JPS58164603A - 自己増感型感光性樹脂の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、自己増感型感光性樹脂の製造法に関する。更
に評しく紘、感光性基および増感剤単位をそれぞれ側鎖
に有する共重合体よシなる自己増感型感光性樹脂ＯＩｌ
造法Ｋ１１する。

けい皮酸エステル基よシなる感光性基および酸アミド基
によって結合され喪増感剤単位をそれぞれ側御に有する
共重合体よシなる自己増感蓋感光性樹脂が、先に本発明
者によって提案されている（特１ｌ１８５５−’ＬＲ舅
６２３号参照）０本発明の一つの目的は、かかる自己増
感型感光性樹脂の製造法を提供することにある。本発明
の他の目的は、けい皮酸エステル基以外の感光性基を側
鎖に有する自己増感型感光性樹脂の製造法を提供するこ
とにある０本発明の更に他の目的は、酸ア建ド基によっ
て結合された増感剤単位以外の増感剤単位を側鎖に有す
る自己増感型感光性樹脂Ｏ製造法を提供することにある
。

本発明に係る自己増感型感光性樹脂の製造法は、側鎖に
ハロゲノアルキル基および増感剤単位をそれぞれ有する
共重合体に１前記ハロゲノアルキル基と反応し得る感光
性基含有化合物を反応させることからなっている。

１Ｉｌｌ鎖に八日ゲノアルキＪ？：、、基および増感剤
単位をそれぞれ有する共重合体−、、：７ハロゲノアル
キル基含有単量体と増感剤単位古墳単量体との共重合、
また社ハロゲノアルキル基含有単量体の単独重合体また
は共１合体でわる側鎖にハロゲノアルキル基を有する重
合体に１このハロゲノアルキル基と反応し得る増感剤単
位含有化合物を反応させることによって得ることができ
る。

ハロゲノアルキル基含有単量体としては１例えハクロル
メチルスチレン、２−り四ルエチルビニルエーテル、２
−クロルエチルアクリレートｔ２−クロルエチルメタク
リレート、クロル酢酸ビニル、エピクロルヒドリン、ビ
スクロルメチルオキセタンなどが挙けられる。これらの
７１０ゲノアルキル基含有単量体と共重合される増感剤
単位含有単筒体としては、例えばＮ−（ｐ−二トロフェ
ニル）アクリルアｉＹ、Ｎ−（ｐ−ニトロフェニル）メ
タクリルアミド、Ｎ−（４−ニトロ−１−ナフチル）ア
クリルアミド、Ｎ−（４−ニトロ−１−ナフチル）メタ
クリルアミド、ニーアクリロイルオキシ−Ｎ−１’（ｐ
−二トロフェニル）アセトアミ□ ド、１−メタ′□り、リロイルオキシーＮ−（ｐ−ニト
ロフェニル）アセトアンド、ｌ−アクリロイルオキシ−
Ｈ−（４−二トａ−１−す７チル）アセトアミド、１−
メタクリロイルオキシ−）ｉ−（４−二トロー１−ナフ
チル）アセトアンド、ベンゾイン−クロルアセチルクロ
ライド縮合物とアクリル酸ま九はメタクリル酸のアルカ
リ金属塩との縮合反応生成物などが挙げられる。これら
の単量体間の共重合反応は、ジメチルホルムアミド、ヘ
キサメチルホスホルアミドなどの非プロトン性極性溶媒
中で一般に行われるが、共重合反応が行われる限シ、こ
の溶媒に何ら限定されるものではない。

側鎖にハロゲノアルキル基を有する重合体が用いられる
場合には、前記のハロゲノアルキル基含有単量体の、単
独重合体、これらの相互共重合体あるいはこれらとハロ
ゲノアルキル基を有しない各種単量体との共重合体に１
これらの重合体中のハロゲノアルキル基と反応し得る増
感剤単位含有化合物を反応せしめる。かかる増感剤単位
含有化合物トシては、ｐ−二トロフェノール、へ４−ジ
ニトロフェノール、４−ニトロ−ニーナフトール、電番
−ジニトローニーナフトール、ｐ−二）ａ安息香酸、２
−（２−カルボエトキシ）アントラキノン、１−カルボ
キシ一番−二トロナフタリン、。

となシ得る化合物のアルカリ金属塩、アンモニウム塩１
あるいはビクラ建ド、メチルニオオンなどが用いられる
８反応は、テトラ（ｎ−ブチル）アンモニウムブロマイ
ドなどの第４アンモニウム塩くｋ など触媒の存在下にジメチルホルムアミド、ヘキサメチ
ルホスホルアミドなどＯ非プロトン性極性溶媒中で一般
に行われるが、縮合反応が行われる限り、この触媒の有
無、使用量および溶媒Ｏｓ類、使用量に何ら限定されな
い。

このようＫして得られる側鎖にノ・ａゲノアルキル基お
よび増感剤単位をそれぞれ有する共重合体に、この共重
合体中のノーログノアルキル基と反応し得る感光性基含
有化合物を反応させることにより、、自己増感製感光性
樹脂ＯＩＩ造が行われる。率光性基含有化合物としては
、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ソルビン酸
、けい皮酸、ｐ−（２−ベンゾイルビニル）安息香ｆａ
ｔ、ｐ−（ｇ−ペンゾイルビニル）ケい皮酸、！−スチ
リルアクリル酸、ａ−シアノ−！−スチリルアクリル酸
、シンナミリデンピルビン酸、α−シアノ−シンナミリ
デンピルビン酸などの分子内に光反応性の不飽和結合を
有するカルボン酸のアルカリ金属塩やアンモニウム塩、
更にはナトリウムアジド、カリウムアジドなどの金属ア
ジドなどが用いられ、共重合体中のハロゲノアルキル基
のハロゲン原子とこれらが縮合反応を行なう。縮合反応
は、テトラ（ｎ−ブチル）アンモニウムブロマイドなど
の第４アンモニウム塩または第３アミンなどの触媒の存
在下に、ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホル
アミドなどの非プロトン性極性溶媒、トルエンなどの不
活性溶媒中などで一般に行われるが、縮合反応が行われ
る隈ル、これらの触媒および溶媒に何ら限定されない０
．。

側鎖にハロゲノアルキル基およ１び増感剤単位鵞それぞ
れ有する共重合体が、側鎖５にハロゲノアルキル基を有
する重合体とこのへ町、ゲノアルキル基と反応し得る増
感剤単位含有化合物との反応によって得られる場合には
、この反応に引続き、同一反応系内て感光性基含有化合
物上の反応を行なうこともできる。

得られる自己増感蓋感光性樹脂中には、増感剤単位が約
２−５０モル％、また感光性基が約５０モル％以上の割
合で存在することが好ましい、そして、増感剤単位と感
光性単位との相対的な割合は、増感剤単位が約３〜フＯ
モル％、好ましくは約６〜８０モル％、１１九感光性基
が約９８〜５０モル％、好ましくは約９５〜８０モル％
の割合であることが望ましい、そして、一般にこのよう
な割合で分子内側鎖に増感剤単位および感光性基を有す
る感光性樹脂は、増感剤単位から感光性基への効果的な
エネルギー転移が起ｐ、そＯ結果として感光性基のみを
有する共重合体に低分子量の増感剤を添加した感光性樹
脂とｆ１５１ｉ度かあるいはそれよシも良好な光硬化性
を示している。従って、本発明に係るシ己増、感蓋感党
性樹脂は、かかる喪好な光硬化性を示し、５つつ、愈お
作業工程および１（・・き 露光工１１におけるＭＬ性の維持および作業穣境の悪化
の防止などといった面でも、低分子量増感剤を使用した
場合にみもれる欠点を除去するという効果を奏する。

次に％ｌ！施例雄側いて本発明を説明する。

参考例１ クロルメチルスチレン４ＳＬ４９ＩＩ（α３１８６１！
モル）と１−メタクリロイルオキシ−Ｎ−（４−二トロ
ー１−ナフチル）アセトアミド＆９６１１（α０１２６
モル）とをジメチルホルムアミド６０ＢｇＫ溶解し、こ
れに重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルα４
’Ｆ７ｊｌ（０００２９モル）をｖｎえて、窒素気流中
で６０℃で６時間、その後８０℃で１時間共重合反応さ
せ良、得られ要具重合体溶液をメタノール中に注いで共
重合体を沈澱させ、１！にテトラヒト寵フランーメタノ
ールで３回再沈澱させ、精製した。

得られた共重合体は２ａ７４ｊ（収率６α０３％）で、
これの粘度すｓｐ／ｃ（０５Ｉ／ｄｊジメチルホルムア
ミド、８０℃）はα１０で、ハロゲン分析値から求め良
共重合体中の増感剤単位の共重合割合はａ８モル％たつ
良。

参考例２ 参考例１において、クロルメチルスチレン４ＳＬ０５１
ｊＦ（ａｌｌ’Ｆ６１１−ｔ−ル）、ｌ−メタクリロイ
ルオキシ−Ｎ−（４−ニトロ−１−ナフチル）アセトア
ミド＆５５１１ｊ（００１４６モル）、アゾビスインブ
チ−ニトリルα４〒６＃（α０ｏ２９毫ル）を用いて、
共重合反応を行なった。

得られた共重合体は８α１ユｉ（収率４＆１６％）で、
これの粘度ηｓ　ｐ／ｃはα１３であり、共重合体中の
増感剤単位の共重合割合はａ９七〜％だつ九− 参考例３ 参考例Ｉにおいて、ｌ−メタクリロイルオキシ−Ｎ−（
４−二）　ａ　−１−ナフチル）アセトアミドの代りに
１−メタクリロイルオキシ−Ｎ−（ｐ−二トロフェニル
）アセトアミド！４９６３９（α０１５０モル）を用い
、アゾビスイソブチロニトリルを０４９３１Ｆ（αＯ（
１モル）使用し１　　　。

て、共重合反応を行なり九。

得られ良共重合体は３αＱ８１ｉ（収率６ａ２９％）で
、これの粘度ηａｐ／ｃはα１８であシ、共重合体中の
増感剤単位の共重合割合はａ６モル％だった。

参考側番 りｐルメチルステレンｌ　２０　ＩＩヲペンゼン１６０
−に溶かし、これにアゾビ□゛スイソプチロニトリル１
１ｊを加え、窒素気流中’＋　６０℃で８時間重合反応
させ友、得られ九重合ニー溶液にメタノールを加えて重
合体を沈澱させ、鍵に７セトンーメタノールで３回再沈
澱させ、精製した。得られ喪ポリ（クロルメチルスチレ
ン）は１ＯＱ６ｊｌ（収率９１ｓ％）で、これの粘度η
８　ｐ／ｃはαｌδだった。

実施例１ 参考例１で得られた共重合体ａ８１５＃（クロルメチル
基として００２２１モル）をＮ−メチルピロリドンａｏ
ｖＫ溶かし、これにテトラ（ｎ−ブチル）アンモニウム
ブロマイドα６６６１（α００２２モル）およびけい皮
酸カリクム也６鵠Ｉ（αＯＱδモル）を加えて、６０℃
でｇｏ０時間反応せた０反応終了後、反応液を水中に注
いで二　反応生成物を沈澱させ、これをアセトン−水で
２回、ア竜トン−メタノールで１回再沈澱させ、精製し
喪。

形成された共重合体は本９１ｇ（収率テａ３％）で、こ
れの粘度ηｓｐ／ｃはαｌＯで′＃Ｉヤ、ハロゲン分析
値から求め′たり四ルメチル基の反応率は９９９％以上
であつ１゜ この共重合−’１１を１０−のシクロヘキサノン電・。

に溶かし、その＊＊をスピンナーを用いて鋤板上に塗布
し、乾燥させ＊、＊、コダック社製ステップタブレット
扁２を用いて、ケンカルランプ（１５Ｗｘ’Ｆ本）で３
５１の距離から１分間露光し、メチルエチルケトンで２
分間現儂し良。

実施例２〜３ 参考例２〜３で得られた共重合体について、実施例１と
同様のけい皮酸カリウムとの反応およびステップ不溶化
段数の測定を行なった。

比較例１ 参考側番で得られ九ポリ（クロルメチルスチレン）につ
いて、実施例１と同様にけい皮酸カリウムとの反応およ
びステップ不溶化段数の測定を行なり九。

実施例１−３および比較例１で得られ九結果は１次Ｏ表
ＩＫ示される。

表　　１ 実施例１　　　　’Ｆａ３　　　９１９　　０１０　　
　３１段＃　２　８Ｑ！５　　ｚ　　α０９１ ＃３８Ｑｌ　　＃　　α１３　１ 比瞭例１　　　８４３　　　１　　　　　＃　　　　　
Ｏ段夷論例番 参考例１で得られ良共重合体１７３８ＩＩ（α０１モル
）とナトリウムアジドα７８０ｊ（α０１ｇモル）をジ
メチルホルムア建ドに溶かし、これにテトラ（ｎ−ブチ
ル）アンモニウムブロマイドα３２２ｇ（α００１モル
）′に加え、３０℃で２４時間反応させえ０反応終了後
、反応液をメタノール中に注いで反応生成物を沈澱させ
、更にテトラヒドロフラン−水で２回、テトラヒドロフ
ラン−メタノールで１ＦｊＡ再沈鹸を行なつ九。

形成され要具電金体は１４５１２３１（収率９０％）、
　　で、これの粘度ηａ　ｐ　／ｃはα１３であシ、ハ
ロゲン分析値から求めたクロルメチル基の反応率は９９
９％以上てらったー、・ この共重合体について、実施例１と同様のステップ不溶
化段数の測定を行なつ九、九だし、露光時間は１６分間
に延長されえ。

実施例す 参考例３で得られえ共重合体について、実施飼養と同様
のナトリウムアジドとの反応およびステツブ不溶化段数
の測定を行なり良。

比較例２ 参考側番で得られたポリ（りｎルメチルスチレン）につ
いて、実施側番と同様のナトリウムアジドとの反応およ
びステップ不溶化段数の測定を行なつ良。

ｌＩ！施例雄側５および比較例２で得られた結果は、次
の表２に示される。

表　　２ 実施例４９α０　　　５）Ｑ９　　　　α１３　　１２
段ｌ　　δ　　　Ｇ＆’Ｆ　　　　　　　Ｉ　　　　　
　　　Ｑｌδ　　　　　　　フ段比較例２　９αｌ　　
　　　＃　　　　　　−１段参考例６ ペ／ゾイン２Ｌ２２６Ｊｌ（αＩｏモル）とピリジン８
−とをベンゼン１２０　ｓｄ、、−溶解し、これにクロ
ルアセチルクロライド８ｍ／（″０１０モル強）を１０
℃以下の温度で滴下し、次式で示される如く反応させる
。

０−ＣＣＨ農ｃｚ （１） その後室温で攪拌し、希嶽酸水素ナトリウム水溶液で１
回、また水で５回洗浄し、無水硫酸マグネシウムで乾燥
し良後、油状物をシクロヘキサノ゛ンで再結晶すると、
一点６１０〜６１６℃の結晶〔１〕がｌＱ９９１１（収
率６Ｑ５％）得られた。

この結晶（１）ＩＬｊＳ４９ｊｌ（ＣＬＯ４％ル）、メ
タクリル酸カリウムａ２０９ｊ（α０δモル）、テトラ
（ｎ−ブチル）アンモニウムブロマイドＬ　＄！８９ｊ
　（０００４モル）および重合禁止剤としての第３ブチ
ルカテコールの少量を、ユ００−のジメチルホルムアミ
、ド中、室温でｇ４時間、次式に示される如く反応、さ
せ、反応生成物１２，９４０ＩＩ（収率９に６１％′）
、、を得え。

以下余白 ＣＨ。

〔璽〕

これをメタノールで再結晶して精製すると、融点９λ０
〜９＋ｉＬ５℃の結晶が得られ、その構造線赤外線吸収
スペクトル、ＮＭＲスペクトルおよび元素分析によって
確認された。

この結晶（１）＆３＄１ｌｊ（ＱＯＯ６９ＪＥル）とク
ロルメチルスチレンＩＱ８９１Ｎ（０１３０３モル）と
をジメチルホルムアミド４０−に溶解し、以下参考例１
と同様に共重合反応させると、共重合体ｌＬａ９ｓｙ（
収率５２−）％）が得られ、これの粘度ηｓｐ／ｃはα
１５で、ハロゲン分析値から求めた共重合体中の増感剤
単位〔璽〕の共１合割合はａｏモル％であり九。

実施例６ 参考例６で得られ要具重合体：’、、　８　ａ　６　ｊ
　（００１モル）とｐ−（ｇ−ベンゾイルビニル）安息
香酸カリウム＆９０４ｊ（００１モル）とをジメチルホ
ルムアミド２０ｓｇＫ溶解し、テトラ（ｎ−ブチル〕ア
ンモニウムブ四マイトα３２２９（α００１モル）の存
在下に、室温で２４時間反応させた０反応終了後、反応
液をメタノール中に注いで反応生成物を沈澱させ、テト
ラヒドロフラン−水で２回、テトラヒドロフラン−メタ
ノールで１回再沈鹸を行なった。

形成された共重合体は、反応率が９礒９％、収量が＆フ
４３９（収率）＆Ｓ％）で、それの粘度ηａｐ／ｃはα
１８であつ九。

この共重合体一ついて、癩雄側１と同様のステップ不溶
化段数ｑ）１１定を行なった。ただし、露光時間は種々
変更して行われた。

実施例ツ 実施例６において、ｐ　（”−ベンゾイルビニル）安息
香酸の代〕にｐ−（８−ベンゾイルビニル）けい皮酸カ
リウムが用いられ、同様の反応が行われ良。形成された
共重合体紘、反応率が９９１９％、収量がａ０９ＱＩＩ
（収率７ａ４％）テ、それの粘度ηａｐ／ｅはαｌ”Ｆ
であった。

この共１合体について、実施例１と同様のステップ不溶
化段数の測定を行なつ九、ただし、露光時間は種々変更
して行われ良。

比較例３〜４ ｐ−（２−ベンゾイルビニル）安息香酸ま良はｐ−（２
−ベンゾイルビニル）けい皮酸を重合して得られ友それ
らの単独重合体（反応率９８９％）について、それぞれ
実施例１と同様のステップ不溶化段数の測定が行われた
。

実施例６〜７および比駿例３〜４で得られ良結果は、次
ｏｘＢｓｙｃ示される。

表　　３ 例　　　　　露光時間　　　ステップ不溶化段数実施例
６　　　　３０秒間　　　　　　　６ＲＩ　　　　　　
１分間　　　　　　　　９段ｌ　　　　　　ｇ分間　　
、１１１ＩＲ夾施例７　　　１０秒間　　　　　　１４
段・・・−・ｌ、 ｌ　　　　　　３０秒間　　　　　　　１９Ｒ１１分間
　　　　　　　２１Ｒ 比較例３　　　　　ｙ　　　　　　　　　　６段比較例
４　　　　　＃　　　　　　　　　１６段実施例８ 参考例４で得られ九ポリ（クロルメチルスチレン）Ｌ５
ｊａ６ｊ（００１モル）ヲシメチルホルムアミドｇｏＷ
ＩＩＫ溶かし、仁れにテトラ（ｎ−ブチル）アンモニウ
ムブロマイドα３１３ｊ（０００１モル）およびｐ−ニ
トロフェノールのカリウム塩αｏｓｓ’（α０００５モ
ル）を順次加え、室温で２４時間反応させ良、この後、
けい皮酸カリウム１８６２ｇ（００１モル）を加えて、
更に室温で２４時間反応させた０反応終了後、反応混合
物４ｒ３００ｇｔｏ水中に注いで反応生成物を沈澱させ
、その後ア女トンー水て８回、アセトン−メタノールで
１回再沈澱させ良。

形成され良共重合体は１２５１７ｇ（収率４６５％）で
、その粘度ηｇｐ／ｃはα４４であつ九ｅＮＭＲスペク
トルおよ、び元素分析の結果、この共重合体中に゛は感
光性−９Ｂモル％および増感剤単位６モル％という仕Ｊ
、、十通〕Ｏ割合で各共単量体成分が１１□ 形成されていることが確認され良。

この共重合体について、実施例ユと同様のステツブ不溶
化段数の測定が行われ友。ただし、露光時間は３分間に
延長され良。

実施例９ 実施例８において、ｐ−ラトロフェノールのカリウム塩
をα５３＄ａｇ（α００３モル）、けい皮酸カリウムを
１３９６４Ｆ（αＱＯ’７５モル）Ｋその使用量を変更
して、同様の反応を行なう喪、形成された共重合体はＬ
フ８１１Ｉ（収率６ａ１％）で、その粘度ηｓｐ／ｃは
α３ユであり、その中に３０モル％の増感剤単位が存在
することが確認され友。

この共重合体について、実施例８と同様のステップ不溶
化段数の測定が行われ良。

実施例１０ 実施例８において、ｐ−ニトロフェノールのカリウム＃
Ａをαａｓａｊｌ（αｏｏａモル）、けい皮酸カリウム
をＬＯ２４ｊ　（ＱＯＯＩＳＢ％ル）Ｋｆｉ用量を変更
して、同様の反応を行なった。形成され要具重合体１ｉ
Ｌ９４９ＪＦ（収率１ｂ％）で、その粘度ηａｐ／ｃは
α２５であった。

とΦ共重合体について、実施例８と同様のステツプ不溶
化段数Ｏ１ｌ定が行われた。

実施例８〜１ｏで得られ九結果拡、次の表４に示される
。なお、比較例５として、ポリ（クロルメチルスチレン
）Ｋけい皮酸カリウムを反応させて得られたけい皮酸エ
ステルの単独重合体（反応率９９９％）についての露光
時間Ｓ分間のＩＩＩ定結果を併記し九。

表　　４ 実施例８　　　　　　　９Ｒ Ｉ　　９　　　　　　　　　　　　　Ｉｚ　　１０　　
　　　　　　１ｉ１ｊｊ比験例Ｓ　　　　　　　　０段 実施例１１ 実施例８において、ｐ−ニトロフェノールのカリウム塩
の代シＫｐ−ニトロ安息香酸カリウムα２０δＩＣα０
０１峰ル）を用い、ｔたけい皮酸カリウムをＬフロ８１
（０００９５モル）用いて、同様に反応させた。形成さ
れた共重合体は：ｔａｊａ５＋（収率６Ｌ’Ｆ％）で、
その粘度ｖ）ｍｐ／ｃはα３１であシ、その中［１０モ
ル％の増感剤単位が存在することがｉＩＮされ友。

この共重合体について、実施例８と同様のステップ不溶
化段数を測定すると、２段だつ九。

実施例１８ 夷ｊ［ＩＩ　において、ｐ−ニトロフェノールのカリウ
ム塩の代りに２−カルボへジペンゾフェノンのカリウム
塩α２２６ｊｌ（α００１モル）が、またけい皮酸カリ
ウムの代ＤＫクロトン酸カリウムＬ１８０ｊ（α００９
５　　モル）がそれぞれ用いられ良。形成され喪共重合
体はＬ８９４ｊｌ（収率８Ｑ１！％）で、その粘度ｑａ
ｐ／ｃはα１６であり、その中に１０モル％の増感剤単
位が存在することが確認されえ。

この共重合体について、実施例１と同様のステップ不溶
化段数を測定すると、１段たつ良。

比較例６　　　　　　　　　、′：ぽ。

参考例４て得られ九ポリ（クロルメチルスチレン）１６
２６ｊ（α０１モル）とクロトン酸カリウムＬ３０３ｊ
（α０１０６モル）とを、実施例１２と同様に反応させ
え、形成され良共重合体について、実施例１と同様のス
テップ不溶化段数を測定すると、０段だつ九。

実施例１３ 実施例８において、ｐ−二トロフェノールのカリウム塩
の代如Ｋ）チルエオミン０６８４１（０００１モル）を
、壕喪けい皮酸カリウムの代シＫａ−シアノー！−スチ
リルアクリル酸カリウム＆ｊｉ５４＃（０００９１５４
ル）がそれぞれ用いられた。形成され良共重合体はＬ３
２２１（収率６４−３％）で、その粘度ηａｐ／ｃはα
ｌフであシ、その中に１０モル％の増感剤単位が含有さ
れていることが確認され友。

同様に、ポリ（クロルメチルスチレン）とα−アミノ−
β−スチリルアクリル酸カリウムとの反：・：：。

応生ノブを合成しく反応率９ａ９％）、その感度および
光反応性を一：◆しえ。

ステップタブレットを用い九感度では、両者間に差は認
められなかり九が、フィルターを用いて４００ｗ以下の
蜘液長をカットし良状態で、１α−シアノーβ−スチリ
ルアクリル酸エステル基に基く紫外線吸収スペクトルの
吸収の減少を測定し九結果、後者で紘紫外線照射１０分
後スペクトルの減少は認められないのに対し、前者では
スペクトルの着しい減少が認められ、メチルエオシン基
からα−シアノ−Ｉ−スチリルアクリル酸エステル基へ
のエネルギー移動が起シ、分子増感されていることが確
認され良。

代理人 弁理士吉田倹夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 り側鎖にハロゲノアルキル基および増感剤単位をそれぞ
   れ有する共重合体に１前記ハロゲノアルキル基と反応し
   得る感光性基含有化合物を反応させることを特徴とする
   自己増感型感光性樹脂ＯＩＩ造法。 λ側鎖にハロゲノアルキル基および増感剤単位をそれぞ
   れ有する共重合体として、ハロゲノアルキル基含有単量
   体と増感剤単位含有単量体との共重合体が用いられる特
   許請求の範囲第１項記載の自己増感型感光性樹脂の製造
   法。 ＆側鎖にハロゲノアルキル基および増感剤単位をそれぞ
   れ有する共重合体として、側鎖にハロゲノアルキル基を
   有する重合体と誼ハロゲノアルキル基と反応し得る増感
   剤単位含有化合物との反応生成物が用いられる特許請求
   の範ｌｔＩ篇１項記載の自己増感型感光性樹脂の製造法
   。 本側鎖にハロゲノアルキル基を有する共電１合体として
   クロルメチルスチレンの共重合体が用いられる特許請求
   の範囲第１項、ｇ　”項ま喪は第３項記載の自己増感型
   感光性樹脂の製造法。 Δハロゲノアルキル基と反応し得る感光性基含有化合物
   として、分子内に党反応性の不飽和結合を有するカルボ
   ン酸塩が用いられる特許請求の範囲第１項記載の自己増
   感型感光性樹脂の製造法。 ｄハロゲノアルキル基と反応し得る感光□性基含有化合
   物として、金属アジドが用いられる特許請求の範！１篇
   １項記載の自己増感型感光性樹脂の製造法。