JPS60151032A - 真空連続処理装置 - Google Patents
真空連続処理装置Info
- Publication number
- JPS60151032A JPS60151032A JP709484A JP709484A JPS60151032A JP S60151032 A JPS60151032 A JP S60151032A JP 709484 A JP709484 A JP 709484A JP 709484 A JP709484 A JP 709484A JP S60151032 A JPS60151032 A JP S60151032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- guide roller
- vacuum
- vacuum processing
- processing chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明ノー門やプラスチック成形品、たとえば、塩化ビ
ニール系樹脂フィルムなどの被処理物を連続的に真空状
態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関するもので
あり、上述のブラチック成形品とはプラスチックフィル
ム、プラスチックシートあるいはプラスチック被覆電線
などを指す。
ニール系樹脂フィルムなどの被処理物を連続的に真空状
態でプラズマ処理する真空連続処理装置に関するもので
あり、上述のブラチック成形品とはプラスチックフィル
ム、プラスチックシートあるいはプラスチック被覆電線
などを指す。
（１）
従来、真空処理室の前後に予備真空室を配置し、段階的
に真空圧力を下げて被処理物を連続的に表面処理する装
置が特開昭５７−１９５７４８号公報などにより示され
ている。
に真空圧力を下げて被処理物を連続的に表面処理する装
置が特開昭５７−１９５７４８号公報などにより示され
ている。
ところで、第４図に示す如く前記真空処理室内に備えら
れる被処理物搬送用ガイドローラ１８は軸２１に取り付
けられた軸受２２を介して回転自在に支持されており、
被処理物の張力により回転している。しかし、真空処理
室内では、図示しない陽電極とガイドローラ間に飛散す
るプラズマ放電などによる発生熱、あるいはプラズマ放
電などにより温度上昇した真空処理室からの輻射熱によ
り、ガイドローラを支持する軸受の温度が上昇し、熱変
形して軸受が固渋するという問題点が生じていた。
れる被処理物搬送用ガイドローラ１８は軸２１に取り付
けられた軸受２２を介して回転自在に支持されており、
被処理物の張力により回転している。しかし、真空処理
室内では、図示しない陽電極とガイドローラ間に飛散す
るプラズマ放電などによる発生熱、あるいはプラズマ放
電などにより温度上昇した真空処理室からの輻射熱によ
り、ガイドローラを支持する軸受の温度が上昇し、熱変
形して軸受が固渋するという問題点が生じていた。
本発明の目的は、真空処理室内のガイドローラを支持す
る軸受の固渋を防止するようにした真空連続処理装置を
提供することにある。
る軸受の固渋を防止するようにした真空連続処理装置を
提供することにある。
（２）
本発明の特徴は、ガイドローラを回転自在に支持する軸
受の外周との間にわずかな隙間を形成するように軸受カ
バーを配設したものである。
受の外周との間にわずかな隙間を形成するように軸受カ
バーを配設したものである。
以下本発明の一実施例を図面により説明する。
第１図および第２図において、■はプラスチックフィル
ム例えば塩化ビニール系樹脂フィルムのように可撓性の
被処理物Ｆを真空状態で連続的にプラズマ処理する真空
処理室、２は真空処理室】の前方側に複数個配置される
予備真空室、３は真空処理室１の後方側に複数個配置さ
れる予備真空室で、前記真空処理室１内はこれに接続す
る真空ポンプ４により１０−２ト一ル程度の真空圧力に
保持するように排気管５を介して真空排気される。
ム例えば塩化ビニール系樹脂フィルムのように可撓性の
被処理物Ｆを真空状態で連続的にプラズマ処理する真空
処理室、２は真空処理室】の前方側に複数個配置される
予備真空室、３は真空処理室１の後方側に複数個配置さ
れる予備真空室で、前記真空処理室１内はこれに接続す
る真空ポンプ４により１０−２ト一ル程度の真空圧力に
保持するように排気管５を介して真空排気される。
前記予備真空室２，３内はこれに接続する真空ポンプ６
により前記真空処理室１内の真空圧力より若干高く、か
つ大気圧より段階的に減じる真空圧力に保持するように
排気管４を介して真空排気される。
により前記真空処理室１内の真空圧力より若干高く、か
つ大気圧より段階的に減じる真空圧力に保持するように
排気管４を介して真空排気される。
処理される被処理物Ｆは巻出装置８より前方側（３）
の予備真空室２を経て真空処理室１へ送られ、そこでプ
ラズマ処理された後、さらに後方側の予備真空室３を経
て巻取装置９で巻取られる。１ｏは駆動用モータで、こ
の駆動用モータ１ｏはラインシャフト１１および無段変
速機１２，１３，１４゜１５を介して真空処理室１、予
備真空室２，３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処
理室１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動系
の回転速度は前記無段変速機１．２，１３，１４，１５
により適宜調整される。
ラズマ処理された後、さらに後方側の予備真空室３を経
て巻取装置９で巻取られる。１ｏは駆動用モータで、こ
の駆動用モータ１ｏはラインシャフト１１および無段変
速機１２，１３，１４゜１５を介して真空処理室１、予
備真空室２，３、巻取装置９へ駆動力を伝達し、真空処
理室１、予備真空室２，３および巻取装置９の各駆動系
の回転速度は前記無段変速機１．２，１３，１４，１５
により適宜調整される。
第３図は前記真空処理室ｌ内の概要を示すもので、真空
処理室１はドラム状の陰電極１６と、この陰電極１６の
外周側に陰電極との間隔が調整可能に配列された少なく
とも１本のクランク構造の陽電極１７と、被処理物Ｆを
案内する少なくとも１本のガイドローラ１８とから成っ
ている。
処理室１はドラム状の陰電極１６と、この陰電極１６の
外周側に陰電極との間隔が調整可能に配列された少なく
とも１本のクランク構造の陽電極１７と、被処理物Ｆを
案内する少なくとも１本のガイドローラ１８とから成っ
ている。
前記ガイドローラ１８は鉄製又はアルミ合金などで出来
ており、その両端は支持されている。
ており、その両端は支持されている。
第５図において、２１はガイドローラ１８を軸受２２を
介して支持する軸、２３は軸受２２の固（４） 渋を防止する軸受カバーで、この軸受カバー２３は軸受
２２の外周側との間にわずがな隙間（図示Ｑ）を形成す
るように軸２１に取付けられている。
介して支持する軸、２３は軸受２２の固（４） 渋を防止する軸受カバーで、この軸受カバー２３は軸受
２２の外周側との間にわずがな隙間（図示Ｑ）を形成す
るように軸２１に取付けられている。
尚、前記隙間は１ｍｌ以下に形成することにより、この
隙面でプラズマ放電が発生しないことが実験により確認
されている。
隙面でプラズマ放電が発生しないことが実験により確認
されている。
このように軸受２２外周を覆うように軸受カバー２３を
配設することにより、軸受２２での発熱を防止し、軸受
２２における固渋を防止することができる。したがって
、被処理物Ｆの張力により正常に回転する。また、プラ
ズマ放電により温度上昇した真空処理室１からの輻射熱
を防止することも可能である。
配設することにより、軸受２２での発熱を防止し、軸受
２２における固渋を防止することができる。したがって
、被処理物Ｆの張力により正常に回転する。また、プラ
ズマ放電により温度上昇した真空処理室１からの輻射熱
を防止することも可能である。
本発明装置によれば、ガイドローラ軸受部でのプラズマ
放電の発生が防止でき、また、放電により温度上昇した
真空処理室からの輻射熱を軸受カバーで防止できるため
、軸受の固渋が防止できる。
放電の発生が防止でき、また、放電により温度上昇した
真空処理室からの輻射熱を軸受カバーで防止できるため
、軸受の固渋が防止できる。
第１図は本発明の真空連続処理装置の概略縦断（５）
面図、第２図は第１図の概略平面図、第３図は本発明装
置における真空処理室の側断面図、第４図は従来のガイ
ドローラの詳細図、第５図は本発明装置におけるガイド
ローラの詳細図である。 １８・・・ガイドローラ、２１・・・軸、２２・・・軸
受。 （６）
置における真空処理室の側断面図、第４図は従来のガイ
ドローラの詳細図、第５図は本発明装置におけるガイド
ローラの詳細図である。 １８・・・ガイドローラ、２１・・・軸、２２・・・軸
受。 （６）
Claims (1)
- 真空処理室と予備真空室と、該真空処理室内に陽電極お
よび陰電極と被処理物搬送用ガイドローラを具え、両電
極の間に被処理物を送り込むことにより、被処理物の表
面を連続的に処理する真空連続処理装置において、前記
ガイドローラを回転自在に支持する軸受の外周との間に
わずかな隙間を形成するように軸受カバーを配設したこ
とを特徴とする真空連続処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP709484A JPS60151032A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空連続処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP709484A JPS60151032A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空連続処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60151032A true JPS60151032A (ja) | 1985-08-08 |
Family
ID=11656489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP709484A Pending JPS60151032A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空連続処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60151032A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416282B1 (ko) * | 2002-03-11 | 2004-01-31 | 정남용 | 부시가 체결된 염색기계의 롤러 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4828067A (ja) * | 1971-08-13 | 1973-04-13 | ||
| JPS51136748A (en) * | 1975-05-22 | 1976-11-26 | Kobayashi Kk | Device for producing polarizing film |
| JPS5289531A (en) * | 1975-12-13 | 1977-07-27 | Hoechst Ag | Corona device |
| JPS543872A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-12 | Ibuanobuichi Bateirefu Rusuran | Wire ionizing apparatus for electrifying polymer film |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP709484A patent/JPS60151032A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4828067A (ja) * | 1971-08-13 | 1973-04-13 | ||
| JPS51136748A (en) * | 1975-05-22 | 1976-11-26 | Kobayashi Kk | Device for producing polarizing film |
| JPS5289531A (en) * | 1975-12-13 | 1977-07-27 | Hoechst Ag | Corona device |
| JPS543872A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-12 | Ibuanobuichi Bateirefu Rusuran | Wire ionizing apparatus for electrifying polymer film |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416282B1 (ko) * | 2002-03-11 | 2004-01-31 | 정남용 | 부시가 체결된 염색기계의 롤러 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4551310A (en) | Continuous vacuum treating apparatus | |
| JPS62274080A (ja) | プラズマ処理方法 | |
| JP5182610B2 (ja) | 薄膜太陽電池の製造装置 | |
| CN1235647A (zh) | 在移动基材上沉积富碳涂层的方法和装置 | |
| EP0130444A1 (en) | Continuous vacuum treating apparatus | |
| GB2084264A (en) | Continuous vacuum treating apparatus | |
| JPS60151032A (ja) | 真空連続処理装置 | |
| JP6662192B2 (ja) | ガラスリボン成膜装置及びガラスリボン成膜方法 | |
| JP2590200B2 (ja) | 真空連続処理装置 | |
| JPS60226533A (ja) | 連続式プラズマ処理装置 | |
| JPH0122856B2 (ja) | ||
| JP2000054151A (ja) | 真空成膜装置 | |
| JPH0152413B2 (ja) | ||
| JPH0153293B2 (ja) | ||
| JPS60151031A (ja) | 真空連続処理装置 | |
| JP2017155298A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH01116076A (ja) | 真空連続処理装置 | |
| JPH03267138A (ja) | 真空処理装置 | |
| JPS624865A (ja) | 真空処理装置のシ−ル装置 | |
| JPH03122276A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JP4161263B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS648650B2 (ja) | ||
| JPH062831B2 (ja) | 真空連続処理装置 | |
| JPH044032A (ja) | 真空連続処理装置のシール装置 | |
| JPH0153294B2 (ja) |