JPS5826408A - 透明導電膜の製造方法 - Google Patents
透明導電膜の製造方法Info
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- JPS5826408A JPS5826408A JP12642581A JP12642581A JPS5826408A JP S5826408 A JPS5826408 A JP S5826408A JP 12642581 A JP12642581 A JP 12642581A JP 12642581 A JP12642581 A JP 12642581A JP S5826408 A JPS5826408 A JP S5826408A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ぼ透明電導膜の装造方法ｖｃ ｉａする・従来か
ら種々の方法が酸化錫（不純物入りも含む）の透明４′
屯硬作製のために用いらｎている。
ら種々の方法が酸化錫（不純物入りも含む）の透明４′
屯硬作製のために用いらｎている。
酸化錫を付層ざゼる基板［は王にガラスが使用さ１’し
ているが、ソーダ石灰ガラスの様なアル刀り金属酸化物
（Ｉｌ−含有するガラスを基鈑に用いた場合は石英の様
なアルカリ金属酸化物を含有しなＡガラスの場合に比べ
て作成さｎた酸化錫電導膜の抵抗が大きくなっている。
ているが、ソーダ石灰ガラスの様なアル刀り金属酸化物
（Ｉｌ−含有するガラスを基鈑に用いた場合は石英の様
なアルカリ金属酸化物を含有しなＡガラスの場合に比べ
て作成さｎた酸化錫電導膜の抵抗が大きくなっている。
この原因はガラスから酸化錫膜へのアルカリイオンの拡
散のためＶＣ電導度が低下することｖｃある。
散のためＶＣ電導度が低下することｖｃある。
本発明ぼ上述の点ＶＣ鑑みてなき几たものであって、ソ
ーダ石灰ガラスの様なアルカリ金属酸化物を含有するガ
ラスでも石英ガラスと同程耽の低抵抗な酸化錫薄膜を作
ｔＪできる方法Ｃ′こ係り、以下説明する。
ーダ石灰ガラスの様なアルカリ金属酸化物を含有するガ
ラスでも石英ガラスと同程耽の低抵抗な酸化錫薄膜を作
ｔＪできる方法Ｃ′こ係り、以下説明する。
筐ずソーダ石灰ガラスの様；ケアルカリ金属酸化物を含
むガラス基板上にアルカリイオン阻止層が設けら几る◇
この１訂止１曽としては５［ＪＯＡ〜２００Ｕへの厚さ
の酸化シリカ膜や窒化シリコン膜が好適である。斯る酸
化シリカ膜の形成方法自体は周知であり１例えば、シラ
ン（ＳｉＨ４） ガスと酸素ガスと金０．１〜３Ｔｏｒ
ｒの圧力で反応答器日に満すと共に該反応容器内に上記
基板會２００“Ｃ程度１ｃ７１Ｄ熱配置した状態で上記
反応容器内の混合ガスＶＣ１３，５６Ｍ’ＨＺ、 ２
Ｋ Ｖでのプラズマ放”ｉＩｉ、ｆｃ生起することによ
り行なわ几る。ｆの他真空蒸着法や酸化シリコン溶解液
内に基板をディップする方法等１（よっても酸化シリカ
膜♀形成しイ４Ｊる・又窒化シリコン膜につ−ても同様
にプラズマ放電やｃｖｎ法により被）Ｉ！ｆシ得る。そ
して目的とする透明専′成膜１例えＰ；ｒ酸化錫膜が上
記！Ｊ ＩＪ、−増土に通常の方法により形成ざｎ、る
・ 図ぼ上記阻止層によるアルカリイオンの阻止効果金示す
もので、同一のガラス片板ＶＣ１１化シリカ膜ゲ２０Ｌ
ｌ ｔ］Ａ被看したもの（ｌンＩ中ｌ（に相当）と全く
被着しないもの（図中Ｂ ＶＣ相当）とを準備し。
むガラス基板上にアルカリイオン阻止層が設けら几る◇
この１訂止１曽としては５［ＪＯＡ〜２００Ｕへの厚さ
の酸化シリカ膜や窒化シリコン膜が好適である。斯る酸
化シリカ膜の形成方法自体は周知であり１例えば、シラ
ン（ＳｉＨ４） ガスと酸素ガスと金０．１〜３Ｔｏｒ
ｒの圧力で反応答器日に満すと共に該反応容器内に上記
基板會２００“Ｃ程度１ｃ７１Ｄ熱配置した状態で上記
反応容器内の混合ガスＶＣ１３，５６Ｍ’ＨＺ、 ２
Ｋ Ｖでのプラズマ放”ｉＩｉ、ｆｃ生起することによ
り行なわ几る。ｆの他真空蒸着法や酸化シリコン溶解液
内に基板をディップする方法等１（よっても酸化シリカ
膜♀形成しイ４Ｊる・又窒化シリコン膜につ−ても同様
にプラズマ放電やｃｖｎ法により被）Ｉ！ｆシ得る。そ
して目的とする透明専′成膜１例えＰ；ｒ酸化錫膜が上
記！Ｊ ＩＪ、−増土に通常の方法により形成ざｎ、る
・ 図ぼ上記阻止層によるアルカリイオンの阻止効果金示す
もので、同一のガラス片板ＶＣ１１化シリカ膜ゲ２０Ｌ
ｌ ｔ］Ａ被看したもの（ｌンＩ中ｌ（に相当）と全く
被着しないもの（図中Ｂ ＶＣ相当）とを準備し。
こｎ、ら全強酸液中に浸漬して各基板乃・らｌ（ｋ中に
ｂＩｆ。
ｂＩｆ。
ｎ、出るアルカリ劉−の時間変化をｌｉ！（べたもので
ある。
ある。
実施例としてエリ具体的な例全説明する。ノーダ石灰ガ
ラス基板上ＶＣ１０ｎＯＡの酸化シリカ＋＋ａを設け、
断る基板全豹５０１〕“ＣＩｃ ７ＪＩ＋熱した状態で
上記酸化シリカ膜Ｉ Ｖこ、ＲｎＣｇ’ ・５１１２０
１１Ｊ ｏ Ｑ、Ｈ２Ｏ５ＱＣＣ１■（り１１ｎｃｃ、
不純物Ｓ ｂ Ｏｌ ３５ ｙを混合した液金スプレィ
して酸化錫膜全作成したところ、面積抵抗５ｏΩ乙−５
０１”Ｉｎｎでの元透過率８５チの特性をもった透明電
導膜が得ら几た。
ラス基板上ＶＣ１０ｎＯＡの酸化シリカ＋＋ａを設け、
断る基板全豹５０１〕“ＣＩｃ ７ＪＩ＋熱した状態で
上記酸化シリカ膜Ｉ Ｖこ、ＲｎＣｇ’ ・５１１２０
１１Ｊ ｏ Ｑ、Ｈ２Ｏ５ＱＣＣ１■（り１１ｎｃｃ、
不純物Ｓ ｂ Ｏｌ ３５ ｙを混合した液金スプレィ
して酸化錫膜全作成したところ、面積抵抗５ｏΩ乙−５
０１”Ｉｎｎでの元透過率８５チの特性をもった透明電
導膜が得ら几た。
尚比較のために、酸化シリカ膜の形成を除層て上記と同
一条件で作成した透明電導膜の面積抵抗は１１１０Ω／
口１元透過率は８５チであった。
一条件で作成した透明電導膜の面積抵抗は１１１０Ω／
口１元透過率は８５チであった。
力）〈シて本発明に、！：几は、ソーダ石灰ガラスの様
な安価な基板？用いても低抵抗の透明電導膜を作ること
ができる。
な安価な基板？用いても低抵抗の透明電導膜を作ること
ができる。
図は本発明全説明するためのアルカリ析出量特性図であ
る。
る。
Claims (1)
- （１）アルカリ金属酸化物金會むガラス基板上にアルカ
リイオン阻止層を設けた後、該阻止層上に透明導電膜を
設けること全特徴とする透明導電膜の製造方法。 １２）特許Ｈｉｔ求の範囲第１項ＶＣおいて、上記阻止
＃ＩＩニ酸化シリカ膜又は窒化シリコン膜であることを
ｔ寺僧とする透明導電膜の製造方法。 １３）特許請求の範囲第１項又は酊２項において。 上記透明導電膜ぼ酸化錫膜であること（ｉｌ−特徴とす
る透明導電膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12642581A JPS5826408A (ja) | 1981-08-11 | 1981-08-11 | 透明導電膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12642581A JPS5826408A (ja) | 1981-08-11 | 1981-08-11 | 透明導電膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5826408A true JPS5826408A (ja) | 1983-02-16 |
Family
ID=14934854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12642581A Pending JPS5826408A (ja) | 1981-08-11 | 1981-08-11 | 透明導電膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826408A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11237632A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Sharp Corp | 蛍光型液晶表示装置 |
| US7491004B2 (en) | 2004-03-18 | 2009-02-17 | Kose Corporation | Container with applicator |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529015A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Sharp Kk | Substrate |
-
1981
- 1981-08-11 JP JP12642581A patent/JPS5826408A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529015A (en) * | 1975-07-11 | 1977-01-24 | Sharp Kk | Substrate |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11237632A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Sharp Corp | 蛍光型液晶表示装置 |
| US7491004B2 (en) | 2004-03-18 | 2009-02-17 | Kose Corporation | Container with applicator |
| JP4733020B2 (ja) * | 2004-03-18 | 2011-07-27 | 株式会社コーセー | 塗布体付き容器 |
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