JPS60238819A - エレクトロクロミツク表示装置 - Google Patents

エレクトロクロミツク表示装置

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JPS60238819A
JPS60238819A JP59094059A JP9405984A JPS60238819A JP S60238819 A JPS60238819 A JP S60238819A JP 59094059 A JP59094059 A JP 59094059A JP 9405984 A JP9405984 A JP 9405984A JP S60238819 A JPS60238819 A JP S60238819A
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Kiyoshi Uchikawa
清 内川
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Nikon Corp
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on an electrochromic effect
    • G02F1/153—Constructional details
    • G02F1/155—Electrodes

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  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明は新規なエレクトロクロミック (以下、「エレ
クトロクロミック」をECと略す)表示装置に関する。
(発明の背景) 乾電池程度の電圧を印加することによって発色し、逆電
圧を印加することによって元の無色透明に消色するEC
表示装置(以下、ECDと略す)は、日の字型のセブン
セグメントを用いた数字その他の表示手段として利用す
べく実用化にむけて盛んに研究されている。その1つと
してWO3、MoO3等の還元発色性EC物質を用いた
ECDがある。
これらのEC物質が発色するには、電子(e−″)とカ
チオン(X+)の同時注入が必要とされ、発色・消色に
伴う反応式は次のように信じられている。
消色時: WO3+ne−+nX” ↓ 丁 ↓ ↑ 発色時:Xn葬0゜ そして、カチオン(X+)としては、イオン半径の不さ
く移動の容易なH十が主として使用されている。これら
のカチオンは常時カチオンである必要はなく、電圧が印
加され電場が形成されたときカチオンが生ずればよいの
で、特にH十の場合には水がカチオン供給源として利用
される。水は電場の中で H2O→H+ +OH− に従って分解する。水は極く微量で十分であるらしく、
大気中から自然に一03層に取り込まれる量の水分でし
ばしば間に合う。
しかしながら、単にWO3Nを一対の電極で挟んで電圧
を印加して発色させても、容易に消色することができな
い。何故ならば、消色しようとして逆電圧を印加しても
陰極に通じた電極側から電子(e−)が流入して来るの
で、もしH+があれば、−千 Wo、7 +ne +nH−+HnW03の反応が起こ
って着色するからである。
そのため、WO3層と一方の電極との間に絶縁層例えば
5i02. HgF2を設けたECDが提案された(特
公昭52−46098号)。このECDの絶縁層は、電
子の移動はできないが、OH−イオンの移動は自由であ
り、このOH−イオンが電気を運び、絶縁層と電極との
間で 20■−←H20+ (1,;’2)o2↑+2e−の
反応に従って電子を陽極側に放出しているものと思われ
る。
つまり発色時には、 (陰極側) WO3+ne +nH−4HJO3(陽極
側)n(OB)→ n%0 + (n / 2 ) 02↑+2ne−とい
う反応が推定され、消色時には、 (陽極側) HnWO3−+ho3−1−rle−+n
H+(陰極側) nH2O+ 2ne−−*n0H−+
 (n /2 ) o、27という反応が生じるものと
推定される。
これらの式からも明らかであるが、現実にも特公昭52
−−46098号は駆動により水が消費されるので大気
中から速やかに水が供給されないと発色しなくなり、ま
た、駆動に伴ってOzガスやH2ガスが放出されるので
眉間剥離を生じるという欠点があった。
そのため、弱03層の隣に[イオン良導体である電子絶
縁層/酸化発色性EC層」を設けた全固体型ECDが提
案された(特開昭56−4679号)。これは酸化発色
性EC層として水酸化イリジウム又は水酸化ニッケルを
使用し、−03の発色時に、陽極側で Ir (OH) m + n (OH−)(無色透明) ↓ Ir (OH) 1−pl+20+qH20+ r (
e−)着色種 と反応し、匈0.の消色時に陰極側で Ir (O)l) 1. ・pH,O+qH20+ r
 (t; )↓ Ir (OH) m +H(011” )と反応するも
のと考えられている。従って、水が再生されるので水が
消費されず、またH2ガスや02ガスの発生もない。
しかしながら、水酸化イリジウム又は水酸化ニッケル層
を使用すると、長時間の高温耐久性試験に供した場合、
消色時にも色が残り、元の無色透明にならず、そのため
発消色のコントラストが低下することが判明した。
(発明の目的) 従って、本発明の目的は、水酸化イリジウム又は水酸化
ニッケル層を使用したときの欠点、即ち長時間の高温耐
久性試験に供したときのコントラストの低下を改善する
ことにある。
(発明の概要) 本発明者らは鋭意研究の結果、水酸化イリジウム又は水
酸化ニッケル層に代えて、’Ru、 Os+ Rh+P
t、 Pd及びNiから選ばれた一種又は二種以上の金
属それ自体又はその酸化物もしくは水酸化物からなる分
散質と透明固体分散媒とからなる透明分散層jを使用す
ることによって、水酸化イリジウム又は水酸化ニッケル
層の持つ前記欠点が解消されることを見い出し、本発明
を成すに至った。
従って、本発明は、透明表示電極(A)、還元発色性エ
レクトロクロミックii (B) 、必要に応じて透明
イオン導電層(C)、及び対向電極(D)からなるエレ
クトロクロミック表示装置に於いて、前記対向電極(1
))として、Ru、 Os+ R)It Pj+Pd及
びNiから選ばれた金属それ自体又はその酸化物もしく
は水酸化物からなる分散質(DID)と透明固体分散媒
(Dl2)とからなる透明分散層(Dl)と導電層(D
2)とからなる複層物を使用し、かつ前記(B)、(C
)及び(Dl)の少なくとも一層が前記(B)の発色に
必要なカチオン又は電圧印加によってカチオンを放出す
るカチオン供給海を含むことを特徴とするECDを提供
する。
本発明に於いて使用される透明表示電極(A)としては
、例えば5n02. In2O3、ITO(Inz03
 ニ5%程度の5n02を混入させたもの)等が挙げら
れる。電極(A)の厚さとしては、透明度及び抵抗にも
よるが、一般にはo、oi〜0.5μmである。従って
、電極(A)は一般には、真空蒸着、反応性蒸着、イオ
ンブレーティング、反応性イオンブレーティング、スパ
ッタリング等の真空薄膜形成技術液を塗布し、焼成して
被膜を形成する、いわゆる厚膜法で作ってもよい。
還元発色性EC層(B)は既に知られているように非晶
質問3又はMoO3が使用される。これらのE、C層は
真空薄膜形成技術により、一般に0.01〜数μmの厚
さに形成される。
透明イオン導電層(C)は、本発明のECDにメモリ性
即ち発色させた後、電圧印加を止めても、発色状態が保
持される性質をもたせるために必要に応じて設けられる
もので、その具体的材料としては次のものが例示される
。
リン酸ジルコニウムあるいはこれらの混合物質(これら
の物質は、電子に対して絶縁体であるが、フロトン(H
)及びヒドロキシイオン(OH−)に対しては良導体で
ある。); ■塩化ナナトリウム塩化カリウム、臭化ナトリウム、臭
化カリウム、Na5Zr2Si2PO+z 、Na14
gZrSigP3−xOIz、Na5YS+40+z 
、RbAg41y等の固体電解質; ■水又はプロトン供給源含有合成樹脂、例えばメタクリ
ル酸β−ヒドロキシエチルと2−アクリルアミド−2−
メチルプロパンスルホン酸との共重合体、含水メタクリ
ル酸メチル共重合体のような含水ビニル重合体、含水ポ
リエステルなど;■電解液、例えば硫酸、塩酸、リン酸
、酢酸、酪酸、しゅう酸のような酸またはその水溶液、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのようなアルカリの
水溶液、塩化ナトリウム、塩化リチウム、塩化カリウム
、硫酸リチウムのような固体強電解質の水溶液; ■半固体ゲル電解質、例えば電解質水溶液をゲル化剤例
えばポリビニルアルコール、CMC,It天、ゼラチン
等でゲル化させたもの; などが挙げられる。
従って、透明イオン導電層(C)は、真空薄膜形成技術
、厚膜法、封入、注入、塗布、その他の手段で形成され
る。(C)層の厚さは材料によって0.001 μm〜
lfi位まで様々となる。
対向電極(D)は、本発明に於いては透明分散層(DI
)と導電層(D2)との2層から成るが、まず透明分散
層(DI)について説明する。
透明分散層(DI)は、Ru、 Os、 Ph+ pt
、 Pd又はNi金属それ自体又はその酸化物もしくは
水酸化物からなる分散質(D 11)と透明固体分散媒
(Dl2)とからなる。分散質(D 11)としては、
なかでも酸化物もしくは水酸化物が好ましい。
分散媒(D 12)としては、■5n02. In2O
3,ITO。
ZnO等の透明導電性無機化合物+ Ta205 、 
T i02 、 Sing、 WO3、MoO3、5b
203等の透明熱V&酸化物及び■MgF、 。
CaF2等の透明無機弗化物等が使用される。これらの
中でも、5n02. In2O3,ITO,ZnO及び
TajLO5は好ましいものである。
このような透明分散層(Dl)の製造法を例示すれば次
の通りである。以下の説明でMlは分散質(Dll)を
構成する金属単体を、MIOはその酸化物を意味し、−
は分散媒(D I2)を構成する金属単体を、FhOは
その酸化物を、MaFはその弗化物を意味する。
(i)抵抗加熱、電子ビーム加熱、高周波加熱又はレー
ザービーム加熱による真空蒸着:(i−a)非反応性の
場合 蒸発源材料として 0M4.M、0 0Ml0.M2F を使用する。
尚、蒸着直後は活性状態にあるのでMlによっては大気
中に出しただけでMloに変わることがある。
(i−b)反応性の場合 02ガスの存在下に活性化手段(例えば高周波印加又は
加熱)と共に、 蒸発源材料として 0M1. Mlo 0M2. M、0. M、F を使用する。
(ii )高周波スパッタリング: (ii−a)非反応性の場合 不活性ガスの存在下に、多元又は複合ターゲットとして
、 0M1.M、0 0Ml0 を使用する。
(ii−b)反応性の場合 OLガス(不活性ガスを加えてもよい)の存在下に、多
元又は複合グーケソトとして、0M1.M10 0M2.M20 を使用する。
(iii )直流スパッタリング: 02ガス(不活性ガスを加えてもよい)の存在下に、多
元又は複合ダーケソトとして、0M1 0M2 を使用する。
(iv)その他 (iv−a)加熱酸化の場合 前記(i)、(ii)、(iii)のいずれかの方法で
、MlとMlとの混合金属薄膜を形成した後、加熱例え
ば250〜300℃に加熱することにより酸化して、M
lとM2Oとの分散層(DI)又はガ、0とM2Oとの
分散M(Di)に変える。この方法が可能な販としては
、Sn、In、 Ta、 Tt + Si+ W+ M
o、 sbなどが挙げられる。
(iv−b)陽極酸化の場合 前記(i) 、(ii) 、(iii)のいずれかの方
法で、MlとMlとの混合金属薄膜を形成した後、電解
液中で陽極酸化することにより、h、とM2Oとの分散
層(Dl)又は1,0 とM2Oとの分散層(Dl)に
変える。この場合、使用可能なMlとしては、Ta、T
i、W、Sb等のバルブメタル(valve meta
l )に限られる。
なお、先にMloは酸化物を意味すると述べたが、水が
MIOの近くに存在する場合には、M、O・HloはM
((OH)とも書けることから理解されるように、酸化
物ではなく水酸化物とも受け取れる。従って、分散質(
Dll)を構成する金属の酸化物と水酸化物とは厳密に
区別されるものではない。
ともかく分散質(Dll)は透明分散媒(D 12)中
に極微粒状態で分散していることが必要で、そのために
分散層(DI)の製造には、上述の真空薄膜形成技術を
利用することが好ましい。
透明分散層(Dl)の膜厚としては、一般に0゜005
μm〜lfi位あれば十分である。
先に述べたように還元発色性EC層(B)の発色にはカ
チオンが必要であり、層(B)、層(C)及び層(Dl
)の少なくとも1層にはカチオンまたは電圧印加により
カチオンを放出するカチオン供給源を含ませることが必
要であるが、層(B)および層(Dl)に含ませる場合
にはカチオンは実用上プロトン(H+)に限られ、カチ
オン供給源は実用上、水(HlO)に限られる。水の場
合には、ECDの製造時に格別含有させることをしな(
とも、しばしば大気中から自然に層中に侵入する。
分散Jii(Di)と隣合う導電層(D2)は、表示電
極(A)に使用する透明導電性材料と同様のものが使用
さるが、本発明のII、CDが反射型の場合には反射性
の導電性材料例えば、^l、八gへAuなどを使用する
こともできる。
こうして本発明0ECDが構成される。本発明0ECD
は、一般には表示電極(A)、EC層(B)、場合によ
りイオン導電層(C)、分散層(Di)及び導電層(D
2ンの4層又は5層構造からなるが、第2A図及び第2
B図に示すような構造であってもよい。図中、(E)は
補助電極であごのECDに1.0〜1.8ボルト程度の
直流電圧を印加すると0.01層数秒で青色に発色し、
この発色状態は(C)層が存在する場合には電圧印加を
止めても比較的長時間保持され、同程度の逆電圧を印加
すると、発色に要した時間よりやや短時間で元の無色透
明に戻る。時間はかかるが電極(A)と(Dl)を短絡
しても消色する。
以下、実施例により、本発明を具体的に説明する。
(実施例1) 厚さ0.15層mのI’ T O透明導電JW(D2)
の形成されたガラス基板(S)を用意し、導電層(D2
)の上に下記条件: 蒸発源:金属Sn、金属Ruの2元系 真空度: 5 XIOTorr −斗 02分圧: 3 xto Torr 基板温度:20℃ の下に高周波イオンブレーティングにより、酸化ルテニ
ウムを分散質(Dll)とし酸化スズを分散媒(D 1
2)とする膜厚700人の透明分散層(Di)を形成さ
せた。この分散層(Dl)中の分散質(Dll)の割合
が20重量%であった。
次にその上に下記条件: 蒸発源:Ta205 真空度: 5 xio−’ Torr O分圧:4×10−ヰTorr 基板温度:150℃ の下に真空蒸着により、膜厚5000人の透明イオン導
電層(C)を形成させた。
その上に更に下記条件: 蒸発源ニー03 真空度: 5 xio−’ Torr Ar分圧: 4 xlo−4Torr 基板温度:150℃ の下に真空蒸着により、膜厚5000人の透明な非晶質
−03層(B)を形成させた。
最後に同3層(B)の上に下記条件; 蒸発源:In101とSnO2との混合物真空度: 5
 xio Torr Ar分圧: 3 XIOTorr 基板温度:150℃ の下に高周波イオンブレーティングにより、膜厚250
0人の透明表示電極(A)を形成させた。
こうして、第1図に示す構造を有するECDが得られた
。このECDをエポキシ樹脂で封止した後、電極(A)
、(Dl)を通じて1,4ポルトの発色電圧を印加する
と、約250 m5ecで青色に発色し、発色時の透過
率(Tc)は波長λ=600 nmで20%であり、こ
の発色状態は電圧印加を止めても保持された。次に−1
,4ボルトの消色電圧を印加すると、約200 m5e
cで元の無色透明に戻り、消色時の透過率(Tb)は8
0%であった。
(実施例2) 実施例1で用いたガラス基板(S)を用意し、その導電
層(D2)の上に下記条件: 蒸発源:MgF、2と金属Rhの二元系真空度: 5 
XIOTorr 02分圧: 3 XIOTorr 基板温度:室温 の下に高周波イオンブレーティングにより、酸化ロジウ
ムを分散質(Dll)とし、MgFを分散媒(Dl2)
とする膜厚約1500人の透明分散層(Dl)を形成さ
せた。この分散!(Di)中の分散質の割合は30重量
%であった。
以下、実施例1と同様に透明イオン導電層(C) 、’
 WO−J層(B)及び表示電極(A)を形成させ、E
CDを作成した。
エポキシ樹脂で封止後、発消色テストを行うと、+1,
4 vで150 m5ec 、 Tc=25%であり、
−1,4Vで150 m5ec 、 Tb=85%(λ
=600 no+)であった。
(実施例3) 実施例1において透明分散層(Dl)として、酸化ルテ
ニウムを分散質(Dll)とし五酸化タンタルを分散媒
(Dl2)とする分散層(Dl)を用いる他は同様にし
て実施例1とほぼ同様のECDを得た。
(比較例1) 実施例1で用いたガラス基板(S)を用意し、その導電
層(D2)の上に下記条件: 蒸発源:金属1r 真空度=5×10−≦Torr 4 02分圧: 3 XIOTorr 基板温度:20℃ の下に高周波イオンブレーティングにより、酸化イリジ
ウムだけからなる膜厚700人の透明EC層を形成させ
た。
その後、実施例1と同様にしてECDを作成し封止した
ところ、得られたECDは発色電圧印加前から、やや褐
色に着色しており、大気中で+1゜5ボルトの0.5H
z交流電圧を500分印加しても、完全には無色透明に
ならなかった。消色した後、発消色テストを行ったとこ
ろ、150 m5ecでTc=15%、 100 m5
ecでTb = 50%であった。
(高温耐久性試験) 実施例1.2及び比較例1で作成した封止ECDを、コ
ントラスト比をめた上で80℃、200時間の高温耐久
性試験に供し、その後コントラスト比をめた。この結果
を下記第1表に示す。尚、コントラスト比は次のように
めた。
コントラスト比=log (TI/T2)TI=消色時
の飽和透過率(%) T2=発色時の飽和透過率(%) 測定波長λ=600 nm 第1表(高温耐久性試験データ) (発明の効果) 以上の通り11本発明によれば、製造後に着色のない無
色透明なECDが得られ、しかも高温耐久性試験後にコ
ントラストの低下の極めて少ないECDが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例1にかかるECDの断面図で
ある。第2A図及び第2B図は、本発明の他の実施例に
がかるECDの断面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 A・・・透明表示電極 B・・・還元発色性ECJW C・・・透明イオン導電層 E・・・補助電極 S・・・基板 出願人 日本光学工業株式会社 代理人渡辺 隆男

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 透明表示電極(A)、還元発色性エレクトロクロミック
    M (B) 、必要に応じて透明イオン導電層(C)及
    び対向電極(D)からなるエレクトロクロミック表示装
    置に於いて、 前記対向電極(D)として、Ru、 Os、’Rh、P
    t、Pd+Niから選ばれた一種または二種以上の金属
    それ自体又はその酸化物もしくは水酸化物からなる分散
    質(D 11)と透明固体分散媒(Dl2)とからなる
    透明分散層(Dl)と導電層(D2)とからなる複層物
    を使用し、かつ前記(B)、(C)及び(Di)の少な
    くとも一層が前記(B)の発色に必要なカチオン又は電
    圧印加によってカチオンを放出するカチオン供給源を含
    むことを特徴とするエレクトロクロミック表示装置。
JP59094059A 1984-05-11 1984-05-11 エレクトロクロミツク表示装置 Granted JPS60238819A (ja)

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