JPS5975596U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5975596U JPS5975596U JP17207182U JP17207182U JPS5975596U JP S5975596 U JPS5975596 U JP S5975596U JP 17207182 U JP17207182 U JP 17207182U JP 17207182 U JP17207182 U JP 17207182U JP S5975596 U JPS5975596 U JP S5975596U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- molecular pump
- turbo
- blades
- circumferential direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案のターボ分子ポンプの固定子および静翼
の一実施例における製造過程を示す要部平面図、第２図
は本考案のポンプの要部拡大断面図である。 １・・・回転子、２・・・固定子、２１・・・スリット
、２２・・・静翼、２３・・・くびれ部、４・・・スペ
ーサ。
の一実施例における製造過程を示す要部平面図、第２図
は本考案のポンプの要部拡大断面図である。 １・・・回転子、２・・・固定子、２１・・・スリット
、２２・・・静翼、２３・・・くびれ部、４・・・スペ
ーサ。
Claims (2)
- （１）円周方向に多数の動翼をもつ回転子の複数段が同
心に配列され、各段の中間に円周方向へ多数の静翼をも
つ固定子がスペーサを介して配置されてなるターボ分子
ポンプにおいて、前記回転子の少なくとも動翼はアルミ
ニウムからなり、かつ、その表面が耐蝕性処理膜で被覆
され、前記固定子は不銹鋼からなることを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ。 - （２）固定子は薄板円環の同一円周上の等間隔位置に１
字状スリットが設けられ、該スリットに挾まれた部分が
板曲されて静翼が形成された実用新案登録請求の範囲第
１項記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17207182U JPS5975596U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17207182U JPS5975596U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975596U true JPS5975596U (ja) | 1984-05-22 |
| JPS6226638Y2 JPS6226638Y2 (ja) | 1987-07-08 |
Family
ID=30375182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17207182U Granted JPS5975596U (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975596U (ja) |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP17207182U patent/JPS5975596U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6226638Y2 (ja) | 1987-07-08 |
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