JPS5881971A - 着膜装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は小形の電子部品の着膜に使用するドラム式の着
膜装置に関する。

近年、ドラムを使用した着膜装置は、電子部品に安価に
大量に着膜可能なため、その使用が増加している。

スパッタ装置に使用した場合の例を、第１図および第２
図に示す。この装置の場合、ターゲット１のスパッタリ
ングが、そのドラム（電極）２の軸方向において必ずし
も一定ではなく、ばらつきが生じる。

このばらつきは第３図および第４図に示すよう２７・−
・・ な電子ビーム加熱方式または抵抗加熱方式では、その蒸
着のばらつきが顕著になる、図中、３は碍子などの被着
膜物、４は蒸着源、５は蒸発物である。

これらドラム方式の欠点は、小形の被着膜物３がドラム
２の軸方向（矢印入方向）に移動しないことであり、ま
た被着膜物３の数を多くした場合など撹拌ができないこ
とである。

このため第６図、第６図に示すように、ドラム２の底板
２ａ、２ａ’を軸に対しずらしたように変形させたもの
が考えられたが、製作が困難であることと、回転速度に
よっては被着膜物３が軸方向には動かなかったシ、ドラ
ム２のすベシ、被着膜物３の形状に左右され易いという
ことから実用上の価値はなかった。

本発明は以上の点に鑑み、軸方向の撹拌が行われドラム
内に被着膜物が多い場合にも良く撹拌されるとともに被
着膜物の着膜を均一にし、ターゲットや蒸着源を同じド
ラム内に設けた場合の蒸発度のばらつきを改良しだ着膜
装置を提供することこの目的のために本発明の着膜装置
は、円筒状のドラム内面に螺線状の羽根を設け、ドラム
内に被着膜物を入れて回転させ、被着膜物をドラムの軸
方向に交互に前後進させて撹拌するように構成したもの
である。

以下、本発明の実施例について第７図〜第１７図を用い
て説明する。なお従来例と同一のものには同一の番号を
付している。

第７図、第８図は本発明の一実施例の着膜装置を示す図
で、との着膜装置には円筒状のドラム２の内面に螺線状
の撹拌用羽根６が２枚設けられている。

第９図は本発明の他の実施例の着膜装置を示す図で、と
の着膜装置においては撹拌用羽根６が３枚設けられてい
る。

この撹拌用羽根６の長手方向の形状は、ドラム２の回転
数、被着膜物３の量や形状によって第１０図〜第１２図
に示すように変化させる。またこの撹拌用羽根６０種々
の断面形状を第１３図〜第１５を３角状にしたもので、
ドラム２を逆回転させた場合でも、撹拌用羽根６により
ドラム２の上方まで持ち上げられる被着膜物の数を少な
くしたものである。

第１６図は撹拌用羽根６によシ被着膜物３が持ち上げら
れている状態を、第１７図は被着膜物３の数が多い場合
でも、積層した被着膜物３の山の下部の方から撹拌用羽
根６によりすくわれるようにして撹拌されている状態を
示している。

以上のように本発明の着膜装置は構成したので、ドラム
軸方向の撹拌が行われ、ドラム内における被着膜物の着
膜ばらつきや着膜むらを改善することができ、またその
ための羽根も工作上簡単にかつ安価に作成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の着膜装置のドラムの底板を除いて示した
側面図、第２図は同正面図、第３図は従来の別の着膜装
置のドラムの底板を除いて示した側面図、第４図は同正
面図、第５図は従来のまた図、第７図は本発明の一実施
例の着膜装置のドラムの底板の一部を除いて示した側面
図、第８図は同展開図、第９図は同他の実施例の展開図
、第１０図〜第１５図は撹拌用羽根の各種形状例を示す
図、第１６図、第１７図は撹拌状態の説明図である。 ２・・・・・・ドラム、３・・・・・・被着膜物、６・
・・・・・撹拌用羽根。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図　　　１１１２図 第３図　　　第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被着膜物をその内部に入れて回転する円筒状のドラムの
   内面に、前記被着膜物を前記ドラムの軸方向に交互に前
   後進させて撹拌する螺線状の撹拌用羽根を設けた着膜装
   置。