JPS6032202A - 透明導電膜の電極形成方法 - Google Patents
透明導電膜の電極形成方法Info
- Publication number
- JPS6032202A JPS6032202A JP14089283A JP14089283A JPS6032202A JP S6032202 A JPS6032202 A JP S6032202A JP 14089283 A JP14089283 A JP 14089283A JP 14089283 A JP14089283 A JP 14089283A JP S6032202 A JPS6032202 A JP S6032202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current collecting
- transparent conductive
- conductive film
- film
- band
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガラス等の基板表面上に形成した透明導電膜
に電極用の端子を形、成する方法１ｃ関する。
に電極用の端子を形、成する方法１ｃ関する。
従来、前記電極は、例えば塁恢表面上にインジウム・ナ
イン・オキサイド（ＩＴＯ＞等の透明導電膜を形成し、
該透明導電股上の電極形成部分にアルミニウム（ＡＩ）
、クロム（Ｏｒ＞、銀（ＡＱ）等の薄膜を蒸着あるいは
スパッタリング等の方法によって形成して集電帯とし、
該集電帯にリード線を金具を介して圧着したり、あるい
はリード線と該集電帯とを導電性接着剤によって接続す
る等の方法によって形成していた。
イン・オキサイド（ＩＴＯ＞等の透明導電膜を形成し、
該透明導電股上の電極形成部分にアルミニウム（ＡＩ）
、クロム（Ｏｒ＞、銀（ＡＱ）等の薄膜を蒸着あるいは
スパッタリング等の方法によって形成して集電帯とし、
該集電帯にリード線を金具を介して圧着したり、あるい
はリード線と該集電帯とを導電性接着剤によって接続す
る等の方法によって形成していた。
しかし５、これらの金具を介したり、あるいＧｅｔ導電
性接着剤を用いたりＪ−る接続法は機械的な強１良が小
さかった。又、導電性接着剤の電気抵抗や、前記金具と
集電帯との接触部での電気抵抗も人さく、集電帯の膜厚
が薄いため、該集電帯での電気抵抗も大きかった。
性接着剤を用いたりＪ−る接続法は機械的な強１良が小
さかった。又、導電性接着剤の電気抵抗や、前記金具と
集電帯との接触部での電気抵抗も人さく、集電帯の膜厚
が薄いため、該集電帯での電気抵抗も大きかった。
従来用いられていた他の方法としては、例えば銀（Ａ（
＋ ）を含むペーストを基板の電極形成部にスクリーン
印刷し、これを焼付番ノーＣ東７Ｉ￥帯どし、該集電帯
にリード線をハンダ付り等の方法にＪ、って接続づ゛る
という方法がある。な；Ｊ３、このｊｊ法による集電帯
の形成は、基板１０１によｆ集電帯°１０３を形成し、
そのｉｆｉ透明Ｓ電股１０２を形成する場合（第１図（
ａ））と、これとは逆に、基板１０１にまず透明導電膜
１０２を形成し、ぞの後集電帯１０３を形成する場合（
第１図（ｂ））がある。
＋ ）を含むペーストを基板の電極形成部にスクリーン
印刷し、これを焼付番ノーＣ東７Ｉ￥帯どし、該集電帯
にリード線をハンダ付り等の方法にＪ、って接続づ゛る
という方法がある。な；Ｊ３、このｊｊ法による集電帯
の形成は、基板１０１によｆ集電帯°１０３を形成し、
そのｉｆｉ透明Ｓ電股１０２を形成する場合（第１図（
ａ））と、これとは逆に、基板１０１にまず透明導電膜
１０２を形成し、ぞの後集電帯１０３を形成する場合（
第１図（ｂ））がある。
しかし、この方法は、第１図（ａ ＞に示ず場合は、集
電体１０３と透明導電膜１０２との間に段坏が生じ、こ
のため該段差部分で透明導電膜１゜２に亀裂が生じ易く
、断線の原因となった。逆に第１図（ｂ）に示す場合は
、ペーストの焼付り時の熱により透明導電膜１０２の抵
抗値が増加するという不都合が生じたく第２図に熱処理
の温度とこれに対するインジウム・ナイン・オキサイド
（ＩＴＯ）の薄膜の電気抵抗の変化との関係を示す）。
電体１０３と透明導電膜１０２との間に段坏が生じ、こ
のため該段差部分で透明導電膜１゜２に亀裂が生じ易く
、断線の原因となった。逆に第１図（ｂ）に示す場合は
、ペーストの焼付り時の熱により透明導電膜１０２の抵
抗値が増加するという不都合が生じたく第２図に熱処理
の温度とこれに対するインジウム・ナイン・オキサイド
（ＩＴＯ）の薄膜の電気抵抗の変化との関係を示す）。
本発明は従来の電極形成方法の上記欠点に鑑み、案出さ
れたものであり、電極部での接続強度を大きくし、かつ
導電性を良好とした透明導電膜の電極の形成方法を提供
することを目的とする。
れたものであり、電極部での接続強度を大きくし、かつ
導電性を良好とした透明導電膜の電極の形成方法を提供
することを目的とする。
即ち、本発明は、ガラス等の基板表面上の電極形成部に
、導電性物質の薄膜を形成して集電ベース膜とい該集電
ベース膜上に導電性の集電帯形成物質を含むペーストを
焼付【プで集電帯とし、該集電帯上にリード線をハンダ
付１ノ、ロウィｑ（プ等によって接続し、その後前記基
板表面上に前記集電ベース膜と接するようにして透明導
電膜を形成りることを特徴とする透明導電膜の電極形成
方法である。
、導電性物質の薄膜を形成して集電ベース膜とい該集電
ベース膜上に導電性の集電帯形成物質を含むペーストを
焼付【プで集電帯とし、該集電帯上にリード線をハンダ
付１ノ、ロウィｑ（プ等によって接続し、その後前記基
板表面上に前記集電ベース膜と接するようにして透明導
電膜を形成りることを特徴とする透明導電膜の電極形成
方法である。
基板はその表面に透明ｉ＃電股を形成する台′Ｃδうり
、例えば自動車等の窓ガラスに用いるガラス板、あるい
は透明な樹脂板等を用いることが（・きる。
、例えば自動車等の窓ガラスに用いるガラス板、あるい
は透明な樹脂板等を用いることが（・きる。
電極形成部は、透明導電膜に電ツノを供給づ”る端子で
ある電極を形成づる基板上の部分ひある。故に基板表面
上に少なくとも２か所、一般に（よ該基板表面の端部に
設置］る。
ある電極を形成づる基板上の部分ひある。故に基板表面
上に少なくとも２か所、一般に（よ該基板表面の端部に
設置］る。
集電ベース膜は集電帯と透明導電膜とを広い１６１積で
接続Ｊる仲介をするものであり、集電シ１）と）ｎ明導
電躾との接続の機械的強度及び導電性を改良するもので
ある。集電ベース膜の（イオ°３１とし−Ｃはインジウ
ム・ティン・オキサイド（ｒＴｏ）、二酸化錫（ＳｎＯ
ｚ）、インジウムオキ”）−イｌ’ （１＋＋２０３）
等の透明物質、あるいは窒化チタン（１ｉＮ＞、炭化チ
タン（１°ＩＣ）、タングステンカーバイド（ＷＣ）、
炭化ジルコニウム（ＺｒＣ）、窒化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｎ）等の不透明物質等抵抗率の小さいものを用いること
かできる。かがる集電ベース膜は蒸着あるいはスパッタ
リング等の方法により基板の電極形成部に形成Ｊる。
接続Ｊる仲介をするものであり、集電シ１）と）ｎ明導
電躾との接続の機械的強度及び導電性を改良するもので
ある。集電ベース膜の（イオ°３１とし−Ｃはインジウ
ム・ティン・オキサイド（ｒＴｏ）、二酸化錫（ＳｎＯ
ｚ）、インジウムオキ”）−イｌ’ （１＋＋２０３）
等の透明物質、あるいは窒化チタン（１ｉＮ＞、炭化チ
タン（１°ＩＣ）、タングステンカーバイド（ＷＣ）、
炭化ジルコニウム（ＺｒＣ）、窒化ジルコニウム（Ｚｒ
Ｎ）等の不透明物質等抵抗率の小さいものを用いること
かできる。かがる集電ベース膜は蒸着あるいはスパッタ
リング等の方法により基板の電極形成部に形成Ｊる。
集電帯は透明導電膜とリード線とを接続するしのである
。集電帯としては、銀（八〇）、ニッケル＜Ｎｉ）、等
を含むペーストを用い、該ペーストをスクリーン印刷等
により前記集電ベース股上に印刷し焼付けて形成する。
。集電帯としては、銀（八〇）、ニッケル＜Ｎｉ）、等
を含むペーストを用い、該ペーストをスクリーン印刷等
により前記集電ベース股上に印刷し焼付けて形成する。
該集電帯にはリード線を直接、あるいは端子金具を介し
て間接に、はんだ付け、ロウ付は等の方法によって接続
する。
て間接に、はんだ付け、ロウ付は等の方法によって接続
する。
リード線を接続した後、透明導電膜を基板表面上に形成
する。形成する方法は蒸着あるいはスパッタリング等を
用いることができる。透明導電膜の材料としてはインジ
ウム・ナイン・オキナイド（ＩＴＯ＞、二？ｍ化錫（Ｓ
ｎＯｚ）、インジウムオキサイド（１１１２０３＞等を
用いることができる。透明導電膜の膜厚は、必要とされ
る発熱ｍ１車載のバッテリー電源等により定まり、−８
００’０人〜１２０００大程度である。透明導電膜は前
記集電ベース膜と広い面積で接触する。又、前記集電帯
とも部分的に接触することもできる。
する。形成する方法は蒸着あるいはスパッタリング等を
用いることができる。透明導電膜の材料としてはインジ
ウム・ナイン・オキナイド（ＩＴＯ＞、二？ｍ化錫（Ｓ
ｎＯｚ）、インジウムオキサイド（１１１２０３＞等を
用いることができる。透明導電膜の膜厚は、必要とされ
る発熱ｍ１車載のバッテリー電源等により定まり、−８
００’０人〜１２０００大程度である。透明導電膜は前
記集電ベース膜と広い面積で接触する。又、前記集電帯
とも部分的に接触することもできる。
透明導電膜形成後、二酸化珪素（ＳｉＯ２＞、アルミナ
（Ａｔ ２０３ ）等の保護膜をスパッタリングあるい
蒸着ににって形成したり、あるい【Ｊｌ、その後、電極
部をゴムあるいは樹脂等でコーディングＪ゛ると良い。
（Ａｔ ２０３ ）等の保護膜をスパッタリングあるい
蒸着ににって形成したり、あるい【Ｊｌ、その後、電極
部をゴムあるいは樹脂等でコーディングＪ゛ると良い。
本発明の方法により電極を形成ｊるど、先りｔｔｎ（八
〇）等を含むペーストを印刷、焼き（＝Ｊ（Ｊて集電帯
を形成した後に透明導電膜を基板上に形成づるために該
透明導電膜が前記ペーストの焼付１．ｌＪ時の熱により
、抵抗１ｆＸを増大さＩ−ることがない。したがって導
電率が良好である。又、集電帯と透明導電膜との間に集
電ベース膜が介在してＪ３す、！スー電帯と集電ベース
膜、該集電ベース膜と透明導電膜との接触面積が広い。
〇）等を含むペーストを印刷、焼き（＝Ｊ（Ｊて集電帯
を形成した後に透明導電膜を基板上に形成づるために該
透明導電膜が前記ペーストの焼付１．ｌＪ時の熱により
、抵抗１ｆＸを増大さＩ−ることがない。したがって導
電率が良好である。又、集電帯と透明導電膜との間に集
電ベース膜が介在してＪ３す、！スー電帯と集電ベース
膜、該集電ベース膜と透明導電膜との接触面積が広い。
したがって接触部での導電率が良好であり１大域的強度
も強い。又、隼゛市ベース膜と透明導電膜とに段差があ
まりない１．：め断線の原因ともなりにくい。さらに、
ジー１：線と集電帯とははんだ付りにより接合でさるた
め強度は大きい。なお、二酸化珪素（Ｓｉｎｇ＞の保護
膜を表面に形成すると銀（△ｇ）ペーストを用いて形成
した集電帯の腐蝕も防出され、又、マイグレーションも
発生しない。
も強い。又、隼゛市ベース膜と透明導電膜とに段差があ
まりない１．：め断線の原因ともなりにくい。さらに、
ジー１：線と集電帯とははんだ付りにより接合でさるた
め強度は大きい。なお、二酸化珪素（Ｓｉｎｇ＞の保護
膜を表面に形成すると銀（△ｇ）ペーストを用いて形成
した集電帯の腐蝕も防出され、又、マイグレーションも
発生しない。
以下、本発明を実施例に基づき説明づる。
第３図は本発明の方法により製造した透明導電膜の電極
部の要部拡大断面操弐図である。
部の要部拡大断面操弐図である。
先ず基板１として自動車用の窓ガラスに用いるガラス板
を用意し、これを有（幾溶剤、純水などで充分洗浄し、
乾燥した後、電極形成部以外をマスクし、スパッタリン
グによりＩＴＯを６０００人の厚さに形成し、集電ベー
ス膜２どした。該マスクを除去した後、低温焼成タイプ
のガラスフリットの入った銀ペーストをスクリーン印刷
にＪζり印刷し、４５０℃にて焼付【プて、１こ重帯３
とした。
を用意し、これを有（幾溶剤、純水などで充分洗浄し、
乾燥した後、電極形成部以外をマスクし、スパッタリン
グによりＩＴＯを６０００人の厚さに形成し、集電ベー
ス膜２どした。該マスクを除去した後、低温焼成タイプ
のガラスフリットの入った銀ペーストをスクリーン印刷
にＪζり印刷し、４５０℃にて焼付【プて、１こ重帯３
とした。
該焼付【プにより形成した銀の集電帯３の上に端子用金
具４をは／υだ付Ｃ）ににり取ｆり参ノ、その後ガラス
全体を有機溶剤、純水で充分に洗浄し、不純物を取除き
清浄にした。
具４をは／υだ付Ｃ）ににり取ｆり参ノ、その後ガラス
全体を有機溶剤、純水で充分に洗浄し、不純物を取除き
清浄にした。
次に必要箇所をマスクした後、スパッタリングによりｒ
ＴＯを１００００人形成し、透明導電膜７とした。該透
明導電膜７のシート抵抗は５（）７口であった。マスク
除去後スパッタリングによりガラス全体に二酸化珪素（
Ｓｉ０２）の薄膜８を１０００人形成し、その後電極部
にシリコンゴム系のシーリング剤９を充填した。
ＴＯを１００００人形成し、透明導電膜７とした。該透
明導電膜７のシート抵抗は５（）７口であった。マスク
除去後スパッタリングによりガラス全体に二酸化珪素（
Ｓｉ０２）の薄膜８を１０００人形成し、その後電極部
にシリコンゴム系のシーリング剤９を充填した。
本発明の方法により製造した電極は、銀ペーストによる
集電帯３の形成後に透明導電膜７を形成するために該透
明導電膜７が前記集電帯３形成時の焼付【プの熱により
抵抗値を増大さぼることはなく導電率は良好であった。
集電帯３の形成後に透明導電膜７を形成するために該透
明導電膜７が前記集電帯３形成時の焼付【プの熱により
抵抗値を増大さぼることはなく導電率は良好であった。
又、集電帯３と透明導電膜７とが集電ベース膜２により
接続されているために接触面積が広く、導電率、１幾械
的強度共に良好であった。又、リード線６は、はｌυだ
（ｌりにより集電帯３に接続されているため、その供械
的強度は大きい。さらに、全体が二酸化１４素の保護膜
８で覆われているため銀集重帯３の病曲らなくマイグレ
ーションも発生しなかった。
接続されているために接触面積が広く、導電率、１幾械
的強度共に良好であった。又、リード線６は、はｌυだ
（ｌりにより集電帯３に接続されているため、その供械
的強度は大きい。さらに、全体が二酸化１４素の保護膜
８で覆われているため銀集重帯３の病曲らなくマイグレ
ーションも発生しなかった。
以上、要するに本発明の電極形成方法番、上、導電性物
質により集電ベース膜を形成し、該集電ベース膜上に集
電帯をペースｉ−により印刷し、焼さイ１（〕、その後
透明導電膜を形成するものである。実施例に述べたとこ
ろからも明らかな様に本発明の方法によると、電極は機
械的強ｆｇ、も大きく、又、導電性も良好である。
質により集電ベース膜を形成し、該集電ベース膜上に集
電帯をペースｉ−により印刷し、焼さイ１（〕、その後
透明導電膜を形成するものである。実施例に述べたとこ
ろからも明らかな様に本発明の方法によると、電極は機
械的強ｆｇ、も大きく、又、導電性も良好である。
第１図（ａ）、及び（ｂ ）は従来の電極形成り法によ
って形成した透明導電膜の電極部の要部１；１、人断面
俣式図である。第２図は熱処Ｊ！ｌ！ Ｗａ ’１．Ｋ
にス・１りるインジウム・ティン・Ａキリ−イドの抵抗
変化１゛を表わづグラフである。又、第３図は本発明の
実茄例の方法により製造した透明導電膜の電極部σ）要
部拡大断面（桑弐図である。 １・・・基板 ２・・・集電ペース膜 ３・・・集電帯 ４・・・端子金具 ７・・・透明導電膜 特呂′１出願人 １〜ヨタ自動車株式会社代理人 弁理
士 大川 宏 同 弁理上 藤谷 修 同 弁理士 丸山明夫 第１図 第２図 勲処理五度（０Ｃ） 第３図
って形成した透明導電膜の電極部の要部１；１、人断面
俣式図である。第２図は熱処Ｊ！ｌ！ Ｗａ ’１．Ｋ
にス・１りるインジウム・ティン・Ａキリ−イドの抵抗
変化１゛を表わづグラフである。又、第３図は本発明の
実茄例の方法により製造した透明導電膜の電極部σ）要
部拡大断面（桑弐図である。 １・・・基板 ２・・・集電ペース膜 ３・・・集電帯 ４・・・端子金具 ７・・・透明導電膜 特呂′１出願人 １〜ヨタ自動車株式会社代理人 弁理
士 大川 宏 同 弁理上 藤谷 修 同 弁理士 丸山明夫 第１図 第２図 勲処理五度（０Ｃ） 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガラス等の基板表面上の電極形成部に、導電性物質の薄
膜を形成して集電ベース膜とし、該集電ベース股上に導
電性の集電帯形成物質を含むベーストを焼付けて集電帯
とし、該集電帯上にリード線をハンダ付１プ、ロウ付【
プ等によって接続し、その後前記基板表面上に前記集電
ベース膜と接するようにして透明導電膜を形成すること
を特徴とする透明導電膜の電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14089283A JPS6032202A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | 透明導電膜の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14089283A JPS6032202A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | 透明導電膜の電極形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6032202A true JPS6032202A (ja) | 1985-02-19 |
| JPH0410685B2 JPH0410685B2 (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15279208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14089283A Granted JPS6032202A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | 透明導電膜の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032202A (ja) |
-
1983
- 1983-08-01 JP JP14089283A patent/JPS6032202A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0410685B2 (ja) | 1992-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4127424A (en) | Photovoltaic cell array | |
| JP2828341B2 (ja) | 電気接触部及びその製造方法 | |
| US4254546A (en) | Photovoltaic cell array | |
| WO1992022929A1 (en) | Method for forming solar cell contacts and interconnecting solar cells | |
| EP0067840A1 (en) | METHOD FOR MANUFACTURING AN ELECTRO-OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A TRANSPARENT METAL OXIDE ELECTRODE. | |
| US4778732A (en) | Electrically conductive glass sheet | |
| JPH05259487A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
| JPS6032202A (ja) | 透明導電膜の電極形成方法 | |
| US4392720A (en) | Electrochromic display cell | |
| GB1559247A (en) | Photovoltaic cell array | |
| JPH05335424A (ja) | 絶縁層を介した上部電極と下部電極の導通方法及びその構造 | |
| JPS6255244A (ja) | 透明導電性薄膜の電極形成方法 | |
| JP3324153B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| JPS604377Y2 (ja) | リ−ド・タ−ミナル | |
| JPH05274917A (ja) | 酸化錫透明導電膜 | |
| JPH10172806A (ja) | 温度センサ及びその製造方法 | |
| JP3218514B2 (ja) | 回路装置とその製造方法 | |
| JPS5853031Y2 (ja) | デイスプレイパネル | |
| JPH0582816A (ja) | 光起電力装置とその製造方法 | |
| US6307150B1 (en) | Vacuum seal for FEA's | |
| JPH06338393A (ja) | 薄型電界発光灯およびその製造方法 | |
| JPH0547306A (ja) | 表示パネル | |
| JPH08306946A (ja) | 太陽電池の電極製造方法 | |
| JPH0373083B2 (ja) | ||
| JPH08111572A (ja) | 多層配線およびその製造方法 |