JPS6364052B2 - - Google Patents
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- JPS6364052B2 JPS6364052B2 JP57048541A JP4854182A JPS6364052B2 JP S6364052 B2 JPS6364052 B2 JP S6364052B2 JP 57048541 A JP57048541 A JP 57048541A JP 4854182 A JP4854182 A JP 4854182A JP S6364052 B2 JPS6364052 B2 JP S6364052B2
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- wire
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は半導体装置に係り、特にその半導体
素子の電極とリードとを接続するボンデイングワ
イヤと、当該リードとの接続部の改良に関する。
素子の電極とリードとを接続するボンデイングワ
イヤと、当該リードとの接続部の改良に関する。
半導体装置の組立てには、半導体素子(ペレツ
ト)の電極と外部リードとをボンデイングワイヤ
で接続するボンデイング工程がある。第1図はそ
の工程を示すものである。すなわち、半導体素子
1を銀(Ag)ペースト等のマウント剤によりリ
ードフレーム2のベツド2aに固着した後、この
半導体素子1の電極とボンデイングワイヤ3の一
端とをボンデイング接続し、しかる後このボンデ
イングワイヤ3の他端とリードフレーム2のイン
ナーリード部とをボンデイング接続する。ここ
に、半導体素子1の電極部は一般にアルミニウム
(Al)、リードフレーム2は鉄(Fe)系又は銅
(Cu)系の材料で構成されリードフレーム2のボ
ンデイング部には通常金めつきが施されている。
また、ボンデイングワイヤ3としては=30μm
程度の金又はアルミニウムの細線が用いられてい
る。なお、ボンデイング方法としては熱圧着法又
は超音波法が一般に用いられる。
ト)の電極と外部リードとをボンデイングワイヤ
で接続するボンデイング工程がある。第1図はそ
の工程を示すものである。すなわち、半導体素子
1を銀(Ag)ペースト等のマウント剤によりリ
ードフレーム2のベツド2aに固着した後、この
半導体素子1の電極とボンデイングワイヤ3の一
端とをボンデイング接続し、しかる後このボンデ
イングワイヤ3の他端とリードフレーム2のイン
ナーリード部とをボンデイング接続する。ここ
に、半導体素子1の電極部は一般にアルミニウム
(Al)、リードフレーム2は鉄(Fe)系又は銅
(Cu)系の材料で構成されリードフレーム2のボ
ンデイング部には通常金めつきが施されている。
また、ボンデイングワイヤ3としては=30μm
程度の金又はアルミニウムの細線が用いられてい
る。なお、ボンデイング方法としては熱圧着法又
は超音波法が一般に用いられる。
このように半導体素子1がボンデイング接続さ
れたリードフレーム2はその後モールド金型に入
れられ、第2図に示すように例えばエポキシ樹脂
4でトランスフアーモールドされた後、個別に切
断分離されるようになつている。
れたリードフレーム2はその後モールド金型に入
れられ、第2図に示すように例えばエポキシ樹脂
4でトランスフアーモールドされた後、個別に切
断分離されるようになつている。
ところで、上記ボンデイング後のボンデイング
ワイヤ3の接合強度には引張り強度等に基準値が
定められている。これは、後工程において、例え
ばリードフレーム2を移動させる際に衝撃、振動
が生じることにより、あるいはモールド工程の熱
処理時にエポキシ樹脂4とリードフレーム2との
間の熱膨張係数が異なるために、ボンデイングワ
イヤ3が剥離されることがあるため、これを防止
するものである。ボンデイングワイヤ3の接合部
のうち、第1ボンデイング側すなわち半導体素子
1との接続部は所望の引張り強度(15〜20g)が
得られるため問題はない。
ワイヤ3の接合強度には引張り強度等に基準値が
定められている。これは、後工程において、例え
ばリードフレーム2を移動させる際に衝撃、振動
が生じることにより、あるいはモールド工程の熱
処理時にエポキシ樹脂4とリードフレーム2との
間の熱膨張係数が異なるために、ボンデイングワ
イヤ3が剥離されることがあるため、これを防止
するものである。ボンデイングワイヤ3の接合部
のうち、第1ボンデイング側すなわち半導体素子
1との接続部は所望の引張り強度(15〜20g)が
得られるため問題はない。
しかしながら、第2ボンデイング側すなわちボ
ンデイングワイヤ3とリードフレーム2との接続
部においては、リードフレーム2の材質、表面の
酸化状態によつて接合条件が悪くなり、引張強度
が低下する(4〜5g)。このように引張強度が
低下すると、後工程において設備や部品の管理が
複雑になる。
ンデイングワイヤ3とリードフレーム2との接続
部においては、リードフレーム2の材質、表面の
酸化状態によつて接合条件が悪くなり、引張強度
が低下する(4〜5g)。このように引張強度が
低下すると、後工程において設備や部品の管理が
複雑になる。
この発明は上記実情に鑑みてなされたもので、
その目的は、導電性ワイヤとリードとの接合部に
おける強度が向上した半導体装置を提供すること
にある。
その目的は、導電性ワイヤとリードとの接合部に
おける強度が向上した半導体装置を提供すること
にある。
この発明は、ボンデイングワイヤとリードとの
接合部を銀ペーストで被覆し固着させるものであ
る。
接合部を銀ペーストで被覆し固着させるものであ
る。
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説
明する。第3図はボンデイング工程の終了した状
態を示すもので、リードフレームのベツド11上
には銀ペースト12により半導体素子13がマウ
ント固着されている。銀ペースト12としては、
例えばEPO−TEK社製の商品名H−31、H−
31D、H−21、H−21Dなどが用いられる。そし
て、半導体素子13の電極には例えば金でなるボ
ンデイングワイヤ14の一端が接着され、このボ
ンデイングワイヤ14の他端はリード15の表面
に接着されている。しかして、このボンデイング
ワイヤ14とリード15との接続部は、上記半導
体素子13のマウントに用いられた銀ペースト1
2と同じ材料の銀ペースト16により被覆されて
おり、これにより強固に固着されている。
明する。第3図はボンデイング工程の終了した状
態を示すもので、リードフレームのベツド11上
には銀ペースト12により半導体素子13がマウ
ント固着されている。銀ペースト12としては、
例えばEPO−TEK社製の商品名H−31、H−
31D、H−21、H−21Dなどが用いられる。そし
て、半導体素子13の電極には例えば金でなるボ
ンデイングワイヤ14の一端が接着され、このボ
ンデイングワイヤ14の他端はリード15の表面
に接着されている。しかして、このボンデイング
ワイヤ14とリード15との接続部は、上記半導
体素子13のマウントに用いられた銀ペースト1
2と同じ材料の銀ペースト16により被覆されて
おり、これにより強固に固着されている。
上記銀ペースト16は150℃の温度で30分〜3
時間の熱処理を施すことにより硬化されるもので
ある。
時間の熱処理を施すことにより硬化されるもので
ある。
このような構造にあつては、ボンデイングワイ
ヤ14とリード15との接続部はボンデイング後
さらに銀ペースト16により固着されているの
で、引張り強度は半導体素子13の電極側と同等
(15〜20g)にまで向上する。従つて、その後の
工程において、振動、衝撃が生じてもボンデイン
グワイヤ14が剥れる心配はなく、設備や部品の
管理が簡単になる。また、リード15の材質や表
面状態にかかわらず所望の強度が得られるもので
ある。さらに、上記実施例のように半導体素子1
3のマウント樹脂として銀ペースト12を使用す
ると、同じ材料でボンデイングワイヤ14の接合
強度を向上させることができる。
ヤ14とリード15との接続部はボンデイング後
さらに銀ペースト16により固着されているの
で、引張り強度は半導体素子13の電極側と同等
(15〜20g)にまで向上する。従つて、その後の
工程において、振動、衝撃が生じてもボンデイン
グワイヤ14が剥れる心配はなく、設備や部品の
管理が簡単になる。また、リード15の材質や表
面状態にかかわらず所望の強度が得られるもので
ある。さらに、上記実施例のように半導体素子1
3のマウント樹脂として銀ペースト12を使用す
ると、同じ材料でボンデイングワイヤ14の接合
強度を向上させることができる。
以上のようにこの発明によれば、導電性ワイヤ
とリードとの接合強度が向上した半導体装置を提
供できる。
とリードとの接合強度が向上した半導体装置を提
供できる。
第1図は従来のボンデイング工程を示す平面
図、第2図は同じくモールド工程を示す平面図第
3図はこの発明の一実施例に係るボンデイング工
程を示す断面図である。 11……ベツド、13……半導体素子、14…
…ボンデイングワイヤ、15……リード、16…
…銀ペースト。
図、第2図は同じくモールド工程を示す平面図第
3図はこの発明の一実施例に係るボンデイング工
程を示す断面図である。 11……ベツド、13……半導体素子、14…
…ボンデイングワイヤ、15……リード、16…
…銀ペースト。
Claims (1)
- 1 半導体素子の電極とリードとが導電性ワイヤ
で接続された半導体装置において、前記リードと
前記導電性ワイヤとの接合部を銀ペーストで被覆
し固着したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57048541A JPS58165359A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57048541A JPS58165359A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58165359A JPS58165359A (ja) | 1983-09-30 |
| JPS6364052B2 true JPS6364052B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=12806223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57048541A Granted JPS58165359A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58165359A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7278948B2 (en) | 2005-04-25 | 2007-10-09 | American Axle & Manufacturing, Inc. | “Zero” lash spherical differential assembly using spring washers |
| JP5299575B1 (ja) * | 2011-11-04 | 2013-09-25 | トヨタ自動車株式会社 | 車両用デファレンシャル装置 |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP57048541A patent/JPS58165359A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58165359A (ja) | 1983-09-30 |
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