が製作される。磁気コアブロ
ック２２は、凹溝２６Ａ、２６Ｂの上部と上面２２ａと
の間において突き合わされた金属磁性層１３により、磁
気ギャップｇが構成される。

【００３９】磁気コアブロック２２には、次の磁気記録
媒体摺動面・捲線ガイド溝形成工程Ｓ９において上面２
２ａの研磨と前後両側面２２ｂ、２２ｃの研削が行われ
る。磁気コアブロック２２は、上面２２ａが所定の曲率
を付されて精密に研削されることによって、図１０に示
すように、磁気記録媒体摺動面１５が形成される。

【００４０】また、磁気コアブロック２２には、図１０
に示すように、その前後両側面２２ｂ、２２ｃの長手方
向の全域に亘って凹溝２６Ａ、２６Ｂに対応する水平方
向の凹溝が２７Ａ、２７Ｂ形成される。これら凹溝２７
Ａ、２７Ｂは、後述するようにコイルが巻回される磁気
ヘッド１の捲線ガイド溝１６を構成する。この磁気記録
媒体摺動面・捲線ガイド溝形成工程Ｓ９においても、歩
留りよく上面２２ａの研磨と前後両側面２２ｂ、２２ｃ
の研削が行われる。

【００４１】磁気コアブロック２２には、次に当たり幅
規制溝形成工程Ｓ１０が施されて、図１１に示すように
磁気記録媒体摺動面１５を構成する上面２２ａに磁気ヘ
ッド１の当たり幅規制溝１７Ａ、１７Ｂを構成する凹溝
２８が形成される。すなわち、磁気コアブロック２２に
は、各非磁性体基板材１８のほぼ中央領域にそれぞれ位
置して、所定の溝幅を有する前後方向の凹溝２８がそれ
ぞれ形成される。

【００４２】磁気コアブロック２２は、各凹溝２８によ
ってその上面２２ａに、中央領域に金属磁性層１３の上
縁が露呈するとともにその両側に沿って非磁性体基板材
１８の上縁が露呈されてなる所定の曲率を付された複数
条の前後方向の凸部２９が形成される。これら凸部２９
は、磁気ヘッド１の磁気記録媒体摺動面１５を構成す
る。また、隣り合う各凹溝２８は、各凸部、換言すれば
磁気記録媒体摺動面１５を所定幅とすることにより磁気
記録媒体の当たり幅を規定する磁気ヘッド１の当たり幅
規制溝１７Ａ、１７Ｂを構成する。

【００４３】なお、この当たり幅規制溝形成工程Ｓ１０
においても、各非磁性体基板材１８が表面を高精度に形
成された金属磁性層１３を介して互いに一体に接合され
ていることから、各凹溝２８を切削する際にこれらが剥
離したり破損（ブロック折れ）するといった不都合が発
生することはほとんど無い。

【００４４】磁気コアブロック２２は、以上の工程が施
された後、次の切断工程Ｓ１１において所定幅に切断さ
れることによって磁気ヘッド１が完成される。すなわ
ち、磁気コアブロック２２は、図１２のＤ１−Ｄ２、Ｅ
１−Ｅ２、Ｆ１−Ｆ２、Ｇ１−Ｇ２、Ｈ１−Ｈ２線で示
すように、各凹溝２８の幅方向の中央からそれぞれ垂直
に切断されることによって１個ずつの磁気ヘッド１が製
作される。この切断工程Ｓ１１においても、磁気コアブ
ロック２２の一部が剥離したり破損したりすることは無
く、歩留りよく磁気ヘッド１が製造される。磁気ヘッド
１は、以上の各工程を経て製造されるが、従来の磁気ヘ
ッド１００の歩留りが約４０％であったものがほぼ９５
％の歩留りによって製造される。

【００４５】次に、金属磁性層１２を膜付けしてなる短
冊状コア基板の成膜面を研磨する方法について説明す
る。この研磨は、例えば、図１３に示すテープラッピン
グ装置３０を用いて行われる。このテープラッピング装
置３０は、短冊状コア基板１９を位置決めして載置する
テーブル３１と、このテーブル３１の両側にそれぞれ配
設され駆動軸３２ａ、３３ａによって図１３において時
計方向へと回転駆動される供給リール３２と巻取リール
３３と、これら供給リール３２と巻取リール３３との間
に掛け合わされたラッピングテープ３４と、テーブル３
１上に載置された短冊状コア基板１９に対してラッピン
グテープ３４を押し付ける押付けローラ３５等によって
構成される。ラッピングテープ３４は、テープ体の表面
に研磨材が塗布されてなり、例えば日立マクセル株式会
社製の商品名ＬＫＲ１００Ｂ２５２が用いられる。

【００４６】テープラッピング装置３０は、短冊状コア
基板１９がその金属磁性層１３を押付けローラ３５に対
向されてテーブル３１上に載置固定される。テープラッ
ピング装置３０は、駆動軸３２ａ、３３ａが回転駆動さ
れると、ラッピングテープ３４が図１３の矢印で示す方
向に走行駆動されて短冊状コア基板１９の金属磁性層１
３をラッピング（研磨）する。テープラッピング装置３
０は、押付けローラ３５或いは短冊状コア基板１９の載
置位置を調整することにより、ラッピングテープ３４と
金属磁性層１３との接触圧が調整される。なお、テープ
ラッピング装置３０は、接触圧が６０４９Ｎに設定され
る。

【００４７】短冊状コア基板１９は、これによって表面
に形成された微小な突起２４が研磨されて図５（Ｂ）に
示すように全体が平坦な高面精度の金属磁性層１３が構
成される。短冊状コア基板１９は、金属磁性層１３がそ
の磁気コアとしての特性を損われることなく内部に取り
込まれた異物２３等により表面に形成された微小な突起
２４や表面に付着した異物２３等が除去される。

【００４８】なお、以上一対の磁気コア半体１１、１２
の両方にそれぞれ捲線溝１４Ａ、１４Ｂが形成された、
いわゆる両窓型の磁気ヘッドについて説明したが、本発
明の磁気ヘッドの製造方法は、磁気コア半体１１、１２
のいずれか一方に捲線溝１４が形成されたいわゆる片窓
型の磁気ヘッドにも適用されることは勿論である。

【００４９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明に係る
磁気ヘッドの製造方法によれば、非磁性基板材の主面に
スパッタ法や蒸着法等により成膜される金属磁性層の表
面に付着した異物やその内部に封装された異物等に起因
する金属磁性層表面の微小な突起等が、成膜工程後に施
される研磨工程によって除去されることから、金属磁性
層が高精度の表面にて構成されて良好な状態で接合さ
れ、非磁性基板の接合不良や後工程におけるコアブロッ
ク折れ等の不都合の発生が解消され、磁気ヘッドの製造
歩留まりを向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法により製造
される磁気ヘッドの斜視図である。

【図２】同磁気ヘッドの製造工程を説明する工程説明図
である。

【図３】非磁性基板材を示す要部斜視図である。

【図４】同非磁性基板材の主面に金属磁性層を成膜して
なる短冊状コア基板の要部斜視図である。

【図５】上記非磁性基板材の主面に金属磁性膜と電気的
絶縁膜とを交互に成膜してなる短冊状コア基板の要部斜
視図であり、同図（Ａ）は金属磁性層に突起が形成され
た状態を示し、同図（Ｂ）は突起を研磨した状態を示
す。

【図６】短冊状コア基板を複数枚接合してなる磁気コア
基板の要部斜視図である。

【図７】磁気コア基板から切り出された磁気コア半体ブ
ロックの要部斜視図である。

【図８】巻線溝を形成した磁気コア半体ブロックの要部
斜視図である。

【図９】磁気コア半体ブロックを突き合わせて形成され
た磁気コアブロックの要部斜視図である。

【図１０】磁気記録媒体摺動面及び捲線ガイド溝を形成
した磁気コアブロックの要部斜視図である。

【図１１】当たり幅規制溝を形成した磁気コアブロック
の要部斜視図である。

【図１２】磁気ヘッドを切り出す切断方向を説明する磁
気コアブロックの要部斜視図である。

【図１３】テープラッピング装置を説明する要部平面図
である。

【図１４】従来の磁気ヘッドを一部切り欠きして示す斜
視図である。

【図１５】他の磁気ヘッドの要部平面図である。

【符号の説明】

１磁気ヘッド、１０磁気コア半体、１１、１２非
磁性基板、１３金属磁性層、１８非磁性基板材、１
９短冊状コア基板、２０磁気コア基板、２１磁気
コア半体ブロック、２２磁気コアブロック、２３異
物、２４突起、２５接合膜、３０テープラッピン
グ装置、３４ラッピングテープ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の非磁性基板により金属磁性層を挟
み込んでなる一対の磁気コア半体を、互いに相対向する
上記金属磁性層の側端部を突き合わせて接合し、この突
合せ接合面間に磁気ギャップを形成してなる磁気ヘッド
の製造方法において、上記磁気コア半体は、非磁性基板の一方主面にそれぞれ
金属磁性層を膜付けした後に、その成膜面が研磨される
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】上記磁気コア半体は、膜付けされた金属
磁性層に熱処理が施された後に、その成膜面が研磨され
ることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造
方法。