JPS6035530A - ボンディング装置 - Google Patents
ボンディング装置Info
- Publication number
- JPS6035530A JPS6035530A JP58143876A JP14387683A JPS6035530A JP S6035530 A JPS6035530 A JP S6035530A JP 58143876 A JP58143876 A JP 58143876A JP 14387683 A JP14387683 A JP 14387683A JP S6035530 A JPS6035530 A JP S6035530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- contact
- positioning
- pin
- pellet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は位置決め技術、特に、ベレットをリードフレー
ム等の被取り付は基板に取り付けるボンディング技術に
適用し′ζ有効な技術に関するものである。
ム等の被取り付は基板に取り付けるボンディング技術に
適用し′ζ有効な技術に関するものである。
［７１景技術］
半導体ベレットをリードフレーム等の被取り付は基板に
取り付けるためのベレットボンディング装置としては第
１図＋８）、（ｂ）に示すような構造のものが考えられ
る。
取り付けるためのベレットボンディング装置としては第
１図＋８）、（ｂ）に示すような構造のものが考えられ
る。
このベレットボンディング装置においてベレット治具の
交換を行う場合、ベレット治具交換位置にＸＹテーブル
１が移動し、停止したら、軸２が移動し玉軸受３に接触
する。接触点よりさらに軸２が移動するとリンク機構に
より位置決めピン４が下降する。また、治具プッシャー
５は軸２と同一の駆動系６で同一方向に移動し、ペレッ
ト治具７を位置決めピン４の下がったＸＹテーブル１に
収納する。ペレット治具７を収納後、治具ブッシャー５
と軸２は反対方向に移動し、位置決めピン４は軸２が玉
軸受３より離れると上昇し終わる。
交換を行う場合、ベレット治具交換位置にＸＹテーブル
１が移動し、停止したら、軸２が移動し玉軸受３に接触
する。接触点よりさらに軸２が移動するとリンク機構に
より位置決めピン４が下降する。また、治具プッシャー
５は軸２と同一の駆動系６で同一方向に移動し、ペレッ
ト治具７を位置決めピン４の下がったＸＹテーブル１に
収納する。ペレット治具７を収納後、治具ブッシャー５
と軸２は反対方向に移動し、位置決めピン４は軸２が玉
軸受３より離れると上昇し終わる。
この時点で、ベレット治具交換時のベレット位置決めが
終了しＸＹテーブル１がペレットボンディング位置まで
移動し始めるのであるが、ペレット治具７をＸＹテーブ
ル１に収納終了しているのにもかかわらず軸２が玉軸受
３に接触している間はベレット治具７の位置決めピン４
が上昇していないので位置決めが完了しておらず、ＸＹ
テーブル１の移動が不可能であり、治具交換時間が長く
なり、作業能率が悪い等の問題があることが本発明者に
よって見い出された。
終了しＸＹテーブル１がペレットボンディング位置まで
移動し始めるのであるが、ペレット治具７をＸＹテーブ
ル１に収納終了しているのにもかかわらず軸２が玉軸受
３に接触している間はベレット治具７の位置決めピン４
が上昇していないので位置決めが完了しておらず、ＸＹ
テーブル１の移動が不可能であり、治具交換時間が長く
なり、作業能率が悪い等の問題があることが本発明者に
よって見い出された。
［発明の目的］
本発明の目的は、被ボンデイング物の収納治具の交換を
短時間で能率良く行うことのできる位置決め技術を提供
することにある。
短時間で能率良く行うことのできる位置決め技術を提供
することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、収納治具の交換を終了した直後に該収納治具
の位置決めを行うことができるよう構成することにより
、治具交換時間を短縮できるものである。
の位置決めを行うことができるよう構成することにより
、治具交換時間を短縮できるものである。
［実施例１］
第２図は本発明の一実施例であるボンディング装置の概
略説明図であり、第３図（ａｌ、（ｂ）はそれぞれその
位置決めブロックの一実施例の斜視図と側面図である。
略説明図であり、第３図（ａｌ、（ｂ）はそれぞれその
位置決めブロックの一実施例の斜視図と側面図である。
この実施例１では、ボンディング装置は半導体ペレット
のボンディングのために適用されたものであり、第１図
の装置と対応する部分には同一の符号を付して重複説明
を省略する。
のボンディングのために適用されたものであり、第１図
の装置と対応する部分には同一の符号を付して重複説明
を省略する。
このペレットボンディング装置においては、被ボンデイ
ング物である半導体ベレット（図示せず）はＸＹテーブ
ル１上に載せられて位置決めされるベレット治具７ （
収納治具）内に収納される。
ング物である半導体ベレット（図示せず）はＸＹテーブ
ル１上に載せられて位置決めされるベレット治具７ （
収納治具）内に収納される。
このベレット治具７は垂直方向に延びる位置決めピン４
（位置決め手段）によりＸＹテーブル１上で位置決めさ
れる。この位置決めピン４の下端はリンク機構８のリン
クパー９に形成した長孔１０の中にピン１１を介して連
結されている。リンクパー９はピン１２により取り付は
ブロック１３に回動可能に取り付けられ、該取り付はブ
ロック１３はＸＹテーブルｌに結合され、該ＸＹテーブ
ル１と共にＸＹ方向に動作できる。また、前記リンクパ
ー９の一＃（第２図の左端）の下面には位置決め用の接
触ビン１４（接触部材）が固定されている。
（位置決め手段）によりＸＹテーブル１上で位置決めさ
れる。この位置決めピン４の下端はリンク機構８のリン
クパー９に形成した長孔１０の中にピン１１を介して連
結されている。リンクパー９はピン１２により取り付は
ブロック１３に回動可能に取り付けられ、該取り付はブ
ロック１３はＸＹテーブルｌに結合され、該ＸＹテーブ
ル１と共にＸＹ方向に動作できる。また、前記リンクパ
ー９の一＃（第２図の左端）の下面には位置決め用の接
触ビン１４（接触部材）が固定されている。
この接触ピン１４はＸＹテーブルｌのＸＹ方向への移動
につれて接触ブロック１５の傾斜面１６と接触して摺動
し、その摺動時における該接触ピン１４の上下方向の動
作によってピン１２を中心としてリンクパー９を回動さ
せ、位置決めピン４を上下動させるものである。
につれて接触ブロック１５の傾斜面１６と接触して摺動
し、その摺動時における該接触ピン１４の上下方向の動
作によってピン１２を中心としてリンクパー９を回動さ
せ、位置決めピン４を上下動させるものである。
すなわち、たとえば、接触ピン１４が接触ブロック１５
の傾斜面１６上に乗り上げていないかあるいは乗り上げ
ていてもまだ低い位置にある時には、リンクパー９の右
端（第２図で見て）はピン１２を中心として反時計方向
に回動して比較的高い位置にあり、位置決めピン４は第
２図に二点鎖線４ａで示ず如くベレット治具具７よりも
上方まで上昇し、該ペレット治！Ｌ７の位置決めを行う
。一方、接触ピン１４が？’Ｊｉ 斜面Ｉ６上の比較的
高い位置に摺動すると、リンクパー９の右端はピン１２
を中心として時計方向に回動し、位置決めピン４はその
先端がベレット治具７の下面よりも低い位置まで下降す
る。それにより、駆動系６で治具プッシャー５を介して
ベレット治具７をＸＹテーブル１の上で移動さ・ｌるこ
とが可能となる。
の傾斜面１６上に乗り上げていないかあるいは乗り上げ
ていてもまだ低い位置にある時には、リンクパー９の右
端（第２図で見て）はピン１２を中心として反時計方向
に回動して比較的高い位置にあり、位置決めピン４は第
２図に二点鎖線４ａで示ず如くベレット治具具７よりも
上方まで上昇し、該ペレット治！Ｌ７の位置決めを行う
。一方、接触ピン１４が？’Ｊｉ 斜面Ｉ６上の比較的
高い位置に摺動すると、リンクパー９の右端はピン１２
を中心として時計方向に回動し、位置決めピン４はその
先端がベレット治具７の下面よりも低い位置まで下降す
る。それにより、駆動系６で治具プッシャー５を介して
ベレット治具７をＸＹテーブル１の上で移動さ・ｌるこ
とが可能となる。
そのため、本実施例の接触ブロック１５は平面図で見て
略扇形の形状に構成され、し、かも接触ピン１４がＸＹ
テーブル１のＸＹいずれの方向−・の移動時にも該接触
ブロック１５の傾斜面の上に容易に乗り上げることがで
きるようになっている。
略扇形の形状に構成され、し、かも接触ピン１４がＸＹ
テーブル１のＸＹいずれの方向−・の移動時にも該接触
ブロック１５の傾斜面の上に容易に乗り上げることがで
きるようになっている。
次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例のボンディング装置におけるベレット治具７の
交換を行う場合、まずＸＹテーブル１がペレット治具交
換位置に移動して停止した時点において位置決めピン４
の下降が終了している状態にするため、ＸＹテーブル１
をベレソ１−治具交換位置に移動させている間に接触ピ
ン１４を接触ブロック１５の傾斜面１６に接触させて摺
動させ、リンク機構８によらて位置決めピン４の下降を
行わせる。次に、駆動系６で治具プッシャー５を移動さ
せ、ペレット治具７をＸＹテーブルｌに収納させて、ペ
レット治具交換を行い、その収納交換の直後にＸＹテー
ブルｌを移動させることによって位置決めピン４の上昇
を行わせ位置決めをさせる。
交換を行う場合、まずＸＹテーブル１がペレット治具交
換位置に移動して停止した時点において位置決めピン４
の下降が終了している状態にするため、ＸＹテーブル１
をベレソ１−治具交換位置に移動させている間に接触ピ
ン１４を接触ブロック１５の傾斜面１６に接触させて摺
動させ、リンク機構８によらて位置決めピン４の下降を
行わせる。次に、駆動系６で治具プッシャー５を移動さ
せ、ペレット治具７をＸＹテーブルｌに収納させて、ペ
レット治具交換を行い、その収納交換の直後にＸＹテー
ブルｌを移動させることによって位置決めピン４の上昇
を行わせ位置決めをさせる。
したがって、本実施例によればペレット治具交換直後に
ペレット治具位置決めができるので、ペレット治具交換
の時間が短縮でき、ペレットボンディング時の工数低減
が可能である。
ペレット治具位置決めができるので、ペレット治具交換
の時間が短縮でき、ペレットボンディング時の工数低減
が可能である。
［実施例２］
第４図＋ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明に用いることの
できる接触ブロックの他の実施例の斜視図とその側面図
である。
できる接触ブロックの他の実施例の斜視図とその側面図
である。
この実施例では、接触ブロック１５ａは平面図で見て扇
形、側面図では直角三角形の形状を有し、接触ビン１４
がその」二で摺動する傾斜面１６ａを有している。
形、側面図では直角三角形の形状を有し、接触ビン１４
がその」二で摺動する傾斜面１６ａを有している。
この場合にも、接触ビン１４はＸＹ方向のいずれの方向
からでも傾斜面１６ａ上に乗り上げることができ、ペレ
ット治具交換直後にペレット治具７の位置決めができ、
ペレット治具交換時間の短縮化が可能である。
からでも傾斜面１６ａ上に乗り上げることができ、ペレ
ット治具交換直後にペレット治具７の位置決めができ、
ペレット治具交換時間の短縮化が可能である。
［実施例３］
第５図（ａ）、ｆｂｌはそれぞれ本発明に用いることの
できる接触ブロックのさらに他の実施例の斜視図とその
側面図である。
できる接触ブロックのさらに他の実施例の斜視図とその
側面図である。
この実施例では、接触ブロック１５ｂの（ＬＱ ｆ、１
面１６ｂは平面図で見て略扇形または略三角形の形状を
有し、その傾斜方向中央側がやや円弧状に弯曲して盛り
上がった形状を自している。
面１６ｂは平面図で見て略扇形または略三角形の形状を
有し、その傾斜方向中央側がやや円弧状に弯曲して盛り
上がった形状を自している。
この弯曲形状により、接触ビンＩ４は傾斜面１６ｂの上
にＸＹ方向のいずれの方向からでもより容易に乗り上げ
ることができる。
にＸＹ方向のいずれの方向からでもより容易に乗り上げ
ることができる。
［効果］
（ｌ）、収納治具の交換の直後に収納治具の位置決めが
できることにより、収納治具の交換時間を短縮でき、作
業能率が向上する。
できることにより、収納治具の交換時間を短縮でき、作
業能率が向上する。
（２）、接触部材がＸＹ方向のいずれの方向からでも接
触ブロックの（頃斜面上に接触して該傾斜面に沿って動
作可能であることにより、収納治具の位置決めをより容
易に短時間で行うことができる。
触ブロックの（頃斜面上に接触して該傾斜面に沿って動
作可能であることにより、収納治具の位置決めをより容
易に短時間で行うことができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく−その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく−その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、接触部材としては、接触ビンの他に接触用玉
軸受等を用いることができる。また、接触ブロックの構
造は平面図で見て四角形状にするなど種々変更すること
ができる。
軸受等を用いることができる。また、接触ブロックの構
造は平面図で見て四角形状にするなど種々変更すること
ができる。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるボンディング装置の
ペレット位置決めに通用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、たとえば、他の微小物
品等のボンディング技術に広く適用できる。
をその背景となった利用分野であるボンディング装置の
ペレット位置決めに通用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、たとえば、他の微小物
品等のボンディング技術に広く適用できる。
第１図＋ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明者によって考え
出されたペレットボンディング装置の位置決めピン上昇
状態と下降状態を示す概略説明図、第２図は本発明の一
実施例であるボンディング装置の概略説明図、 第３図（０１、（ｂ）ばそれぞれその接触ブし１ツクの
一実施例の斜視図と側面図、 第４図（ａｌ、ｆｂｌはそれぞれ接触ブ１．’Ｊ ７り
の他の実施例の斜視図と側面図、 第５図（ａｌ、（ｂｌはそれぞれ接触ブＬ］ツクのさら
に他の実施例を示す斜視図と側面図である。 １・・・ＸＹテーブル、２・・・軸、３・・・玉軸受、
４，４ａ・・・位置決めピン（位置決め手段）、５・・
・治具プッシャー、６・・・駆動系、７・・・ペレット
治具（収納治具）、８・・・リンク８Ｍ ｔｌｉ、９・
・・リンクツ＼−１１０・・・長孔、１１・・・ピン、
１２・・・ピン、１３・・・取り付はブロック、１４・
・・接触ピン（接触部材＞、１５．１５ａ、１．５ｂ−
−−接触）′ロッへ １Ｇ、１６ａ、１６ｂ・−・ｊｑ
斜面。 第 １ 図 ／ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
出されたペレットボンディング装置の位置決めピン上昇
状態と下降状態を示す概略説明図、第２図は本発明の一
実施例であるボンディング装置の概略説明図、 第３図（０１、（ｂ）ばそれぞれその接触ブし１ツクの
一実施例の斜視図と側面図、 第４図（ａｌ、ｆｂｌはそれぞれ接触ブ１．’Ｊ ７り
の他の実施例の斜視図と側面図、 第５図（ａｌ、（ｂｌはそれぞれ接触ブＬ］ツクのさら
に他の実施例を示す斜視図と側面図である。 １・・・ＸＹテーブル、２・・・軸、３・・・玉軸受、
４，４ａ・・・位置決めピン（位置決め手段）、５・・
・治具プッシャー、６・・・駆動系、７・・・ペレット
治具（収納治具）、８・・・リンク８Ｍ ｔｌｉ、９・
・・リンクツ＼−１１０・・・長孔、１１・・・ピン、
１２・・・ピン、１３・・・取り付はブロック、１４・
・・接触ピン（接触部材＞、１５．１５ａ、１．５ｂ−
−−接触）′ロッへ １Ｇ、１６ａ、１６ｂ・−・ｊｑ
斜面。 第 １ 図 ／ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、収納治具に収納された被ボンデイング物をボンディ
ング対象物にボンディングする装置において、ＸＹテー
ブル上に載せられた収納治具を位置決めする位置決め手
段と、この位置決め手段を動作させるリンク機構と、こ
のリンク機構の一端部に設けられた接触部材と、この接
触部材が接触する傾斜面を有し、該傾斜面に沿って前記
接触部材が動作する接触ブロックと、前記収納治具を前
記ＸＹテーブル上に収納する移動手段とを備えてなるこ
とを特徴とする位置決め装置。 ２、前記接触部材は、ＸＹ方向のいずれの方向からでも
前記傾斜面上に接触して該ｐＪ！斜面に沿って動作可能
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の位
置決め装置。 ３、前記傾斜面が略扇形の平面形状を有していることを
特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項のいずれ
かに記載の位置決め装置゛。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143876A JPS6035530A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143876A JPS6035530A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | ボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035530A true JPS6035530A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0357621B2 JPH0357621B2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=15349058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143876A Granted JPS6035530A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | ボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035530A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146531U (ja) * | 1983-12-28 | 1984-09-29 | ダイキン工業株式会社 | 過給機付エンジンの吸入空気冷却装置 |
| JPH021427U (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP58143876A patent/JPS6035530A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146531U (ja) * | 1983-12-28 | 1984-09-29 | ダイキン工業株式会社 | 過給機付エンジンの吸入空気冷却装置 |
| JPH021427U (ja) * | 1988-06-13 | 1990-01-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0357621B2 (ja) | 1991-09-02 |
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