JPS5966200A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS5966200A JPS5966200A JP57176159A JP17615982A JPS5966200A JP S5966200 A JPS5966200 A JP S5966200A JP 57176159 A JP57176159 A JP 57176159A JP 17615982 A JP17615982 A JP 17615982A JP S5966200 A JPS5966200 A JP S5966200A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- braking
- conveying device
- chute
- section
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Chutes (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、被搬送物を剰面會自Ｍ渭落させて搬送する搬
送装置に係シ、ｔ￥ｆＶｃｓ牛導体製造過程で用いられ
るＩＣハンドラに適用するのに好適な搬送装置に関する
。 一般に、向えば集積回路や大規模集積回路等の半導体装
置（以下、ＩＣと−う。）の製造過程にお−てｉ；［、
ＩＣハンドラ？用いて屯気的特性會検査する場合がある
。 従来のこの種の工Ｃハンドラとして、向えは第１図に示
すようなものが提案されている。第１図において、ＩＣ
ハンドラは、町−ダ部１と、測定部２と、アンローダ部
３と全備えておシ、ローダ部１およびアンローダ部３は
被搬送物としての１０４’（Ｈ自重滑落させるシュート
５會備えた搬送装置から実質的に構成されている。そし
て、ＩＣ４はローダ部１のシュート５會滑落し測定部２
に搬送供給さ、れ、測定部２で測定後、測定部２からア
ンローダ部３のシュート５ケ滑落して搬送排出さｎる。 ところか、工０４は斜面５全自重滑落するため、後続の
ものが先のものに激しく衝突し破損等が発生するという
問題がめる。この問題はセラミックパッケージのＩＣに
おいて顕著である。 そこで、前記の工Ｃ〕）ンドラにおっては、このような
問題全解消するため、シュートにおける■０の自重滑落
を制動するブレーキ装置６が設けられている。 このブレーキ装置１６は第１図、第２図に示すように、
シュート５の上方に円盤形状の制動部材７會ピン８ヶ弁
して偏心式せて回動自在に軸支してなυ、ジュート５上
？滑落してきた工Ｃ４の上面に制動部材７か機械的に接
触することにより制動７行なうようになっている。 しかしながら、このようなブレーキ装置は制動部材紫Ｉ
Ｃに接触させて制動しているため、制動部材とＩＣ（！
：の接舶盆確保するための取合関係の設定が極めて難し
く、制動が不足してＩＣの衝突破損が発生したり、制動
過多になってＩＣが途中で停止し、詰′！９か発生した
るする等安定性がないという欠点がｈつた。 本発明の目的は、このような欠点？解消し、被搬送物勿
常に一足の状態で搬送することかできる搬送装ｆ
送装置に係シ、ｔ￥ｆＶｃｓ牛導体製造過程で用いられ
るＩＣハンドラに適用するのに好適な搬送装置に関する
。 一般に、向えば集積回路や大規模集積回路等の半導体装
置（以下、ＩＣと−う。）の製造過程にお−てｉ；［、
ＩＣハンドラ？用いて屯気的特性會検査する場合がある
。 従来のこの種の工Ｃハンドラとして、向えは第１図に示
すようなものが提案されている。第１図において、ＩＣ
ハンドラは、町−ダ部１と、測定部２と、アンローダ部
３と全備えておシ、ローダ部１およびアンローダ部３は
被搬送物としての１０４’（Ｈ自重滑落させるシュート
５會備えた搬送装置から実質的に構成されている。そし
て、ＩＣ４はローダ部１のシュート５會滑落し測定部２
に搬送供給さ、れ、測定部２で測定後、測定部２からア
ンローダ部３のシュート５ケ滑落して搬送排出さｎる。 ところか、工０４は斜面５全自重滑落するため、後続の
ものが先のものに激しく衝突し破損等が発生するという
問題がめる。この問題はセラミックパッケージのＩＣに
おいて顕著である。 そこで、前記の工Ｃ〕）ンドラにおっては、このような
問題全解消するため、シュートにおける■０の自重滑落
を制動するブレーキ装置６が設けられている。 このブレーキ装置１６は第１図、第２図に示すように、
シュート５の上方に円盤形状の制動部材７會ピン８ヶ弁
して偏心式せて回動自在に軸支してなυ、ジュート５上
？滑落してきた工Ｃ４の上面に制動部材７か機械的に接
触することにより制動７行なうようになっている。 しかしながら、このようなブレーキ装置は制動部材紫Ｉ
Ｃに接触させて制動しているため、制動部材とＩＣ（！
：の接舶盆確保するための取合関係の設定が極めて難し
く、制動が不足してＩＣの衝突破損が発生したり、制動
過多になってＩＣが途中で停止し、詰′！９か発生した
るする等安定性がないという欠点がｈつた。 本発明の目的は、このような欠点？解消し、被搬送物勿
常に一足の状態で搬送することかできる搬送装ｆ
【提供
するにおる。 以下、本発明７図面に示す実施列にしたかって説明する
。 第３図は本発明の一実施例２ｘｃ）−ンドラに適用し７
Ｃ場合につき示す概略側面図である。 本実施列において、制動部ｍｌＯに、傾斜したシュート
５ｉ目重滑洛していく被搬送物としての工Ｃ４に非接触
にて交差する力紮付勢する付勢手段の一列である電磁石
により構成式れて込る。すなわち、第３図、第４図に示
すように、この制動装置１０にほぼ開学形状をなす鉄心
１１と、鉄心１１に巻装され之コイル１２と奮備えてな
シ、鉄心１１はシュート５にその先９！ｉＡｋ工Ｃ４の
リードに対向させて跨設されている。この制動装置】０
はシュート５に沿って複数個が適当な間隔に配されてい
る。列えば、ローダ部１のシュート５においては上手で
間隔會粗に、下手で間隔ヶ密に配さｎておシ、アンロー
ダ部３の斜面５におりてはｅよは等間隔に配されてｂる
。また、各制動装置１０のコイル１２への電流供給はそ
扛ぞれ加減調整できるようになっている。 なお、ＩＣ４のリードは鉄（４２７０イ）等の磁性材料
で構成されてｂるものとする。 次に作用を説明する。 コイル１２に通電した状態でＩＣ４が自重滑落してくる
と、鉄心１１ｔｍＩＣａの磁性材料でＭ！せられたリー
ドを吸引する磁力盆滑洛方回とほぼ直交する方向に付勢
する。この付勢力によシ、工Ｃ４はｉＤ！ｌ ＠されて
滑落速度′ｋＭめ、この繰り返えしによシＩＯ４は最下
段の制動装置１１０にて滑落ケ停止きれる１、 各ｆｉｌｊ動装置１０の制動力はコイル１２への電流値
？加減することにより容易に制御され、例えは、ＩＣ４
が測定部ｚ付近で並んで＠た場合には、上手の制動部＃
Ｌ１０の制動力を順次増加してしくとよい。 なお、制動力である磁力はＩＣのリードに及ぼす場合に
限らず、被搬送物の任意の箇所の磁性部劇に及ばせはよ
い。 本実施（＋１ｌＶｃよ汎ば、工０２磁力で制動するため
、第１図、第２図に示す場合のようにＩＣに制動部材が
機械的に接触することはなく、工０の破損の危険に皆無
になる。ｌた、制動力の制御は電流の調節によｐ極めて
容易に、かつ高度に実行することかできるので、制動装
置によってＩＯか不慮に停止δれ詰シが発生すること〒
防止でき、Ｉ友、被厳送品桓切侠時における制動力調節
のための段取時間が短縮できる。このように安定的な制
動が確保されるから、シュートの傾斜角度ｒ大きく設定
することができ、搬送時間？短縮化することができる。 なお、前記実施列では、制動装置ｖ電磁石で構成した場
合につき説明したが、制動装置は真空吸引装［１几は流
体吹付装置等の流体圧装置で構成することもでき、この
場合には磁性材料？持たない被搬送物にも適用すること
かできる。 また、本発明は工Ｃハンドラに限らず・ シュートｒ自
軍滑落させて被搬送物會搬送する搬送装置全般に適用す
ることができる。 以上説明したように、本発明によれば、被搬送物を一定
の状態で搬送することができる。
するにおる。 以下、本発明７図面に示す実施列にしたかって説明する
。 第３図は本発明の一実施例２ｘｃ）−ンドラに適用し７
Ｃ場合につき示す概略側面図である。 本実施列において、制動部ｍｌＯに、傾斜したシュート
５ｉ目重滑洛していく被搬送物としての工Ｃ４に非接触
にて交差する力紮付勢する付勢手段の一列である電磁石
により構成式れて込る。すなわち、第３図、第４図に示
すように、この制動装置１０にほぼ開学形状をなす鉄心
１１と、鉄心１１に巻装され之コイル１２と奮備えてな
シ、鉄心１１はシュート５にその先９！ｉＡｋ工Ｃ４の
リードに対向させて跨設されている。この制動装置】０
はシュート５に沿って複数個が適当な間隔に配されてい
る。列えば、ローダ部１のシュート５においては上手で
間隔會粗に、下手で間隔ヶ密に配さｎておシ、アンロー
ダ部３の斜面５におりてはｅよは等間隔に配されてｂる
。また、各制動装置１０のコイル１２への電流供給はそ
扛ぞれ加減調整できるようになっている。 なお、ＩＣ４のリードは鉄（４２７０イ）等の磁性材料
で構成されてｂるものとする。 次に作用を説明する。 コイル１２に通電した状態でＩＣ４が自重滑落してくる
と、鉄心１１ｔｍＩＣａの磁性材料でＭ！せられたリー
ドを吸引する磁力盆滑洛方回とほぼ直交する方向に付勢
する。この付勢力によシ、工Ｃ４はｉＤ！ｌ ＠されて
滑落速度′ｋＭめ、この繰り返えしによシＩＯ４は最下
段の制動装置１１０にて滑落ケ停止きれる１、 各ｆｉｌｊ動装置１０の制動力はコイル１２への電流値
？加減することにより容易に制御され、例えは、ＩＣ４
が測定部ｚ付近で並んで＠た場合には、上手の制動部＃
Ｌ１０の制動力を順次増加してしくとよい。 なお、制動力である磁力はＩＣのリードに及ぼす場合に
限らず、被搬送物の任意の箇所の磁性部劇に及ばせはよ
い。 本実施（＋１ｌＶｃよ汎ば、工０２磁力で制動するため
、第１図、第２図に示す場合のようにＩＣに制動部材が
機械的に接触することはなく、工０の破損の危険に皆無
になる。ｌた、制動力の制御は電流の調節によｐ極めて
容易に、かつ高度に実行することかできるので、制動装
置によってＩＯか不慮に停止δれ詰シが発生すること〒
防止でき、Ｉ友、被厳送品桓切侠時における制動力調節
のための段取時間が短縮できる。このように安定的な制
動が確保されるから、シュートの傾斜角度ｒ大きく設定
することができ、搬送時間？短縮化することができる。 なお、前記実施列では、制動装置ｖ電磁石で構成した場
合につき説明したが、制動装置は真空吸引装［１几は流
体吹付装置等の流体圧装置で構成することもでき、この
場合には磁性材料？持たない被搬送物にも適用すること
かできる。 また、本発明は工Ｃハンドラに限らず・ シュートｒ自
軍滑落させて被搬送物會搬送する搬送装置全般に適用す
ることができる。 以上説明したように、本発明によれば、被搬送物を一定
の状態で搬送することができる。
第１図は従来列を示す側面図、
第２図は第１図０ｎ−ｎ線に沿う拡大断面図、第３図は
本発明の一実施例を示す側面図、第４図は第３図のＩＶ
−ＩＶ線に沿う拡大断面図でおるＯ １・・・ローダ部、２・・・測定部、３・・・アンロー
ダ部、４・・・ＩＣ（被搬送物）、５・・・シュート、
１０・・制動装置、１１・・・鉄心、１２・・・コイル
。 代理人 弁理士 薄 １）利 辛 ・＼ニ １ノ 「 。 第 １１′４ 第 ２ 図 ７′ −４９７− 第３図 第 ４ １：ｓｉ ／σ
本発明の一実施例を示す側面図、第４図は第３図のＩＶ
−ＩＶ線に沿う拡大断面図でおるＯ １・・・ローダ部、２・・・測定部、３・・・アンロー
ダ部、４・・・ＩＣ（被搬送物）、５・・・シュート、
１０・・制動装置、１１・・・鉄心、１２・・・コイル
。 代理人 弁理士 薄 １）利 辛 ・＼ニ １ノ 「 。 第 １１′４ 第 ２ 図 ７′ −４９７− 第３図 第 ４ １：ｓｉ ／σ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、傾斜するシュートに自重滑落させて被搬送物ｒ搬送
する搬送装ｆｆｔ、において、前記自重滑落していく被
搬送物に非接触にてほぼ父差する方向の力葡付勢する制
動装置ｉ前記シュートに設は友こと奮１４な徴とする搬
送装置。 ２、前記制動装置が、゛電磁石からなることｔ特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57176159A JPS5966200A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57176159A JPS5966200A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966200A true JPS5966200A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16008692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57176159A Pending JPS5966200A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5966200A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62119306U (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-29 | ||
| JPS62191710U (ja) * | 1986-05-27 | 1987-12-05 | ||
| JPS6327309A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-05 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラの搬送装置 |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP57176159A patent/JPS5966200A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62119306U (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-29 | ||
| JPS62191710U (ja) * | 1986-05-27 | 1987-12-05 | ||
| JPS6327309A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-05 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラの搬送装置 |
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