JPS6021579A - 圧電バイモルフ - Google Patents
圧電バイモルフInfo
- Publication number
- JPS6021579A JPS6021579A JP58130121A JP13012183A JPS6021579A JP S6021579 A JPS6021579 A JP S6021579A JP 58130121 A JP58130121 A JP 58130121A JP 13012183 A JP13012183 A JP 13012183A JP S6021579 A JPS6021579 A JP S6021579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- electrode
- intermediate electrode
- plate
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の分野
本発明は圧電バイモルフ、特に、中間電極板と表面電極
との間で短絡が生じるのを防止した圧電バイモルフに関
するものである。
との間で短絡が生じるのを防止した圧電バイモルフに関
するものである。
（ロ）従来技術とその問題点
圧電バイモルフには種々の形式のものがあるが、一般に
、両面に表面電極を有する２枚の薄い圧電素子を補強板
としても機能する金属板からなる中間電極板の両面に、
分極軸方向を同方向として貼り合わせ、電圧を中間電極
板と接しない側の表面電極に印加し一方の圧電素子を伸
長させ、他方をＩＰｌ縮させて電気信じ゛を（代械的信
号（変位）に変換させるようにしている。
、両面に表面電極を有する２枚の薄い圧電素子を補強板
としても機能する金属板からなる中間電極板の両面に、
分極軸方向を同方向として貼り合わせ、電圧を中間電極
板と接しない側の表面電極に印加し一方の圧電素子を伸
長させ、他方をＩＰｌ縮させて電気信じ゛を（代械的信
号（変位）に変換させるようにしている。
ところで、近年、圧電バイモルフは機器の小型化につれ
て小型となり、圧電素子の厚みも薄くなりつつある。
て小型となり、圧電素子の厚みも薄くなりつつある。
一方、圧電バイモルフで大きな変位量を得るには、高電
圧を印加する必要があるが、圧電素子がａＦい圧電バイ
モルフに高電圧を印加すると、特に高湿度中では中間電
極板と表面電極とが短絡しやすくなる。
圧を印加する必要があるが、圧電素子がａＦい圧電バイ
モルフに高電圧を印加すると、特に高湿度中では中間電
極板と表面電極とが短絡しやすくなる。
また、一般に、表面電極に銀を使用するものにおいては
、高湿度でマイグレーション（銀の移行）か起り、これ
により短絡しやすくなるという欠点を有していた。
、高湿度でマイグレーション（銀の移行）か起り、これ
により短絡しやすくなるという欠点を有していた。
このため、圧電バイモルフ全体に絶縁性樹脂をコーティ
ングする方法が提案されているが、前記ｌＪｊ脂で薄膜
化することは非常１こ難しく、どうしても厚くなり、圧
電バイモルフの変位特性に負荷となり好ましくなく、ま
た、表面電極からのリード線の取出しが困菓１１である
という問題があった。
ングする方法が提案されているが、前記ｌＪｊ脂で薄膜
化することは非常１こ難しく、どうしても厚くなり、圧
電バイモルフの変位特性に負荷となり好ましくなく、ま
た、表面電極からのリード線の取出しが困菓１１である
という問題があった。
（ハ）発明の目的
本発明は、前記従来の問題点を解決するためになされた
もので、表面電極および中間電極板に若１′−の工夫を
施すことにより、特性を何らト■害することなく短絡の
生じにくい圧電バイモルフを提供せんとするものである
。
もので、表面電極および中間電極板に若１′−の工夫を
施すことにより、特性を何らト■害することなく短絡の
生じにくい圧電バイモルフを提供せんとするものである
。
（ニ） 発明の構成とその効果
本発明は前記［１的を達成するために、圧電バイモルフ
全体をコーティングする、二となく、中間電極板と接す
る表面電極の周縁部に電極未形成部分を設け、かつ、中
間電極板の圧電素子から突出する部分の反対側ｊ５よび
両側部をＭｉｊ記表面表面電極形状）ｊ応さけ・るどい
つ＠ｉＮ−な構成で、圧電素子の中ｎ１１電極板と接し
ない表面電極と中間電極板との絶縁Ｖト離を入ならしめ
るとともに、マイグレーションの影響を小ならしめて表
面電極と中間電極板との短絡を１ｌＪｊ ＋ｌ−する。
全体をコーティングする、二となく、中間電極板と接す
る表面電極の周縁部に電極未形成部分を設け、かつ、中
間電極板の圧電素子から突出する部分の反対側ｊ５よび
両側部をＭｉｊ記表面表面電極形状）ｊ応さけ・るどい
つ＠ｉＮ−な構成で、圧電素子の中ｎ１１電極板と接し
ない表面電極と中間電極板との絶縁Ｖト離を入ならしめ
るとともに、マイグレーションの影響を小ならしめて表
面電極と中間電極板との短絡を１ｌＪｊ ＋ｌ−する。
また、６１１記電極未形成部分に絶縁性１ｊＪ脂を充填
することにより強度を向−１ニさせ、かつ圧電素子の中
間電極板と接しない表面電極と中間電極板との絶縁性を
向にさせるとともに、中間電極板と接する表面電極のマ
イグレーションの影響をなくした圧電バイモルフとした
ものである。
することにより強度を向−１ニさせ、かつ圧電素子の中
間電極板と接しない表面電極と中間電極板との絶縁性を
向にさせるとともに、中間電極板と接する表面電極のマ
イグレーションの影響をなくした圧電バイモルフとした
ものである。
（ホ）実施例の説明
つぎに、本発明を実施例である図面にしたがって説明す
る。
る。
第１図〜第３図は第１発明にかかる圧電バイモルフＡを
示し、両面に表面型Ｊｉ３ａ、３ｂおよび３− ’Ｉ ａ、 ４ ｂを有する２枚の薄い圧電素子１，２
を、補強板としても機能する金属板からなる中間電極板
５の両面に、分極軸方向（矢印で示す）を同方向として
絶縁性樹脂からなる接着剤７により貼り合Ｊ）せた構成
からなり、電圧を表面電極３ａ、４１〕を介して両圧電
素子１．２に印加して電気的信号を機械的信号（変位）
に変換させるものである。
示し、両面に表面型Ｊｉ３ａ、３ｂおよび３− ’Ｉ ａ、 ４ ｂを有する２枚の薄い圧電素子１，２
を、補強板としても機能する金属板からなる中間電極板
５の両面に、分極軸方向（矢印で示す）を同方向として
絶縁性樹脂からなる接着剤７により貼り合Ｊ）せた構成
からなり、電圧を表面電極３ａ、４１〕を介して両圧電
素子１．２に印加して電気的信号を機械的信号（変位）
に変換させるものである。
本発明においては、前記表面電極３ｂ、４ａの周縁部に
電極未形成部分６を設けたものである。この電極未形成
部分６は、圧電素子１，２に表面電極３ ｂ、 ４ ａ
を設ける際にマスキングして形成するか、あるいは表面
電極３ｂ、４ａを形成後、グラインダ等で研摩すること
により除去して形成したものである。
電極未形成部分６を設けたものである。この電極未形成
部分６は、圧電素子１，２に表面電極３ ｂ、 ４ ａ
を設ける際にマスキングして形成するか、あるいは表面
電極３ｂ、４ａを形成後、グラインダ等で研摩すること
により除去して形成したものである。
第４図、第５図は第２発明にかかる圧電バイモルフＢを
示し、前記圧電バイモルフＡにおける電極未形成部分６
に、絶縁性樹脂８（実施例では接着剤７ ）を充填して
電極未形成部分６の存在による強度低下を防止し、かつ
、表面電極３１）、４ａのマイグレーションに起因する
端絡事故の発生を防４− 市したもので゛ある１゜
示し、前記圧電バイモルフＡにおける電極未形成部分６
に、絶縁性樹脂８（実施例では接着剤７ ）を充填して
電極未形成部分６の存在による強度低下を防止し、かつ
、表面電極３１）、４ａのマイグレーションに起因する
端絡事故の発生を防４− 市したもので゛ある１゜
第１図は第１発明の圧電素子の平面図、第２図は第１図
の１ｌｉｌ線断面図、第３図は第１図のＩＩＩ−ＩＩＩ
線断面図、第４図は第２発明の断面図で、第５図は第４
図の■−Ｖ線断面図である。 １．２＝−・圧電素Ｔ、３ ａ、 ３１１．４ ＆、旧
〕・・・表面電極、５・・・中間電極板、６・・・電極
未形成部分、７・・・接着剤、８・・・絶縁性？６１脂
。
の１ｌｉｌ線断面図、第３図は第１図のＩＩＩ−ＩＩＩ
線断面図、第４図は第２発明の断面図で、第５図は第４
図の■−Ｖ線断面図である。 １．２＝−・圧電素Ｔ、３ ａ、 ３１１．４ ＆、旧
〕・・・表面電極、５・・・中間電極板、６・・・電極
未形成部分、７・・・接着剤、８・・・絶縁性？６１脂
。
Claims (2)
- （１）中間電極板の両＋１１１＋ １こ、両面に表面電
極を有するＶ「型素子を接合するとともに、中間電極板
の一端を圧電素ｒから突出さぜた）↑電バイモルフにお
いて、前記中間電極板と接する圧電素子の表面電極の周
縁部に電極未形成部分を形成する一方、中間電極板の前
記突出部の反対側および両側部を前記表面電極板形状に
対応させたことを特徴とする圧電バイモルフ。 - （２）中間電極板の両側に、両面に表面電極を有する圧
電素子を接合するとともに、中間電極板の一端を圧電素
子から突出させた圧電バイモルフにおいて、前記中間電
極板と接する圧電素子の表面電極の周縁部に電極未形成
部分を形成する一方、中間電極板の前記突出部の反対側
および両側部を前記表面電極板形状に対応させるととも
に、直配電極未形成部分に絶縁性（ｋ・１脂を充填した
ことを特徴とする圧電バイモルフ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130121A JPS6021579A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 圧電バイモルフ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130121A JPS6021579A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 圧電バイモルフ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021579A true JPS6021579A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=15026448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58130121A Pending JPS6021579A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 圧電バイモルフ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021579A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6384968U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-03 | ||
| JPS63106154U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | ||
| JPH0537039A (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
-
1983
- 1983-07-16 JP JP58130121A patent/JPS6021579A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6384968U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-03 | ||
| JPS63106154U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | ||
| JPH0537039A (ja) * | 1991-08-01 | 1993-02-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
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