JPS5961924A - 試料移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は試料移７ｉｉＩＩ装置、ｌＶケに、１１１（定
的ではないが、・１［子線描画装置において用いられる
のに適した試料Ｕ動装置に関する。

〔従来技術〕

電子線描画装置は試料を電子線でもって走査し）そ！１
によってその試料に予め定めらねたパターンを描画する
ものである。一般に電子線による試料の走査面積は試料
の実際に描画されるべき全面積に比べて非常に小さいた
め、試ｔ１の電子線による走ＪＥだけで試料全体の描画
を行うととｅｌ、できない。

こんなわけで、試料全体の描画を行うためにｄ試料の電
子線に、しる走査と試料の移動とを併用するのが普通で
ある。

′ｄ工子線描画装置において通當用いられている試料移
動装置によれば、試料を移動させる移動台はその縦方向
の移１ｔｉｌＩｆ規制するための第１のガイドに載置さ
れると共に、横方向の移動をカ１．制するための第２の
ガイドに係合される。そして、移動台全相１および第２
のガイドに沿って移動させたときは、移動台は第１のガ
イドに対してのみならず、第２のガイドに対しても摺動
するようになっている。

ｍ子り描１ｉ＋７ｉ装置Ｉ゛￥にお（１）る試料移動装
置Ｈにとって重太なことの一つは試料移動の停止性能で
ある。

なぜなら（、Ｊ、停止性能が悪い場合、すなわち試料が
その移動停止時に先金に停止しなかったり振動したりす
る場合はそれが直接描画精度に悪影響を与、えるからで
あ７．）。この問題ｃ；１、近年ｕＪ能になってきてい
るサブミク「Ｊンオーターーの描画全行う重子＃４制ｍ
ｌ装置において？、Ｊ：特に正渋なｊ；１）題で、ちる
。このような理由から、停止性能向上策として試料移動
の摩擦音゛ｃトきるだけ大きくするのが電子線描画装置
の分野における一般的な考え方である。前述したように
、移動台がその移動時に第１のガ・ｆ１゛に対（−での
みならず、第２のガイドに対しＣも摺動するようにして
いるのはそのためである。

一方、スルーブツト向上の１現点から、描画速度金でき
７．）たけ増大させようとするのが最近の１頃向である
。描画速ｔ、ｃ　％：増大させる／こめには移動台の移
動速度を増大させることが重要である。しかし、描画速
度を増大さ１！−ても停止性能が損なわれないようにす
るだめには試オ・［移動の摩擦を更に太きくしなければ
ならないことから啓’ｆｉ！Ｉ台の１′！１べ動力をゴ
曽大させなければならない１、その結果として移動台の
、鳴動源で、ちる〔−りを犬容１ｊ化させなけれＵ′な
るため描画精度を低下させる１、この問題はザブミク「
Ｉンオーダーの描画の場合特に大きな問題である。

〔発明の目的〕

したがって、本発明の目的は移動台の停止性能全損なわ
ず、しかも移動台の駆ルｂカを特に増大させることなし
に移動台の移ｆｆ２ＩＪ速度ｆ！：増大させるこ七がで
きる試料移動装ａり、′ｆＫ：提供することにちる。

〔発明の概安〕

本発明の特徴ｆｄ：、試料を移動させるだめの移動台を
その縦方向の移動を規制するための第１のガイドに載置
すると共にイ苫方向の７８動を規制するための第２のガ
イドに第」お」：び第２の位置において回転体を介し７
て係合させ、前ｆ１；移ｉ１Ｊ台を、前記第１のガイド
に対しては摺動さするとＪ１コに前記第２のガイドに身
重しては前記回転体ケ介してころがり接触させながら前
記第１および第２のガイドに沿って移動させるようにし
た点にある。

本発明者の実験ＡＩＦ　５ｅによると、移動台の停止１
′に能を向上させるためには移動台の第１のガイドに対
する摺２）（！Ｉ移動だけで充分であって、移動台の第
２のガイドに対する摺動係合は本質的に必要でないこと
がわかった。本発明において移動台を第２のガイドに対
して回転体を介してころがり接触しながら移１１ｊｉＪ
させるようにしたのはそのような本発明者による実験研
究事実にもとづくものである。

前述したように、本発明において１ｒま、移動台は第２
のガイドに対して回転体を介してころがり接触しながら
移動されるようになっているので、その接触部分の摩擦
係数が今までの例に比べて６１０分の１以下になり、し
たがって移動台の、駆動力も数１０分の１以下に減少さ
れる。こんなわけで、本発明によれば停止性能力演なわ
れず、１−かも移動台のｊＨＪ７；動力を特に増大させ
ること外しにその移動速度を増大させることができるか
ら、本発明が電子朽１描画ｇ、５ｊ阿において用いらり
、るならｒＪｒ　、描画４ｒＪｌ（とスルーブツトの向
上が図られろことになる。

〔発ＤＩＪの実施例〕

第１．２および３図金参照するに、試オ〜１１を移動さ
ぜるための移動台２は移動台：３の−に面に形成された
一対のガイド４に弗素樹脂などでつくられているパッド
５を介して載置されている。ガイド４の上面は移動台２
がパッド５を介して摺７１７θする面で、高精度をもっ
て平坦に仕−ヒげられている。

移動台３の上面には一対のガイド４間に位置するように
ガイド６が形成されている。移動台２の両端にはローラ
ーからなる回転体７と先端に回転部材８′ｆｆ：有する
板はね９とがそれぞれ対向するように取りつけられて−
る。回転体７はガイド６の一方のＩＩＩＩ＋而と接剤（
しており、ま／ここの接触が常に維持されるように回転
部月８が機にｊ：ね９によってガイド６の他方の側面に
押圧されている。ガイド６の一方の側面、すなわち回転
体７が接触する面は回転体７がころが９ながら進む面で
、υ、精度をもって平坦にイ上」−げられている。

移動台２の一端に設けられた駆動軸１０はモータによっ
てその軸方向に移動されるのであるが、図ではそのモー
タｄ：省略されている。

モータによって駆動軸１０がその軸方向に移動されると
、移動台２、したがって試料１も同様に移動する。この
場合、回転体７は常時ガイド６の一方の側面と接触して
いるため、移動台２の横方向（第１図の上下方向）の移
動は回転体７が接触しているガイド６の一方の面によっ
て規制される。

また、移動台２はパッド５を介してガイド４に載１首さ
れているので、移動台２の縦方向（第１図では紙面に垂
直な方向）の移動はガイド４の上面によって規制される
。しかし、前述したように、ガイド４の上面およびガイ
ド６の回転体７が接触する面は高精度をもって平坦に仕
上げられている、したがって１．駆動軸１０をその軸方
向に移動されると、移動台２はガイド４および６に沿っ
て高直進性をもって移動されることになる。

通常用いられている試料移動装置では移動台２のガイド
６の一方の側面に対する接触は回転体７を介してではな
く、パッド５と同様のパッドを介して行われている。こ
れは、既述したように、移動台２の停止性能を向上させ
るためには試料移動の摩擦をできるだけ大きくする必要
があるという電子糾描画装置の分野における一般的考え
方にもとづくものである。

しかるに、本発明者の実験研究によれば、移動台２の停
止性能を向−）ニさせるためには移動台２のガイド４に
対する摺動だけで充分であって、移動台２のガイド６に
対する摺動移動は本質的に必要で外いことがわかった。

この事実にもとづき、図示の実施例では移動台２はガイ
ド６に対して回転体７全介してころがり接触しながら移
動するようになっている。したがって、移動台２のガイ
ド６に対する摩擦係数は通常用いられているものでは０
．２程度であるのに対して、図示の実施例では００１以
下となり、このため図示の実施例における移動台２の駆
動力は今までのそれに比べてｌ／２０以下でよいことに
なる。こんなわけで、図示の実施例によれば、停止性能
が損なわれず、（７かも移Ｎｈ台２の駆動力を特に１１
Ｌ１犬Ｊることな１７にその移動速度を増大させること
かできるのである。

Ｉシｊ示の実施例Ｑ」、試料１を駆動軸］０の軸方向に
だけではなく、亡れと直角な方向、すなわち前考をＸ軸
方向とすれば、それと直角なＹ軸方向にも同様にして杢
幻ｔ＋ＩＪさせることができる構造をもっている。この
点について説明するに、移動台３は基台１１の上面に一
対のガイド４と直交するように形成された一対のガイド
１２に弗素樹脂などでつくられているパッド１３ｆｆ：
介して載置されている。ガイド１２の−４−面は移動台
３がパッド１３を介して］１贋１ｉ１Ｊする而で、高精
度をもって平坦に仕上けられている。

基体１１の上向に―、一対のガイド１２間に位置部４：
Ｊ　］、　６をイ）する仮ばね１７とがそれぞれ対向す
るようにＪＩＹ７りつけられている。回転体１５はガイ
ド１４の一方の仰１血と接触しており、才たこの接触が
常に維持されるように回転部利１６が板ばね１７によっ
てガイド１４の他方の＠１１面に押圧されている。ガイ
ド１４の一方の側面、すなわら回転体１５“が接触する
ホ■１は回転体１５がころがりながら進むＩＲｊで、高
９′ｈ度をもって平坦に仕上げらｉしている。

移動台３の一端に設りられた。（）匂１山軸１８はモー
タによってその軸方向に＃動されるのであるが、図では
そのモータは省略されている。

以上の説明から、Ｙ軸方向の試料移動４Ａ’ｆ、　４’
（’；　？Ｊ、Ｘ軸方向の試料移動機構と本質的に同じ
であることが理解される。したがって、その作用もイり
られる効果も本質的に同じであるので、ここでその説明
を重複して行うことは避けることとする。

回転体７および１５の各々は実７ｉｌｊ例でｔ」、１個
のローラーからなっているが、これｔｊ復数個からなっ
ていてもよい。第４図は回転体が４個のローラーａ、ｂ
、ｃおよびｄからなる？＋１を示す。同図において、ｅ
は第１図について首、工は移動台２又は３であると考え
てよい。同様にｆはガイド６又は１４であると考えてよ
い。

回転体が接触する而は品４１゛１度金もって平坦に仕」
二けられたとしても０．１〜０．０１μ程度の凹凸が生
じることは実際−）Ｊｉｍけがだい。したがって、回転
体が１個のローラーからなる場合はそのローラーは忠実
にその凹凸に沿って移動するが、回転体が複数個のロー
ラーからなる場合はその忠実性は１個のローラーの場合
よシも失われる。したがって、そのロー２−の移動方向
に対して直角な方向におけるローラーの変動−、ローラ
ーが１個の場合よりも複数個の場合の方が少ない。実験
では、４個の場合の変！ｔＩＩｌは１個の場合の変動の
約１１５〜１／１０程度であった。

〔発明の効宋〕

本発明によれば、移動台の停止性能を損なわず、しかも
移動台の駆動刃金特に増大させることなしに移動台の移
動速度全増大させることができる試料移動装置が提供さ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にもとづく一実施例を示す試料移動装置
の平面図、第２図は第１（Ｚ（の右側面図、第３図は第
１１閃の下面図、１■４図は第１１凶の回転体部分の変
形例を示す拡大図で勤賢・。 １・・・試料、２　、　３−・−４’ｉ！１ｒＩＩ台、
４，６，１２．１４・・・ガイド、７．１５・・・回：
ｊｊ：１：体。 第１図 第　３　図 １ 第　４　口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、試料を移ゴτｈさせるための移ＨＩｂ台をその縦方
   向の移ｊＨ，ｒＪ）を規制するための第１のガイドに載
   置すると共に横方向の移動を規制するだめの第２のガイ
   ドに第１および第２の位置において回転体を介して係合
   させ、前記移ｊｆ！＋台を、前記第１のガイドに対して
   ｔよ摺動させると共に前記第２のガイドに対してはｎｉ
   ｌ記回転回転体してころがＩ）接触させながら前記第１
   および第２のガイドに沿って移動させるようにしたこと
   全特徴とする試料移動装［；′イー。 ２゜前記第１および第２の位置における回転体の各々は
   それぞれ複数個のローラーから７人っていることを特徴
   とする！１′ｌ￥Ｉ′−請求の範囲第１頃に記載された
   試料移動装置へ。