JPS60190342A - 高ガスバリア−性透明導電性フイルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、透明導電フィルムに関し、更に詳細にはガス
バリアー性に優れた液晶表示用透明導電性フィルムに関
するものである。

従来技術 従来よシ、液晶表示用透明導電体のベース材料としては
ガラスが用いられているが、ガラスペースの場合、割れ
易＜　０．５簡以下にすることが困難なため、液晶表示
装置の薄型化が困難であるとともに量産化しにくいとい
う欠点があった。

従って液晶表示装置の薄型化を図るためには衝撃に強く
薄肉化が可能な高分子フィルムを用いることが好ましく
高分子使用の試みが種々行なわれている。

一方高分子フィルムをベースとして用いる場合、ガラス
ペースに比して耐熱性が低く、導電体層の付着強度が低
い勢の欠点の他に通気性、透湿性が大きいという欠点が
あり、酸素の透過による液晶物質の劣化、水分の透過に
よる表示装置消費電力の増加等の問題が生じるため、液
晶表示装置の寿命と信頼性に、大きな影餐を与える結果
となる。

発明の目的 本発明はかかる欠点を改良し、よシ信頼性の高い高分子
フィルムをベースとした透明導電性フィルムを提供する
ものである。

発明の構成 本発明に用いられる高分子フィルムとしては、−軸延伸
ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリ
エーテルスルホン、ポリメチルメタアクリレート、ポリ
塩化ビニル、セルローズ、ポリアセテート、ポリ−４−
メチルペンテン−１、ポリアクリロニトリル系樹脂、フ
ェノキシ樹脂、ポリフェニレンオキサイド系樹脂等のフ
ィルムがあシ、光学的醇方性の見地から非晶性フィルム
であることが望ましい。而して使用可能なフィルムのレ
ターデーシロン値は３０ｍμ以下でなければならず、更
に好ましくは、１５ｍμ以下のものであ石。

上記のような高分子フィルムを作製する方法としては、
従来用いられている押出成形キャスティング法、圧延法
等が適宜用いられる。フィルムの厚みは通常１０〜５０
０μ好ましくは２０〜２００μの範囲のものが適描であ
る。

本発明において、ガス及び水蒸気バリア一層は、上記高
分子フィルムの表面、もしくはもう一方の表面、両面、
又は中間層のいずれかに含まれる。

ガス及び水蒸気バリア一層はポリビニルアルコール、エ
チレン・ビニルアルコール共］ｉ合体、三弗化モノクロ
ロエチレン、透明金属酸化物のいずれかであって、上述
の如く高分子フィルムに複層化されガス及び水蒸気バリ
ア一層（以下バリア一層という）として機能する。複層
化する方法としてハ、ポリビニルアルコール、エチレン
・ビニルアルコール共重合体、三脚化モノクロロエチレ
ンについてはフィルムドライラミネート法、又は溶剤に
よる溶解物コーティング法が用いられる。透明金属酸化
物については蒸着法、イオンブレーティング法、スパッ
ターリング法等が用いられる。高分子フィルム層とバリ
ア一層は必要に応じてイソシアネート系、アルキルチタ
ネート系等の接着剤を用いることができる。

以上のような方法で得られたバリア一層を含む高分子フ
ィルムの表面に透明導電膜を形成することによって本発
明の目的とする透明導電フィルムを得ることができる。

形成される透明導電層としては、金属インジウムと金属
スズの酸化物、金属スズと金属アンチモンとの酸化物、
金属スズと金属カドζラムとの酸化物などが挙げられる
が、インジウムとスズとの組合せが好ましいものである
。

このような導電層の形成法としては真空蒸着法、化学蒸
着法、スパッタリング法、スプレー法等があシ、真空蒸
着法及びスパッタリング法が好ましい。こうして得られ
る透明導電層の導電性は１００〜５０００Ω／口程度で
あシ、液晶表示装置用としては１０００Ω／口以下であ
ることが望ましい。

発明の効果 このようにして得られた高ガスバリアー性透明導電フィ
ルムを用いて、液晶表示装置を形成したものは、防湿性
、酸素ガス違断性が大巾に向上し液晶物質の寿命を延ば
し、装置の信頼性と寿命の点で向上することができた。

（実施例−１） ユニオンカーバイド社のＶＤＥＬポリサルホン樹脂をＴ
ダイ押出機で押出し１００μ厚みのフィルムを得た。こ
のフィルムの片面に１２μのポリビニルアルコールフィ
ルムをイソシアネー）系ｍ着剤を介してドライラオネー
トした。このポリビニルアルコールフィルム付キポリサ
ルホンフィルム　５− の酸素ガス透過度は１５　ｃｃ　／　ｍ’　・２４ｈｒ
　＠　ａｔｍであった。透湿度は２０９／ｌｒ？・２４
ｈｒであった。ラミネート前のポリサルホンフィルムの
酸素ガス透過度及び透湿度は夫々９００　ｃｃ／　ｍ”
　−２４ｈｒ　＠ａｔｍ。

７１１／ｒｒ？・２４ｈｒであシ、バリアー性は大巾に
改善された。更に形成されたラミネートフィルムのポリ
サルホンフィルム側に高周波マグネトロンスパッタ装置
を用い酸化スズを′１．５重量％含む酸化インジウムか
らなるターゲットを用いて５Ｘ１０”−’Ｔｏｒｒのア
ルゴンプラズマ中で約３００人の厚みの透明導電性被膜
を形成した。こうして得られた透明導電フィルムを用い
て作成した液晶表示装置は防湿性、酸素ガス速断性に優
れ、信頼性を一層増すものとなった。

（実施例−２） 実施例−１に於て、ポリビニルアルコールの代シにエチ
レン・ビニルアルコール共重合体フィルム１２夕に置き
換えた構成の透明導電性フィルムであって、導電層形成
前のエチレン・ビニルアルコール共重合体フィルム付き
ポリスルホンフイ　６− ルムの酸素ガス透過度は１０　ｃｃ　／　ｔｒ？・２４
ｈｒ　ｅ　ａｔｍであり、透湿度は２０１／ｒｒ？・２
４ｈ　ｒであった。

以下実施例−１と同様に形成した液晶表示装置は防湿性
、酸素ガス遮断性に優れ、信頼性を一層向上することが
できだ。

（実施例−３） 実施例−１に於て、ポリビニルアルコールの代すニ三沸
化モノクロロエチレンフィルム２５μに置き換えた構成
の透明導電性フィルムであって導電層形成前の三、弗化
モノクロロエチレンフィルム付きポリサルホンフィルム
の酸素ガス透過度は１２０　ｃｃ／ｒｒ？　・２４ｈｒ
−ａｔｍであり、透湿度は１．Ｏｆ／ｍ”・２４ｈｒで
あった。

以下実施例−１と同様に形成した液晶表示装置は防湿性
、酸素ガス遮断性に優れ、信頼性を一層向上することが
できた。

（実施例−４） 実施例−１に於て、ポリビニルアルコールの代りに酸化
硅素蒸着層２００人に置き換えた構成の透明導電性フィ
ルムであって、導電層形成前の酸化硅素付きポリサルホ
ンフィルムの酸素ガス透過度は５０　ｃｃ　／　ｒｒ？
　・２４ｈｒ　ａ　ａｔｍであり、透湿度は２２　ｆ　
／ｄ　・２４ｈｒであった。

以下実施例−１と同様に形成した液晶表示装置は防湿性
、酸素ガス遮断性に優れ、信頼性を大巾に向上すること
ができた。

特許出願人 住友ベークライト株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ポリビニルアルコール、エチレン−ビニルアルコール共
   重合体、三弗化モノクロロエチレン又は、透明金属酸化
   物等のガス及び水蒸気バリア一層を含む全光線透過率が
   ７０係以上の透明な高分子フィルムの表面に５０〜１０
   ００λの層厚みからなる金属酸化物の透明導電性層を構
   成してなることを特徴とする高ガスバリアー性透明導電
   性フィルム。