JPS6021578A - 圧電バイモルフ - Google Patents
圧電バイモルフInfo
- Publication number
- JPS6021578A JPS6021578A JP58129938A JP12993883A JPS6021578A JP S6021578 A JPS6021578 A JP S6021578A JP 58129938 A JP58129938 A JP 58129938A JP 12993883 A JP12993883 A JP 12993883A JP S6021578 A JPS6021578 A JP S6021578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- piezoelectric
- piezoelectric bimorph
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 発明の分野
本発明は圧電バイモルフ、特に、中間電極板と表面電極
との１川で短絡が牛しるのを防ＩＩ〕シた圧電バイモル
フに関するものである。
との１川で短絡が牛しるのを防ＩＩ〕シた圧電バイモル
フに関するものである。
（ロ）従来技術とその問題点
圧電バイモルフには種々の形式のものがあるが、一般に
、両面に表面電極を有する２枚の薄い圧電素子を補強板
としても機能する金属板からなる中間電極板の両面に、
分極軸方向を同方向として貼り合わせ、電圧お中間電極
板と接しない側の表面電極に印加し、一方の圧電素子を
伸長させ、他方を収縮させて電気信号を哉械的信号（変
位）に変換させるよるにしている。
、両面に表面電極を有する２枚の薄い圧電素子を補強板
としても機能する金属板からなる中間電極板の両面に、
分極軸方向を同方向として貼り合わせ、電圧お中間電極
板と接しない側の表面電極に印加し、一方の圧電素子を
伸長させ、他方を収縮させて電気信号を哉械的信号（変
位）に変換させるよるにしている。
ところで、近年、圧電バイモルフは機器の小型化につれ
て小型となり、圧電素子の厚みも薄くなりつつある。
て小型となり、圧電素子の厚みも薄くなりつつある。
一方、圧電バイモルフで尺きな変位量を得るには、高電
圧を印加する必要があるが、圧電素子が薄い圧電バイモ
ルフ１こ高電圧を印加すると、特にＫｎＶ度中では中間
電極板と表面電極とが短絡しゃすくなる。
圧を印加する必要があるが、圧電素子が薄い圧電バイモ
ルフ１こ高電圧を印加すると、特にＫｎＶ度中では中間
電極板と表面電極とが短絡しゃすくなる。
まノこ、一般に、表面電極に銀を使用するものにおいて
は、高；！ｉｉ！度でマイグレ−ション（銀の移行）か
起り、これにより短絡しやすくなるといら欠点を有して
いた。
は、高；！ｉｉ！度でマイグレ−ション（銀の移行）か
起り、これにより短絡しやすくなるといら欠点を有して
いた。
このため、圧電バイモルフ全体に絶縁性樹脂をコーティ
ングする方法が提案されているが、前記ｔｉｔ脂で薄膜
化することは非常に難しく、どうしても厚くなり、圧電
バイモルフの変位特性に負荷となり好ましくなく、また
、表面電極からのリード線の取出しが困難であるという
問題があった。
ングする方法が提案されているが、前記ｔｉｔ脂で薄膜
化することは非常に難しく、どうしても厚くなり、圧電
バイモルフの変位特性に負荷となり好ましくなく、また
、表面電極からのリード線の取出しが困難であるという
問題があった。
（ハ）発明の目的
本発明は、前記従来の問題点を解決するため１こなされ
たもので、表面電極に若干の工夫を施すことにより、特
性を何ら阻害することなく短絡の生じにくい圧電バイモ
ルフを提供せんとするものである。
たもので、表面電極に若干の工夫を施すことにより、特
性を何ら阻害することなく短絡の生じにくい圧電バイモ
ルフを提供せんとするものである。
（ニ）発明の構成とその効果
本発明は前記目的を達成するために、圧電バイモルフ全
体をコーティングすることなく中間電極板と接しない表
面電極の周縁部に電極未形成部分を設けるという簡単な
構成で、前記表面電極と中間電極板との絶縁距離を犬な
らしめるとともに、マイグレーションの影響を・小なら
しめて表面電極と中■１１電極板との短絡を防１１゜す
る。また、前記電極未形成部分（２ニマイグト−ション
の発生しにくい金属からなる第ンの表面電極を設けて、
マイグレーシヨンの１Ｒ５ＩＪ’をなくすとともに、圧
電素子表面全体に表面電極を形成し、電気−機械変換効
率の大なる圧電バイモルフとしたものである。
体をコーティングすることなく中間電極板と接しない表
面電極の周縁部に電極未形成部分を設けるという簡単な
構成で、前記表面電極と中間電極板との絶縁距離を犬な
らしめるとともに、マイグレーションの影響を・小なら
しめて表面電極と中■１１電極板との短絡を防１１゜す
る。また、前記電極未形成部分（２ニマイグト−ション
の発生しにくい金属からなる第ンの表面電極を設けて、
マイグレーシヨンの１Ｒ５ＩＪ’をなくすとともに、圧
電素子表面全体に表面電極を形成し、電気−機械変換効
率の大なる圧電バイモルフとしたものである。
（ホ）実施例の説明
つぎに、本発明を実施例である図面にしたがって説明す
る。
る。
第１図および第２図は第１発明にががる圧電バイモルフ
Ａを示し、両面に表面電極３ａ、３１）および４ａ、旧
〕を有する２枚の薄い圧電素子１，２を、補強板どして
も機能する金属板からなる中ｆｉ＋１電極板５の両面に
、分極軸方向（矢印で示す）を同方向として貼り合わせ
た構成がらなり、電圧を表面電極３ａ、■）を介して両
圧電素子１，２に印加して電気的信号を機械的信号（変
位）に変換させるもので゛ある。
Ａを示し、両面に表面電極３ａ、３１）および４ａ、旧
〕を有する２枚の薄い圧電素子１，２を、補強板どして
も機能する金属板からなる中ｆｉ＋１電極板５の両面に
、分極軸方向（矢印で示す）を同方向として貼り合わせ
た構成がらなり、電圧を表面電極３ａ、■）を介して両
圧電素子１，２に印加して電気的信号を機械的信号（変
位）に変換させるもので゛ある。
本発明においては、前記表面電極３ａ、旧）の周３−
縁部に電極未形成部分６を設けたものである。この電極
未形成部分６は、圧電素子１，２に表面電極３α、４１
〕を設ける際にマスキングして形成するか、あるいは表
面電極３ａ、４ｂを形成後、グラインダ等で研摩するこ
とによりすることにより除去して形成したものである。
未形成部分６は、圧電素子１，２に表面電極３α、４１
〕を設ける際にマスキングして形成するか、あるいは表
面電極３ａ、４ｂを形成後、グラインダ等で研摩するこ
とによりすることにより除去して形成したものである。
第３図、第４図は第２発明にかかる圧電バイモルフＢを
示し、前記圧電バイモルフＡにおける電極未形成部分６
に、ニッケル等マイグレーションの生じない金属からな
る第２の表面電極７を形成し、表面電極３ａ、４ｂのマ
イグレーションの影響を防止するとともに、圧電素子１
，２の全面に表面電極を形成したものである。
示し、前記圧電バイモルフＡにおける電極未形成部分６
に、ニッケル等マイグレーションの生じない金属からな
る第２の表面電極７を形成し、表面電極３ａ、４ｂのマ
イグレーションの影響を防止するとともに、圧電素子１
，２の全面に表面電極を形成したものである。
第１図は第１発明の圧電素子の平面図、第２図は第１図
のＩＩ−ＩＩ線断面図、第３図は第２発明の圧電素子の
平面図で、第４図は第３図のＴＶ−ＩＶ線断面図である
。 １．２−・・圧電素子、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ ・・
・表面電極、５・・・中間電極板、６・・・電極未形成
部分、７・・・４− 第２の表面電極５゜ 特許出願入 立石電（幾株式会社 代理ｋ 弁理１： 青１１１ 葆ほか２名第１図 第３図 手続補正書（睦） １事件の表示 昭和５８年特許願第 １２９９３８ 号２発明の名称 圧電バイモルフ ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所京都府京都ｉｌｉ右京区花園二に堂町１ｏ番地４、
代理人 ４１９
のＩＩ−ＩＩ線断面図、第３図は第２発明の圧電素子の
平面図で、第４図は第３図のＴＶ−ＩＶ線断面図である
。 １．２−・・圧電素子、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ ・・
・表面電極、５・・・中間電極板、６・・・電極未形成
部分、７・・・４− 第２の表面電極５゜ 特許出願入 立石電（幾株式会社 代理ｋ 弁理１： 青１１１ 葆ほか２名第１図 第３図 手続補正書（睦） １事件の表示 昭和５８年特許願第 １２９９３８ 号２発明の名称 圧電バイモルフ ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所京都府京都ｉｌｉ右京区花園二に堂町１ｏ番地４、
代理人 ４１９
Claims (2)
- （１）中間電極板の両側に圧電素子を接合するとともに
、中間型１＃、板と接しない圧電素子表面に表面雷雨を
設けた圧電バイモルフにおいで、前記表面電極の周縁部
に電極未形成部分を設けたことを特徴とする圧電バイモ
ルフ。 - （２）中間電極板の両側に圧電素子を接合するととも１
こ、中間型１版板と接しない圧電素子表面に表面電極を
設けた圧電バイモルフにおいて、前記表面電極の周縁部
に電極未形成部分を設け、この部分にマイグレーション
の生じない金属からなる第２の表面電極を設けたことを
特徴とする圧電バイモルフ、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58129938A JPS6021578A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 圧電バイモルフ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58129938A JPS6021578A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 圧電バイモルフ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021578A true JPS6021578A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=15022142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58129938A Pending JPS6021578A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 圧電バイモルフ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021578A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6288382A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-22 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS63106154U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5656673A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacture of reverse-conductivity double-terminal thyristor |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP58129938A patent/JPS6021578A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5656673A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacture of reverse-conductivity double-terminal thyristor |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6288382A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-22 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPS63106154U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 |
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