JPS5958833A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPS5958833A
JPS5958833A JP57169392A JP16939282A JPS5958833A JP S5958833 A JPS5958833 A JP S5958833A JP 57169392 A JP57169392 A JP 57169392A JP 16939282 A JP16939282 A JP 16939282A JP S5958833 A JPS5958833 A JP S5958833A
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JP
Japan
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copper
wire
lead frame
semiconductor device
iron
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JP57169392A
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JPH0141028B2 (ja
Inventor
Tomio Kobayashi
十三男 小林
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置に関する。
半導体装置は、図に示すように、リードフレームlに半
導体ペレット2が取付けられ、リードフレーム1のリー
ドと半導体ペレット2の’t4fiとをワイヤ3で接続
してなる。
前記リードフレーム1は、一般には銅、コバール材の表
面に金又は銀メッキ処理を施し、ワイヤ3との接続を良
好にしている。しかしながら、リードフレーlh i 
gc金又は銀メッキを施すことは、金又は銀が高価であ
るので、半導体装置がコスト高になる。
そこで最近、特開昭56−93338号公報に示すよう
に、銅又は銅合金よりなるリードフレームに直接、即ち
表面処理を行わない状態で半導体ペレット及びワイヤの
ホンディングを行うことが行われている。しかしながら
、銅又は銅合金材だけでは表面が硬く、また表面が黒ず
んで酸化膜ができるので、ワイヤの接続が弱く、ボンデ
ィングされたワイヤがはがれることが時々発生する。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、品
質の優れた半導体装置を提供することを目的とする。
本発明は銅又は銅系合金もしくは鉄又は鉄系合金のリー
ドフレームの表面(こ銅メツキ処理を施したことを特徴
とする。
銅又は銅系合金(例えば銅−錫合金、銅−錫一燐合金)
もしくは鉄又は鉄系合金(例えば鉄−ニッケル合金、鉄
−ニッケルーコバルト合金)の基材そのものの表面は硬
いが、この表面に銅メツキ処理を施すことにより、リー
ドフレームの表面は軟質相になる。そこで、ワイヤはこ
の軟質材よりなる銅メツキ部分に接続されるので、接続
の強度が増加し、ワイヤのはがれがなくなる。またリー
ドフレームは銅メッキされているので、表面の酸化が防
止さイ1、この点からもワイヤの接続が強固になる。
なお、前記銅メツキ処理はリードフレームの全面に行っ
てもよいが、少なくともワイヤが接続されるリードのみ
(こ施せは十分である。またワイヤの接続は、従来と同
様に窒素ガス等の不活性ガス雰囲気中で行うことにより
、更に良好なボンディングが行えることは勿論である。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、銅又は
銅系合金もしくは鉄又は鉄系合金よりなるリードフレー
ムの表面に銅メツキ処理が施してなるので、τツイヤ接
続の強度が増大し、ワイヤはが第1がなくなり、品質が
向上する。
【図面の簡単な説明】 図は半導体装置の概略断面図である。 1・・・リードフレーム、   2・・・半4体ベレッ
ト、3・・・ワイヤ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. リードフレームに半導体ペレットが取付けられ、リード
    フレームのリードと半導体ベレットの’a極とをワイヤ
    で接続してなる半導体装置において、前記リードフレー
    ムは銅又は銅系合金もしくは鉄又は鉄系合金よりなり、
    少なくともワイヤが接続されるリードの表面−こ銅メツ
    キ処理を施してなることを特徴とする半導体装置。
JP57169392A 1982-09-28 1982-09-28 半導体装置 Granted JPS5958833A (ja)

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JPS5958833A true JPS5958833A (ja) 1984-04-04
JPH0141028B2 JPH0141028B2 (ja) 1989-09-01

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60225450A (ja) * 1984-04-24 1985-11-09 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体装置の製造法
JPS60240149A (ja) * 1984-05-15 1985-11-29 Sharp Corp 半導体装置
JPS6180844A (ja) * 1984-09-28 1986-04-24 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体リ−ドフレ−ム用条材
JPS61201762A (ja) * 1985-03-05 1986-09-06 Furukawa Electric Co Ltd:The リードフレーム用Cu系条材の製造方法
JPS62213269A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Hitachi Cable Ltd 半導体用リ−ドフレ−ム
US4707724A (en) * 1984-06-04 1987-11-17 Hitachi, Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing thereof
DE3828700A1 (de) * 1987-09-16 1989-04-06 Nat Semiconductor Corp Kupferplattierter bleirahmen fuer halbleiter-kunststoff-gehaeuse
JPH05283596A (ja) * 1992-03-14 1993-10-29 Kyushu Hitachi Maxell Ltd 半導体装置のリードフレーム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55138246A (en) * 1979-04-13 1980-10-28 Toshiba Corp Manufacture of semicondoctor device
JPS5678357U (ja) * 1979-11-09 1981-06-25
JPS57109350A (en) * 1980-12-26 1982-07-07 Toshiba Corp Semiconductor device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55138246A (en) * 1979-04-13 1980-10-28 Toshiba Corp Manufacture of semicondoctor device
JPS5678357U (ja) * 1979-11-09 1981-06-25
JPS57109350A (en) * 1980-12-26 1982-07-07 Toshiba Corp Semiconductor device

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60225450A (ja) * 1984-04-24 1985-11-09 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体装置の製造法
JPS60240149A (ja) * 1984-05-15 1985-11-29 Sharp Corp 半導体装置
US4707724A (en) * 1984-06-04 1987-11-17 Hitachi, Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing thereof
JPS6180844A (ja) * 1984-09-28 1986-04-24 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体リ−ドフレ−ム用条材
JPS61201762A (ja) * 1985-03-05 1986-09-06 Furukawa Electric Co Ltd:The リードフレーム用Cu系条材の製造方法
JPS62213269A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Hitachi Cable Ltd 半導体用リ−ドフレ−ム
DE3828700A1 (de) * 1987-09-16 1989-04-06 Nat Semiconductor Corp Kupferplattierter bleirahmen fuer halbleiter-kunststoff-gehaeuse
DE3828700C2 (de) * 1987-09-16 2002-04-18 Nat Semiconductor Corp Kupferplattierter Leiterrahmen für Halbleiter-Kunststoff-Gehäuse
JPH05283596A (ja) * 1992-03-14 1993-10-29 Kyushu Hitachi Maxell Ltd 半導体装置のリードフレーム

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JPH0141028B2 (ja) 1989-09-01

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