JPH0357621B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は位置決め技術、特に、ペレツトをリー
ドフレーム等の被取り付け基板に取り付けるボン
デイング技術に適用して有効な技術に関するもの
である。

［背景技術］ 半導体ペレツトをリードフレーム等の被取り付
け基板に取り付けるためのペレツトボンデイング
装置としては第１図ａ，ｂに示すような構造のも
のが考えられる。

このペレツトボンデイング装置においてペレツ
ト治具の交換を行う場合、ペレツト治具交換位置
にXYテーブル１が移動し、停止したら、軸２が
移動し玉軸受３に接触する。接触点よりさらに軸
２が移動するとリンク機構により位置決めピン４
が下降する。また、治具プッシヤー５は軸２と同
一の駆動系６で同一方向に移動し、ペレツト治具
７を位置決めピン４の下がつたXYテーブル１に
収納する。ペレツト治具７を収納後、治具プッシ
ヤー５と軸２は反対方向に移動し、位置決めピン
４は軸２が玉軸受３より離れると上昇し終わる。
この時点で、ペレツト治具交換時のペレツト位置
決めが終了しXYテーブル１がペレツトボンデイ
ング位置まで移動し始めるのであるが、ペレツト
治具７をXYテーブル１に収納終了しているのに
もかかわらず軸２が玉軸受３に接触している間は
ペレツト治具７の位置決めピン４が上昇していな
いので位置決めが完了しておらず、XYテーブル
１の移動が不可能であり、治具交換時間が長くな
り、作業能率が悪い等の問題があることが本発明
者によつて見い出された。

［発明の目的］ 本発明の目的は、被ボンデイング物の収納治具
の交換を短時間で能率良く行うことのできる位置
決め技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述および添付図面から明らか
になるであろう。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、被ボンデイング物が収納された収納
治具が載置され位置決め装置によつてその所定部
に位置決めされるXYテーブルを、所望の位置に
水平移動した後、ボンデイング対象物に前記被ボ
ンデイング物をボンデイングするボンデイング装
置において、前記位置決め装置は、前記XYテー
ブルの下部に接続された支軸と、該支軸によつて
揺動可能に支持されるリンクバーと、該リンクバ
ーの支軸に対して一方に接続され、前記XYテー
ブルを貫通しながら前記収納治具をXYテーブル
の所定部に位置決めするための往復運動可能な位
置決め手段と、前記リンクバーの支軸に対して他
方に有する接触部材と、該接触部材が接触しなが
ら移動すべき傾斜面を有して固定されている接触
ブロツクとを有してなり、前記XYテーブルの水
平移動に伴い、該XYテーブルに支持されている
前記リンクバーの接触部材は、前記接触ブロツク
の傾斜面上を接触しながら移動することによつて
上下動し、前記位置決め手段の動作と前記リンク
バーの接触部材の動作とは前記支軸によつて相対
的な動作をする機構であり、前記リンクバーの接
触部材が前記接触ブロツクの傾斜面の下部へ移動
することによつて前記位置決め手段が前記XYテ
ーブルを貫通して前記収納治具の位置決めがなさ
れる位置決め装置を具備することを特徴としてい
る。

実施例 １ 第２図は本発明の一実施例であるボンデイング
装置の概略説明図であり、第３図ａ，ｂはそれぞ
れその位置決めブロツクの一実施例の斜視図と側
面図である。

この実施例１では、ボンデイング装置は半導体
ペレツトのボンデイングのために適用されたもの
であり、第１図の装置と対応する部分には同一の
符号を付して重複説明を省略する。

このペレツトボンデイング装置においては、被
ボンデイング物である半導体ペレツト（図示せ
ず）はXYテーブル１上に載せられて位置決めさ
れるペレツト治具７（収納治具）内に収納され
る。

このペレツト治具７は垂直方向に延びる位置決
めピン４（位置決め手段）によりXYテーブル１
上で位置決めされる。この位置決めピン４の下端
はリンク機構８のリンクバー９に形成した長孔１
０の中にピン１１を介して連結されている。リン
クバー９はピン１２により取り付けブロツク１３
に回動可能に取り付けられ、該取り付けブロツク
１３はXYテーブル１に結合され、該XYテーブ
ル１と共にXY方向に動作できる。また、前記リ
ンクバー９の一端（第２図の左端）の下面には位
置決め用の接触ピン１４（接触部材）が固定され
ている。

この接触ピン１４はXYテーブル１のXY方向
への移動につれて接触ブロツク１５の傾斜面１６
と接触して摺動し、その摺動時における該接触ピ
ン１４の上下方向の動作によつてピン１２を中心
としてリンクバー９を回動させ、位置決めピン４
を上下動させるものである。

すなわち、たとえば、接触ピン１４が接触ブロ
ツク１５の傾斜面１６上に乗り上げていないかあ
るいは乗り上げていてもまだ低い位置にある時に
は、リンクバー９の右端（第２図で見て）はピン
１２を中心として反時計方向に回動して比較的高
い位置にあり、位置決めピン４は第２図に二点鎖
線４ａで示す如くペレツト治具７よりも上方まで
上昇し、該ペレツト治具７の位置決めを行う。一
方、接触ピン１４が傾斜面１６上の比較的高い位
置に摺動すると、リンクバー９の右端はピン１２
を中心として時計方向に回動し、位置決めピン４
はその先端がペレツト治具７の下面よりも低い位
置まで下降する。それにより、駆動系６で治具プ
ッシヤー５を介してペレツト治具７をXYテーブ
ル１の上で移動させることが可能となる。

そのため、本実施例の接触ブロツク１５は平面
図で見て略扇形の形状に構成され、しかも接触ピ
ン１４がXYテーブル１のXYいずれの方向への
移動時にも該接触ブロツク１５の傾斜面の上に容
易に乗り上げることができるようになつている。

次に、本実施例の作用について説明する。

本実施例のボンデイング装置におけるペレツト
治具７の交換を行う場合、まずXYテーブル１が
ペレツト治具交換位置に移動して停止した時点に
おいて位置決めピン４の下降が終了している状態
にするため、XYテーブル１をペレツト治具交換
位置に移動させている間に接触ピン１４を接触ブ
ロツク１５の傾斜面１６に接触させて摺動させ、
リンク機構８によつて位置決めピン４の下降を行
わせる。次に、駆動系６で治具プッシヤー５を移
動させ、ペレツト治具７をXYテーブル１に収納
させて、ペレツト治具交換を行い、その収納交換
の直後にXYテーブル１を移動させることによつ
て位置決めピン４の上昇を行わせ位置決めをさせ
る。

したがつて、本実施例によればペレツト治具交
換直後にペレツト治具位置決めができるので、ペ
レツト治具交換の時間が短縮でき、ペレツトボン
デイング時の工数低減が可能である。

実施例 ２ 第４図ａ，ｂはそれぞれ本発明に用いることの
できる接触ブロツクの他の実施例の斜視図とその
側面図である。

この実施例では、接触ブロツク１５ａは平面図
で見て扇形、側面図では直角三角形の形状を有
し、接触ピン１４がその上で摺動する傾斜面１６
ａを有している。

この場合にも、接触ピン１４はXY方向のいず
れの方向からでも傾斜面１６ａ上に乗り上げるこ
とができ、ペレツト治具交換直後にペレツト治具
７の位置決めができ、ペレツト治具交換時間の短
縮化が可能である。

実施例 ３ 第５図ａ，ｂはそれぞれ本発明に用いることの
できる接触ブロツクのさらに他の実施例の斜視図
とその側面図である。

この実施例では、接触ブロツク１５ｂの傾斜面
１６ｂは平面図で見て略扇形または略三角形の形
状を有し、その傾斜方向中央側がやや円弧状に弯
曲して盛り上がつた形状を有している。

この弯曲形状により、接触ピン１４は傾斜面１
６ｂの上にXY方向のいずれの方向からでもより
容易に乗り上げることができる。

［効果］ (1) 収納治具の交換の直後に収納治具の位置決め
ができることにより、収納治具の交換時間を短
縮でき、作業能率が向上する。

(2) 接触部材がXY方向のいずれの方向からでも
接触ブロツクの傾斜面上に接触して該傾斜面に
沿つて動作可能であることにより、収納治具の
位置決めをより容易に短時間で行うことができ
る。

以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

たとえば、接触部材としては、接触ピンの他に
接触用玉軸受等を用いることができる。また、接
触ブロツクの構造は平面図で見て四角形状にする
など種々変更することができる。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野であるボン
デイング装置のペレツト位置決めに適用した場合
について説明したが、それに限定されるものでは
なく、たとえば、他の徴小物品等のボンデイング
技術に広く適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂはそれぞれ本発明者によつて考え
出されたペレツトボンデイング装置の位置決めピ
ン上昇状態と下降状態を示す概略説明図、第２図
は本発明の一実施例であるボンデイング装置の概
略説明図、第３図ａ，ｂはそれぞれの接触ブロツ
クの一実施例の斜視図と側面図、第４図ａ，ｂは
それぞれ接触ブロツクの他の実施例の斜視図と側
面図、第５図ａ，ｂはそれぞれ接触ブロツクのさ
らに他の実施例を示す斜視図と側面図である。 １……XYテーブル、２……軸、３……玉軸
受、４，４ａ……位置決めピン（位置決め手段）、
５……治具プッシヤー、６……駆動系、７……ペ
レツト治具（収納治具）、８……リンク機構、９
……リンクバー、１０……長孔、１１……ピン、
１２……ピン、１３……取り付けブロツク、１４
……接触ピン、（接触部材）、１５，１５ａ，１５
ｂ……接触ブロツク、１６，１６ａ，１６ｂ……
傾斜面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被ボンデイング物が収納された収納治具が載
   置され位置決め装置によつてその所定部に位置決
   めされるXYテーブルを、所望の位置に水平移動
   した後、ボンデイング対象物に前記被ボンデイン
   グ物をボンデイングするボンデイング装置におい
   て、前記位置決め装置は、前記XYテーブルの下
   部に接続された支軸と、該支軸によつて揺動可能
   に支持されるリンクバーと、該リンクバーの支軸
   に対して一方に接続され、前記XYテーブルを貫
   通しながら前記収納治具をXYテーブルの所定部
   に位置決めするための往復運動可能な位置決め手
   段と、前記リンクバーの支軸に対して他方に有す
   る接触部材と、該接触部材が接触しながら移動す
   べき傾斜面を有して固定されている接触ブロツク
   とを有してなり、前記XYテーブルの水平移動に
   伴い、該XYテーブルに支持されている前記リン
   クバーの接触部材は、前記接触ブロツクの傾斜面
   上を接触しながら移動することによつて上下動
   し、前記位置決め手段の動作と前記リンクバーの
   接触部材の動作とは前記支軸によつて相対的な動
   作をする機構であり、前記リンクバーの接触部材
   が前記接触ブロツクの傾斜面の下部へ移動するこ
   とによつて前記位置決め手段が前記XYテーブル
   を貫通して前記収納治具の位置決めがなされる位
   置決め装置を具備することを特徴とするボンデイ
   ング装置。 ２ 前記接触部材は、XY方向のいずれの方向か
   らでも前記傾斜面上に接触して該傾斜面に沿つて
   動作可能であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のボンデイング装置。 ３ 前記傾斜面が略扇形の平面形状を有している
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第
   ２項のいずれかに記載のボンデイング装置。