JPS593401A - ビ−ムスキヤニング用ミラの製造装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この出願の発明はビームスキャニング用ミラの製造装置
及びその製造方法に関するものである。

近来レーザビームに関する研究が著しく進歩し、これに
伴い多種類のヒ１−ムスキャニノグ用ミラが製造される
に至った。従来より製造されているこの種のミラは、主
として光学ガラスを所定のブロックにカッティングし、
多角形に形成し、その反射面を研磨するか又はアルミニ
ュウム、銅等の金属をラソピノグ又は超精密切削加工等
を施して反射面として使用する方法等が一般に採用され
て込た。この様な方法で製作されたミラは、複雑な作業
工程を要するので生産コストは高く、特に使用するガラ
ス部材の脆弱性に起因してミラの回転数の高速化を計る
ことは困難であった。

そこで本願の発明は従来例の欠陥を除去し、能率的なビ
ームスキャニング用ミラの製造装置及びその製造方法を
提供することを目的とする。

以下添付図面に基づいて本発明の詳細な説明する。本発
明の実施例は反射面を六面体となしたビームスキャニン
グ用ミラに関するものである。

ミラ２の六面体コア部材４表その反射面を形成する複数
の薄型板状ガラス部材６ａ　、　６ｂ　、　６ｃ　、　
６ｄ　、　６ｅ６「とは別々に製作し、後述する分割組
み立て自在の金型に組み込まれる。コア部材４ｉｌ−１
：通常高力アルミニュウム合金よりなりその中心部に中
心孔８全穿設する。六面体のコア部材４の各外周部に−
、狭い隙間部１０；Ｉ　、　１０１）　、　ＩＯｃ　、
　１０（１、ＩＯｅ　、　ＩＯｆをへだて＼前記ガラス
部材６ａ・・・６ｆが配設される。

第１図は、前記のように配設されたコア＋’ｌ（材４と
ガラス部材６ａ・・・６ｆとが一方向に開口１２シた金
型に組み込捷れた状朔を示す。

金型の一方向開口部１２に位置するコア部材４［は、中
心孔８と並列にコア部′＋Ａ４を貫通してその底部にお
いて前記隙間１０ａ・・・１０「にそれぞれ連通する複
数の注入孔１４ａ　、　１４ｂ　、　１４ｃ　、　１４
ｄ　、　１４ｅ。

１４「を穿設する。とれらの注入孔にはそれぞれ開閉自
在のパイプ１６ａ　、　１６ｂ　、　１６ｃ　、　１６
ｄ　、　１６ｃ　。

１６ｆが取り付けられる。これらのパイプば１図示して
ないが、ホース等により合成樹脂等の接着剤注入用ポツ
プに連結される。金型１８は、上型２ｏ、横型２２、下
ｍ２４　Ｋ、より分割組み立て自在に構成される。金型
１８は、前述のように上型２ｏに一方開口部１２が設け
られる以外は、第２図に図示のように、コア部材４の外
周に組み立てられる。上型２ｏには前記隙間１０ａ・・
・１０ｆのそれぞれに連通する吸７出孔２６ａ、　２６
ｂ　、　２６ｃ　、　２６ｄ　、　２６ｅ　、　２６（
を設け、これらの吸出孔の入口にはそれぞれ開閉自在の
パイプ２８ａ、　２８ｂ　、　２８ｃ　、　２８ｄ　、
　２８ｅ　、　２８ｆを取り付ける。

又これらのパイプを図示してないが、ホース等により吸
出用真空ボノグに連結する。

次に本発明の作用について説明する。先ず吸出孔２６ａ
　・０２６ｆにパイプ２８ａ”　２８ｆ、ホース等を介
して連結している真空ポツプ（図示せず）を操作して、
注入孔１４ｔ・・・１４ｆ、隙間１０ａ…１０ｆ並に吸
出孔２６，１・・・２６「の内部を真空状態に維持する
。この操作を行う際は注入孔パイプ１６ａ・・・１６「
を閉鎖状態に置いてもよい。

次に注入孔１４ａ”ａ１４ｆ　Ｋ、パイプ１６ａ”・１
６ｆ　。

ホース等を介して連結している注入用ポツプ（図示せず
）を作動させて、合成樹脂等の接着剤例えばエポキシ樹
脂３０を徐々に注入すれば真空吸入作用により前記接着
剤は、矢印の方向へ移動し、注入孔１４ａ・・・１４Ｆ
をへてコア部材４０面と板状ガラス部材６ａ・・・６ｆ
との隙間１０ａ・・・ＩＯｆ　Ｋ吸入充填され、前記充
填完了と同時に関係手段であるポンプ等の作動を停止す
る。充填された合成樹脂接着剤は所定時間経過後硬化す
ることにより、ガラス部材６ａ・・・６ｆはコア部材４
の外周に接着される。その後関係部４ｎである金型１８
、注入用パイプ１６３・・・１６ｆ。

吸出用パイプ２８ａ・・・２８丁、−ホース等を取り外
し硬化した合成樹脂接着剤３０の不要部分を除去、整形
すれば本発明のビームスキャニング用ミラが完成する。

本願発明は、製造工程が簡単であり且つ量産化が可能で
あるから製造コストの低減を招く等の効果の外に、比較
的研磨し易い板状ガラス部材を反射面とし採用して、こ
れを接着剤により、コア部材と接着固定した構成であり
、板状ガラス部材を極めて薄く形成することによりミラ
の重量軽減を計り、ガラス接着面にか＼る遠心力の低下
によってミラの高速回転化が可能となり、接着剤を流入
せしめるコア部材とガラス部材との隙間を極めて小さく
なし、安定什のある高精度のミラをうることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の金型に組み適寸れた一実施例の正面図
。 第２図は第１図のＸ−Ｘの線にそった断面図。 第３図は完成したミラの一部断面図。 第４図は完成したミラの正面図。 第５図は第４図の側面図。 ２はミラ、４はコア部材、６ａ　、　６１）　、　６ｃ
　、　（３ｃｌ　。 ５ｅ　、　６ｆはガラス部材、８は中心孔、１０．＋　
、　１０ｂ、　１０ｃ　、　１０（１、ＩＯｅ　、　Ｌ
Ｏｆは隙間、１２は開口、１４ａ　、　１４１）、　！
４ｃ　、　１４ｄ　、　１４ｅ　、Ｉ４（は注入孔、１
６ａ１．１６ｂ　、托ｃ　、　］、６ｄ　、　１６ｅ　
、　１６ｆは注入孔バイブ、１８は金型、２０は上型、
２２は横型、２４は下型、２６ａ　、　２６＋）　、　
２６ｃ　、　２６ｄ　、２６ｅ、２６「は吸出孔、２８
ａ　、　２８１）　、　２８ｃ　、　２８（１。 ２８ｅ　、　２８ｒは吸入孔パイプ、３０は合成樹脂接
着剤。 特　許　出　願　人　株式会社コパルエレクトラ代　理
　人　弁理士　小　　　林　　　末弟１図 箔２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、金型に組み込−まれた多面体コア部材の中心孔に一
   並列に複数の貫通注入孔を設け、上型に設けた複数の貫
   通吸出孔をコア部材面と板ガラス部材とで形成する複数
   の隙間と連通せ・しめ、更に前記隙間と貫通注入孔とを
   それぞれ連通せしめてなり、前記貫通注入孔より注入さ
   れた接着剤が前記隙間に吸入充填後硬化しコア部材の面
   に板状ガラス部材を接着せしめることを特徴とするビー
   ムスキャニング用ミラの製造装置。 ２、連通する前記注入孔、隙間、駅用孔内部を真空状態
   に保持する装置を具えた特許請求の範囲第１項に記載の
   ビームスキャニング用ミラの製造装置。 ３、前記注入孔、吸出孔の入口にパイプ部Ｈ”を取り付
   け、それぞれ注入ポンプ真空ボノグに連結した特許請求
   の範囲第２項に記載のビームスキャニング用ミラの製造
   装置。 ４、金型に＃１み込まれた状態で互に連通ずるコア部材
   の貫通注入孔、コア部材と板状ガラス部材の隙間、上型
   の貫通吸出孔を真空状態に保持し、前記真空状態のま＼
   で、注入孔より注入された接着剤がコア部材と板状ガラ
   ス部材との隙間に吸入充填され、硬化後板状ガラス部材
   はコア部材に接着されることを特徴とするビームスキャ
   ニング用ミラの製造方床。 ５、前記金型は分割組み立て自在の上型、横型、下型よ
   りなる特許請求の範囲第１項に記載のビームスキャニン
   グ用ミラの製造装置。