JPH1116988A

JPH1116988A - 基板処理装置の構成ユニット

Info

Publication number: JPH1116988A
Application number: JP18452497A
Authority: JP
Inventors: Masaki Iwami; 優樹岩見; Masami Otani; 正美大谷; Yasuo Imanishi; 保夫今西; Masao Tsuji; 雅夫辻; Joichi Nishimura; 讓一西村; Akihiko Morita; 彰彦森田; Takanori Kawamoto; 隆範川本
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-06-24
Filing date: 1997-06-24
Publication date: 1999-01-22

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造装置の基板搬送ユニットのよう
に、基板支持アームなどの移動部を有する構成ユニット
において、移動部の動作に伴う振動の発生を防止できる
ようにする。【解決手段】移動部１０の動作に伴って作動し移動部
の動作によって生じる重心の位置ずれを解消する重心調
整手段２２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体基板、液
晶表示装置用あるいはフォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用基板などの基板に対し所定の処理を施す基板
処理装置において、基板搬送ユニットのように基板支持
アーム等の移動部を有する構成ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、塗布処理部、加熱処理部および
冷却処理部、露光処理部ならびに現像処理部といった複
数の基板処理部を有し半導体基板に対して複数の処理を
順次施す半導体製造装置では、基板搬送ユニット、例え
ば単一の自走式基板搬送ロボットを複数の基板処理部に
対し所定の順序で循環移動させて、複数の基板を１枚ず
つ基板搬送ロボットにより各基板処理部へ順次搬送し、
それぞれの基板処理部において基板搬送ロボットの基板
支持アームを駆動させて基板の出し入れ（処理済み基板
の取出しおよび未処理基板の投入）を行い、各基板処理
部で基板に対し所定の処理をそれぞれ施すようにしてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したような半導体
製造装置において、基板搬送ロボットの基板支持アーム
が伸縮等の動作を行うと、基板搬送ロボットの重心の位
置がずれて、重量バランスが崩れ、振動の発生の原因と
なる。半導体製造装置では、その装置の一部にでも振動
が発生すると、その振動により基板の位置ずれを生じる
など、プロセス性能に大きく影響するこことになる。例
えば、各基板処理部や基板搬送ロボットにおいて折角基
板を位置決めしていても、振動によって基板の位置が僅
かにずれると、基板搬送ロボットでのハンドリングミス
を生じたり、加熱処理部においてホットプレート面上か
ら基板の一部が食み出て加熱処理が適正に行われなかっ
たりする。また、現像処理部において基板上への現像液
の液盛り中に、振動により現像液層の表面が波打って、
現像むらなどの原因になったりする。

【０００４】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、半導体製造装置の基板搬送ユニット
などのように、基板支持アームなどの移動部を有する構
成ユニットにおいて、移動部の動作に伴う振動の発生を
防止することができる基板処理装置の構成ユニットを提
供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、移動部を有
し基板処理装置の一部を構成する構成ユニットにおい
て、前記移動部の動作に伴って作動し移動部の動作によ
って生じる重心の位置ずれを解消する重心調整手段を設
けたことを特徴とする。

【０００６】この発明に係る上記構成ユニットでは、基
板支持アームの伸縮動作などの移動部の動作に伴って重
心調整手段が作動することにより、移動部の動作によっ
て生じる重心の位置ずれが解消され、このため、重量バ
ランスの崩れによる振動の発生が防止される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図面を参照しながら説明する。

【０００８】図１は、この発明の１実施形態を示し、半
導体製造装置の基板搬送ユニットの概略構成を、一部を
縦断面で示す図である。この基板搬送ユニットは、半導
体基板（図示せず）を載置して支持する基板支持アーム
１０を有し、基板支持アーム１０の基端部１２は、基体
１４上に固設されたハウジング１６内に配設された第１
の水平ラック１８に連結棒２０によって連結されてお
り、基板支持アーム１０および第１の水平ラック１８
は、それぞれ水平姿勢に保持されている。

【０００９】また、この基板搬送ユニットは、重心調整
アーム２２を有しており、重心調整アーム２２は、基板
支持アーム１０の反対側に、基板支持アーム１０と対称
的に配設されており、基板支持アーム２２と同一形状に
形成されもしくは重量配分が基板支持アーム２２と同一
となるような形状に形成されている。重心調整アーム２
２の基端部２４は、ハウジング１６内の、第１の水平ラ
ック１８の下方側にそれと平行に配設された第２の水平
ラック２６に連結棒２８によって連結されており、重心
調整アーム２２および第２の水平ラック２６は、水平姿
勢に保持されている。そして、第１および第２の各水平
ラック１８、２６は、１つのピニオン３０にそれぞれ噛
合して、ピニオン３０を挾んでその上下に配置されてい
る。ピニオン３０は、図示しない正・逆回転可能な駆動
モータの回転軸に連結しており、駆動モータを駆動させ
ることにより、ピニオン３０が回転させられ、ピニオン
３０にそれぞれ噛合した第１および第２の両水平ラック
１８、２６が、互いに反対方向へ水平移動するように構
成されている。

【００１０】図１に示した基板搬送ユニットにおいて、
基板処理部に対する基板の出し入れなどに際し、基板支
持アーム１０を、図１に実線で示す状態から二点鎖線で
示す状態へ水平移動させて前方へ差し出し、また、二点
鎖線で示す状態から実線で示す状態へ水平移動させて引
っ込めるには、図示しない駆動モータを正回転および逆
回転させてピニオン３０を回動させる。これにより、ピ
ニオン３０に噛合した第１のラック１８が実線位置から
二点鎖線位置へ、また、二点鎖線位置から実線位置へと
水平方向に直線的に往復移動し、第１のラック１８に連
結棒２０を介して連結された基板支持アーム１０が水平
方向に直線的に往復移動する。このとき、ピニオン３０
に噛合した第２のラック２６も同時に、実線位置から二
点鎖線位置へ、また、二点鎖線位置から実線位置へと水
平方向に直線的に往復移動し、第２のラック２６に連結
棒２８を介して連結された重心調整アーム２２が、水平
方向に直線的にかつ基板支持アーム１０の移動方向とは
逆方向へ往復移動する。このように、基板支持アーム１
０が動作した時に、重心調整アーム２２が、それと同時
に作動しかつ基板支持アーム１０と対称的に動作する。
このため、基板支持アーム１０の動作によって生じる基
板搬送ユニットの重心の位置ずれが解消されることとな
り、重量バランスの崩れによる振動が発生することはな
い。

【００１１】次に、図２および図３は、この発明の別の
実施形態を示し、図２は、半導体製造装置の基板搬送ユ
ニットの右側面図であり、図３は、それを背面側から見
た状態の縦断面図である。これらの図は、側面カバーを
取り外した状態で示しており、また、自走機構や旋回機
構の図示を省略している。

【００１２】この基板搬送ユニットには、自走および旋
回自在の基体３２の両面側にスライドレール３４、３４
がそれぞれ固設されており、各スライドレール３４、３
４に、水平方向へ摺動自在にスライド部材３６、３６が
それぞれ嵌合されていて、各スライド部材３６、３６の
外側面にそれぞれ支持部材３８、４０が固着されてい
る。そして、一方の支持部材３８には、半導体基板（図
示せず）を載置して支持する基板支持アーム４２が取着
され、他方の支持部材４０には、重心調整アーム４４が
取着されている。基板支持アーム４２と重心調整アーム
４４とは、それぞれ水平姿勢に保持されて互いに上下に
配置され、両アーム４２、４４間に若干の隙間が形成さ
れている。

【００１３】基体３２の下部には、基板支持アーム４２
の駆動用のモータ４６が配設されており、このモータ４
６の回転軸に駆動ローラ４８が固着されている。また、
基体３２の一方の側面には、スライドレール３４の前端
付近および後端付近の下方に、それぞれ従動プーリ５
０、５０が回転自在に基体３２に取着されており、さら
に、駆動ローラ４８の近傍に、ガイドローラ５２が回転
自在に基体３２に取着されている。そして、駆動ローラ
４８、両従動プーリ５０、５０およびガイドローラ５２
間にワイヤ５４が巻架されており、ワイヤ５４の一部が
基板支持アーム４２の支持部材４０に固定されている。
このような構成により、モータ４６が駆動されて正回転
および逆回転すると、スライドレール３４に沿ってスラ
イド部材３６および支持部材３８が水平方向へ直線的に
往復移動して、支持部材３８に取着された基板支持アー
ム４２が水平方向へ前進および後退する。基体３２の下
部には、基板支持アーム４２の駆動用のモータ４６の配
設位置の反対側に、重心調整アーム４４の駆動用のモー
タ５６が配設されており、図示を省略したが、基体３２
の他方の側面には、基板支持アーム４２の上記駆動機構
と同様に駆動ローラ、一対の従動プーリ、ガイドローラ
およびワイヤから構成された重心調整アーム４４の駆動
機構が設けられている。

【００１４】そして、基板支持アーム４２の駆動用モー
タ４６と重心調整アーム４４の駆動用モータ５６とは相
互に連動して駆動され、基板支持アーム４２の進退動作
に伴って重心調整アーム４４が進退動作を行うように構
成されている。このように、重心調整アーム４４が基板
支持アーム４２と対称的に動作することにより、基板支
持アーム４２の動作によって生じる基板搬送ユニットの
重心の位置ずれが解消されることになり、重量バランス
の崩れによる振動の発生が防止される。

【００１５】なお、上記した実施形態では、基板支持ア
ームを１つだけ備えた基板搬送ユニットを例示したが、
基板搬送ユニットが基板支持アームを２つ備えていても
よく、その場合に、一方の基板支持アームが動作すると
きに他方の基板支持アームを重心調整アームとして作動
させるようにしてもよい。また、上記実施形態では、基
板支持アームが直線的に往復移動する基板搬送ユニット
を例示したが、基板支持アームが回動する基板搬送ユニ
ットにも、この発明は適用可能である。さらに、この発
明は、カセットを搬送する搬送ユニットにも適用可能で
あり、また、移動部を有しその移動部の動作に伴って重
心の位置ずれを生じるようなユニットに広く適用するこ
とができる。

【００１６】

【発明の効果】この発明の基板処理装置の構成ユニット
を使用すると、基板支持アームなどの移動部の動作に伴
う振動の発生を防止することができ、基板処理装置の一
部に振動が発生することによるプロセス上の不都合を無
くすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の１実施形態を示し、半導体製造装置
の基板搬送ユニットの概略構成を示す一部縦断面図であ
る。

【図２】この発明の別の実施形態を示し、半導体製造装
置の基板搬送ユニットの右側面図である。

【図３】図２に示した基板搬送ユニットを背面側から見
た状態の縦断面図である。

【符号の説明】

１０、４２基板支持アーム１２基板支持アームの基端部１４、３２基体１６ハウジング１８、２６ラック２０、２８連結棒２２、４４重心調整アーム２４重心調整アームの基端部３０ピニオン３４スライドレール３６スライド部材３８、４０支持部材４６、５６モータ４８駆動ローラ５０従動プーリ５２ガイドローラ５４ワイヤ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者今西保夫京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者辻雅夫京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者西村讓一京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者森田彰彦京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内 (72)発明者川本隆範京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板処理装置の一部を構成し、移動部を
有する、基板処理装置の構成ユニットにおいて、前記移動部の動作に伴って作動し移動部の動作によって
生じる重心の位置ずれを解消する重心調整手段を設けた
ことを特徴とする、基板処理装置の構成ユニット。