JPS601496A - 導電性プラスチツクスを用いた真空用ベロ−ズ - Google Patents
導電性プラスチツクスを用いた真空用ベロ−ズInfo
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- JPS601496A JPS601496A JP10788783A JP10788783A JPS601496A JP S601496 A JPS601496 A JP S601496A JP 10788783 A JP10788783 A JP 10788783A JP 10788783 A JP10788783 A JP 10788783A JP S601496 A JPS601496 A JP S601496A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Non-Disconnectible Joints And Screw-Threaded Joints (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は導電性プラスチックスを用いた真空用ベロー
ズに関するものである。
ズに関するものである。
従来一般に真空用ベローズとしては金属製ベローズが用
いられているが、金属製ベローズは極めて高価であり、
耐薬品性の点で問題があり、また金属フランジに溶接す
る際にも特殊な技術が必要とされる。ところで塩化ビニ
ル製のベローズやポースは軽量、安価で劇薬品性も和尚
改善されてきているが、耐熱性、耐候性、端末部シール
の（ｇ軸性、燃焼時の有毒性等の点で問題があｐｌまた
軽質塩化ビニルホースはガス放出性等に問題がある。
いられているが、金属製ベローズは極めて高価であり、
耐薬品性の点で問題があり、また金属フランジに溶接す
る際にも特殊な技術が必要とされる。ところで塩化ビニ
ル製のベローズやポースは軽量、安価で劇薬品性も和尚
改善されてきているが、耐熱性、耐候性、端末部シール
の（ｇ軸性、燃焼時の有毒性等の点で問題があｐｌまた
軽質塩化ビニルホースはガス放出性等に問題がある。
最近、真壁装置の応用分野は極めて多岐にわたってきて
おシ、真空ポンプだけでなく、真空配偶に対しても苛酷
な条件下での耐久性が要求されてきている。例えば、半
導体素子の１！造過程では各種の活性ガスや有毒ガスが
使用され、通當の金属製配管や真空ポンプに対する腐食
が大きな問題となってきている〇 そこでこの発明は、近年目覚しい進歩を遂げている工ν
ジニアリング・プラスチックスを利用して従来用いられ
てきた金属や塩化ビニル樹脂Φｊの代シに導電性プラス
チックスで構成した真空用ベローズを提供することを目
的としている。
おシ、真空ポンプだけでなく、真空配偶に対しても苛酷
な条件下での耐久性が要求されてきている。例えば、半
導体素子の１！造過程では各種の活性ガスや有毒ガスが
使用され、通當の金属製配管や真空ポンプに対する腐食
が大きな問題となってきている〇 そこでこの発明は、近年目覚しい進歩を遂げている工ν
ジニアリング・プラスチックスを利用して従来用いられ
てきた金属や塩化ビニル樹脂Φｊの代シに導電性プラス
チックスで構成した真空用ベローズを提供することを目
的としている。
この目的のためこの発明による真壁用ベローズは耐薬品
性で導電性または塗装や真空蒸着などによりその表面に
導電性を付与した樹脂材料を用いて成形したベローズ部
拐とフランジ部拐とがら成υ、ベローズ部材とフランジ
部材とを４ｉ電性接着剤または浴剤接篇によシ気密に結
合し／こことを特徴としている。
性で導電性または塗装や真空蒸着などによりその表面に
導電性を付与した樹脂材料を用いて成形したベローズ部
拐とフランジ部拐とがら成υ、ベローズ部材とフランジ
部材とを４ｉ電性接着剤または浴剤接篇によシ気密に結
合し／こことを特徴としている。
ベローズ部材は好ましくは、例えはポリブチレンチレフ
タレ−）（ＰＢＴ）樹月旨またはそのエラストマを用い
てブロー成形によ多形成され得る。寸だフランジ部材は
例えばポリブチレンチレフクレー）（ＰＢＴ）樹脂を用
いて射出成形によ多形成され得る。ざらにこの発、明に
おいてはベローズ部栃の成形時にその長手方向の１ケ所
乃至数ケ所を筒状に形成し、それにより筒状部位で切断
して所望の長さのベローズ部札を得ることができるよう
にすると共に減圧時のベローズの変形を緩和する働きを
もたせることができる。
タレ−）（ＰＢＴ）樹月旨またはそのエラストマを用い
てブロー成形によ多形成され得る。寸だフランジ部材は
例えばポリブチレンチレフクレー）（ＰＢＴ）樹脂を用
いて射出成形によ多形成され得る。ざらにこの発、明に
おいてはベローズ部栃の成形時にその長手方向の１ケ所
乃至数ケ所を筒状に形成し、それにより筒状部位で切断
して所望の長さのベローズ部札を得ることができるよう
にすると共に減圧時のベローズの変形を緩和する働きを
もたせることができる。
以下この発明を添附図面を参照してさらに説明する。
第１図にはこの発明による真空用ベローズの一実施例を
示し、１はフランジ部材で、このフランジ部材１は硬度
、クリープ特性および寸法精度船−を考慮して例えはＰ
Ｉ３Ｔ樹脂（カーボン繊維入シ）を用いて射出成形によ
り形成され、藍たこのフランジ部わ１の形状（ｆｌＩｓ
Ｏ規格のクイック・カップリング方式としている０２は
ベローズ部制で、このベローズ部材２は弾性を必髪とす
るためＰＢＴ （釣脂またはＰＢＴエラストマを使用し
てブロー成形により成形され、また図示したようにベロ
ーズ長さを選べるように切断可能な筒状部分６が形成さ
れている。
示し、１はフランジ部材で、このフランジ部材１は硬度
、クリープ特性および寸法精度船−を考慮して例えはＰ
Ｉ３Ｔ樹脂（カーボン繊維入シ）を用いて射出成形によ
り形成され、藍たこのフランジ部わ１の形状（ｆｌＩｓ
Ｏ規格のクイック・カップリング方式としている０２は
ベローズ部制で、このベローズ部材２は弾性を必髪とす
るためＰＢＴ （釣脂またはＰＢＴエラストマを使用し
てブロー成形により成形され、また図示したようにベロ
ーズ長さを選べるように切断可能な筒状部分６が形成さ
れている。
フランジ部材１とベローズ部材２とは第１図に符号４，
５で示すように二種類の接着剤すなわち等ｌ＋ｉ、件接
着剤４および接着強度の高い非尋１ｂ、性接尤剤５によ
シフランジ側内面および突当り部とブロー成形特寸法精
度の出るベローズ部栃外面とのＩｂｔ、ｉで気密接着さ
れている。この編合、使用目的や使用する接着剤の特性
にょカ一種類の接着剤でフランジ部材１とベローズ部材
２とを接１１することもできる。
５で示すように二種類の接着剤すなわち等ｌ＋ｉ、件接
着剤４および接着強度の高い非尋１ｂ、性接尤剤５によ
シフランジ側内面および突当り部とブロー成形特寸法精
度の出るベローズ部栃外面とのＩｂｔ、ｉで気密接着さ
れている。この編合、使用目的や使用する接着剤の特性
にょカ一種類の接着剤でフランジ部材１とベローズ部材
２とを接１１することもできる。
また使用する導電性または表…１に導電性を付与したプ
ラスチックス材料についても上述の例に限られるもので
はなく、使用目的や条件に応じて任意に選択することが
できる。
ラスチックス材料についても上述の例に限られるもので
はなく、使用目的や条件に応じて任意に選択することが
できる。
このようにして構成した真空用ベローズは例えば第２図
に示すように配管の端部接続時の微調整用に１節ベロー
ズとして実施したシ、１だ第３図に示すように防振と接
続位置微調艙ｆ：兼ねて例えは主ポンプ頂部に接続され
る２節ベローズとして実施することができる。
に示すように配管の端部接続時の微調整用に１節ベロー
ズとして実施したシ、１だ第３図に示すように防振と接
続位置微調艙ｆ：兼ねて例えは主ポンプ頂部に接続され
る２節ベローズとして実施することができる。
この発明においては、フランジ部材１、ベローズ部拐２
および両部材間の接着部はイ「電防上のため訟ｎＩＪ抵
抗１０４Ω／（：ｍ２以下の導電性をもつ樹脂表面およ
び接着剤を使用する。例えはＰＢＴ樹脂およびそのエラ
ストマを使用した動台、従来の金属または塩化ビニル製
のベローズに比べて耐薬品性が極めて高い。また面ｊ熱
温度範囲も一６０°Ｃ〜１２０゜Ｃと広く、イ１青ガス
を扼生じない。さらに金４．１−ｓ ？ベローズに比べ
て安価、軽知に作ることができると共にガス放出性（５
ｘ １０ Ｔｏｒｒ Ａ／ｓ ｃｍ ） 、カス透過性
（２ｘ １０ Ｔｏｒｒ Ｌ ｃｍ／ｓ Ｃｍ ）が小
さい０寸たベローズをクイックカップリング方式として
滑脱容易と５−ることかできる。
および両部材間の接着部はイ「電防上のため訟ｎＩＪ抵
抗１０４Ω／（：ｍ２以下の導電性をもつ樹脂表面およ
び接着剤を使用する。例えはＰＢＴ樹脂およびそのエラ
ストマを使用した動台、従来の金属または塩化ビニル製
のベローズに比べて耐薬品性が極めて高い。また面ｊ熱
温度範囲も一６０°Ｃ〜１２０゜Ｃと広く、イ１青ガス
を扼生じない。さらに金４．１−ｓ ？ベローズに比べ
て安価、軽知に作ることができると共にガス放出性（５
ｘ １０ Ｔｏｒｒ Ａ／ｓ ｃｍ ） 、カス透過性
（２ｘ １０ Ｔｏｒｒ Ｌ ｃｍ／ｓ Ｃｍ ）が小
さい０寸たベローズをクイックカップリング方式として
滑脱容易と５−ることかできる。
身５１図はこの光り月による真ち！月」ベローズの一実
施例を示″′ｆ′断面図、負、２，６図は真債几ベロー
ズの使用例を示す概略図である。 図中、１：フランジ部材、 ２：ベロース？’：ｌＸ拐
、 ４：ηＪ色性接妬−剤、 ５：接気″゛ｊ剤。
施例を示″′ｆ′断面図、負、２，６図は真債几ベロー
ズの使用例を示す概略図である。 図中、１：フランジ部材、 ２：ベロース？’：ｌＸ拐
、 ４：ηＪ色性接妬−剤、 ５：接気″゛ｊ剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 劇薬品性で導電性または導電塗装、真空基層などに
より表面に導電性を付与した樹脂材料を用いて成形した
ベローズ部材と、フランジ部材とから成シ、ベローズ部
材とフランジ部材とを導電性接着剤または溶剤接着によ
シ気密に結合したことを特徴とする真空用ベローズ。 ２、 ベローズ部材の長手方向の少なくとも一つの１１
月１１部位を筒状に形成した特許請求の範囲第１項に記
載の真空用ベローズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10788783A JPS601496A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 導電性プラスチツクスを用いた真空用ベロ−ズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10788783A JPS601496A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 導電性プラスチツクスを用いた真空用ベロ−ズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601496A true JPS601496A (ja) | 1985-01-07 |
Family
ID=14470588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10788783A Pending JPS601496A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 導電性プラスチツクスを用いた真空用ベロ−ズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601496A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61291787A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | ポンプ |
| JP2008508095A (ja) * | 2004-08-03 | 2008-03-21 | エケロス，ラルス | 増強されたエネルギー効率的な生物学的（廃）水処理のためのプロセスおよびリアクタ |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP10788783A patent/JPS601496A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61291787A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-22 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | ポンプ |
| JP2008508095A (ja) * | 2004-08-03 | 2008-03-21 | エケロス，ラルス | 増強されたエネルギー効率的な生物学的（廃）水処理のためのプロセスおよびリアクタ |
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