JPS5929288A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPS5929288A JPS5929288A JP57140076A JP14007682A JPS5929288A JP S5929288 A JPS5929288 A JP S5929288A JP 57140076 A JP57140076 A JP 57140076A JP 14007682 A JP14007682 A JP 14007682A JP S5929288 A JPS5929288 A JP S5929288A
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- metal electrode
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- pixel electrode
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶表示装置に非線形素子を組合せた電気光学
装置に関する。
装置に関する。
近年、液晶表示装置の応用が進み、腕時計、電卓をはじ
め各種情報機器にまで用いられるようになっだが、さら
に液晶表示装置の表示容量を増大させるために金属−絶
縁体−金属（Ｍｅｔａｌ −工ｎｅｕｌａｔｏｒ
−Ｍｅｔａｌ 略してＭ工Ｍ）構造を有する非線形素
子（以下Ｍ工Ｍ素子と呼ぶ）を画素電極と結合し表示特
性を向上させる方法が検討されている。
め各種情報機器にまで用いられるようになっだが、さら
に液晶表示装置の表示容量を増大させるために金属−絶
縁体−金属（Ｍｅｔａｌ −工ｎｅｕｌａｔｏｒ
−Ｍｅｔａｌ 略してＭ工Ｍ）構造を有する非線形素
子（以下Ｍ工Ｍ素子と呼ぶ）を画素電極と結合し表示特
性を向上させる方法が検討されている。
従来は第１図に断面を含んだＭ工Ｍ素子部分の見取図、
第２図に１画素分のＭ］：Ｍ素子及び画素′Ｆ！１極８
の平面配置を示すように、基板３上に酸化膜４を設はエ
ッチストップとした後、Ｍ工Ｍ素子の一方の金属電極５
となる金属を形成、バターニングする。次にこの金属電
極５の表面に＠極酸化等で酸化膜６を形成する。次にＭ
工Ｍ素子の他方の金属電極７を形成しさらに透明導電性
薄膜で画素電極８を形成するといった製造順序を用いて
いた。ここで、Ｍ工Ｍ素子の金属ｍ！７としては、素子
の特性上Ｎ ｉ −Ｏｒ合金やＯｒを用いることが多く
、その場合金属電極７表面に自然酸化膜が出来、Ｎ ｉ
−Ｏｒ合金あるいはＯｒのままでは画素電極８との電
気的接触が非オーミツクになってしまうために、Ｎ ｉ
−Ｏｒ合金あるいはＯｒの上部にＡｕ等の薄膜を設は
多層構造にしてオーム接触としていた。しかし、この方
法では金属電極７を多層構造にするために薄膜形成並び
にエツチング工程で余計な工程が必要となり、しかも、
Ａｕのエツチングの際に断面形状を制御するのが困斧で
第３図（α）に示すように段差のついた形状となってし
まい透明導電性薊膜を形成すると第３図（ｂ）に示すよ
うに被覆性が悪く断ｍ等の問題を発生していた。
第２図に１画素分のＭ］：Ｍ素子及び画素′Ｆ！１極８
の平面配置を示すように、基板３上に酸化膜４を設はエ
ッチストップとした後、Ｍ工Ｍ素子の一方の金属電極５
となる金属を形成、バターニングする。次にこの金属電
極５の表面に＠極酸化等で酸化膜６を形成する。次にＭ
工Ｍ素子の他方の金属電極７を形成しさらに透明導電性
薄膜で画素電極８を形成するといった製造順序を用いて
いた。ここで、Ｍ工Ｍ素子の金属ｍ！７としては、素子
の特性上Ｎ ｉ −Ｏｒ合金やＯｒを用いることが多く
、その場合金属電極７表面に自然酸化膜が出来、Ｎ ｉ
−Ｏｒ合金あるいはＯｒのままでは画素電極８との電
気的接触が非オーミツクになってしまうために、Ｎ ｉ
−Ｏｒ合金あるいはＯｒの上部にＡｕ等の薄膜を設は
多層構造にしてオーム接触としていた。しかし、この方
法では金属電極７を多層構造にするために薄膜形成並び
にエツチング工程で余計な工程が必要となり、しかも、
Ａｕのエツチングの際に断面形状を制御するのが困斧で
第３図（α）に示すように段差のついた形状となってし
まい透明導電性薊膜を形成すると第３図（ｂ）に示すよ
うに被覆性が悪く断ｍ等の問題を発生していた。
本発明はこのような欠点を除去するために、ＭＩＭ素子
の一方の金属電極５を形成する際に金屈電ｆｉｌｊｉ５
の金属を用いてＭ工Ｍ素子の他方の金属電極７と画素電
極８を結合するパッド部分を設け、かつパッド部分の側
面形状がテーパー状とすることによって金属電極７と画
素電極８の各々の被覆性を向上させるものである。
の一方の金属電極５を形成する際に金屈電ｆｉｌｊｉ５
の金属を用いてＭ工Ｍ素子の他方の金属電極７と画素電
極８を結合するパッド部分を設け、かつパッド部分の側
面形状がテーパー状とすることによって金属電極７と画
素電極８の各々の被覆性を向上させるものである。
以下実施例に従って説明する。
実施例
パイレックスガラス基板３上にＴ ａ２０Ｂ 及びＴ（
１をスパッタリングによって形成し、リードライン及び
Ｍ工Ｍ素子の一方の金属電極５とパッド９をパターニン
グする。この時、フレオンと酸素の混合ガスを用いてド
ライエツチングを行ないＴαの側面にテーパーがつくよ
うにする〔第４図（α）〕。
１をスパッタリングによって形成し、リードライン及び
Ｍ工Ｍ素子の一方の金属電極５とパッド９をパターニン
グする。この時、フレオンと酸素の混合ガスを用いてド
ライエツチングを行ないＴαの側面にテーパーがつくよ
うにする〔第４図（α）〕。
次にＭＩＭ素子の一方の金属電極５表面に陽極酸化で酸
化膜６を形成する。
化膜６を形成する。
次にＮ ｉ −Ｏｒ合金あるいはＯｒによってＭ工Ｍ素
子の他方の金属電極７を形成する〔第４図（ｂ）〕。
子の他方の金属電極７を形成する〔第４図（ｂ）〕。
さらに工Ｔｏ（工”２０ｓ＋５ｎＯ２） 薄膜で画素電
極８を形成する〔第４図（Ｃ）〕。
極８を形成する〔第４図（Ｃ）〕。
この状態でのＭ１Ｍ素子部の斜視図を第５図に示す。
このＭ工Ｍ素子側基板３と、ストライプ状の電極を持っ
た対向基板とに液晶の配向処理を行ない数μｍ〜士数μ
ｍの間隙を持たせて接着し液晶を封入した後偏光板を貼
りて電気光学装置とする。
た対向基板とに液晶の配向処理を行ない数μｍ〜士数μ
ｍの間隙を持たせて接着し液晶を封入した後偏光板を貼
りて電気光学装置とする。
本発明によれば従来例のようにＭ工Ｍ素子の一方の金属
電極７を多層構造にする必要がなく工程数を減らして、
且つ金属電極７と画素電極８の電気的接触を確実なもの
に出来る。
電極７を多層構造にする必要がなく工程数を減らして、
且つ金属電極７と画素電極８の電気的接触を確実なもの
に出来る。
また、Ｍ工Ｍ素子の特性や金属［ｔｉｌｊｉ７と画素電
極８との電気的接触等の面からは金属電極７のエツチン
グ形状はどのような状態でも良いと言えるが、Ｍ工Ｍ素
子と液晶間のパッシベーションを考えた場合には、パッ
シベーション膜の被’ｌｄｌ性を良くするために金ｍＷ
Ｌ極７もテーパー状にエツチングすることが望ましい。
極８との電気的接触等の面からは金属電極７のエツチン
グ形状はどのような状態でも良いと言えるが、Ｍ工Ｍ素
子と液晶間のパッシベーションを考えた場合には、パッ
シベーション膜の被’ｌｄｌ性を良くするために金ｍＷ
Ｌ極７もテーパー状にエツチングすることが望ましい。
第１図及び第２図は従来例におけるＭ工Ｍ素子及び画素
電極の関係を示す図である。 第３図は従来例におけるＭＩＭ素子の一方の金属電極７
α、７ｂと画素電極８の断面形状を示す図である。 第４図は本発明における製造法をｇｌａ明する図である
。 第５図は本発明におけるＭ工Ｍ素子と画素７１７．極の
関係を示す図である。 第１図 第２図
電極の関係を示す図である。 第３図は従来例におけるＭＩＭ素子の一方の金属電極７
α、７ｂと画素電極８の断面形状を示す図である。 第４図は本発明における製造法をｇｌａ明する図である
。 第５図は本発明におけるＭ工Ｍ素子と画素７１７．極の
関係を示す図である。 第１図 第２図
Claims (1)
- 複数の画素！極を有し、該画素電極の各々に金属−絶縁
体−金属構造を有する非線形素子（以下ＭＩＭ素子と呼
ぶ）を結合し電気的に液晶の分子配列を制御する電気光
学装置において、該Ｍ工Ｍ素子の一方の金属電極２と画
素電極を電気的に結合する部分にＭ工Ｍ素子の他方の金
属電極１を形成する材料を用い、その側面がテーパー状
に形成されていることを特徴とする電気光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57140076A JPS5929288A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57140076A JPS5929288A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929288A true JPS5929288A (ja) | 1984-02-16 |
| JPH0510652B2 JPH0510652B2 (ja) | 1993-02-10 |
Family
ID=15260400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57140076A Granted JPS5929288A (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929288A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487921U (ja) * | 1990-12-12 | 1992-07-30 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP57140076A patent/JPS5929288A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487921U (ja) * | 1990-12-12 | 1992-07-30 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0510652B2 (ja) | 1993-02-10 |
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