JPS6035327A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 −−−−−、、、、−１１ｊＬ」）Ｈ−ｍ　Ｖ＆　＋／
　し　−イ　ｔｈ　Ｍト　１！　−Ａ：　石イ　ｄ＋　
（４る磁気記録媒体、特、に耐蝕性、磁性層の特性安定
性に優れた磁気記録媒体に関する。

近年、真空蒸Ｍ法１スパッタリング法、メッキ法等の薄
膜堆積法により、磁気記録媒体を製造する研究開発が活
発化している０これらの製法によって作られた磁気記録
媒体は■残留磁束密度が高い、■保磁力を太き（できる
、■磁性層を薄くできる等の、高密度記録化のための条
件を非常によく満足している。

従来、この記録媒体の磁性材料としては、ｃｏとＮｉを
主成分とする合金が主に用いられており、なかでもＣｏ
−２［１％Ｎｉ合金が多く検討されている。

その理由は、この合金が比較的耐蝕性にすぐれ、と　７
０％以上のｃｏを含む合金はり、ｃ、ｐ、構造をもち磁
気異方性をコントロールしやすく、面内異方性を卓越さ
せることが容易であるためといわれる。

た　しかしながら、この合金はＣＯを７０％以上、通常
は８０ｆ）前後も含んでいないために極めて高価であシ
、しかもＣＯは国際情勢の変化により価格が、太き（変
動するとい５問題を持っている。また耐磁性も厳しい環
境条件に対しては不十分である。

而して、本発明は上記欠点を改善すべ（、ＣＯの含有量
を少なくシ、安価で安定供給が可能な磁気記録媒体を提
供すると共に、その磁気特性、耐蝕性および磁性層の特
性安定性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を
提供することを主たる目的とする。

本発明は薄膜堆積法によって磁性層が形成される磁気記
録媒体において磁性層がＦｅを主成分とし、Ｃｏおよび
Ｎｉ　、　Ｃｒを含み、さらにＴｉ　、　Ｚｒ　、　Ｈ
ｆから選ばれる一種類以上の元素を含むことを％徴とす
るものであり、誘導加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法、電子
ビｆ５蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティン
グ法、メッキ法等の薄膜堆積法を利用して形成できるも
のである。

磁性層材料として、ＣＯ元素とＦｅ元素の和が５０ｗｔ
％以上で、Ｆｅが主成分となるようにＣＯ元元素Ｆｅ元
素に置換することにより、磁気特性は従来のＣｏ　−Ｎ
ｉ合金と同等以上のものが得られることが認められた。

しかし、ＣＯ元素をＦｅ元素で置換することにより耐蝕
性が劣化するが、Ｃｒ元素の添加が耐蝕性向上に有効で
ある。さらに、Ｃｒ元素と同時に、Ｔｉ　、　Ｚｒ　、
またはＨｆの少（とも一種類の元素を添加することによ
り、耐蝕性の向上と共に磁気特性の安定性が改善される
ことが認められた。

本発明に用いられる磁性材料において、Ｆｅ　。

Ｎｉ　、　Ｃｒ　、　Ｔｉ　、　Ｚｒ　、　Ｈｆの各元
素は各々次の作用をする。Ｆｅ元素は原子１個あたりの
磁気モーメントを高め、残留磁束密度Ｂｒを増加させる
と同時に、展延性を増し、磁性層のワレ、ヒビの発生を
防止する。一方、前記した如（Ｆｅ元素が増すと耐蝕性
が急漱に悪（なると同時に、残留磁束密度Ｂｒを増加さ
せる効果は、Ｆｅ元素がある程度以上多（なると、むし
ろ低下する。また、Ｎｉは耐蝕性の効果お展 よび遅延性を向上させ、磁性層のワレやヒビの発生を防
止する。また、Ｃｒは耐蝕性の改善に寄与する。また、
特にＣｒは蒸気圧がＦｅ　、　ＣｏおよびＮｉと太き（
異るため、磁性層の特性に変動を生じ易いが、ＣｒをＴ
ｉ　、　ＺｒまたはＨｆで一部置き換えることにより、
磁気特性の安定化を図ることができる。

ただし、Ｃｒ　、　Ｔｉ　、　Ｚｒ　、　Ｈｆともに添
加量が多すぎるとＢｒの減少等、磁性層の磁気特性を低
下させる。

以上の結果として、良好な磁性層の組成Ｌ１（Ｆｅ　ｌ
−ｘ　Ｃｏｚ）　ｌ−（ａ＋ｂ＋ｃ）Ｎｉ　ａＣｒｂＸ
ｃここでＸはＴｉ　、　Ｚｒ　、Ｈｆの少（とも一種類
の元素であり、重量組成比でＯ＜　：ｔ　＜、　０．５
．０．０５　＜ａ＜０．２０．０．０１　＜ｂ　＜０．
１５および０．００５　＜Ｃ＜０．１５の範囲のもので
あり、特にＴｉ　、　Ｚｒ　、　Ｈｆが単独又は２種又
は６積分部の合計で！１〜１２ｗｔ％１、Ｃｒが１〜＜
５ｗｔ％、Ｎｉが７〜１４ｗｔ％、Ｃｏが１７〜２５ｗ
　ｔ　％、残りがＦｅのものが好適である。

以下実施例により本発明を説明する。第１図は）磁気記
録媒体の１つである蒸着テープの製造装置を示す。真空
槽１内にフィルム巻出し軸２、巻取れている。幅１００
ｍｍ、厚さ１５μｍのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム９は、フィルＡＳ出り軸２から中間フリーローラ４
および冷却キャン５を経てフィルム巻取り軸乙に送られ
る。蒸着材料６は、蒸着月料収納容器Ｚ内に入れられ冷
゛却キャン５と対向して配置され、亀子ビーム発生源８
からの電子ビームによって加熱される。加熱された材料
は蒸気流６′となり冷却キャン５上のフィルム９に付着
して磁性層を形成するが、防着板１１により、フィルム
９に蒸着される蒸気流の入射角が６０〜９０に制限され
る。真空槽１内は排気装置１０により成膜中の真空度が
１×１０〜５×＝６ １０　Ｔｏｒｒに保持された。フィルム送り速度は毎分
１０ｍで、形成された磁性層の厚さは、はぼ１０００　
Ａである。第２図に上記の方法で作製した蒸着テープの
磁性層の組成と耐蝕性および特性安定性試験の結果を示
す。耐蝕性試験は上記実施例に従って作製したテープを
６０℃、９０％の恒温恒湿槽内に１０００時間放置後の
残留磁束密度の変化を測定した。第２図中◎はＢｒの低
下が６ヴ未満、○は６〜５％、△は５〜１０チ、×は１
０チ以上を示す。また磁性層の特性安定性の試験は家庭
用ＶＴＲデツキを用いて記録再生し、テープ長さ１００
ｍ内で５％以上の出力変動を生ずる区間の長さを測定し
た。第２図中◎は５裂以上の出力変動を生じた区間が全
体の２係未満、△は６〜１０％であることをボす。

第６図に、×庭用ＶＴＲデツキを用い、記録−７１＋生
じた時の再生出力を示す。本発明のテープｉ６５の再生
出力を曲線２０で、比較のために同じ条件で作製したＣ
ｏ　−Ｎｉテープ腐１２の再生出力を曲線２１で示す。

本発明のテープ／１６５は、従来テープＡＩ２に比べて
同等ないし２ｄＢ高い再生出力が得られた。第２図中１
６１〜４．６〜１０のテープＣｏ　−Ｎｉテープと同等
以上の再生出力を示した。

以上のように、本発明は、従来のＣｏ　−Ｎｉテープと
比較して高価なＣＯの含有量を減らしながら、面１蝕性
、磁性層の特性の安定性、再生出力のいずれにおいても
同等以上の性能を持つ磁気記録媒体を提供し得るもので
ある０

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例で用いた蒸着テープの製造装置の説明
図である。 第２図は磁性層の組成と耐蝕性及び磁性層の特性安定性
試験の結果を示す衣である。 第６図は、第２図の／Ｉ６５のテープとＣｏ−ぺｉチー
ブ１６１２の各周波数における再生出力の比較を示すグ
ラフである。 １ｚ真空槽、２：フイルム巻出し軸、６：フイルム巻取
り軸、４：中間フリーローラ、５：冷却キャン、６：蒸
着羽村、７：蒸着材料収納容器、８：電子ビーム発生源
、９：ポリエチレンテレツクレートフィルム、１０：排
気装置、１１：防着板、２０：本発明の実施例の再生出
力曲線、２１：　Ｃｏ　−Ｎｉテープの再生出力曲線出
願人　キャノン株式会社 手続補正書（方式） １．事件の表示 昭和５８年　特許願　第　１４４１１４　号２　発明の
名称 磁気記録媒体 ３　補正をする者 １１件との関係　特許出願入 居　所　ｍ１４６東京都大田区下丸子３−３０−２キャ
ノン株式会ネ」内（電話７５Ｅｌ−２１１１）氏名　（
６９８７）弁理士丸島イ義（欧介：ｕＩ＋目！？！！！
１ ５、補正命令の日付 昭和５８年１１月２９日（発送日付） ６、補正の対象 明細書 ７、補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基体上に薄膜堆積法により形成された磁性
   層を有する磁気記録媒体にお（・て、磁性ｔａがＦｅを
   主成分とし、Ｃｏ、Ｎｉおよびｃｒを含みさらに’ｌ’
   ｉ、ＺｒおよびＨｆの中から選ばれた少なくとも一種類
   以上の元素を含むことを特徴とすＺ磁気記録媒体。 （′２Ｊ磁性層の組成が （Ｆｅ　１−＜　Ｃｏ、）　１−（ａ＋ｂ＋ｃ）　Ｎｉ
   ａ　Ｃｒ　ｂ　ＸｃここでＸは’ｒ＜ＸＺｒ５および）
   ｌｆより選ばれイ少（とも一種類以上の元素であり、重
   量組ル比が、０　＜　２　＜０．５．０．０５　＜ａ　
   り［１，２，０，０１＜　ｂ　＜、０．１５および０．
   ００５　＜ｃ　＜０．０’ｊ乏である特許請求の範囲第
   １項記載の磁気記録り体。