JPS6043603A - カラ−フイルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はカラーフィルターに関するもので、特にカラー
撮像素子やカラーセンサー及びカラーディスプレーなど
の微細色分解用カラーフィルターに関するものである。

代表的なカラーフィルターとして、基板上にゼラチン１
カゼイン、グリユーあるいはボーノビニルアルコールな
どの親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染
層を色素で染色して着色層を形成すゝる染色カラーフィ
ルターが知られている。

染色法では使用可能な染料が多くフィルターとして要求
される分光特性への対応が比較的容易であるが、染色工
程が染料を溶解した染色浴中に浸漬するというフントロ
ールの難しい湿式１程を採用しており、また各色毎に防
染用の中間層を設けるといった複雑な工程を有す′るた
め、歩留りが悪いといった欠点を有している。また耐熱
性が１５０〜１６０℃程度と比較的低く熱的処理を必要
とする工程では使用が困難である。

これに対して染料や顔料の色素薄膜を蒸着等の気相用積
法で形成する蒸着法が知られている。（特開昭５５−１
４６４０６＠　この方法によれば色素そのもので着色層
が形成できるので、染套法に比べて薄型化でき、また非
水工程で制御も容易である。

また耐熱性が良いという特徴も有している。しかしなが
ら蒸着に適する使用可能な色素の選択が容易でないため
、今まで普及してい゛ない。

カラーフィルターを色素の観点からみると、カラーフィ
ルター用色素には以下のような特性が要求される。

マス第一にフィルターとして適切な分光特性でなければ
ならない。一般にカラーフィルターは用途、方式にもよ
るが、２ないし６色の複数の色構成で、フィルターとし
ての色特性は、個々の色特性は勿論、全体のバランスが
とれていなくてはならない。例えば１色でも分光特性的
に劣っていれば、他がいくら良くてもフィルターとして
の色特性は劣ってしまって不適当なものとなってしまう
。　一方製法の点からみれば分光特性が良くても製造上
安定性に欠けたり、特別の処理、工程が必要な色素では
歩留りの低下をまねき結局力ラーンイノ０ターには不適
当なものになってしまう。従ってカラーフィルター用色
素としては、分光特性と製造の両面からみてバランスの
とれた最適なものを選ばなければならない。

特に蒸着法においては、耐熱性があって容易に蒸発気化
可能であり、かっフォ）　Ｕソ工程での溶剤処理に耐え
るという製造面での制約が強いため染色法に比べて種々
の利点があるにもかかわらず蒸着型カラーフィルターが
普及していなかった。

而して本発明は、三色の色素について、蒸着への適応性
、分光透過特性、耐溶剤性および耐久性も考慮して、：
：に適の色素を選択使用することによって優れた蒸着色
素層から成るカラーフィルターを提供することを主たる
目的とする。

本発明によるカラーフィルター゛は、熱動によって形成
された色素から成る色素層を有し、かつ色素層を成す色
素が下記構造の色素かり選ばれたものであることを特徴
としている。

赤色色素：構造式（Ｉ）および（６）から選択されるペ
リレンテトラカルボン酸誘導体 緑色色素：フタロシアニン系色素とイソインドリノン系
色素の組合せ 青色色素：フタロシアニン系色素とキナクリドン系色素
の組合せ 及び ここでＲ１は水素、アルキル基又はアリール基である。

色素層形成に用いられる色素に要求される特性は、蒸着
可能であり、蒸着後のレジストによるフォトリソ工程で
の溶剤や熱処理に耐え、かつフィノ１ターとしてバラン
スのとれた分光特性を有していることであるが、こうい
った諸性性を比較的良く満足する色素としてフタロシア
ニン系色素があげられる。フタロシアニン系色素は基本
となるフタロシアニン環が化学的にも熱的にも極めて安
定なので蒸着性、耐溶剤性に優れ分光特性も青から緑に
かけての特性を示すものが多い。従って青ないし緑また
はシアン色素としてフタロシアニン系色素は蒸着法に使
用可能といえる。

そこで問題はこれに組合せる赤色色素である。

フタロシアニン系色素に四速する性能を有する赤色系色
素でないと、カラーフィルター全体として実用水準の蒸
着型フィルターを作ることが不可能であるからである。

本発明は赤色色素に・ついて、蒸着可能で耐溶剤性があ
り、かつ分光特性の優れた赤色色素をフタロシアニン系
色素との組合せで用いることにより総合的に優れた特徴
を有する蒸着型カラーフィルターを作成できるものであ
る。

本発明に用いられる赤色色素のペリレンテトラカルボン
酸誘導体は前記（１）式又は（１０式で示される構造を
有し、そのペリレン骨格によって熱的に極めて安定であ
り、加熱しても分解することなく、所定の温度以上にな
ると容易に蒸着する性質を有しぞおり、蒸着によって色
素層を形成するには極めて好適である。

また、蒸着によって形成されたペリレンテトラカルボン
酸誘導体の色素層は、有機膜にしばしば見られるような
疎い膜ではなく、極めて緻密で、しかもガラスのような
無機物の表面の表面にも強く密着しており、族Ｎ膜とし
てすぐれた物性を有している。

分光特性も図９の１４で示される如く、優れた赤の特性
を有している。

また一方、この色素層は有機溶剤に対して優れた耐性を
有している。即ち、アルコール類等の貧溶媒は勿論、ケ
トン類、エステル類、エーテルアルコール類、ハロゲン
溶剤等の良溶媒に対してもほとんど溶解せず、分光特性
的にも何ら変化を起すことがない。従って、色素層に対
して、レジストの塗布、現像を施しても全く何ら支障が
ないので、色素層の微細加工も容易に行ないうるもので
あり、微細カラーフィルター等の製造に極めて好適であ
る。

ペリレンテトラカルボン酸誘導体の例としては、次のよ
うなものが好適例として挙げられる。

（以下■〜■の記号で示す） ■上式においてＲ８が−Ｈであるもの ■　ｔｔ　Ｒ，ｔｔ−ＣＨ３ｔｔ ■　／／　Ｒ１〃０−ＯＣＨａ　” ■　ｔｔ　Ｒ１〃（）−ＱＣ２Ｈｆ　ｓ本発明はまた優
れた分光特性の緑色色素層及び青色色素層を有する蒸着
型フィルター作成を可能ならしめる目的をもあわせもっ
ている。

蒸着方式で使える緑色ないし青色色素は数少なく、比較
的良く特性を満たすものとしてフタロシアニン系色素が
挙げられることは前述し、た通りである。

フタロシアニン系色素はおおむね青色の分光特性を示す
が、やや緑色領にまで透過特性がのびている。

また中心金属の種類や置換基の導入などによっては、さ
らに緑色に近い傾向を示す場合もある。

いずれにしても分光特性的には青から緑にわたっており
、厳密な特性が要求される目的用途によっては緑色また
は青色として充分ではない。

而して本発明は、蒸着方式に適したフタロシアニン系色
素のもつ特性をいかしつつ、その欠点である分光特性を
補なって優れた緑色及び青色着色層を形成可能にするも
のである。

本発明によるカラーフィルターは、フタロシアニン系色
素とイソインドリノン系色素を蒸着して形成される緑色
色素層と、フタロシアニン系色素とキナクリドン系色素
を蒸着して形成される青色色素層とを有することを特徴
とするものである。

即ち本発明では緑色色素層として、フタロシアニン系色
素の他にイソインドリノン系の黄色色素を併用すること
により、フタロシアニン色素のもつ青色分光成分をカッ
トし、優れた緑色の分光特性を有する着色層を形成する
ものである。

フタロシアニン系色素の色補正に用いる色素としては、
鋭い立ち上り特性を有する黄色色素でなければならない
。また蒸着法で形成するので、フタロシアニン系色素に
四速する蒸着性と耐溶剤性をも兼ねそなえる必要がある
が、本発明で用いるイソインドリノン系黄色色素はこれ
らの特性を全て満足するものであり、フタロシアニン系
色素との組合せにおいて蒸着型のすぐれた緑色色素層形
成を可能にするものである。

本発明で用いる黄色色素のイソインドリノン系色素は、
ペテロ原子を含む芳香族縮合多環構造を有しており、基
本的には下記式のように表わすことができる。

４．５．６．７位が塩素で置換されていないものも含め
ることができるが耐光性、耐溶剤性の点では着換型の方
が好ましい。

式中Ｒの構造によって色は黄色からオレンジ、赤かっ色
と変化するが、多彩さとそのシャープな分光特性から特
に黄色色素とじず優れている。

またイソインドリノン系色素は、その基本骨格である芳
香族綜合多環構造に熱的に極めて安定であり、加熱して
も分解することなく、所定の温度以上になると容易に蒸
発する性質を有しており、蒸着によって色素薄膜を形成
するには極めて好適である。蒸着によって形成されたイ
ソインドリノン系色素の薄膜は有機膜にしばしば見られ
るような疎い膜ではなく、極めて緻密でしがもガラスの
ような無機物の表面にも強く密着しており、蒸着膜とし
てすぐれた物性を有している。

また一方、この蒸着膜は有機溶剤に対して優れた耐性を
有している。即ち、アルコール類等の貧％１１４ｔは勿
論、ケトン類、エステル類、ニーｆルアルコール類、ハ
ロゲン溶剤等の良溶媒に対してもほとんど溶解せず、分
光特性的にも何ら変化を起こすことがない。従って、色
素層に対して、レジストの塗布、現像を施しても傘く何
ら支障がないので、色素層の微細加工も容易に行ないう
、るものであり、微細カラーフィルター等の製造に極め
て好適である。

代表的なイソインドリノン系色素の例は前記式中のＲが
次のものとしてあげられる。

Ｃ１−１，Ｃ１も 但し、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではな
い。

このようなイソインドリノン系色素として市販されてい
るもの（商品名）は リオノゲン　イエロー　３０Ｘ　（東洋インキ製）リオ
ノゲン　イエロー　”Ｘ　（東洋イ：、Ａ製）す６．ソ
ール　ファースト　イエロー１８４０　（ＢＡＳＦ製）
クロモフタール　オレンジ　２Ｇ　（チバガイキー製）
などが９（げられる。

また本発明では青色色素層として、フタロシアニン系色
素の他にキナクリドン系のマゼンタ色素を併用すること
により、フタロシアニン色素のもつ緑色分光成分をカッ
トし、優れた青色の分光特性を有する色素層を形成する
ものである。

フタロシアニン系色素の色補正に用いる色素としては、
鋭い立ち上り特性を有するマゼンタ色素でなければなら
ない。また蒸着法で形成するので、フタロシアニン系色
素に四速する蒸着性と耐溶剤性をも兼ねそなえる必要が
あるが、本発明で用いるキナクリドン系マゼンタ色素は
これらの特性を全て満足するものであシ、７タロシアニ
ン系色素との組合せにおいて蒸着型のすぐれた青色色素
層形成を可能にするものである。

本発明で用７いられるキナクリド系色素と１（１）式で
示される基本骨格をもち、それから導かれる誘導体をも
含めたものをさす。

誘導体と一例としては などがあげられる。またこれらの混合物の場合もある。

分光特性的にはいずれも背側に透過率の立ち上りがあり
、フタロシアニン系色素の緑色成分のカットに適してい
る。

また、キナクリドン系色素は、熱的に極めて安定であり
、加熱しても分解することなく、所定の温度以上になる
と容易に蒸発する性質を有しており蒸着によって色素薄
膜を形成するには極めて好適である。蒸着によって形成
されたキナクリドン系色素の薄膜は、有機膜にしばしば
見られるような疎い膜ではなく、極めて緻密でしかもガ
ラスのような無機物の表面にも強く密着しており、蒸着
膜としてすぐれた物性を有している。

また一方、この蒸着膜は有機溶剤に対して優れた耐性を
有している。即ち、アルコール類等の貧溶媒は勿論、ケ
トン類、エステル類、エーテルアルコール類、ハロゲン
溶剤等の良溶媒に対してもほとんど溶解せず、分光特性
的にも何ら変化を起こすことがない。従って、色素層に
対して、レジストの塗布、現像を施しても全く何ら支障
がないので、色素層の微細加工も容易に行ないつるもの
であり、微細カラーフィルター等の製造に極めて好適で
ある。

このようなキナクリドン系色素として市販されているも
の（商品名）は リオノゲン　マゼンタ　Ｒ（東洋インキ）ファーストゲ
ン　スーパーマゼンタＲ，Ｒ８（大日本インキ）シンカ
シア　レッドＢＲＴ、ＹＲＴ、　’　（デュポン）シン
カシア　バイオレット　ＢＲＴ　（デュポン）などが挙
げられる。

一方、前記した如くフタロシアニン系色素も同様の優れ
た特性も有する。

代表的なフタロシアニンの例としては、メタルフリーフ
タロシアニン、銅フタロシアニン、ベリリウムフタ、ロ
シアニン、マグネシウムフタロシアニン、亜鉛フタロシ
アニン、チタニウムフタロシアニン、錫フタロシアニン
、鉛フタロシアニン。

パラジウムフタロシアニン、クロムフタルシアニン、モ
リブデンフタロシアニン、マンガンフタロシアニン、鉄
フタロタアニン、コバルト７タロシアニン、ニッケルフ
タロシアニン、パラジウムフタロシアニン、白金フタロ
シアニンが挙げられる。

イソインドリノン系色素との組杏せで緑色層を形成する
には、緑色側に多くの透過率を有するフタロシアニンが
望ましく、特に鉛フタロシアニンなどが好適である。

緑色色素層または青色色素層の形成はフタロシアニン系
色素とイソインドリノン系色素又はキナクリドン系色素
を順次蒸着積層する方法が一般的であるが同時蒸着でも
かまわない。所望の分光特性に応じてそれぞれの膜厚ま
たは蒸Ｎｆｌｋを制御する。通常は膜厚にしてそれぞれ
５００〜１００．０ＯＡが適切である。フタロシアニン
系色素単独の場合に比べてイソインドリノン系色素又は
°キナクリドン系色素の積層によって分光特性が大幅に
改善された一例を第７図、第８図に示す。

第７図では鉛フタロシアニン単独及びファーストゲンス
ーパーイエローＧＲＯＨを積層して補正した分光特性を
８及び９で示す。

また第８図では銅フタロシアニン単独及びリオノゲンマ
ゼンタＲを積層して補正した分光特性を１０及び１１で
示す。

次にパターン状の色素層の形成方法について述べる。蒸
着色素層のパターニング技術としては、ドライエツチン
グ法とリフトオフ法がある。ドライエツチング法は色素
層上にレジストパターンをつくり、それをマスクとして
プラズマあるいはイオンエツチング等のドライエツチン
グで色素パターンを形成するものである。（特開昭５８
−３４９６１等）。

この方法では染色法の如き中間層の形゛或は不用である
が、そのかわり色素パターン上にレジストマスクが残っ
てしまう。しかもこのマスクを色素層に何ら損傷を与え
ずに除去することは極めて困難なため、結局実質的に光
学的には不要なレジストマスクが色素層の上に積層され
た２層構成になる。

またり７トオフ法によるパターン状色素層は、後で溶解
可能な物質、主にレジストを用いて除去すべき色素層の
下部にレジストマスクを形成後、その上に蒸着色素層を
設け、しかる後、レジストマスクを溶解又は剥離するこ
とによって、色素層には何ら直接的な作用を及ぼすこと
なく、その上の色素層を物理的に除去して形成すること
ができる０ 有機色素層のリフトオフ法に用いるレジストとしては、
後に溶解可能であればネガ型、ポジ型を問わない。しか
しネガ型では一般に輻射線の照射で架橋が進み、溶解す
るには強い溶解力をもつ溶剤が必要となる。従って色素
膜に損傷を与えたり溶解したりしやすいので好ましくは
ない。

この点ポジ型レジストでは、特にレジストパターン形成
後、全面に輻射線を照射すれば可溶性になるので、ネガ
型に比べて色素を溶解しにくい溶剤を選択できるのでリ
フトオフには好適である。またポジ型レジストも樹脂成
分の種類が多岐にわたっており、その塗布や現像に使用
される溶剤も様々である。色素に対してより作用性の少
ない溶剤の使えるポジ型レジストを選択することが望ま
しく一例として重合単位として下記構造で示される含フ
ツ素メタクリレートを主体とするポジ型レジストが好適
例として挙げられる。このレジストは、エステル類、芳
香族類、ハロゲン化炭化水素類などの溶解能が高い良溶
媒は勿論のこと、アルコール類などの溶解能が低い貧溶
媒にも良く溶解するため、色素膜に影蕾の少ない溶剤を
使えるためである。

このようなレジストとしては、ＦＰ、Ｍ２１０．　ＦＢ
ＭｌｌｏおよびＦＢＭ１２０　（いずれも商品名でダイ
キン工業製）が挙げられる。

凸 ｒＣ−４１ ３ ここで、Ｒ□およびＲ２は水素又はアルキル基、Ｒ３は
各炭素に少なくとも１個のフッ素が結合したアルキル基
。

代表的な例 その他レジストとしては、次のような商品名で市販され
ている各種のものを適宜用いることができる。

ＡＺシ！Ｊ−７：、１１１，１１９Ａ、１２０．３４０
，１３５０Ｂ、１３５０Ｊ。

１３７０．１３７５，１４５０．１４５０Ｊ、１４７０
．１４７５．２４００゜２４１５．２４３０ （以上シプレー製） Ｗａｙｃｏａｔ　Ｐｏ５ｉｔｉｖｅ　ＬＳＩ　Ｒｅ５ｉ
ｓｔ　（１９５＋２９５．３９５） Ｗａｙｃｏａｔ　ＨＰＲＰｏ５ｉｔｉｖｅ　Ｒｅ５ｉｓ
ｔ　（１０４＋　１０６）（以上ハン目の Ｋｏｄａｋ　Ｍｉｃｒｏ　Ｐｏ５ｉｔｉｖｅ　Ｒｅ５ｉ
ｓｔ　８０９（コダック製） Ｉｓｏｆｉｎｅ　Ｐｏ５ｉｔｉｖｅ　Ｒｅ５ｉｓｔ（マ
イクロイメージテクノロジー製） ＰＣ１２９，１２９ＳＦ　（ポリクローム製）ＯＦＦＢ
ＩＴ　７７．７８．８００ ０ＢＢＲ１０００，１０’１０．１０３００ＤＵＩ’Ｌ
１０００，１００１，１０１０．１０１３，１０１４（
以上東京応化製） ＢＢＲｌ、９　、（東　し　製） ＦＭＲＥｌｏｏ、Ｂ１０１　（富士薬品工業製）以上の
ようなバターニング工程によって所定の複数色の、パタ
ーン状の色素層が診成された後、色素層上に保護膜を設
けることが望ましい。これはゴミ、傷といった欠陥を防
ぎ、また各種環境条件から色素層を保護するためである
。

保護膜の形成には通常知られている客種方法が使える。

有機樹脂例えばボ゛リウレタン、ポリカーボネート、シ
リコン、アクリル、ポリパラキシリレンヤＳｉ３Ｎ４．
　８１０２．　ＳｉＯ、Ａｌ２Ｏ３，Ｔａ２Ｏ３等の無
ｉＮをスピンコード、ディッピング、ロールコータ−等
の塗布法あるいは蒸着等で形成することができる。

ｔ゛だ各種感光性樹脂例えば各種レジストを使用するこ
とも可能である。

有機蒸着色素フィルターは有機染色フィルターに比べ耐
熱性耐光性に優れるが、一般の蒸着膜に見られるように
湿度に弱い場合が多いので、保護膜はこの点を考慮して
疎水性であることが望ましいδ色素とのマツチング等を
考慮するとネオプレンゴム、インプレンゴム、環化ゴム
、天然ゴム等のゴム系樹脂及びそれらのレジストが特に
好適テある。また樹脂膜塗布の場合、使用されている冷
機溶剤が色素層を侵さないことが必要である。本発明に
用いる色素は耐溶剤性に優れるので各種溶剤、例えば芳
香族系、セロソルブ、エステルケトン等やこれらの混合
溶媒が使用可能であるが、より好ましくは脂肪族炭化水
素、アルコール等があげられる。これらの溶剤を含有し
た上記ゴム系樹脂が好まし−いが、加工性の点でゴム系
樹脂のレジストが特に好適である。ゴム系樹脂のレジス
トとしては、例え−ば次の商品名で市販されているもの
が挙げられる。

Ｗａｙｃｏａｔ　ＩＣ，Ｔｙｐｅ　３ＩＣ，ＳＣ，ＨＲ
およびＨＮＲ９９９（以上ハント製） Ｋｏｄａｋ　Ｍｉｃｒｏｒｅｓｉｓｔ７４７および７５
２（以上コダック製） ０ＭＲ８１，８３，８５，８７，８３８８，８３ＳＲ，
８３ＵＲおよび０ＤｔＪＲ１１’ＤＩＷＲ（以上東京応
化製）Ｉｓｏｐｏｌｙ　ＭＲおよびＨＤ ０上マイクロ　イメージ　テクノロジー勧５ｅｌｅｃｔ
ｉｌｕｘ　Ｎ２０．Ｎ３５＋　Ｎ４５＋　Ｎ６０および
Ｎ１００（以上Ｂ、Ｍケミカルズ劫 ＪＳ１’Ｌ　ＣＩＲ７（１１およびＪＳＲＣＢＲ−Ｎ９
０１　以上日本合成ゴム製本発明で用いられる基板は、
色素蒸着が可能であれば特に限定されるものではない。

例えば具体的に以下のものが使用できる。ガラス板、光
学用樹脂板、ゼラチン、ポリビニルアルコール、ヒドロ
キシエチルセルロース、メチルメタクリレート、ポリエ
ステル、ブチラールポリアミドなどの樹脂フィルム、 パターン状色素層をカラーフィルターとシテ適用される
ものと一体に形成することも可能である。

その場合の基板の一例としては、ブラウン管表示面、撮
像管の受光面、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＣＩＤ等の固体撮像素
子が形成されたウェハー、 薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ−１液晶ディ
スプレー面、カラー電子写真用感光体等があげられる。

蒸着された色素層と下地の基板、例えばガラス等との接
着性を増す必要がある場合は、ガラス基板等にポリウレ
タン樹脂、ポリカーボネート樹脂、シランカップリング
剤等を、あら力）しめ薄く塗布してから蒸着膜を形成す
ると効果的である。

以下図面により、代表的な本発明のパターン作成工程を
説明する。

ポジ型レジストを所望の基板にスピンナーを用いて回転
塗布する。乾燥後適当な温度条件下でプリベークする。

ついでレジスト感度を有する光または電子ビームで所定
のパターン形状に露光し現像する。必要に応じて、現像
前にレジスト膜のひずみを緩和する目的での前処理、現
像後、膜の膨潤をおさえるためのリンス処理を行なう。

現像によってもレジストの残膜や、残渣いわゆるスカム
が取りきれない場合は、プラズマ灰化法によって除去す
ることが可能である。

以上の工程によって第１図に示されるレジストマスク２
が基板１上に形成される。ついで第２図の如く全面にレ
ジスト感度を有する光または電子ビームを照射する。こ
れはレジストの主鎖切断や分解を行なうことによって後
のレジストマスクの溶解除去を容易にするものであるが
、省くことも′可能である。省いた場合には′、その分
だけ強い溶解性の溶媒を使う必要がある。

ついで第６図の如く、レジストマスク上に色素Ｉ曽６を
真空蒸着法によって形成する。積層する場合は蒸着をく
り返す。色素層の厚さは所望の分光特性によって決めら
れるが通常５００〜１ｏｏｏｏλ程度である。

ついで色素層下のレジストマスクを除去するために色素
を溶解させず、また分に特性をそこなわずにレジストマ
スクのみを溶解もしくは基板から剥離させる溶媒に浸漬
する。

しシストマスクの除去によって同時にその上にある色素
層が除去される訳であるが、これを補助するために、浸
漬時に超音波のエネルギーを加えることも有効である。

このようにして、第４図の如く第１のパターン状色素層
４が形成される。第２．第６の色素パターン形成は、パ
ターンに応じてレジストマスクの位置をずらしながら、
上記の工程をくり返して行なえばよい。

色の種類の数だけこれらの工程をくり返すことによって
、例えば第５図の如き３つの色を有するパターン状色素
層４，５および６を有するものが製造できる。

ついでパターン状色素層■に所望の保護層７を塗布して
カラーフィルターが完成する。（第６図）実施例１ ガラス基板上にスピンナー塗布法により、ポジ型レジス
トＦＰＭ２１０　（商品名ダイキン工業製）を０．６μ
ｍの膜厚に塗布した。１８０°Ｇ３０分間のブリベータ
を行なった後、遠紫外光にてマスク露光を行ない、専用
前処理液、現像液、リンス液にて処理してレジストマス
クを形成した。次にこのレジストマスク全面に遠紫外光
を照射して現像液に可溶とした。

続いてレジストマスクの形成されたガラス基板と、モリ
ブデン製蒸着ボートに詰めたＣｕフタロ　、シアニンを
真空蒸着機内に設置し排気した。真空度１Ｏ−１Ｉ〜１
Ｏ−６ｔ♀ｒｒにおいて蒸着ホートヲ４５０〜５５０℃
に加熱してＣｕフタロシアニンヲ約、２０００λ蒸着さ
せた。さらに続いてキナクリドン系色素としてリオノゲ
ンマゼンタＲＣ東洋インキ）を２００ｄの厚さに蒸着し
た。蒸着の済んだガラス基板上上記専用現像液で浸漬攪
拌してレジストマスクを溶解しながら蒸着膜の不要部分
を除去することによ？てパターン状青色色素層を形成し
た。

続いてこのパターン状青色色素層の形成されたガラス基
板上に同様な工程でＦＰＭ　２１０を塗布し露光、現像
し、次のパターン状緑色色素に相当するレジストマスク
を形成した。全面露光後、真空蒸着機に設置し、今度は
ｐｂフタロシアニンを４５０〜’５５００Ｃで蒸着し２
Ｄ’ＯＤＡの膜を得た。さらに続いてイソインドリノン
系色素として、ファーストゲンスーパーイエローＧＲＯ
Ｈ（大日本インキ）を〜４０００Ａの厚さに蒸着した。

しかる後に現像液で浸漬攪拌しパターン状緑色色素層を
形成した。

さらに全く同様な工程によりベリレンチＦラカルボン酸
誘導体系の赤色色素としてイルガジンレツドＢＰＴ　（
商品名：チバガイギー製ＣＩＡ７１１２７）を４００〜
５００℃で約２００ＯＡ蒸着し、現像液処理によりパタ
ーン状赤色色素層を得た。この時青色及び緑色色素層は
勿論のこと、イルガジンレツドＢＰＴも現像液処理で全
く溶解せず、分光特性も損なわれることがなかった。

最後にゴム系樹脂の保険膜として市販のネガレジストＯ
ＤＵＲ１１０ｗＲ（商品名　東京応化部）を塗布しベリ
ベーク、全面露光によって硬化させ３色カラーフィルタ
ーを完成させた。

以上の一連の工程による溶剤、熱等でも使用した色素は
何ら損傷を受けることなく、優れた分光特性のカラーフ
ィルターが形成された。得られた分光特性を第９図、　
１２；　１３．１４．に示す。

尚、従来との比較の意味でよく知られている赤色色素と
してアストラフロキシンＧ（バイエル製）を同様な工程
で試みた。蒸着膜は得られたものの現像液処理の工程で
溶剤に侵されてしまい、望ましいパターン状赤色色紫層
會、得るこ“とができなかった。

実施例２ ガラス基板上に透明電極の形成された液晶ディスプレー
用対向電極基板を用いて実施例１と同様な工程で３色カ
ラーフィルターを形成した。

このカラーフィルターは電極基板を用いて良好なカラー
表示可能な液晶セルをつくることができた。

実施例ろ 固体撮像素子が形成されたウェハーを基板として、実施
例１と同様な工程を行なうことにより、良好な特性をも
つカラー固体撮像素子を直接形成することができた。

実施例４〜１０ 以下に示す本発明の代表的な色素の組合せで、実施例１
と全く同様な工程によって６色カラーフ・ルターを形成
した。

いずれの場合も色素層に何ら影響を勺えることなく、分
光特性の優れたフィルターを形成できたイ 実施例１１ 実施例１で用いたポジ型レジストをＦＢＭｌｌｏ。

１２０（タンキン工業製）　ＡＺ１３５０　（シプレー
製）にかえてあとは全く同じ工程でカラーフィルターを
形成した。

これらのレジストによっても色素層は何ら損傷を受けず
、勿論分光特性も損なわれなかった。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明によるカラーフィルター特性の
グラフである。 １・・・・・・・・・基　板、　２・・・・・・・・・
レジストマスク６・・・・・・・・・色　素　層 ４．５および６・・・・・・・・・パターン状色素層７
・・・・・・・・・保　護　層 ８および９・・・・・曲縁の補正前と後の分光特性のグ
ラフ１０および１１・・・用背の補正前と後の分光特性
のグラフ１２．１３および１４・・曲青、緑および赤の
分光特性のグラフ１　＆

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）赤色色素、緑色色素および青色色素を蒸着して形
   成される色素層を有するカラーフィルターにおいて、赤
   色色素が下記構造式（Ｉ）およびσＤから選ばれたペリ
   レンテトラカルボン酸誘導体であり、緑色色素が７タロ
   シアニン系色素とイソインドリノン系色素の組合せであ
   り、青色色素がフタロシアニン系色素とキナクリドン系
   色素の組合せであることを特徴とするカラーフィルター （Ｉ） ここでＲ□は水素、アルキル基又はアリール基である。
2. （２）色−１ｆＱが、レジストマスクを有する基板上に
   色素を蒸着後、該レジストマスクを除失して形成された
   パターン状色素層である特許請求の範囲第１項記載のカ
   ラーフィルター。
3. （３）　レジストマスクがポジ型レジストでル成された
   ものである特許請求の範囲第２項のカラーフィルター。
4. （４）　色素層の上に保護層を設けた特許請求の範囲第
   １項記載のカラーフィルター。