JPS5893301A - 抵抗器の抵抗温度係数調整方法 - Google Patents
抵抗器の抵抗温度係数調整方法Info
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- JPS5893301A JPS5893301A JP56192526A JP19252681A JPS5893301A JP S5893301 A JPS5893301 A JP S5893301A JP 56192526 A JP56192526 A JP 56192526A JP 19252681 A JP19252681 A JP 19252681A JP S5893301 A JPS5893301 A JP S5893301A
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、薄膜型あるいは厚膜型等の膜状抵抗器の抵抗
温度係数調整方法に関するものである。
温度係数調整方法に関するものである。
白金あるいは銅等を用いた測温抵抗器は、熱電対、サー
ミスタあるいは水晶振動子等を用いた温度センサに比較
して、温度特性の直線性に優れる上、小型軽量でしかも
測定系が容易忙構成可能であるという特徴を有するもの
である。特に、白金測温抵抗器は、経時安定性・耐薬品
性に優れ、さらに測定可能な温度範囲が銅測温抵抗器に
比較して広いという利点がｉｎ、白金の細線を、コイル
状に巻いた巻線型測温抵抗器は実用化が進んでいるもの
である。
ミスタあるいは水晶振動子等を用いた温度センサに比較
して、温度特性の直線性に優れる上、小型軽量でしかも
測定系が容易忙構成可能であるという特徴を有するもの
である。特に、白金測温抵抗器は、経時安定性・耐薬品
性に優れ、さらに測定可能な温度範囲が銅測温抵抗器に
比較して広いという利点がｉｎ、白金の細線を、コイル
状に巻いた巻線型測温抵抗器は実用化が進んでいるもの
である。
ところで、セラミック、石英等の基板上に形成された測
温抵抗器は巻線型の測温抵抗器に比較して小型であり、
機械的安定性あるいは信頼性等に優れる利点を有し実用
的価値が高いものである。
温抵抗器は巻線型の測温抵抗器に比較して小型であり、
機械的安定性あるいは信頼性等に優れる利点を有し実用
的価値が高いものである。
しかしながら、一般に、スパッタ法、蒸着法あるいは印
刷法等によ膜形成された抵抗膜を、パターン化して得ら
れた抵抗器の抵抗温度係数は、膜形成過程での緒条、お
よび膜形成後の語処理条件の変動の影替を大きく受ける
ために再現性に欠ける難点があり、該抵抗器の製造歩留
りは低いものであった。また、＃製傭歩留〕を向上すべ
く製造条件を厳密に制御しても基板内における抵抗膜分
布が一様でないととく起因して製造される抵抗器の温度
係数にある程度のバラツキを生ずることは。
刷法等によ膜形成された抵抗膜を、パターン化して得ら
れた抵抗器の抵抗温度係数は、膜形成過程での緒条、お
よび膜形成後の語処理条件の変動の影替を大きく受ける
ために再現性に欠ける難点があり、該抵抗器の製造歩留
りは低いものであった。また、＃製傭歩留〕を向上すべ
く製造条件を厳密に制御しても基板内における抵抗膜分
布が一様でないととく起因して製造される抵抗器の温度
係数にある程度のバラツキを生ずることは。
避は難いものであった。
従って、本発明の目的は、再現性に優れた測温抵抗器の
製造を容易にし、もって高製造歩留りで安価な側温抵抗
器を提供することにある。
製造を容易にし、もって高製造歩留りで安価な側温抵抗
器を提供することにある。
本発明は、所望とする抵抗温度係数以上の高い抵抗温度
係数を有する材料の抵抗体と、所望とする抵抗温度係数
以下の低い抵抗温度係数を有する材料の抵抗体の複数種
類抵抗体を同一基板上に相互接続されるように付着形成
させて抵抗器を構成し、該抵抗器の抵抗温度係数を、前
記抵抗体の各々の抵抗値を調節することＫよって、所望
値に調整するものである。
係数を有する材料の抵抗体と、所望とする抵抗温度係数
以下の低い抵抗温度係数を有する材料の抵抗体の複数種
類抵抗体を同一基板上に相互接続されるように付着形成
させて抵抗器を構成し、該抵抗器の抵抗温度係数を、前
記抵抗体の各々の抵抗値を調節することＫよって、所望
値に調整するものである。
次に１本発明の一実施例を図面を参照して以下に説明す
る。
る。
第１図は、セラミック基板１上に抵抗温度係数が６８４
４１）ｌ）ｍ／Ｃ（０〜１０ｏ１０ ） テ１ｈｈ＝
ｖ ケｋｔ用いた抵抗体６と抵抗温度係数がａｓｏｏｐ
ｐｍ／ｃ（０〜１００Ｃ）であるチタン！用いた抵抗７
とを直列接続されるように、金導−により配線した抵抗
器を示したものである。
４１）ｌ）ｍ／Ｃ（０〜１０ｏ１０ ） テ１ｈｈ＝
ｖ ケｋｔ用いた抵抗体６と抵抗温度係数がａｓｏｏｐ
ｐｍ／ｃ（０〜１００Ｃ）であるチタン！用いた抵抗７
とを直列接続されるように、金導−により配線した抵抗
器を示したものである。
ここで２及び３で示す金電極は、外部接続用端子る。こ
れらチタン、ニッケル、金はスパッタ法により着膜され
た後に写真蝕刻法によ膜形成されたものである。
れらチタン、ニッケル、金はスパッタ法により着膜され
た後に写真蝕刻法によ膜形成されたものである。
第２図は第１図に示す抵抗器に対する等測的回路図を模
式的に示したものである。
式的に示したものである。
さて、所望とする抵抗温度係数をα（Ｘ／′ｃ）と置き
、これを白金測温抵抗体の３９１６１）Ｐｍ／℃（０〜
１０００）とし、０（ｃ）Ｉｌｃおける抵抗値をＲと置
き、これを５００＠］）とした場合、抵抗体６および７
の室温（２５℃）での抵抗値を、Ｒｓ（ｆｌ＊Ｒｙ−置
き、抵抗温度係数を各々αａ （１／ｌ’ ） 、 （
１７（１／ｃ）と置けば所望とする抵抗器を得るためＫ
は、前記２種類の抵抗体の抵抗値を各々室温（２５Ｃ）
において Ｒａ＝ Ｒ（ａ−”ｙ）（１＋２５ｃ”）／（Ｒ６−α
７）Ｒ７＝Ｒ（１＋２５α）−Ｒ６ で与えられる値に調節すれによい。
、これを白金測温抵抗体の３９１６１）Ｐｍ／℃（０〜
１０００）とし、０（ｃ）Ｉｌｃおける抵抗値をＲと置
き、これを５００＠］）とした場合、抵抗体６および７
の室温（２５℃）での抵抗値を、Ｒｓ（ｆｌ＊Ｒｙ−置
き、抵抗温度係数を各々αａ （１／ｌ’ ） 、 （
１７（１／ｃ）と置けば所望とする抵抗器を得るためＫ
は、前記２種類の抵抗体の抵抗値を各々室温（２５Ｃ）
において Ｒａ＝ Ｒ（ａ−”ｙ）（１＋２５ｃ”）／（Ｒ６−α
７）Ｒ７＝Ｒ（１＋２５α）−Ｒ６ で与えられる値に調節すれによい。
従って、ニッケルからなる抵゛抗体６の抵抗値ＲＩ６１
−室ａ（２５Ｃ）において７２．８４（Ｑ）とし、チタ
ンからなる抵抗体７の抵抗値Ｒ７を室温（２５０）にお
いて４７６、ｔｔ（ｏ）に調節すると前記所望とする規
格の抵抗器が得られるものである。これは、第１図にお
ける抵抗体６及び７の抵抗値調整部分４５ｍ。
−室ａ（２５Ｃ）において７２．８４（Ｑ）とし、チタ
ンからなる抵抗体７の抵抗値Ｒ７を室温（２５０）にお
いて４７６、ｔｔ（ｏ）に調節すると前記所望とする規
格の抵抗器が得られるものである。これは、第１図にお
ける抵抗体６及び７の抵抗値調整部分４５ｍ。
６ｂ、６ｃ及び７ｍ、７ｂ、７ｃをレーザ等で順次切断
し抵抗値を調節することによって達成されるものである
。
し抵抗値を調節することによって達成されるものである
。
本発明により前述の通シ任意の抵抗温度係数及び抵抗値
を有する抵抗器を複数種類の抵抗体によって容易に実現
することができるものである。従って、抵抗器の製造工
種における各種条件設定を簡略化でき、しかも精度の高
い抵抗温度係数を有する抵抗器が歩留りよく得られるも
のである。
を有する抵抗器を複数種類の抵抗体によって容易に実現
することができるものである。従って、抵抗器の製造工
種における各種条件設定を簡略化でき、しかも精度の高
い抵抗温度係数を有する抵抗器が歩留りよく得られるも
のである。
さらに、本実施例の通り高価な白金材料を使用した側温
抵抗器と同等の性能を有する測温抵抗器を比較的安価な
チタン及びニッケル等の材料により代用できるという効
果も得られるものである。
抵抗器と同等の性能を有する測温抵抗器を比較的安価な
チタン及びニッケル等の材料により代用できるという効
果も得られるものである。
本発明の実施例においては、２種類の異なる抵抗温度係
数を有する抵抗体を直列接続の形態で用いたが、本発明
が上記の効果を呈する以上２種類以上の異なる抵抗温度
係数を有する抵抗体を直列接続、並列接続またはそれら
が混在する接続方法により本発明を実施しても２本発明
の効果けなんら損なわれるものではないことは明らかで
ある。
数を有する抵抗体を直列接続の形態で用いたが、本発明
が上記の効果を呈する以上２種類以上の異なる抵抗温度
係数を有する抵抗体を直列接続、並列接続またはそれら
が混在する接続方法により本発明を実施しても２本発明
の効果けなんら損なわれるものではないことは明らかで
ある。
また、抵抗体材料においても前記実施例で用いたチタン
、ニッケルに限定されるべきものではなく。
、ニッケルに限定されるべきものではなく。
該金属以外にも銅、タンタル、タングステンあるいは、
該金属間化合物、該金属酸化物及び窒化物等多くのもの
が考えられ本発明においては、抵抗体材料は特に指定さ
れるべきことではないことは勿論であり、着膜方法もス
パッタ法にのみ限定されるべきものではなく蒸着法、印
刷法、メッキ法等の多く９方法が適用されるものである
。
該金属間化合物、該金属酸化物及び窒化物等多くのもの
が考えられ本発明においては、抵抗体材料は特に指定さ
れるべきことではないことは勿論であり、着膜方法もス
パッタ法にのみ限定されるべきものではなく蒸着法、印
刷法、メッキ法等の多く９方法が適用されるものである
。
第１図は本発明による抵抗器の平面図を模式的に示した
ものであり、第２図は第１図に対応する等測的回路を模
式的に示した図である。 尚、図において ｌ・・・・・・セラミック基板、２．３・・・・・・外
部接続用端子、４・・・・・・抵抗値調整用端子、５・
・・・・・金を用いた６１パターン、６・・・・・・ニ
ッケル抵抗体％６ｍ、５ｂ。 ６Ｃ・・・・・・抵抗値調整用パターン、７・・・・・
・チタン抵抗体ｓ ７ａ＊ ７ｂ＠ ７ｃ・・・・・・
抵抗値調整用パターンである。 ｙ １図 １γ：：・Ｚ図
ものであり、第２図は第１図に対応する等測的回路を模
式的に示した図である。 尚、図において ｌ・・・・・・セラミック基板、２．３・・・・・・外
部接続用端子、４・・・・・・抵抗値調整用端子、５・
・・・・・金を用いた６１パターン、６・・・・・・ニ
ッケル抵抗体％６ｍ、５ｂ。 ６Ｃ・・・・・・抵抗値調整用パターン、７・・・・・
・チタン抵抗体ｓ ７ａ＊ ７ｂ＠ ７ｃ・・・・・・
抵抗値調整用パターンである。 ｙ １図 １γ：：・Ｚ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 抵抗器を異なる抵抗温度係数を有する複数種類の抵抗体
を相互接続することＫより構成し、前記複数種類抵抗体
の抵抗値を調節することＫより。 前記抵抗器の抵抗温度係数を調整することを特徴とする
抵抗器の抵抗温度係数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192526A JPS5893301A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 抵抗器の抵抗温度係数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192526A JPS5893301A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 抵抗器の抵抗温度係数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5893301A true JPS5893301A (ja) | 1983-06-03 |
Family
ID=16292744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56192526A Pending JPS5893301A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 抵抗器の抵抗温度係数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5893301A (ja) |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56192526A patent/JPS5893301A/ja active Pending
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