JPS6048431A - クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 - Google Patents
クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法Info
- Publication number
- JPS6048431A JPS6048431A JP58153077A JP15307783A JPS6048431A JP S6048431 A JPS6048431 A JP S6048431A JP 58153077 A JP58153077 A JP 58153077A JP 15307783 A JP15307783 A JP 15307783A JP S6048431 A JPS6048431 A JP S6048431A
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- JP
- Japan
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- air
- high pressure
- filter
- purified
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１ンａ業−ヒの利用分野〕
この発明←［、画室を浄化したクリーンルームに）・１
凸１、さｎｌζ作業台上にり：チ生ずる渦気流を消去す
る）５７１２に１帽するものである。
凸１、さｎｌζ作業台上にり：チ生ずる渦気流を消去す
る）５７１２に１帽するものである。
−まず、従来の画室を浄化してクリーンルームを形成す
る方法を説明する。
る方法を説明する。
第１図は、ダウン７０−形（全面ラミナーフロー形）の
クリーンルームの一例を示した概要説明図で、同図（イ
）は縦断面図、同図仲）は天井刈のｉｌＺ面図である。
クリーンルームの一例を示した概要説明図で、同図（イ
）は縦断面図、同図仲）は天井刈のｉｌＺ面図である。
Ｋは、建築物の隔壁空間を形成する構造躯体Ｒけ、該構
造躯体にで形成はねる隔壁空間内にグレーテング床Ｇと
天井裏全体にわたり形成されたグタトＤ及び仕切り壁Ｓ
とで囲んで形成した画室、八は該画室ＲＫ配ｇされた生
娘ラインを（１η成する作業台、Ｈは、一定の間隔をお
いて天井全面に配設した空気吹出口、Ｆけ、該吹出口Ｈ
にＪｌ（Ｖ、リド１けられた天井エアフィルター、Ｍ幻
、前記仕り壁Ｓと構造躯体にとで囲゛牛れグレーテング
床Ｇ下に刈する別室ＢＫ 設置Ｌ”７さｒｉた送風イ・
序で、ＩＣ１そのファン、２けそのエアフィルター、３
１ｄクークトＤ−＼］出する送風管である。
造躯体にで形成はねる隔壁空間内にグレーテング床Ｇと
天井裏全体にわたり形成されたグタトＤ及び仕切り壁Ｓ
とで囲んで形成した画室、八は該画室ＲＫ配ｇされた生
娘ラインを（１η成する作業台、Ｈは、一定の間隔をお
いて天井全面に配設した空気吹出口、Ｆけ、該吹出口Ｈ
にＪｌ（Ｖ、リド１けられた天井エアフィルター、Ｍ幻
、前記仕り壁Ｓと構造躯体にとで囲゛牛れグレーテング
床Ｇ下に刈する別室ＢＫ 設置Ｌ”７さｒｉた送風イ・
序で、ＩＣ１そのファン、２けそのエアフィルター、３
１ｄクークトＤ−＼］出する送風管である。
このような構成になっているので、ダク）Ｄから下方へ
吹き出されたＺト気は、天井エアフィルターＦで浄化さ
れて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃等で
汚れた空気は、送風機Ｍによってグレーチング床Ｇの通
気孔Ｔから床下に吸い出さね、そのエアフィルター２で
浄化されて（与びダタトＤへ送られていく。このように
して、画室Ｒは常に浄化されて、そこにクリーンルーム
が形ＩＪＶ、さねている。
吹き出されたＺト気は、天井エアフィルターＦで浄化さ
れて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒで発生した塵埃等で
汚れた空気は、送風機Ｍによってグレーチング床Ｇの通
気孔Ｔから床下に吸い出さね、そのエアフィルター２で
浄化されて（与びダタトＤへ送られていく。このように
して、画室Ｒは常に浄化されて、そこにクリーンルーム
が形ＩＪＶ、さねている。
しかし、このクリーンルームにおいては、第２図に示す
ように生産ラインの各種作業台Ａ土、特に点ｐ、ｔ、ｓ
で形成されるその段部ｄ等に吹きおろす気流によって、
核段部ｄの領域ｒ内に覇気ｂｆｆ ｆが発生する。この
覇気流ｆの発牛幻、流ｊの途中に＜ｌｒみがあるときに
特有に生じる現象で、気流が作業台Ａにあたると、段＝
１＋ ｄの頂点ｐが剥Ｖ准点となってり（流のり１１唾
が・１ｑこり、気運の不連続面ｍが点ｐから点ｓＫ達す
る。このため、ｐ−ｔ−５の各点を結ぶ領域ｒの圧力は
、画室Ｒ内の圧力に比べ低く汗り、気運の不連続面ｍ近
傍の気流が、前記’１ｉｌＪ ：ｂρｒにｂＩｆ、れ込
み覇気流ｆを形成する。
ように生産ラインの各種作業台Ａ土、特に点ｐ、ｔ、ｓ
で形成されるその段部ｄ等に吹きおろす気流によって、
核段部ｄの領域ｒ内に覇気ｂｆｆ ｆが発生する。この
覇気流ｆの発牛幻、流ｊの途中に＜ｌｒみがあるときに
特有に生じる現象で、気流が作業台Ａにあたると、段＝
１＋ ｄの頂点ｐが剥Ｖ准点となってり（流のり１１唾
が・１ｑこり、気運の不連続面ｍが点ｐから点ｓＫ達す
る。このため、ｐ−ｔ−５の各点を結ぶ領域ｒの圧力は
、画室Ｒ内の圧力に比べ低く汗り、気運の不連続面ｍ近
傍の気流が、前記’１ｉｌＪ ：ｂρｒにｂＩｆ、れ込
み覇気流ｆを形成する。
しかもこの覇気流ｆけ、生産によって生ずるｊ／九埃等
を巻き込んで離脱Ｌ〜ない１唸滞留するので、１１μ瑛
の除去が１射止され、例えば、半導体産業におけるよう
に半導体性能の向上に伴い、クリーンルーム内の清浄度
目２、かなり厳しく疫っているにかかわらず本来最も清
浄度を必要とする作業台Ａの段部ｄ（７）領域ｒの汚染
歴が高いということが問題となっている。従って、前記
覇気流ｆを排除する手段として送風機を設置する案も考
えらハるが、送風機自体が塵埃発生の因となるばかりか
、邪１屯にもなり天井エアフィルターＦの下に物をｉ＆
＜ことけ好ましくない。
を巻き込んで離脱Ｌ〜ない１唸滞留するので、１１μ瑛
の除去が１射止され、例えば、半導体産業におけるよう
に半導体性能の向上に伴い、クリーンルーム内の清浄度
目２、かなり厳しく疫っているにかかわらず本来最も清
浄度を必要とする作業台Ａの段部ｄ（７）領域ｒの汚染
歴が高いということが問題となっている。従って、前記
覇気流ｆを排除する手段として送風機を設置する案も考
えらハるが、送風機自体が塵埃発生の因となるばかりか
、邪１屯にもなり天井エアフィルターＦの下に物をｉ＆
＜ことけ好ましくない。
この発明け、このような問題点に着目して庁されたもの
で、天井エアフィルターを載置するチャネルを構造躯体
から吊り下ける・・ンガーの一部を改造して、下端にバ
ンカールーバー型吹出「」を其イｌ１ｉｉ した高圧送
風管兼ハンガーを設け、グレーチング床下から高圧送風
機により吸気して一部フイルターで濾過し、前記高圧送
風管兼ハンガーを介してバンカールーバー型吹出口から
高圧空気を作業台の１−１！′部に噴射させることによ
り覇気流を消去する方法を１是供することを間約として
いる。
で、天井エアフィルターを載置するチャネルを構造躯体
から吊り下ける・・ンガーの一部を改造して、下端にバ
ンカールーバー型吹出「」を其イｌ１ｉｉ した高圧送
風管兼ハンガーを設け、グレーチング床下から高圧送風
機により吸気して一部フイルターで濾過し、前記高圧送
風管兼ハンガーを介してバンカールーバー型吹出口から
高圧空気を作業台の１−１！′部に噴射させることによ
り覇気流を消去する方法を１是供することを間約として
いる。
以Ｆ、この発明の一実施例を第３図以下に甚づいて説明
する。々お、従来例と同一ないし均等部５）には同一イ
′）号を例し、その説明に／Ｉ：４ｔｌｌｉｉする。
する。々お、従来例と同一ないし均等部５）には同一イ
′）号を例し、その説明に／Ｉ：４ｔｌｌｉｉする。
ｒａ ３図（イ）け、天井エアフィルターＦの設置４状
態を示す一部断面説明図で、チャネルＣ１Ｃに天井エア
フィルターＦｌｄその１１１．１１部Ｆ（１，トａを挿
入して７’ｉニア ｊ脱自在１ｒ（載置さねており、前
記チャネルＣけ、−ｅＴＬぞ〕１のＪ氏而にΔγ設ざｎ
だ固π金共ｋに、ターンバックル４ｔを具備したノ・ン
カー４が固定され１： ｉ：＋＋の（〃）“】青ν区体
Ｋから吊りドげらもている。
態を示す一部断面説明図で、チャネルＣ１Ｃに天井エア
フィルターＦｌｄその１１１．１１部Ｆ（１，トａを挿
入して７’ｉニア ｊ脱自在１ｒ（載置さねており、前
記チャネルＣけ、−ｅＴＬぞ〕１のＪ氏而にΔγ設ざｎ
だ固π金共ｋに、ターンバックル４ｔを具備したノ・ン
カー４が固定され１： ｉ：＋＋の（〃）“】青ν区体
Ｋから吊りドげらもている。
この花明の高圧送臓管兼・・ンガー５ ｔＩ：ｔ、作業
台Ａの耐１１ｉ位１ｉ７７に近いチャネルＣに立設され
たＳＵＳバイブ５ｐの上４に一′ｊＩ、１尺のノ・ンガ
ー４を同着し、かつ、ｌｌ’ｌ Ａｅす１１イ、ルＣを
１「辿してパンカール−パーツ４１１吹出口６を疾着し
ている−そしてＳＯＳバイブ５ｐの上部にはカートリッ
ジ１（１８Ｐ Ａフィルター７を具備した高圧空気管８
が取りゃＪけらｔｌていて、該空気ｇ８は、ダク）Ｄ内
に設置ａさｔｆＣ晶圧配圧配送管９レキシブルチューブ
ＩＯＫより’４ ＆Ｕ坏ｎでいる。
台Ａの耐１１ｉ位１ｉ７７に近いチャネルＣに立設され
たＳＵＳバイブ５ｐの上４に一′ｊＩ、１尺のノ・ンガ
ー４を同着し、かつ、ｌｌ’ｌ Ａｅす１１イ、ルＣを
１「辿してパンカール−パーツ４１１吹出口６を疾着し
ている−そしてＳＯＳバイブ５ｐの上部にはカートリッ
ジ１（１８Ｐ Ａフィルター７を具備した高圧空気管８
が取りゃＪけらｔｌていて、該空気ｇ８は、ダク）Ｄ内
に設置ａさｔｆＣ晶圧配圧配送管９レキシブルチューブ
ＩＯＫより’４ ＆Ｕ坏ｎでいる。
なお、ＬにチャネルＣに１載置ざノ１だ照明装置である
。
。
一方、第４図に示すように、グレーチング床Ｇ−トから
一部の空気を高圧送風イ・ａ＋＋により吸気管１２を経
由して吸引し、−次フイルター１３で？１１過して、゛
１，５圧配送・＋１９へ送気するＩ＋’！］路がイＩ４
成Δわている。
一部の空気を高圧送風イ・ａ＋＋により吸気管１２を経
由して吸引し、−次フイルター１３で？１１過して、゛
１，５圧配送・＋１９へ送気するＩ＋’！］路がイＩ４
成Δわている。
送風（幾ＩＶＩによりダクｌ−Ｄ ＶＣ送給埒ね）（空
・メｖ丁Ｉ、天井エアフィルターＦに浄化さ才１て画室
Ｈに吹き込′！ね、作業台Ａの段部ｄにおいて覇気ｆ５
１ｉ： ｆを発生し面質しているので、高圧送風機１１
によりグレーチング床Ｇ下から一部の空気を吸気骨１２
を通して吸引し、高圧空気にして一部フイルター１３で
浄化してから高圧配送管９へ送り５ 史にカ−トリジン
Ｌ（ＩうＰＡフィルター１により二次済過して５ＩＪＳ
パイプ５ｐ全介してパンカール−パーツＷ吹出１コロか
ら次璧の作業台Ａの段部ｄに高圧空気を噴射してシバ族
を保有した１ま滞留している覇気流ｆを段一部ｄの領域
ｒから吹き飛ばし消去する。
・メｖ丁Ｉ、天井エアフィルターＦに浄化さ才１て画室
Ｈに吹き込′！ね、作業台Ａの段部ｄにおいて覇気ｆ５
１ｉ： ｆを発生し面質しているので、高圧送風機１１
によりグレーチング床Ｇ下から一部の空気を吸気骨１２
を通して吸引し、高圧空気にして一部フイルター１３で
浄化してから高圧配送管９へ送り５ 史にカ−トリジン
Ｌ（ＩうＰＡフィルター１により二次済過して５ＩＪＳ
パイプ５ｐ全介してパンカール−パーツＷ吹出１コロか
ら次璧の作業台Ａの段部ｄに高圧空気を噴射してシバ族
を保有した１ま滞留している覇気流ｆを段一部ｄの領域
ｒから吹き飛ばし消去する。
〔実施ｆ９りの効果〕
以」二説明してきたようにこの発明は、グレーテングＬ
イミ下から一部空気を吸引して高圧空気とし、−次、二
次の浄化をしてバンカールーバー型吹出１］により次−
四の作業台に手縫の高圧空気を噴射することによって滞
留する覇気流を消去する方法を提供したので、最も清浄
ＩＷを要求される実際に作業が行なわれる段部に覇気６
ｆｔの発生することを防止してｌ／ハ埃の滞留を許さず
、常にクリーン状態を９４Ｆ持することができ、真のク
リーンルームを形成し得るという顕著な効果を奏するも
のである。
イミ下から一部空気を吸引して高圧空気とし、−次、二
次の浄化をしてバンカールーバー型吹出１］により次−
四の作業台に手縫の高圧空気を噴射することによって滞
留する覇気流を消去する方法を提供したので、最も清浄
ＩＷを要求される実際に作業が行なわれる段部に覇気６
ｆｔの発生することを防止してｌ／ハ埃の滞留を許さず
、常にクリーン状態を９４Ｆ持することができ、真のク
リーンルームを形成し得るという顕著な効果を奏するも
のである。
第１図は、従来のクリーンルームの１１ａ安を示す説明
図で、図（イ）は、ｗ断面図、図（ロ）は、天井慢の平
面図、第２図は、作業台の段部に覇気流の発生する状況
を示す説明１図、第３図ＶＪ、この発明の高圧送風管兼
ノーン−１＞−関連の構成を示す説明図で、図（イ１は
天井フィルターの設（ａ状態を示す−郡部１０１図、図
（川は、画室内の透視図、図（ハ）は、天井内平面図、
図に）は、バンカールー・く−型吹出口関連部分の拡大
断面図、第４図は、この発明の高ＩＬ送風機関連の構成
を示す説明図である。 Ｈ・・・・・・・・・空気吹出口 Ｆ・・・・・・・・・天井エアフィルターＲ・・・・・
・・・・画室 Ｇ・・・・・・・・グレーテング床 Ｔ・・・・・・・・・通気孔 Ａ・・・・・・・・・作業台 ｆ・・・・・・・・・覇気流 Ｃ・・・・・・・・・チャネル ５・・・・・・・・・高圧送風管兼ノ・ンガー６・・・
・・・・・・バンカールーバー ｊｇ’！ 吹出。
図で、図（イ）は、ｗ断面図、図（ロ）は、天井慢の平
面図、第２図は、作業台の段部に覇気流の発生する状況
を示す説明１図、第３図ＶＪ、この発明の高圧送風管兼
ノーン−１＞−関連の構成を示す説明図で、図（イ１は
天井フィルターの設（ａ状態を示す−郡部１０１図、図
（川は、画室内の透視図、図（ハ）は、天井内平面図、
図に）は、バンカールー・く−型吹出口関連部分の拡大
断面図、第４図は、この発明の高ＩＬ送風機関連の構成
を示す説明図である。 Ｈ・・・・・・・・・空気吹出口 Ｆ・・・・・・・・・天井エアフィルターＲ・・・・・
・・・・画室 Ｇ・・・・・・・・グレーテング床 Ｔ・・・・・・・・・通気孔 Ａ・・・・・・・・・作業台 ｆ・・・・・・・・・覇気流 Ｃ・・・・・・・・・チャネル ５・・・・・・・・・高圧送風管兼ノ・ンガー６・・・
・・・・・・バンカールーバー ｊｇ’！ 吹出。
Claims (1)
- 一定の間隔をおいて天井全曲に配設した空気吹出口から
下方へ吹き出す空気をエアフィルターで浄化し７て画室
に供給し、その画室で発生する塵埃等で汚ηた前記空気
をグレーチング床等の通気孔を有する床から吸い出して
画家を浄化するに際し５両家に設置１イした各種作業台
に発生する渦気流を、床下から一部空気を吸引して茜圧
空気にして浄化した俵、＋３ｆＪ記エアフイルターを保
持するチャイ、ルを吊り下ける高圧送風管兼ノ・ンカー
の下端に装備したバンカールーバー型吹出口から噴射し
て排除するクリーンルームに発生する渦気流の消去方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153077A JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153077A JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6048431A true JPS6048431A (ja) | 1985-03-16 |
| JPH0252774B2 JPH0252774B2 (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=15554470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58153077A Granted JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048431A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179536U (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-14 | ||
| JPS62179539U (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-14 | ||
| JPS635322U (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-14 | ||
| JP2010112646A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Panasonic Corp | クリーンルーム |
| FR2983945A1 (fr) * | 2011-12-08 | 2013-06-14 | France Air | Systeme de ventilation de salle propre et procede de regulation d'un tel systeme de ventilation |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP58153077A patent/JPS6048431A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179536U (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-14 | ||
| JPS62179539U (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-14 | ||
| JPS635322U (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-14 | ||
| JP2010112646A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Panasonic Corp | クリーンルーム |
| FR2983945A1 (fr) * | 2011-12-08 | 2013-06-14 | France Air | Systeme de ventilation de salle propre et procede de regulation d'un tel systeme de ventilation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252774B2 (ja) | 1990-11-14 |
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