JPS6045950B2 - 回転塗布機 - Google Patents
回転塗布機Info
- Publication number
- JPS6045950B2 JPS6045950B2 JP18835282A JP18835282A JPS6045950B2 JP S6045950 B2 JPS6045950 B2 JP S6045950B2 JP 18835282 A JP18835282 A JP 18835282A JP 18835282 A JP18835282 A JP 18835282A JP S6045950 B2 JPS6045950 B2 JP S6045950B2
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- JP
- Japan
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- coating
- substrate
- coating machine
- rotation
- rotary coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転塗布機て特に表面性の良好な塗布面が得ら
れる回転塗布機に関する。
れる回転塗布機に関する。
回転塗布機により塗布を行なう場合、回転している基板
の上に塗布液を滴下していくと、塗布物質は回転数に応
じた遠心力を受けて基板の外周に向つて塗り広げられて
いき、回転数と塗布液の粘度に見合つた厚さの層が基板
上に形成され余分の布液は基板の周辺から飛散していく
、このため塗布室内部は塗布液の飛沫が充満し浮遊して
いる粒子が基板の塗布面に付着し、塗布面を汚染する。
の上に塗布液を滴下していくと、塗布物質は回転数に応
じた遠心力を受けて基板の外周に向つて塗り広げられて
いき、回転数と塗布液の粘度に見合つた厚さの層が基板
上に形成され余分の布液は基板の周辺から飛散していく
、このため塗布室内部は塗布液の飛沫が充満し浮遊して
いる粒子が基板の塗布面に付着し、塗布面を汚染する。
そのためこれらの防止の目的で塗布室内に隔壁を設けた
り、排気ダクトを設けて塗布室内の飛散物質を外部に排
出することが行なわれている。排気ダクトを設け強制排
気を行う場合、従来は排気量を一定とし、基板回転の最
高スピードに見合つた排気量で強制排気を行つている。
そのため塗布の初期段階で回転数の低い所でも排気量が
多く塗布室内の空気の流れが早いため基板塗布面の溶剤
の蒸発が早くなり最高回転になる前に塗布面に悪影響を
及ぼし良好な塗布面が得られない。本発明は前述の従来
の塗布機のように、塗布初期の基板回転数の低い所から
塗布終了時の回転数の多い時迄一定の排気量を排気する
のでなく、基板の回転数に応じて回転数の低い時は排気
量を少なく基板回転数の多い時は排気量を多くして基板
塗布面の空気の流れを制御することによつて良好な塗布
面を得るもので以下実施例に従つて詳細に説明する。第
１図は本発明の一実施例を示すブロック図で１はガラス
板、３はモータ、４は換気扇駆動装置、５は換気扇モー
タ、２は換気扇、６は塗付室てある。
り、排気ダクトを設けて塗布室内の飛散物質を外部に排
出することが行なわれている。排気ダクトを設け強制排
気を行う場合、従来は排気量を一定とし、基板回転の最
高スピードに見合つた排気量で強制排気を行つている。
そのため塗布の初期段階で回転数の低い所でも排気量が
多く塗布室内の空気の流れが早いため基板塗布面の溶剤
の蒸発が早くなり最高回転になる前に塗布面に悪影響を
及ぼし良好な塗布面が得られない。本発明は前述の従来
の塗布機のように、塗布初期の基板回転数の低い所から
塗布終了時の回転数の多い時迄一定の排気量を排気する
のでなく、基板の回転数に応じて回転数の低い時は排気
量を少なく基板回転数の多い時は排気量を多くして基板
塗布面の空気の流れを制御することによつて良好な塗布
面を得るもので以下実施例に従つて詳細に説明する。第
１図は本発明の一実施例を示すブロック図で１はガラス
板、３はモータ、４は換気扇駆動装置、５は換気扇モー
タ、２は換気扇、６は塗付室てある。
この場合は、塗布室６の容積が１６１（７）塗布機で直
径２０Ｃ７７１のガラス板１に回転塗布する。
径２０Ｃ７７１のガラス板１に回転塗布する。
以上の構成においてまず排気量をどのように選ぶかにつ
いて説明する。モータの回転によつて生ずる遠心力は次
式で表わされる。Ｆ＝ｍｒω２ ω■２πＮ／６０ ”ここに Ｆ：遠心力 ｍ：塗付物質の質量 に：ガラス板１の中心からの距離 Ｎ：ガラス板１の回転数（ｒｐｍ） 今ｍ＝１、に■Ｏ、ｌｍ（直径２０ｃｍとして）として
Ｎを変化するとＮが１００回転の時に対する３０徊転の
時の遠心力は■倍、１０００回転で１００倍、３０００
回転で１００皓となる。
いて説明する。モータの回転によつて生ずる遠心力は次
式で表わされる。Ｆ＝ｍｒω２ ω■２πＮ／６０ ”ここに Ｆ：遠心力 ｍ：塗付物質の質量 に：ガラス板１の中心からの距離 Ｎ：ガラス板１の回転数（ｒｐｍ） 今ｍ＝１、に■Ｏ、ｌｍ（直径２０ｃｍとして）として
Ｎを変化するとＮが１００回転の時に対する３０徊転の
時の遠心力は■倍、１０００回転で１００倍、３０００
回転で１００皓となる。
このことから排気量も遠心力に比例させて、例えば１０
咽転の時ＬＵｍｉｎとすれば３００回転の時１０ｅＩｍ
ｉｎ，１０００回転の時１００／Ｍｉｎ，３ＯＯＯ回転
の時１０００ｅＩｍｉｎとすれば良いことになる。この
為第１図においては、モータ３の回転数を検出してこの
検出方法を換気扇駆動装置４に加え、換気扇モータ５の
回転をモータ３の回転に比例して変化させる。
咽転の時ＬＵｍｉｎとすれば３００回転の時１０ｅＩｍ
ｉｎ，１０００回転の時１００／Ｍｉｎ，３ＯＯＯ回転
の時１０００ｅＩｍｉｎとすれば良いことになる。この
為第１図においては、モータ３の回転数を検出してこの
検出方法を換気扇駆動装置４に加え、換気扇モータ５の
回転をモータ３の回転に比例して変化させる。
この様な制御機構については周知であ発明の詳細な説明
を省略する。このように回転数に応じた排気量の排気を
行うことにより、基板の塗布面周辺からの飛沫粒子の排
除も完全に行へ空気の流れによる塗布面への影響も改善
されるため良好な塗布面が得られる。
を省略する。このように回転数に応じた排気量の排気を
行うことにより、基板の塗布面周辺からの飛沫粒子の排
除も完全に行へ空気の流れによる塗布面への影響も改善
されるため良好な塗布面が得られる。
第１図は本発明による回転塗布機の一例の概略図、第２
図は第１図の実施例の回転数と排気量を示す図である。
図は第１図の実施例の回転数と排気量を示す図である。
Claims (1)
- １ 基板を回転させ、塗布液を滴下し遠心力を利用して
塗布液を基板上に塗り広げて塗布膜を付ける回転塗布機
において、基板の回転数に応じて排気量を制御して成る
回転塗布機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18835282A JPS6045950B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 回転塗布機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18835282A JPS6045950B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 回転塗布機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980358A JPS5980358A (ja) | 1984-05-09 |
| JPS6045950B2 true JPS6045950B2 (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=16222118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18835282A Expired JPS6045950B2 (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 回転塗布機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045950B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021117270A1 (ja) | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 三菱電機株式会社 | 中継装置及び通信システム |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP18835282A patent/JPS6045950B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021117270A1 (ja) | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 三菱電機株式会社 | 中継装置及び通信システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5980358A (ja) | 1984-05-09 |
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