JPS60197366A - 両面研磨機用のキヤリア - Google Patents
両面研磨機用のキヤリアInfo
- Publication number
- JPS60197366A JPS60197366A JP59052127A JP5212784A JPS60197366A JP S60197366 A JPS60197366 A JP S60197366A JP 59052127 A JP59052127 A JP 59052127A JP 5212784 A JP5212784 A JP 5212784A JP S60197366 A JPS60197366 A JP S60197366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- double
- teeth
- polishing machine
- sided polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、両面研磨１機に使用する被加工物のキャリア
に係シ、特に薄い板材を高精度に研磨するのに好適な両
面研磨機用のキャリアに関する。
に係シ、特に薄い板材を高精度に研磨するのに好適な両
面研磨機用のキャリアに関する。
被加工物の２面全同時に研磨する場合、第１図に示すよ
うに行なわれている。すなわち、同図において、不織布
１を取付けた上下一対′の定盤２．３ｔ−備えている。
うに行なわれている。すなわち、同図において、不織布
１を取付けた上下一対′の定盤２．３ｔ−備えている。
各定盤２．３は、それぞれ軸４，５に支持されている。
前記軸５の上端には、歯車６が形成されている。また、
前記定盤−３の外側には歯車７が配置されている。前記
定盤２と定盤３０間に配置されるキャリア８の外周には
、前記歯車６，７と噛合う歯９が形成されている。また
、キャリア８の中央部には、穴１０ｄ±形成され、被加
工物１１全遊嵌支持するようになりている。
前記定盤−３の外側には歯車７が配置されている。前記
定盤２と定盤３０間に配置されるキャリア８の外周には
、前記歯車６，７と噛合う歯９が形成されている。また
、キャリア８の中央部には、穴１０ｄ±形成され、被加
工物１１全遊嵌支持するようになりている。
このような構成で、軸４． ５ｖｆ−回転させ、定盤２
．３を回転させて被加工物１１の研磨を行なう。このと
き、ｍ車６の回転によシ、キャリア８が回転すると、歯
車７が固定されているため、キャリア８は、自転すると
共に歯車６の周囲を公転する。このようたして、被加工
物１１を移動させることにより、被加工物１１の加工面
を均一に研磨するようになっている。
．３を回転させて被加工物１１の研磨を行なう。このと
き、ｍ車６の回転によシ、キャリア８が回転すると、歯
車７が固定されているため、キャリア８は、自転すると
共に歯車６の周囲を公転する。このようたして、被加工
物１１を移動させることにより、被加工物１１の加工面
を均一に研磨するようになっている。
このような両面研磨においては、被加工物１１の加工面
がキャリア８よシ突出していなけれはならない。このた
め、被加工物１１が薄くなると、キャリア８は、さらに
薄くしなければならない。
がキャリア８よシ突出していなけれはならない。このた
め、被加工物１１が薄くなると、キャリア８は、さらに
薄くしなければならない。
すると、キャリア８の外周部に形成される歯の強度も低
下する。
下する。
従来、キャリア８は、合成樹脂もしくは金属の単一材料
で形成されている。そして、合成樹脂でキャリア８を形
成した場合、キャリア８の厚さが薄くなると、歯９の強
度が研磨時に発生する研磨抵抗力よシ小さくなって、破
損することになる。また、キャリア８を金属で形成した
場合、キャリア８の歯９や、穴１０のエツジによって不
織布を傷付け、被加工物１１の加工面に傷やスクラッチ
を発生させるなどの欠点がある。
で形成されている。そして、合成樹脂でキャリア８を形
成した場合、キャリア８の厚さが薄くなると、歯９の強
度が研磨時に発生する研磨抵抗力よシ小さくなって、破
損することになる。また、キャリア８を金属で形成した
場合、キャリア８の歯９や、穴１０のエツジによって不
織布を傷付け、被加工物１１の加工面に傷やスクラッチ
を発生させるなどの欠点がある。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点全なくし、薄
い被加工物を高精度に研磨し得るようにした両面研磨機
用のキャリアを提供するにある。
い被加工物を高精度に研磨し得るようにした両面研磨機
用のキャリアを提供するにある。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するため、本発明においては、円盤の周
囲に歯を形成した基板を金属で形成し、前記基板の歯部
を除く端面を合成樹脂の保護膜で扱うことによシ、歯の
強度を確保すると共に、キャリアによる不織布の損傷を
防止するようにしたことを特徴とする。
囲に歯を形成した基板を金属で形成し、前記基板の歯部
を除く端面を合成樹脂の保護膜で扱うことによシ、歯の
強度を確保すると共に、キャリアによる不織布の損傷を
防止するようにしたことを特徴とする。
以下、本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
第２図ないし第４図は、本発明の一実施例全示すもので
、同図において、キャリア１２は、中央部に４個の穴１
３が形成され、外周部に歯１４を形成した金属製の基板
１５の歯１４部を除く端面全合成樹脂製の保護膜１６で
榎い穴１７全形成して成る。
、同図において、キャリア１２は、中央部に４個の穴１
３が形成され、外周部に歯１４を形成した金属製の基板
１５の歯１４部を除く端面全合成樹脂製の保護膜１６で
榎い穴１７全形成して成る。
このような構成にすることによシ、キャリア１２の歯１
４０強度を確保し、かつ研磨時に不織布と基板１５が接
触して不織布を損傷するのを防止することができるので
、被加工物を高精度に加工することができる。
４０強度を確保し、かつ研磨時に不織布と基板１５が接
触して不織布を損傷するのを防止することができるので
、被加工物を高精度に加工することができる。
たとえば、被加工物の厚さが１腫のとき、前記４ヤリア
１２は、０．５〜Ｑ、４譚の厚さのステンレス板で形成
し、保護膜１６はエポキシ樹脂で、厚さｏ、ｉ〜０．２
Ｗ程度に形成する。
１２は、０．５〜Ｑ、４譚の厚さのステンレス板で形成
し、保護膜１６はエポキシ樹脂で、厚さｏ、ｉ〜０．２
Ｗ程度に形成する。
前記保護膜１６は、所要の形状に形成さ、れた基板１３
０表面を適当な粗さになるように荒したのち、合成樹脂
を成形と同じ方法で覆着させればよい。
０表面を適当な粗さになるように荒したのち、合成樹脂
を成形と同じ方法で覆着させればよい。
カシ、合成樹脂は、エポキシ系、ポリイミド系、その他
の合成樹脂を使用することができる。
の合成樹脂を使用することができる。
以上述べた如く、本発明によれば、厚さの薄い被加工物
？、その加工面に傷やスクラッチを発生させることなく
、高精度の研磨を行なうことができる。
？、その加工面に傷やスクラッチを発生させることなく
、高精度の研磨を行なうことができる。
第１図は、両面研磨機の要部の構成図、第２図は、本発
明によるキャリアの平面図、第３図は、第２図のＡ−Ａ
断面図、第４図は、第２図のＥ−Ｅ断面図である。 １４・・・歯 １５・・・基板 １６・・・保護膜 代理人弁理士 高 橋明 夫 第 １ 図 篤 Ｚ 図 篇 ３ 図 第 ４図
明によるキャリアの平面図、第３図は、第２図のＡ−Ａ
断面図、第４図は、第２図のＥ−Ｅ断面図である。 １４・・・歯 １５・・・基板 １６・・・保護膜 代理人弁理士 高 橋明 夫 第 １ 図 篤 Ｚ 図 篇 ３ 図 第 ４図
Claims (1)
- 外周面に、両面研磨機の中央と外周部に配置された歯車
に噛合う歯が形成され、中央部に被加工物を遊嵌支持す
る穴が形成された両面研磨機用のキャリアにおいて、外
周部に歯が形成され、中央部に被加工物全支持する穴が
形成された金属性の基板と、この基板の両端面に、歯部
を除く両端面を慣う合成樹脂性の保護膜を形成したこと
を特徴とする両面研磨機用のキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59052127A JPS60197366A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 両面研磨機用のキヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59052127A JPS60197366A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 両面研磨機用のキヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60197366A true JPS60197366A (ja) | 1985-10-05 |
Family
ID=12906208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59052127A Pending JPS60197366A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | 両面研磨機用のキヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60197366A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004148497A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Wacker Siltronic Ag | ワークを同時に両面で加工するためのキャリヤおよび方法 |
| JP2009099980A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Siltronic Ag | キャリア、キャリアを被覆する方法並びに半導体ウェハの両面を同時に材料除去する加工方法 |
| DE102011089570A1 (de) * | 2011-12-22 | 2013-06-27 | Siltronic Ag | Führungskäfig zum beidseitigen Schleifen von mindestens einem scheibenförmigen Werkstück zwischen zwei rotierenden Arbeitsscheiben einer Schleifvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Führungskäfigs und Verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken unter Verwendung des Führungskäfigs |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP59052127A patent/JPS60197366A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004148497A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Wacker Siltronic Ag | ワークを同時に両面で加工するためのキャリヤおよび方法 |
| JP2009099980A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Siltronic Ag | キャリア、キャリアを被覆する方法並びに半導体ウェハの両面を同時に材料除去する加工方法 |
| US9539695B2 (en) | 2007-10-17 | 2017-01-10 | Siltronic Ag | Carrier, method for coating a carrier, and method for the simultaneous double-side material-removing machining of semiconductor wafers |
| DE102011089570A1 (de) * | 2011-12-22 | 2013-06-27 | Siltronic Ag | Führungskäfig zum beidseitigen Schleifen von mindestens einem scheibenförmigen Werkstück zwischen zwei rotierenden Arbeitsscheiben einer Schleifvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Führungskäfigs und Verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken unter Verwendung des Führungskäfigs |
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