JPS5863748U - プラズマ処理用ウエ−ハ装填ボ−ト - Google Patents
プラズマ処理用ウエ−ハ装填ボ−トInfo
- Publication number
- JPS5863748U JPS5863748U JP15734681U JP15734681U JPS5863748U JP S5863748 U JPS5863748 U JP S5863748U JP 15734681 U JP15734681 U JP 15734681U JP 15734681 U JP15734681 U JP 15734681U JP S5863748 U JPS5863748 U JP S5863748U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- wafer loading
- boat
- loading boat
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のバッチ型プラズマ処理装置の概要を示す
もので、同図ａ、 ｂは断面図、同図ａ′。 ｂ′は側面図である。第２図ａ、 ｂはウェーハの装
填角度を変化させたときのガスの流れの変化を示す図で
ある。第３図は従来のボートを示した斜視図である。第
４図および第５図は本考案の一実施例によるボートの分
解図で、第４図ａは平面図、同図すは上面図、同図Ｃは
側面図である。第５図はアルミニウム棒の側面図である
。第６図は本考案の一実施例によるボートの全体を示す
斜視図である。第７図は本固案の一実施例による朶−ト
を傾けたときの側面図である。第８図はガスの漏れがあ
る場合のチャンバー内のガスの流れを示した′図である
。第９図は第８図で示したガスの流れをウェーハを傾け
ることによって矯正したガスの流れを示す図である。 １・・・・・・ウーニ・・、２・・・・・・ボート、３
・・・・・・チャンバー、４・・・・・・ガスの流れ方
向、５・・・・・・電極、６・・・・・・アルミ棒、７
・・・・・・プツト、８・・・・・・ウェーハ装填角度
（定義）、９・・・・・・ボート人出口部。 ゛／
８ ／ 躬 ７ 図 ′ＸＸ、、 第８図
もので、同図ａ、 ｂは断面図、同図ａ′。 ｂ′は側面図である。第２図ａ、 ｂはウェーハの装
填角度を変化させたときのガスの流れの変化を示す図で
ある。第３図は従来のボートを示した斜視図である。第
４図および第５図は本考案の一実施例によるボートの分
解図で、第４図ａは平面図、同図すは上面図、同図Ｃは
側面図である。第５図はアルミニウム棒の側面図である
。第６図は本考案の一実施例によるボートの全体を示す
斜視図である。第７図は本固案の一実施例による朶−ト
を傾けたときの側面図である。第８図はガスの漏れがあ
る場合のチャンバー内のガスの流れを示した′図である
。第９図は第８図で示したガスの流れをウェーハを傾け
ることによって矯正したガスの流れを示す図である。 １・・・・・・ウーニ・・、２・・・・・・ボート、３
・・・・・・チャンバー、４・・・・・・ガスの流れ方
向、５・・・・・・電極、６・・・・・・アルミ棒、７
・・・・・・プツト、８・・・・・・ウェーハ装填角度
（定義）、９・・・・・・ボート人出口部。 ゛／
８ ／ 躬 ７ 図 ′ＸＸ、、 第８図
Claims (1)
- 半導体ウェーハをプラズマ処理する際のウェーハを装填
するボートにおいて、カギ型に曲げた２枚のアルミニウ
ム板の両側面に穴をあけ、ウェーハを立てる溝を切り、
両端を９０°に曲げたアルミニウム棒を両側面の穴に挿
入しナツトで締めるよ・うにし、ウェーハの装填角度を
自由に変えられるようにしたプラズマ処理用ウェーハ装
填ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15734681U JPS5863748U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | プラズマ処理用ウエ−ハ装填ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15734681U JPS5863748U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | プラズマ処理用ウエ−ハ装填ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5863748U true JPS5863748U (ja) | 1983-04-28 |
Family
ID=29949874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15734681U Pending JPS5863748U (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | プラズマ処理用ウエ−ハ装填ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5863748U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134037U (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-21 |
-
1981
- 1981-10-22 JP JP15734681U patent/JPS5863748U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61134037U (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-21 |
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