JPS60123045A - 電子部品パッケ−ジ及びその製造方法 - Google Patents

電子部品パッケ−ジ及びその製造方法

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JPS60123045A
JPS60123045A JP58230823A JP23082383A JPS60123045A JP S60123045 A JPS60123045 A JP S60123045A JP 58230823 A JP58230823 A JP 58230823A JP 23082383 A JP23082383 A JP 23082383A JP S60123045 A JPS60123045 A JP S60123045A
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JP
Japan
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resin
component
sealing resin
package
sealing
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Hiroaki Fujimoto
博昭 藤本
Tomio Wada
和田 富夫
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、IC,LSIの小形、薄形パンケージ、例え
ばチップキャリヤパッケージ、あるいはIC,LSIチ
ップをセラミック又は樹脂等の基板に直接搭載するハイ
ブリッドICや電子時計用回路基板等に広く用いられて
いるいわゆるチップオンボード等に利用する電子部品パ
ッケージ及びその製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点 第1図に樹脂材料を使用した従来のIC,LSIのチッ
プキャリヤパッケージの構造を示す。以下にこの従来例
の構成について、第1図A、Bとともに説明する。第1
図A、Hにおいて、ベース板1は樹脂材料より成り、ダ
イパッド2.ワイヤボンディングバッド3.外部電極4
.側面導体5゜金属箔12.絶縁層13を有している。
これらの形成は例えば通常の両面スルーホールプリント
基板と同様のプロセスによってなされ、側面導体5けス
ルーホールを半分に切断して得られる。次にダイパッド
2の上に、ダイボンディング用接着剤7等を用いて丁C
,L8丁チップ6を固着する。
続いてチップ6の電極8とワイヤポンディングパッド3
とをボンディングワイヤ9にてワイヤボンディングし接
続する。最後に枠10を置き、枠内にエポキシ、シリコ
ーン等の封止樹脂を充填硬化して完成する。使用する際
は、外部電極4をプリント基板等の電極にハンダづけし
て回路を構成する0 本方法によれば、封止に樹脂を使用しているのでコスト
が安く、容易に実施できる利点があるが次に示すような
欠点があった。
(1)電子機器の小形、高密度化の要求に対応する為に
、チップキャリヤパッケージにも小形化が要求される。
チップキャリヤパッケージを小形にする為には、ベース
板1の外形寸法をなるべく小さくシ、かつ厚さをなるべ
く薄くすると同時に、枠10の高さをなるべく低くして
封止樹脂11の厚さを薄くシ、全体として小形、薄形化
をはからなければならない。例えばベース板1の外形寸
法は一辺が5〜10 mm、厚さは0.1〜1.0 m
m、封止樹脂11のチップ6上での厚さは0.2〜0.
8 mm程度となる。一般に樹脂は湿気を透過する性質
をもっており、樹脂封止した半導体は封止樹脂中を透過
した大気中の湿気によって劣化する事が知られている。
金属箔12はパッケージの裏面からの湿気侵入に対して
は遮断効果があるが、表面からの湿気侵入に対しては全
く無防備である。特に上に述べた様に、樹脂の厚さが薄
い場合にはその影響が大きく、高温、高湿中で使用する
と半導体の寿命は著しく短くなる。
(2)封止樹脂の充填方法として金型を使用せず、オー
プンエアーで行なった場合、第1図に示した様に封止樹
脂の表面が平坦にならず、一般に凸状になる。この為、
チップキャリヤパッケージを基板にマウントするとき、
真空吸着コレットでは正しく水平に吸着できなくなシ、
マウント精度が低下する。
発明の目的 本発明は、上記従来例の欠点を除去するものであり、封
止材料はコストの安い樹脂材料で、しかも樹脂の厚さを
薄くした薄形構造でありながら、耐湿性の向上をはかる
ことを目的とするものである。更に、樹脂の充填方法が
金型を使用しない場合においても、パッケージの表面を
平坦とし、マウント精度の向上をはかろうとするもので
ある。
発明の構成 本発明は、上記目的を達成する為に封止樹脂の表面に気
密層(例えば金属層)を設ける様にしたものである。こ
の気密層によってパッケージの表面からの大気中の湿気
の侵入を遮断し、封止樹脂の厚さを薄くした薄形構造に
おいても半導体の劣化を防いでIC1Ls■の長寿命化
を得るものである。また、気密層として平坦構造のもの
を用いることによって、封止樹脂の充填が金型を使用し
ない方法であってもパッケージの表面を平坦とし、マウ
ント精度を向上できる効果を得るものである。
実施例の説明 本発明の一実施例について、第2図A、B、第3図A、
Dと共に説明する。本実施例は、樹脂材料を使用したI
C,LSIのチップキャリヤパッケージである。第2図
A、Bは、チップキャリヤパッケージのベース板の平面
図及びa−a・断面図であり、第3図A−Dは組み立て
工程図である。
まず、チップキャリヤパッケージのミース板について第
2図とともに説明する。
第2図において、ベース板21は樹脂材料より成り、ダ
イポンディングパッド22.ワイヤポンディングパッド
23.外部電極24.側面導体25、金属箔32.絶縁
層33を有している。これらの形成は第1図において述
べた従来例の場合と同様の方法でなされる。次に組み立
て工程について第3図とともに説明する。まず、第3図
Aに示す様にベース板21のダイポンディングパッド2
2の上に、ダイボンディング用樹脂27等を用いてIC
,LSIチップ26をダイボンディングする。次に第3
図Bに示す様に、チップ26の電極28とワイヤポンデ
ィングパッド23とをボンディングワイヤ29にてワイ
ヤボンディングし、接続する。引き続いて第3図Cに示
す様に、枠30を接着剤34を用いてベース板21に接
着しく封止樹脂の粘度によっては置くだけでもよい)エ
ポキシ又はシリコーン等の封止樹脂31を枠30内に充
填する。これ迄の工程は第1図に示した従来例と全く同
様である。最後に、第3図りに示す様に絶縁層36をも
つ金属板35を封止樹脂3】の表面にのせて封止樹脂3
1を硬化させる。
硬化前の封止樹脂31が液状であれば、金属板35はそ
のま\樹脂の上にのせて、まだ、粉末又は固形の場合は
一度加熱して液状とし、その上にのせて硬化処理すれは
封止樹脂が硬化すると同時に金属板35は封止樹脂の接
着作用によって封止樹脂31上に強固に接着する。金属
板35の材質は、銅、アルミ、ニッケル等入手容易な吃
のでよく、特に制限はなく、厚さは0.01. mm程
度以上であれば充分大気からの湿気侵入を防ぐ事ができ
る。
絶縁層36は金属板35とボンディングワイヤ29とが
接触するのを防ぐだめのものであり、ワイヤと金属板の
間隔が広ければ不必要である。必要によっては、金属板
35の上面に絶縁層を設けたり、又は金属板350更に
上側を封止樹脂で被覆してもよい。
本実施例によれば、樹脂材料を使用したIC。
L S Iのチンプキャリャハンゲージにおいて、封止
樹脂31上に金属板35を接着したので・くノケージ表
面からの大気中の湿気の侵入を防いで、半導体の劣化を
防ぎ、IC,LSIの長寿命化が得られると同時に、パ
ッケージの表面が平坦となってマウント精度が向上する
利点がある。金属板35の厚さは0.01 mm程度以
上と、非常に薄いのでパッケージ全体の高さにはほとん
ど影響を与えることがなく、金属板35の湿気遮断効果
によって封止樹脂3]の厚さを薄くできるので、薄形パ
ッケージが可能となる。又、金属板35の接着と封止樹
脂31の硬化とは同時に々されるので、金属板35の接
着工程を別に設ける必要はない。
本発明の構成を具体化する他の実施例を以下に示す。
(1)第3図において、封止樹脂31上に金属層を形成
するのに、封止樹脂31が硬化後金載板を接着するか、
またはメッキ、スパッター蒸着、溶射等の方法によるも
の。
(2)気密層として金属によらず、セラミック。
ガラス等の非金属材料を使用したもの。
(3)気密層の上面を樹脂で被覆したもの。
(4)封止樹脂の充填方法としてオープンエアーの他、
金型成型法によるもの。
(5)第3図においてベース板21が他の構造のもの、
及び利質が樹脂以外のもの。
(6)第3図において枠30を使用しないもの。
(力 第3図においてベース板21が回路基板の場合、
すなわち、ハイブリッドICにおいてIC。
LSIチップを直接基板上に搭載した場合や、電子時計
用回路基板に広く用いられている、いわゆるチップオン
ボードの場合等。
(8)全実施例の任意の組合わせ。
発明の効果 本発明は、上記のよう々構成であり、以下に示す効果が
得られるものである。
(1) IC,LSIチップの樹脂パッケージにおいて
、封止樹脂の表面に気密層を設ける様にしだので、大気
中の湿気がパッケージ中に侵入するのを防ぐことができ
る。その為、半導体の劣化を防ぎ、IC,LSIの長寿
命化が得られる。気密層の厚さは0.01 mm程度以
上と薄いものであり、気密層の防湿効果によって封止樹
脂の厚さは薄くてもよいので、薄形構造が可能となる。
(2)封止樹脂の表面に平坦な構造の気密層を設けるこ
とによって、封止樹脂の充填に金型を使用しない場合で
も、パッケージの表面は平坦となる。
そのため、基板上にパッケージをマウントするとき、真
空吸着コレットで吸着しても正しく水平に吸着され、マ
ウント精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図A、Bは、従来のIC,LSIのチップキャリヤ
パッケージの断面図および平面図、第2図A、Bは本発
明の一実施例における電子部品パッケージの断面図およ
び平面図、第3図A−Dは同電子部品パッケージの各製
造工程における断面図である。 21・・・ベース板、22・・・ダイポンディングパッ
ド、23・・・ワイヤポンディングパッド、24・・・
外部電極、25・・・側面導体、26・・・IC,LS
Iチップ、27・・・ダイボンディング用樹脂、28・
・電極、I29・・・ボンディングワイヤ、30・・枠
、31・・・封止樹脂、32・・・金属箔、33・・絶
縁層、34・・・接着剤、35・・・金属板、36・・
絶縁層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)−主面に部品搭載部及び部品接続電極を有する基
    板と、この基板の上記部品搭載部に固着された部品と、
    上記部品の電極と上記基板の部品接続電極とを電気的に
    接続する導電部材と、少くとも上記部品を覆う封止材と
    、この封止材上又は封止材内に設けられた気密層とを有
    する電子部品パンケージ。
  2. (2)金属板で気密層を構成した特許請求の範囲第1項
    記載の電子部品パッケージ。
  3. (3) ガラスで気密層を構成した特許請求の範囲第1
    項記載の電子部品パッケージ。
  4. (4)セラミックで気密層を構成した特許請求の範囲第
    1項記載の電子部品パッケージ。
  5. (5)少なくとも片面に絶縁層を有する気密層を用いた
    特許請求の範囲第1項記載の電子部品パッケージ。
  6. (6)−主面に部品搭載部及び部品接続電極を有する基
    板の上記部品搭載部に部品を固着する部品固着工程と、
    上記部品の電極と上記基板の部品接続電極とを接続する
    電極接続工程と、少なくとも上記部品を覆う様に上記基
    板上に封止材を設ける封止工程と、上記封止工程後又は
    封止工程中に上記封止材上又は封止材内に気密層を形成
    する気密層形成工程とからなる電子部品パッケージの製
    造方法。
JP58230823A 1983-12-07 1983-12-07 電子部品パッケ−ジ及びその製造方法 Pending JPS60123045A (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50135985A (ja) * 1974-04-16 1975-10-28
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