JPH11224407A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドチップのギャップ形成を行う工程
における歩留まりを向上し、生産コストを低減する。 【解決手段】 押さえ板４を介して巻線用の溝を配した
磁気コア半体ブロック１０Ａを押圧部材３に接するよう
に、二つの磁気コア半体ブロック１０Ａ、１０Ｂより成
る磁気コアブロック１０を接着治具１に装着し、次に磁
気コア半体ブロックのギャップ形成面同士をトラック位
置のズレが生じないように位置合わせを行いながら突き
合わせて磁気ギャップを形成し、この状態を密着保持す
るために加圧ネジ５により、突合わせ方向に荷重を加
え、トラック位置のズレが生じないように固定後、溶融
した非磁性材料で一対の磁気コア半体ブロックを接合一
体化し、ギャップ形成を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に対
して多量の磁気情報の記録・再生を行うのに適する磁気
ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録の分野において、一対の板状の
フェライト製の磁気コア半体を突き合わせて磁気ギャッ
プを形成し、磁気ギャップ部の両側をガラス等の非磁性
材料で接合一体化したフェライトヘッドや、磁気ギャッ
プ部に飽和磁束密度の高い金属磁性膜を配したメタル・
イン・ギャップ型ヘッドや、金属磁性膜を非磁性材料の
上に積層してた薄膜積層型ヘッド等が実用化されてい
る。これらの磁気ヘッドの基本的な製造方法は、必要に
応じて磁性膜や巻線溝、トラック規制溝等を配した一対
の磁気コア半体ブロックを突き合わせて磁気ギャップを
形成した後にガラス等の非磁性材料で接合一体化された
磁気コアブロックを作製し、必要に応じて磁気記録媒体
との摺動幅を規制する溝を加工した後に、所定の厚みに
なるように磁気コアブロックを切断してヘッドチップを
作製し、ベース接着・巻線等の処理を行い、磁気ヘッド
を完成させるといったものである。

【０００３】近年、短波長記録による高密度記録再生の
要求が高まるなかで、この要求に対応するためには磁気
ヘッドのギャップ長を著しく狭くする必要があり、０．
５μｍ以下のギャップ長を精度良く、かつ安定的に実現
することが重要となる。

【０００４】磁気ヘッドのギャップ形成方法としては、
あらかじめギャップ長の約半分の厚みで非磁性ギャップ
材を少なくとも一方のギャップ形成面に形成した磁気コ
ア半体ブロックを用意し、磁気コア半体ブロックのギャ
ップ形成面同士をトラック位置のズレが生じないように
位置合わせを行いながら突き合わせて磁気ギャップを形
成し、この状態を密着保持するために突合わせ方向に荷
重を加えた後に、加熱溶融したガラス等の非磁性材料を
用いて磁気コアブロックを接合一体化するという方法が
普及している。ギャップ形成面の突合わせ後、突合わせ
方向に荷重を加える手段として、特開昭６３−２４９９
１４号公報、特開平４−２８３４０４号公報、特開平８
−２０３０１３号公報に開示されているような板バネ等
の弾性体を利用する方法や、特開平８−２８７４０８号
公報に開示されているようなくさびを押入する方法等が
知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高温時
の治工具構成部材および弾性部材の熱膨張変化、あるい
は繰り返し高温で使用することによる弾性部材の弾性力
劣化によって、突合わせ方向に荷重を加える際に安定し
た一定の荷重を得ることが困難である。

【０００６】また治工具表面における酸化膜の形成によ
り、くさびや治工具を形成する各々の部材の動きがスム
ーズでなくなり、ひっかかりが生じることもある。特に
加圧ネジを回転することによって磁気コア半体ブロック
の加圧力を制御する場合、加圧ネジおよびネジ孔の摩耗
等により、加圧力を十分に制御できなかったり、ネジの
回転時のネジと弾性体の接触点における摩擦による加圧
方向への加圧力のバラツキが発生する場合がある。

【０００７】また、溝加工等のストレスに起因して磁気
コア自体に反りが生じる場合が有り、特に磁気ギャップ
部に飽和磁束密度の高い金属磁性膜を配したメタル・イ
ン・ギャップ型ヘッドの場合は、金属磁性膜の内部応力
が加わって磁気コア半体の反りが大きくなる場合があ
る。この反りによって特定の場所に設定値以上に圧力が
加わり、磁気コア半体ブロックが接合する点における局
部的な応力によりギャップ近傍にクラックが生じたり、
所望のギャップ長が得られない場合がある。

【０００８】本発明の目的は、磁気コア半体ブロックの
ギャップ形成面同士をトラック位置のズレが生じないよ
うに位置合わせを行いながら突き合わせて磁気ギャップ
を形成し、この状態を密着保持するために突合わせ方向
に荷重を加えた後に、ガラス等の非磁性材料を用いて高
温状態で非磁性材料を溶融し、磁気コアブロックを接合
一体化する磁気ヘッドのギャップ形成工程における歩留
まりを向上し、生産コストを低減することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明は、磁気コア半体ブロックの一方に巻線用の
溝を配した磁気コアブロックを加熱溶融した非磁性材料
で接合一体化してギャップ形成を行う工程において、一
対の磁気コア半体ブロックを突き合わせてトラック位置
合わせを行った後に、この状態を密着保持するために巻
線用の溝を配した磁気コア半体ブロックに突き合わせた
方向に荷重を付加し、溶融した非磁性材料で一対の磁気
コア半体ブロックを接合一体化することを特徴としたも
のである。

【００１０】また、本発明は磁気コア半体ブロックの両
方に巻線用の溝を配した磁気コアブロックを加熱溶融し
た非磁性材料で接合一体化してギャップ形成を行う工程
において、一対の磁気コア半体ブロックを突き合わせて
トラック位置合わせを行った後に、この状態を密着保持
するために、磁気コア半体ブロックの磁気記録媒体との
摺動面と、巻線用の溝の上端とのギャップ深さ方向にお
ける距離、すなわち最終形態としての磁気ヘッドのギャ
ップ深さが小さい磁気コア半体ブロックに突き合わせた
方向に荷重を付加し、溶融した非磁性材料で一対の磁気
コア半体ブロックを接合一体化することを特徴としたも
のである。

【００１１】本発明の製造方法により、磁気コア半体ブ
ロックのギャップ形成面同士をトラック位置のズレが生
じないように位置合わせを行いながら突き合わせて磁気
ギャップを形成し、この状態を突合わせするために突合
わせ方向に荷重を加えた後に、ガラス等の非磁性材料を
用いて高温状態で非磁性材料を溶融し、磁気コアブロッ
クを接合一体化する磁気ヘッドのギャップ形成工程にお
いて、ギャップ長不良やギャップ近傍における接合用非
磁性材料のクラックの発生を大幅に低減することが可能
となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、一対の磁気コア半体ブロックを磁気ギャップを介し
て突き合わせてなる磁気ヘッドで、磁気コア半体ブロッ
クの一方に巻線用の溝を配した一対の磁気コア半体ブロ
ックを加熱溶融した非磁性材料で接合一体化してギャッ
プ形成を行う工程において、一対の磁気コア半体ブロッ
クを突き合わせてトラック位置合わせを行った後に、巻
線用の溝を配した磁気コア半体ブロックにこの状態を密
着保持するために突き合わせた方向に荷重を付加し、溶
融した非磁性材料で一対の磁気コア半体ブロックを接合
一体化するものである。

【００１３】本発明の請求項２に記載の発明は、一対の
磁気コア半体ブロックを磁気ギャップを介して突き合わ
せてなる磁気ヘッドで、磁気コア半体ブロックの両方に
巻線用の溝を配した一対の磁気コア半体ブロックを加熱
溶融した非磁性材料で接合一体化してギャップ形成を行
う工程において、一対の磁気コア半体ブロックを突き合
わせてトラック位置合わせを行った後に、磁気コア半体
ブロックの磁気記録媒体との摺動面と、巻線用の溝の上
端とのギャップ深さ方向における距離が小さい磁気コア
半体ブロックにこの状態を密着保持するために突き合わ
せた方向に荷重を付加し、溶融した非磁性材料で一対の
磁気コア半体ブロックを接合一体化するものである。

【００１４】本発明の請求項３に記載の発明は、磁気コ
ア半体ブロックの少なくとも一方の磁気ギャップ形成面
近傍に、金属磁性膜を配した請求項１または請求項２の
いずれかに記載のものである。

【００１５】本発明の請求項４に記載の発明は、磁気コ
ア半体ブロックの少なくとも一方の磁気ギャップ形成面
近傍に、金属磁性膜として少なくともＦｅ、Ｔａを含む
合金を配した請求項１または請求項２のいずれかに記載
のものである。

【００１６】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定され
るものではない。

【００１７】（実施の形態１）図１に本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法によるギャップ形成を行う方法の一例を示
す。押さえ板４を介して巻線用の溝を配した磁気コア半
体ブロック１０Ａを押圧部材３に接するように、二つの
磁気コア半体ブロック１０Ａ、１０Ｂを接着治具１に装
着する。次に磁気コア半体ブロック１０Ａ、１０Ｂのギ
ャップ形成面同士をトラック位置のズレが生じないよう
に位置合わせを行いながら突き合わせて磁気ギャップを
形成し、加圧ネジ５により突合わせ方向に荷重を加え、
トラック位置のズレが生じないように固定する。その
後、溶融した非磁性材料で一対の磁気コア半体ブロック
１０Ａ、１０Ｂを接合一体化し、ギャップ形成された磁
気コアブロック１０を得る。

【００１８】（実施の形態２）図２に本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法によるギャップ形成を行う方法の別の一例
を示す。巻線用の溝２１Ａ，２１Ｂを配した二つの磁気
コア半体ブロック２０Ａ，２０Ｂを接着治具１に装着す
る。この時、磁気コア半体ブロック２０Ａ，２０Ｂの磁
気記録媒体との摺動面と、巻線用の溝２１Ａ，２１Ｂの
上端とのギャップ深さ方向における距離が小さい磁気コ
ア半体ブロック２０Ａが、押さえ板４を介して押圧部材
３に接するように磁気コア半体ブロック２０Ａ、２０Ｂ
を配する。次に磁気コア半体ブロックのギャップ形成面
同士をトラック位置のズレが生じないように位置合わせ
を行いながら突き合わせて磁気ギャップを形成し、加圧
ネジ５により突合わせ方向に荷重を加え、トラック位置
のズレが生じないように固定する。その後、溶融した非
磁性材料で一対の磁気コア半体ブロック２０Ａ、２０Ｂ
を接合一体化し、ギャップ形成された磁気コアブロック
２０を得る。

【００１９】

【実施例】次に、本発明の具体例を説明する。フェライ
トコアブロックに必要な溝加工を行い、磁気ギャップ形
成面近傍にギャップ材（本実施例ではＳｉＯ２）を所定
の厚みでスパッタ法により成膜し、一対の磁気コア半体
ブロックを用意する。

【００２０】（実施例１）図１に示すように接着治具を
用いて、一方の磁気コア半体ブロックにのみ巻線用の溝
を配した磁気コアブロックのギャップ形成面同士をトラ
ックの位置がずれないように位置合わせを行いながら突
き合わせて磁気ギャップを形成し、この状態を密着保持
するために巻線用の溝を配した磁気コア半体ブロックに
突合わせ方向に荷重を加え、一対の磁気コア半体ブロッ
クを固定する。その後、巻線用の溝をはさんで摺動面側
および底面側の突合わせ面を溶融したガラスによって接
合し、０．４μｍのギャップが形成された磁気コアブロ
ックを得る。

【００２１】（実施例２）図２に示すように接着治具を
用いて、両方の磁気コア半体ブロックに巻線用の溝を配
した磁気コアブロックのギャップ形成面同士をトラック
の位置がずれないように位置合わせを行いながら突き合
わせて磁気ギャップを形成し、この状態を密着保持する
ために磁気記録媒体との摺動面と、巻線用の溝の上端と
のギャップ深さ方向における距離が小さい磁気コア半体
ブロックに突合わせ方向に荷重を加え、一対の磁気コア
半体ブロックを固定する。その後、巻線用の溝をはさん
で摺動面側および底面側の突合わせ面を溶融したガラス
によって接合し、０．５μｍのギャップが形成された磁
気コアブロックを得る。

【００２２】（実施例３）次に、本発明の別の具体例を
示す。フェライトコアブロックに必要な溝加工を行い、
磁気ギャップ形成面近傍に金属磁性膜（本実施例ではＦ
ｅ−Ｔａ−Ｎ）、ギャップ材（本実施例ではパイレック
スガラスおよびＣｒ）を所定の厚みでスパッタ法により
成膜し、一対の磁気コア半体ブロックを用意する。

【００２３】磁気ギャップ形成面近傍に金属磁性膜およ
びギャップ材を配した磁気コア半体ブロックを用いた以
外は、（実施例１）と同様にして０．２μｍのギャップ
形成された磁気コアブロックを得た。

【００２４】次に、本発明の比較例を示す。 （比較例１）（実施例１）の磁気コアブロックと接着治
具の配置を逆にし、突合わせ方向に荷重を加える際に、
巻線溝を有していない磁気コア半体ブロックから荷重を
加えるように変更した以外は、（実施例１）と同様にし
てギャップ形成された磁気コアブロックを得た。

【００２５】（比較例２）（実施例２）の磁気コアブロ
ックと接着治具の配置を逆にし、突合わせ方向に荷重を
加える際に、磁気記録媒体との摺動面と、巻線用の溝の
上端とのギャップ深さ方向における距離が大きい磁気コ
ア半体ブロックから荷重を加えるように変更した以外は
（実施例２）と同様にして、ギャップが形成された磁気
コアブロックを得た。

【００２６】（比較例３）（実施例３）の磁気コアブロ
ックと接着治具の配置を逆にし、突合わせ方向に荷重を
加える際に、巻線溝を有していない磁気コア半体ブロッ
クから荷重を加えるように変更した以外は（実施例３）
と同様にして、ギャップが形成された磁気コアブロック
を得た。

【００２７】以上の各実施例および各比較例で得られた
磁気コアブロックについて、ギャップ長不良（目標値の
±１０％を超過するギャップ長）とギャップ近傍におけ
る接合用非磁性材料のクラックの発生率を評価した。ギ
ャップ長の測定方法として、磁気テープ上に信号を記録
し、その再生信号の波長が磁気ヘッドのギャップ長に近
づくにつれて再生信号が急激に低下する現象を用いて測
定した。

【００２８】評価結果を（表１）に各々示す。

【００２９】

【表１】

【００３０】（表１）から明らかなように本発明の磁気
ヘッドの製造方法により、磁気コアブロックを接合一体
化する磁気ヘッドのギャップ形成工程におけるギャップ
長不良や、ギャップ近傍における接合用非磁性材料のク
ラックの発生を大幅に低減することが可能であることが
わかる。

【００３１】これらの欠陥は、磁気コア半体ブロックの
反りが原因のひとつとなっており、特定の場所に設定値
以上に圧力が加わった場合にはギャップ近傍にクラック
が生じ、逆に圧力不足の場合はギャップ長不良が生じ
る。

【００３２】また、磁気ギャップ部を密着保持するため
に突合わせ方向に荷重を加える際に、移動可能な押圧部
材を用いるが、磁気コア半体ブロックを非磁性材料を用
いて接合一体化する度に、接着治具は高温に何回もさら
される。その結果、弾性部材の弾性力劣化や治工具表面
に酸化膜が形成される。治工具表面に形成されたこれら
の酸化膜によって、押圧部材の移動時にひっかかりが生
じることがある。特に加圧ネジを回転することによって
磁気コア半体ブロックの加圧力を制御する場合、加圧ネ
ジおよびネジ孔の酸化、摩耗等によるひっかかりによっ
て、加圧力を安定して制御できなかったり、ネジの回転
時の摩擦による加圧力のバラツキが発生する場合があ
る。また、高温時の治具構成部材および弾性部材の熱膨
張変化、弾性部材の弾性率変化も加圧力のバラツキ発生
原因になっている。これらの加圧力のバラツキが、磁気
ヘッドのギャップ形成工程におけるギャップ長不良やギ
ャップ近傍における接合用非磁性材料のクラックの発生
のもう一つの原因となっている。さらに、押圧部材の移
動時のひっかかりによって、突合わせ方向の応力成分以
外にも、突合わせ方向に垂直な応力成分が磁気コア半体
ブロックに加わることも挙げられる。また、加圧ネジの
回転によっても同様に突合わせ方向に垂直な応力成分が
発生する。これらの突合わせ方向に垂直な応力成分によ
るギャップ突合わせ面のこすり合わせも、ギャップ長不
良やギャップ近傍における接合用非磁性材料のクラック
発生原因となる。

【００３３】しかし、（実施例１）のように一方の磁気
コア半体ブロックにのみ巻線用の溝を配した磁気コアブ
ロックのギャップ形成面同士をトラックの位置がずれな
いように位置合わせを行いながら突き合わせて磁気ギャ
ップを形成し、この状態を密着保持するために巻線用の
溝を配した磁気コア半体ブロックに突合わせ方向に荷重
を加え、一対の磁気コア半体ブロックを固定すると、巻
線溝を有した磁気コア半体ブロックは巻線溝を有してい
ない磁気コア半体ブロックと比較すると、巻線溝を有し
ているために、外部からの応力に対して変形しやすく、
応力や振動を吸収減衰しやすくなる。その結果、押圧部
材から磁気コア半体ブロックに加わるギャップ形成に悪
影響を及ぼす応力は、ギャップ形成面に伝播到達する以
前に、巻線用の溝を有した磁気コア半体ブロックのギャ
ップ形成面近傍において緩和することが可能となり、も
う一方の巻線溝を有していない磁気コア半体ブロックの
ギャップ形成面における応力が安定する。このようにし
て磁気コア半体ブロック同士がなじみ良く、かつ安定し
て密着するので、ギャップ長不良やギャップ近傍におけ
る接合用非磁性材料のクラックを低減することが可能と
なる。逆に、巻線溝を有していない磁気コア半体ブロッ
クに突合わせ方向に荷重を加え、一対の磁気コア半体ブ
ロックを固定すると、巻線溝を有していない磁気コア半
体ブロックは巻線溝を有している磁気コア半体ブロック
と比較すると、外部からの応力に対して変形しにくく、
応力や振動を吸収減衰しにくいので、磁気コア半体ブロ
ックに加わるギャップ形成に悪影響を及ぼす応力を巻線
用の溝を有していない磁気コア半体ブロックのギャップ
形成面近傍において緩和することが困難となり、もう一
方の巻線溝を有している磁気コア半体ブロックのギャッ
プ形成面では不必要な応力も加わることになる。その結
果、ギャップ長不良やギャップ近傍における接合用非磁
性材料のクラックが発生する。

【００３４】（実施例２）のように両方の磁気コア半体
ブロックに巻線用の溝を配した場合でも、磁気記録媒体
との摺動面と、巻線用の溝の上端とのギャップ深さ方向
における距離が小さい磁気コア半体ブロックに突合わせ
方向に荷重を加え、一対の磁気コア半体ブロックを固定
すると、磁気記録媒体との摺動面と、巻線用の溝の上端
とのギャップ深さ方向における距離が小さい磁気コア半
体ブロックのほうが、磁気記録媒体との摺動面と、巻線
用の溝の上端とのギャップ深さ方向における距離が大き
い磁気コア半体ブロックよりも外部からの応力に対して
変形しやすく、ギャップ形成面における応力、振動を吸
収減衰しやすくなる。その結果、（実施例１）と同様の
効果が得られる。

【００３５】また（実施例３）に示すように、磁気ギャ
ップ部に金属磁性膜を配したメタル・イン・ギャップ型
ヘッドについても、同様の効果が得られる。

【００３６】なお、上記実施例では、磁気コア半体ブロ
ックを接合一体化する非磁性材料としてガラスを用いた
が、本発明の加工方法はこれに限定されるものではな
い。

【００３７】なお、上記実施例では、フェライトコアブ
ロックを磁気コア半体ブロックとして用いたフェライト
ヘッドと磁気ギャップ部に金属磁性膜を配したメタル・
イン・ギャップ型ヘッドについて説明したが、本発明の
加工方法はこれに限定されるものではなく、薄膜積層型
ヘッド等についても適用できる。

【００３８】また、ギャップ形成面の突合わせ後に突合
わせ方向に荷重を加える手段として、板バネを利用した
が、本発明の加工方法はこれに限定されるものではな
く、スプリングバネやセラミックス等の弾性体やくさび
を押入する方法も同様に適用できる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気コア
半体ブロックのギャップ形成面同士をトラック位置のズ
レが生じないように位置合わせを行いながら突き合わせ
て磁気ギャップを形成し、この状態を密着保持するため
に突合わせ方向に荷重を加えた後に、ガラス等の非磁性
材料を用いて高温状態で非磁性材料を溶融し、磁気コア
ブロックを接合一体化する磁気ヘッドのギャップ形成工
程において、巻線用の溝を配した磁気コア半体ブロック
あるいは磁気コア半体ブロックの磁気記録媒体との摺動
面と、巻線用の溝の上端とのギャップ深さ方向における
距離が小さい磁気コア半体ブロックに突き合わせた方向
に荷重を付加し、溶融した非磁性材料で一対の磁気コア
半体ブロックを接合一体化することによって、ギャップ
長不良やギャップ近傍における接合用非磁性材料のクラ
ックの発生を大幅に低減することが可能となり、その実
用上の価値は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの製
造方法を示す模式図

【図２】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの製
造方法を示す模式図

【符号の説明】

１ 接着治具 ３ 押圧部材 ４ 押さえ板 １０、２０ 磁気コアブロック １０Ａ、１０Ｂ 磁気コア半体ブロック ２０Ａ、２０Ｂ 磁気コア半体ブロック

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金井 美紀江 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 末永 辰敏 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一対の磁気コア半体ブロックを磁気ギャッ
   プを介して突き合わせてなる磁気ヘッドで、磁気コア半
   体ブロックの一方に巻線用の溝を配した一対の磁気コア
   半体ブロックを加熱溶融した非磁性材料で接合一体化し
   てギャップ形成を行う工程において、一対の磁気コア半
   体ブロックを突き合わせてトラック位置合わせを行った
   後に、巻線用の溝を配した磁気コア半体ブロックにこの
   状態を密着保持するために突き合わせた方向に荷重を付
   加し、溶融した非磁性材料で一対の磁気コア半体ブロッ
   クを接合一体化することを特徴とする磁気ヘッドの製造
   方法。
2. 【請求項２】一対の磁気コア半体ブロックを磁気ギャッ
   プを介して突き合わせてなる磁気ヘッドで、磁気コア半
   体ブロックの両方に巻線用の溝を配した一対の磁気コア
   半体ブロックを加熱溶融した非磁性材料で接合一体化し
   てギャップ形成を行う工程において、一対の磁気コア半
   体ブロックを突き合わせてトラック位置合わせを行った
   後に、磁気コア半体ブロックの磁気記録媒体との摺動面
   と、巻線用の溝の上端とのギャップ深さ方向における距
   離が小さい磁気コア半体ブロックにこの状態を密着保持
   するために突き合わせた方向に荷重を付加し、溶融した
   非磁性材料で一対の磁気コア半体ブロックを接合一体化
   することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】磁気コア半体ブロックの少なくとも一方の
   磁気ギャップ形成面近傍に、金属磁性膜を配したことを
   特徴とする、請求項１または請求項２のいずれかに記載
   の磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】磁気コア半体ブロックの少なくとも一方の
   磁気ギャップ形成面近傍に、金属磁性膜として少なくと
   もＦｅ、Ｔａを含む合金を配したことを特徴とする、請
   求項１または請求項２のいずれかに記載の磁気ヘッドの
   製造方法。