JPS60103693A - 混成集積回路の製造方法 - Google Patents

混成集積回路の製造方法

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JPS60103693A
JPS60103693A JP58210988A JP21098883A JPS60103693A JP S60103693 A JPS60103693 A JP S60103693A JP 58210988 A JP58210988 A JP 58210988A JP 21098883 A JP21098883 A JP 21098883A JP S60103693 A JPS60103693 A JP S60103693A
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electronic component
mounting
conductor
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松崎 和博
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は、混成集積回路の製造方法に関するものであ
る。
[発明の技術的背柴] 高周波増幅器等のある種の高周波電子回路は、規在の半
導体技術ではモノリシック集積回路として実現すること
ができないため、一般に混成集積回路によって構成され
ている。
混成集積回路は、複数のディスクリート部品を機械的に
組立てて構成されるため、モノリシック集積回路に比べ
て特性の−ばらつきが出やすく、従って、その製造方法
、すなわち組立工程、に対する改善は重要である。 特
に高周波用集積回路では部品搭載精度の高いことも重要
である。
一般に混成集積回路の製造方法として、■ 絶縁基板上
に形成された導体上に裸の半導体素子をボンディングし
た後、コンデンサ等の電子部品やリード線を該導体上に
半田づけする方法、 及び ■ 絶縁基板上に形成された導体上に電子部品及びリー
ド線を半田づけした後、該導体上に裸の半導体素子をボ
ンディングする方法、 があり、これらの方法にはそれぞれ次のような問題点が
あった。
[背景技術の問題点] 前記■の方法では、半導体素子の取付後に電子部品やリ
ード線の半田づけを行うので、電子部品やリード線の半
田づけの際には半導体素子を十分に保護しておかないと
半導体素子が半田フラックス等によって汚染されたり、
あるいは半導体素子が熱的悪影響を受ける等の問題が生
じて半導体素子の特性が劣化する恐れがある。 従って
、この方法を実施する場合、半田づけ方法として浸漬法
を採用することは不可能であり、また、浸漬による半田
づけを可能どするためには半導体素子に熱的悪影響を与
えない完全な保護膜が必要であった。
一方、前記■の方法では、電子部品やリード線の半田づ
(プを行った後に半導体素子のボンディングを行うので
、■の方法のように半導体素子の特性を劣化させる恐れ
はないが、電子部品やリード線を半田づけする際には半
導体素子を取付ける場所が半田やフラックスによって汚
染されぬように完全に保護しておく必要があるため、耐
熱性が高くかつ剥離性のよい保護膜が必要であった。 
しかし、このような保護膜がなかったため、従来この方
法においては半田浸漬法を採用することができなかった
5− 前記■及び■の方法には、それぞれに存する前記のごと
き問題点のほかに、両者に共通する次のような問題点が
あった。
すイ星わち、両方法とも部品搭載精度をだすために、電
子部品の半田づ(プを行う前にエポキシ系もしくはシリ
コン系の接着剤で該電子部品を絶縁基板の導体上に仮づ
け固定するが、これらの接着剤は一旦硬化した後は溶剤
等で溶解することができないため、接着剤は電子部品の
半田づけ終了後も残っている。 その結果、電子部品に
は接着剤による接着力と半田による接着力とが働くこと
になるが、この二つの力の大きさ及び作用点は互いに周
るため、それぞれの接着部に応力が生じ、この応力によ
って電子部品に機械的歪みが生じ、その結果、電気的特
性の劣化を生じることとなっていた。 このため、従来
方法で製造された混成集積回路は同一ロット内での特性
のばらつきが大きく、また、歩留りが低かった。
なお、前記■の方法を改善するために、例えば特公昭4
9−5383号公報に開示された方法が−〇− 提案され、一方、前記■の方法を改善するICめに、例
えば特公昭55−46063号公報に開示された方法が
提案されているが、これらの提案に開示された方法も前
記のごとき残留接着剤層に基因する問題点を有しており
、これらの提案も前記問題点の解決にはなっていない。
[発明の目的] この発明の目的は、前記のごとき残留接着剤に基因する
問題を解消することのできる、混成集積回路の製造方法
を提供することである。
[発明の概要] 本発明の好適実施例は、予め絶縁基板上に形成されてい
るリード線接続用導体部の上に半田レジストを兼ねる耐
熱再可溶性の接着剤を被覆すると同時に該絶縁基板」こ
の電子部品搭載用導体部にも該接着剤を塗布する工程と
、該電子部品搭載用導体部の上に電子部品を搭載して該
電子部品を該接着剤で仮固定する工程と、該電子部品の
周囲を半田図で固定すると同時に半導体素子搭載用導体
部の上に半田層を形成する工程と、該電子部品を該導体
部の上に接着している接着剤を溶解除去すると同時にリ
ード線接続用導体部を被覆している接着剤層を溶解除去
する工程とを含んでいることを特徴とする。
この発明の方法によれば、電子部品を仮固定するのに用
いられた接着剤が最終的に除去されるため、半田で完全
固定した後の電子部品に外部から望ましくない機械的応
力が作用せず、従って電子部品や基板に機械的歪みが生
ずる恐れがなくなり、その結果、特性のよい混成集積回
路を高歩留りで製造することができる。
[発明の実施例コ 以下に添付図面を参照して本発明の方法の一実施例につ
いて説明する。
添付図面の第1図ないし第5図は本発明による製造方法
の一実施例を工程順に断面図で示したものである。
本発明の好適実施例の第一工程では、まず第1図に示す
ように予め絶縁基板1上に形成されたリード線(半導体
素子の)接続用導体部2と電子部品搭載用導体部3の凹
部とに半田レジストを兼ねる再可溶性の接着剤をスクリ
ーン印刷等で塗布することにより、リード線接続用導体
部2と電子部品搭載用導体部3とにそれぞれ接着剤層4
及び5を形成する。 この場合、半導体素子搭載用導体
部6には該接着剤を塗布しない。 使用する接着剤は硬
化後も溶媒等により再溶解しうるとともに硬化状態を保
っている間は半田の溶融温度においても熱のみでは液状
化しない、という性質を持ったものが好ましい。 それ
ゆえ、従来から使用されているエポキシ樹脂系接着剤や
シリコン系接着剤は不適であり、むしろ熱可塑性樹脂を
主成分とする接着剤が好適である。 例えば、n−ブチ
ルカルピトールアセテートを主成分とする溶媒中にポリ
スチロールを主成分とする熱可塑性樹脂を溶解させてな
る接着剤は本発明方法の実施には最適であるが、これと
同じような性質の接着剤も本発明方法の実施のために使
用できることは勿論である。
次に、第2図に示すように電子部品搭載用導体部3にチ
ップコンデンサ等の電子部品7を搭載し一〇− た後、乾燥など適当な処理を行って接着剤層4及び5を
硬化させ、電子部品7を該導体部3上に仮固定する。
続いて、半田浴への浸漬等の方法によって、第3図に示
すように半田8を電子部品7の周囲と半導体素子搭載用
導体部6の上に付着させて電子部品7を導体部3の上に
固定させる。 この場合、電子部品搭載用導体部3と電
子部品7との間の接着剤層5はまだ残っている。
ついで、全体を溶媒中に浸漬し洗浄することにより接着
剤層4及び5を溶解除去すると、第4図に示すように電
子部品搭載用導体部3とリード線接続用導体部2とにあ
った接着剤層が消失し、リード線接続用導体部2が露出
する。
この後、更に第5図に示すように半導体素子搭載用導体
部上の半田層8に半導体素子9をボンディングした後、
リード線接続用導体部2上にリード線10をワイヤボン
ディングして混成集積回路を完成させる。
[発明の効果コ 10− 以トのごとき本発明方法では、電子部品を半[0接♀1
した後に該電子部品の仮固定に用いられた接着剤層が除
去されるため、電子部品に墾ましくない機械的歪みが生
じる恐れがなくイrす、ぞの結束、本発明方法によれば
特性のよい混成集積回路を製造することができる。
また、半田レジストと仮固定用接着とが一液一層の接着
剤塗布で可能であるから、混成集積回路の製造工程短縮
とその歩留りを著しく向上させることができる。
なお、前記実施例では本発明の前記■の方法に適用した
場合のみを示したが、本発明を前記■の方法に]商用す
ることができるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第5図は本発明方法の一実施例を工程順に
示す断面図である。 1・・・絶縁基板、 2・・・リード線接続用導体部、
3・・・°電了部品搭載用導体部、 4.5・・・接着
剤層、6・・・半導体素子搭載用導体部、 7・・・電
子部品、8・・・半田層、 9・・・半導体素子、 1
0・・・リード線。 特許出願人 東京芝浦電気株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 絶R基板上に形成された電子部品搭載用導体部及び
    半導体素子搭載用導体部並びにリード線接続用導体部に
    、チップコンデンサのごとき電子部品及び半導体素子並
    びにリード線を、それぞれ半田づGプして混成集積回路
    を製造する方法であって、 前記電子部品搭載用導体部に半田レジストを兼ねる耐熱
    再度溶性の接着剤を塗布して接着剤層を形成する工程と
    、 前記電子部品搭載用導体部の上に電子部品を搭載すると
    ともに前記電子部品を前記接着剤層によって仮固定する
    工程と、 前記電子部品の周囲に半田を付着・させることにより前
    記電子部品を前記半田により前記電子部品搭載用導体部
    の上に固定する工程と、前記接着剤層を溶解除去する工
    程と、 を含む混成集積回路の製造方法。 2 絶縁基板上に形成された電子部品搭載用導体部及び
    半導体素子搭載用導体部並びにリード線接続用導体部に
    、チップコンデンサのごどぎ電子部品及び半導体素子並
    びにリード線を、それぞれ半田づけして混成集積回路を
    製造する方法であって、 前記電子部品搭載用導体部に半田レジストを兼ねる耐熱
    性再度溶性の接着剤を塗布して接着剤層を形成すると同
    時に前記リード線接続用導体部の上に前記接着剤で被覆
    する工程と、 前記電子部品搭載用導体部に電子部品を搭載して前記電
    子部品を前記接着剤層によって仮固定する工程と、 前記電子部品の周囲に半田を付着させて前記電子部品を
    前記電子部品搭載用導体部の上に固定すると同時に前記
    半導体素子搭載用導体部の表面に半田層を形成させる工
    程と、前記電子部品を前記電子部品搭載用導体部に接着
    させている前記接着剤層を溶解除去すると同時に前記リ
    ード線接続用導体部の表面を覆っている前記接着剤を溶
    解除去する工程と、 前記接着剤を溶解除去した後の前記半田層の上に半導体
    素子を半田接着させることにより前記半導体素子搭載用
    導体部の上に半導体素子を固定すると同時に、前記リー
    ド線接続用導体部の上にリード線をボンディングする工
    程と、 を含む混成集積回路の製造方法。
JP58210988A 1983-11-11 1983-11-11 混成集積回路の製造方法 Pending JPS60103693A (ja)

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EP84113495A EP0142783B1 (en) 1983-11-11 1984-11-08 Method for producing hybrid integrated circuit
DE8484113495T DE3482013D1 (de) 1983-11-11 1984-11-08 Verfahren zum herstellen einer integrierten hybridschaltung.
US06/669,364 US4635346A (en) 1983-11-11 1984-11-08 Method for producing hybrid integrated circuit

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63187691A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 アイワ株式会社 プリント配線板
JPH09293744A (ja) * 1996-02-29 1997-11-11 Denso Corp 電子部品の実装方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5150463A (en) * 1974-10-29 1976-05-04 Marukon Denshi Kk Konseishusekikairono seizohoho
JPS5775017A (en) * 1980-10-27 1982-05-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Production for piezoelectric forcelain resonator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5150463A (en) * 1974-10-29 1976-05-04 Marukon Denshi Kk Konseishusekikairono seizohoho
JPS5775017A (en) * 1980-10-27 1982-05-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Production for piezoelectric forcelain resonator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63187691A (ja) * 1987-01-30 1988-08-03 アイワ株式会社 プリント配線板
JPH09293744A (ja) * 1996-02-29 1997-11-11 Denso Corp 電子部品の実装方法

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