JPS5980949A - 樹脂封止半導体装置 - Google Patents
樹脂封止半導体装置Info
- Publication number
- JPS5980949A JPS5980949A JP58118320A JP11832083A JPS5980949A JP S5980949 A JPS5980949 A JP S5980949A JP 58118320 A JP58118320 A JP 58118320A JP 11832083 A JP11832083 A JP 11832083A JP S5980949 A JPS5980949 A JP S5980949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- tab
- semiconductor substrate
- semiconductor device
- corner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/40—Leadframes
- H10W70/411—Chip-supporting parts, e.g. die pads
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07541—Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature
- H10W72/07551—Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板全体を樹脂でモールドしたIC,L
SI等の樹脂封止半導体装置の構造に係る。
SI等の樹脂封止半導体装置の構造に係る。
樹脂でモールドする半導体装置の構造は第1図に示すよ
うになっており、半導体基板2を金属板よりなるタブ3
に固着した状態で樹脂1によりつりんでいる。このモー
ルド樹脂1と半導体基板2、タブ30線膨張係数が異る
ため各構成材には温度変化に伴う熱応力が生じる。ここ
に使用されている金属板製タブ3は第1図に示すリード
4と共に一枚の金属板より型打ち抜き加工により形成さ
れる。このためタブの一方の側の角部には第2図に示す
ように鋭い角のバリ6が残っている。従来技術において
は半導体基板をバリ6が残る面に対し反対側の面に固着
した後、樹脂でモールドしていた。このためタブの周辺
部に高い応力集中が起ることとなり、モールドレジンに
破断個所7が生じ易かった。
うになっており、半導体基板2を金属板よりなるタブ3
に固着した状態で樹脂1によりつりんでいる。このモー
ルド樹脂1と半導体基板2、タブ30線膨張係数が異る
ため各構成材には温度変化に伴う熱応力が生じる。ここ
に使用されている金属板製タブ3は第1図に示すリード
4と共に一枚の金属板より型打ち抜き加工により形成さ
れる。このためタブの一方の側の角部には第2図に示す
ように鋭い角のバリ6が残っている。従来技術において
は半導体基板をバリ6が残る面に対し反対側の面に固着
した後、樹脂でモールドしていた。このためタブの周辺
部に高い応力集中が起ることとなり、モールドレジンに
破断個所7が生じ易かった。
本発明の目的は樹脂でモールドした半導体装置において
モールド樹脂の破壊を防廿することにある。
モールド樹脂の破壊を防廿することにある。
本発明は、樹脂でモールドした半導体装置のタブ近傍に
生じる応力を解析した結果なされたものである。本発明
に従うと、タブの角部に生じる高い応力を低減する手段
として第3図に示すようにタブ3のバリ6のような鋭い
角を周辺に持っタブ面へ半導体基板2が固着される。
生じる応力を解析した結果なされたものである。本発明
に従うと、タブの角部に生じる高い応力を低減する手段
として第3図に示すようにタブ3のバリ6のような鋭い
角を周辺に持っタブ面へ半導体基板2が固着される。
金属板よりタブ3、リードフレーム乞作り出す最も低価
格で量産性の高い加工法は型打ち抜き法である。この加
工法によれば打ち抜かれた板の側面と表面および裏面と
なす角のうち一方はバリ6のような鋭い角となり、他方
は金属の塑性流動に伴い曲面状になる。そこで、この曲
面状になった角ケ半導体基板が固着される面に対して反
対側に位置させれば、応力集中ン低減できる。
格で量産性の高い加工法は型打ち抜き法である。この加
工法によれば打ち抜かれた板の側面と表面および裏面と
なす角のうち一方はバリ6のような鋭い角となり、他方
は金属の塑性流動に伴い曲面状になる。そこで、この曲
面状になった角ケ半導体基板が固着される面に対して反
対側に位置させれば、応力集中ン低減できる。
また、バリ6のような鋭い角部な半導体基板が固着され
る側に位置させれば、弾性率が高い半導体装置の近くに
バリ6があるため、バリ6による高い応力集中を防止す
ることができる。このためタブのバリ取り作業、角を丸
める作業が不要となる。
る側に位置させれば、弾性率が高い半導体装置の近くに
バリ6があるため、バリ6による高い応力集中を防止す
ることができる。このためタブのバリ取り作業、角を丸
める作業が不要となる。
本発明の実施例を第3図、第4図によって説明する。
半導体基板2はタブ3のバリが出ている側に固着され、
モールド樹脂1によって全体がモールドされている。こ
のタブ3の半導体基板Z固着した面に対して反対側の角
の曲率半径Rは0.02111である。本実施例におけ
るタブの角部の応力と従来品の角部の応力を比較すると
、本実施例の方が従来品より3割近く低減していること
がわかった。
モールド樹脂1によって全体がモールドされている。こ
のタブ3の半導体基板Z固着した面に対して反対側の角
の曲率半径Rは0.02111である。本実施例におけ
るタブの角部の応力と従来品の角部の応力を比較すると
、本実施例の方が従来品より3割近く低減していること
がわかった。
本発明によれば半導体装置におけるタブ3の角部に生じ
る応力集中を軽減できるのでモールド樹脂の破壊を防止
できる。第3図に図示のように、タブ3の鋭い角部6が
ある面から樹脂表面までの距離L1が、タブ30反対面
から樹脂表面(裏面)までの距離り、よりも大きい場合
は、半導体装置の信頼度が同上する。すなわち樹脂の応
力集中しやすい部分から樹脂表面までの距離が大きくな
ることによって、万−樹脂中に局部的な破壊が生じたと
しても、その破壊が樹脂表面にまで達することが起りに
くくなる。その結果、封止樹脂外からの汚染に対して半
導体基板を充分に保護できるようKなる。
る応力集中を軽減できるのでモールド樹脂の破壊を防止
できる。第3図に図示のように、タブ3の鋭い角部6が
ある面から樹脂表面までの距離L1が、タブ30反対面
から樹脂表面(裏面)までの距離り、よりも大きい場合
は、半導体装置の信頼度が同上する。すなわち樹脂の応
力集中しやすい部分から樹脂表面までの距離が大きくな
ることによって、万−樹脂中に局部的な破壊が生じたと
しても、その破壊が樹脂表面にまで達することが起りに
くくなる。その結果、封止樹脂外からの汚染に対して半
導体基板を充分に保護できるようKなる。
また、型打ち抜き加工したタブのバリ取りあるいは角の
丸め作業が不要となる。
丸め作業が不要となる。
第1図は樹脂モールドによりパッケージしたLSIの部
分断面斜視図、第2図は従来品の断面図、第3図は本発
明の実施例の断面図、第4図は本発明の実施例の部分断
面図である。 1・・・モールド樹脂、2・・・半導体基板、3・・・
タブ、4・・・リードフレーム、5・・・引出し線、6
・・・ばり、7・・・破断個所。 第 1 図 グ 第 2 図 第3図 第 4 図
分断面斜視図、第2図は従来品の断面図、第3図は本発
明の実施例の断面図、第4図は本発明の実施例の部分断
面図である。 1・・・モールド樹脂、2・・・半導体基板、3・・・
タブ、4・・・リードフレーム、5・・・引出し線、6
・・・ばり、7・・・破断個所。 第 1 図 グ 第 2 図 第3図 第 4 図
Claims (1)
- 1、半導体基板を金属板よりなるタブの上に固着し、上
記タブ及び上記半導体基板を樹脂で封止した樹脂封止半
導体装置であって、上記タブはその主面に対してはy直
交する側面と、上記主面と側面との間で鋭い角となる角
部と、上記主面の反対側の面と上記側面との間でゆるい
曲面状にされた角部とを持ち、上記半導体基板は上記主
面に固着されてなることを特徴とする樹脂封止半導体装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58118320A JPS5980949A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 樹脂封止半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58118320A JPS5980949A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 樹脂封止半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58118319A Division JPS5994449A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980949A true JPS5980949A (ja) | 1984-05-10 |
Family
ID=14733746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58118320A Pending JPS5980949A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 樹脂封止半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5980949A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016714A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
| JP2008016715A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
| JP2008021754A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS554985A (en) * | 1978-06-27 | 1980-01-14 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame for semiconductor device |
| JPS5524694A (en) * | 1979-08-09 | 1980-02-21 | Eastman Kodak Co | Fluorescent analysis for bilirubin |
-
1983
- 1983-07-01 JP JP58118320A patent/JPS5980949A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS554985A (en) * | 1978-06-27 | 1980-01-14 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame for semiconductor device |
| JPS5524694A (en) * | 1979-08-09 | 1980-02-21 | Eastman Kodak Co | Fluorescent analysis for bilirubin |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016714A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
| JP2008016715A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
| JP2008021754A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Sanyo Electric Co Ltd | フレームパッケージ型半導体レーザ装置 |
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