JPH0252774B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252774B2 JPH0252774B2 JP58153077A JP15307783A JPH0252774B2 JP H0252774 B2 JPH0252774 B2 JP H0252774B2 JP 58153077 A JP58153077 A JP 58153077A JP 15307783 A JP15307783 A JP 15307783A JP H0252774 B2 JPH0252774 B2 JP H0252774B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- compartment
- pressure
- floor
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、画室を浄化したクリーンルームに
配置された作業台上に発生する渦気流を消去する
方法に関するものである。
配置された作業台上に発生する渦気流を消去する
方法に関するものである。
まず、従来の画室を浄化してクリーンルームを
形成する方法を説明する。
形成する方法を説明する。
第１図は、ダウンフロー形（全面ラミナーフロ
ー形）のクリーンルームの一例を示した概要説明
図で、同図イは縦断面図、同図ロは天井裏の平面
図である。
ー形）のクリーンルームの一例を示した概要説明
図で、同図イは縦断面図、同図ロは天井裏の平面
図である。
Ｋは、建築物の隔壁空間を形成する構造躯体、
Ｒは、該構造躯体Ｋで形成される隔壁空間内にグ
レーチング床Ｇと天井裏全体にわたり形形成され
たダクトＤ及び仕切り壁Ｓとで囲んで形成した画
室、Ａは該画室Ｒに配置された生産ラインを構成
する作業台、Ｈは、一定の間隔をおいて天井全面
に配設した空気吹出口、Ｆは、該吹出口Ｈに取り
付けられた天井エアフイルター、Ｍは、前記仕切
り壁Ｓと構造躯体Ｋとで囲まれグレーチング床Ｇ
下に通ずる別室Ｂに配置された送風機で、Ｉはそ
のフアン、２はそのエアフイルター、３はダクト
Ｄへ通ずる送風管である。
Ｒは、該構造躯体Ｋで形成される隔壁空間内にグ
レーチング床Ｇと天井裏全体にわたり形形成され
たダクトＤ及び仕切り壁Ｓとで囲んで形成した画
室、Ａは該画室Ｒに配置された生産ラインを構成
する作業台、Ｈは、一定の間隔をおいて天井全面
に配設した空気吹出口、Ｆは、該吹出口Ｈに取り
付けられた天井エアフイルター、Ｍは、前記仕切
り壁Ｓと構造躯体Ｋとで囲まれグレーチング床Ｇ
下に通ずる別室Ｂに配置された送風機で、Ｉはそ
のフアン、２はそのエアフイルター、３はダクト
Ｄへ通ずる送風管である。
このような構成になつているので、ダクトＤか
ら下方へ吹き出された空気は、天井エアフイルタ
ーＦで浄化されて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒ
で発生した塵埃等で汚れた空気は、送風機Ｍによ
つてグレーチング床Ｇの通気孔Ｔから床下に吸い
出され、そのエアフイルター２で浄化されて再び
ダクトＤへ送られていく。このようにして、画室
Ｒは常に浄化されて、そこにクリーンルームが形
成されている。
ら下方へ吹き出された空気は、天井エアフイルタ
ーＦで浄化されて画室Ｒへ送給され、その画室Ｒ
で発生した塵埃等で汚れた空気は、送風機Ｍによ
つてグレーチング床Ｇの通気孔Ｔから床下に吸い
出され、そのエアフイルター２で浄化されて再び
ダクトＤへ送られていく。このようにして、画室
Ｒは常に浄化されて、そこにクリーンルームが形
成されている。
しかし、このクリーンルームにおいては、第２
図に示すように生産ラインの各種作業台Ａ上、特
に点ｐ，ｔ，ｓ上で形成されるその段部ｄ等に吹
きおろす気流によつて、該段部ｄの領域ｒ内に渦
気流ｆが発生する。この渦気流ｆの発生は、流れ
の途中にくぼみがあるときに特有に生じる現象
で、気流が作業台Ａにあたると、段部ｄの頂点ｐ
が剥離点となつて気流の剥離が起こり、気速の不
連続面ｍが点ｐから点Ｓに達する。このため、ｐ
−ｔ−ｓの各点を結ぶ領域ｒの圧力は、画室Ｒ内
の圧力に比べ低くなり、気速の不連続面ｍ近傍の
気流が、前記領域ｒに流れ込み渦気流ｆを形成す
る。しかもこの渦気流ｆは、生産によつて生ずる
塵埃等を巻き込んで離脱しないまま滞留するの
で、塵埃の除去が阻止され、例えば、半導体産業
におけるように半導体性能の向上に伴い、クリー
ンルーム内の清浄度は、かなり厳しくなつている
にかかわらず本来最も清浄度を必要とする業台Ａ
の段部ｄの領域ｒの汚染度が高いということが問
題となつている。従つて、前記渦気流ｆを排除す
る手段として送風機を設置する案も考えられる
が、送風機自体が塵埃発生の因となるばかりか、
邪魔にもなり天井エアフイルターＦの下に物を置
くことは好ましくない。
図に示すように生産ラインの各種作業台Ａ上、特
に点ｐ，ｔ，ｓ上で形成されるその段部ｄ等に吹
きおろす気流によつて、該段部ｄの領域ｒ内に渦
気流ｆが発生する。この渦気流ｆの発生は、流れ
の途中にくぼみがあるときに特有に生じる現象
で、気流が作業台Ａにあたると、段部ｄの頂点ｐ
が剥離点となつて気流の剥離が起こり、気速の不
連続面ｍが点ｐから点Ｓに達する。このため、ｐ
−ｔ−ｓの各点を結ぶ領域ｒの圧力は、画室Ｒ内
の圧力に比べ低くなり、気速の不連続面ｍ近傍の
気流が、前記領域ｒに流れ込み渦気流ｆを形成す
る。しかもこの渦気流ｆは、生産によつて生ずる
塵埃等を巻き込んで離脱しないまま滞留するの
で、塵埃の除去が阻止され、例えば、半導体産業
におけるように半導体性能の向上に伴い、クリー
ンルーム内の清浄度は、かなり厳しくなつている
にかかわらず本来最も清浄度を必要とする業台Ａ
の段部ｄの領域ｒの汚染度が高いということが問
題となつている。従つて、前記渦気流ｆを排除す
る手段として送風機を設置する案も考えられる
が、送風機自体が塵埃発生の因となるばかりか、
邪魔にもなり天井エアフイルターＦの下に物を置
くことは好ましくない。
この発明は、このような問題点に着目してなさ
れたもので、天井エアフイルターを載置するチヤ
ネルを構造躯体から吊り下げるハンガーの一部を
改造して、下端にパンカールーバー型吹出口を具
備した高圧送風管兼ハンガーを設け、グレーチン
グ床下から高圧送風機により吸気して一次フイル
ターで過し、前記高圧送風管兼ハンガーを介し
てパンカールーバー型吹出し口から高圧空気を作
業台の段部に噴射させることにより渦気流を消去
する方法を提供することを目的としている。
れたもので、天井エアフイルターを載置するチヤ
ネルを構造躯体から吊り下げるハンガーの一部を
改造して、下端にパンカールーバー型吹出口を具
備した高圧送風管兼ハンガーを設け、グレーチン
グ床下から高圧送風機により吸気して一次フイル
ターで過し、前記高圧送風管兼ハンガーを介し
てパンカールーバー型吹出し口から高圧空気を作
業台の段部に噴射させることにより渦気流を消去
する方法を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を第３図以下に基づ
いて説明する。なお、従来例と同一ないし均等部
分には同一符号を付し、その説明は省略する。
いて説明する。なお、従来例と同一ないし均等部
分には同一符号を付し、その説明は省略する。
第３図イは、天井エアフイルターＦの設置状態
を示す一部断面説明図で、チヤネルＣ，Ｃに天井
エアフイルターＦはその脚部Fl，Flを挿入して着
脱自在に載置されており、前記チヤネルＣは、そ
れぞれの底面に立設された固定金具ｋに、ターン
バツクル４ｔを具備したハンガー４が固定され上
部の構造躯体Ｋから吊り下げられている。
を示す一部断面説明図で、チヤネルＣ，Ｃに天井
エアフイルターＦはその脚部Fl，Flを挿入して着
脱自在に載置されており、前記チヤネルＣは、そ
れぞれの底面に立設された固定金具ｋに、ターン
バツクル４ｔを具備したハンガー４が固定され上
部の構造躯体Ｋから吊り下げられている。
この発明の高圧送風管兼ハンガー５は、作業台
Ａの配置位置に近いチヤネルＣに立設された
SUSパイプ５ｐの上端に短尺のハンガー４を固
着し、かつ、前記チヤネルＣを貫通してパンカー
ルーバー型吹出口６を装着している。そして
SUSパイプ５ｐの上部にはカートリツジHEPA
フイルター７を具備した高圧空気管８が取り付け
られていて、該空気管８は、ダクトＤ内に設置さ
れた高圧配送管９とフレキシブルチユーブ１０に
より連結されている。
Ａの配置位置に近いチヤネルＣに立設された
SUSパイプ５ｐの上端に短尺のハンガー４を固
着し、かつ、前記チヤネルＣを貫通してパンカー
ルーバー型吹出口６を装着している。そして
SUSパイプ５ｐの上部にはカートリツジHEPA
フイルター７を具備した高圧空気管８が取り付け
られていて、該空気管８は、ダクトＤ内に設置さ
れた高圧配送管９とフレキシブルチユーブ１０に
より連結されている。
なお、ＬはチヤネルＣに載置された照明装置で
ある。
ある。
一方、第４図に示すように、グレーチング床Ｇ
下から一部の空気を高圧送風機１１により吸気管
１２を経由して吸引し、一次フイルター１３で
過して高圧配送管９へ送気する回路が構成されて
いる。
下から一部の空気を高圧送風機１１により吸気管
１２を経由して吸引し、一次フイルター１３で
過して高圧配送管９へ送気する回路が構成されて
いる。
送風機ＭによりダクトＤに送給された空気は、
天井エアフイルターＦに浄化されて画室Ｒに吹き
込まれ、作業台Ａの段部ｄにおいて渦気流ｆを発
生し滞留しているので、高圧送風機１１によりグ
レーチング床Ｇ下から一部の空気を吸気管１２を
通して吸引し、高圧空気にして一次フイルター１
３で浄化してから高圧配送管９へ送り、更にカー
トリツジHEPAフイルター７により二次過し
てSUSパイプ５ｐを介してパンカールーバー型
吹出口６から所要の作業台Ａの段部ｄに高圧空気
を噴射して塵埃を保有したまま滞留している渦気
流ｆを段部ｄの領域ｒから吹き飛ばし消去する。
天井エアフイルターＦに浄化されて画室Ｒに吹き
込まれ、作業台Ａの段部ｄにおいて渦気流ｆを発
生し滞留しているので、高圧送風機１１によりグ
レーチング床Ｇ下から一部の空気を吸気管１２を
通して吸引し、高圧空気にして一次フイルター１
３で浄化してから高圧配送管９へ送り、更にカー
トリツジHEPAフイルター７により二次過し
てSUSパイプ５ｐを介してパンカールーバー型
吹出口６から所要の作業台Ａの段部ｄに高圧空気
を噴射して塵埃を保有したまま滞留している渦気
流ｆを段部ｄの領域ｒから吹き飛ばし消去する。
以上説明してきたようにこの発明は、グレーチ
ング床下から一部空気を吸引して高圧空気とし、
一次、二次の浄化をしてパンカールーバー型吹出
口により所要の作業台に小量の高圧空気を噴射す
ることによつて滞留する渦気流を消去する方法を
提供したもので、最も清浄度を要求される実際に
作業が行なわれる段部に渦気流の発生することを
防止して塵埃の滞留を許さず、常にクリーン状態
を維持することができ、真のクリーンルームを形
成し得るという顕著な効果を奏するものである。
ング床下から一部空気を吸引して高圧空気とし、
一次、二次の浄化をしてパンカールーバー型吹出
口により所要の作業台に小量の高圧空気を噴射す
ることによつて滞留する渦気流を消去する方法を
提供したもので、最も清浄度を要求される実際に
作業が行なわれる段部に渦気流の発生することを
防止して塵埃の滞留を許さず、常にクリーン状態
を維持することができ、真のクリーンルームを形
成し得るという顕著な効果を奏するものである。
第１図は、従来のクリーンルームの概要を示す
説明図で、図イは、縦断面図、図ロは、天井裏の
平面図、第２図は、作業台の段部に渦気流の発生
する状況を示す説明図、第３図は、この発明の高
圧送風管兼ハンガー関連の構成を示す説明図で、
図イは天井フイルターの設置状態を示す一部断面
図、図ロは、画室内の透視図、図ハは、天井内平
面図、図ニは、パンカールーバー型吹出口関連部
分の拡大断面図、第４図は、この発明の高圧送風
機関連の構成を示す説明図である。 Ｈ……空気吹出口、Ｆ……天井エアフイルタ
ー、Ｒ……画室、Ｇ……グレーチング床、Ｔ……
通気孔、Ａ……作業台、ｆ……渦気流、Ｃ……チ
ヤネル、５……高圧送風管兼ハンガー、６……パ
ンカールーバー型吹出口。
説明図で、図イは、縦断面図、図ロは、天井裏の
平面図、第２図は、作業台の段部に渦気流の発生
する状況を示す説明図、第３図は、この発明の高
圧送風管兼ハンガー関連の構成を示す説明図で、
図イは天井フイルターの設置状態を示す一部断面
図、図ロは、画室内の透視図、図ハは、天井内平
面図、図ニは、パンカールーバー型吹出口関連部
分の拡大断面図、第４図は、この発明の高圧送風
機関連の構成を示す説明図である。 Ｈ……空気吹出口、Ｆ……天井エアフイルタ
ー、Ｒ……画室、Ｇ……グレーチング床、Ｔ……
通気孔、Ａ……作業台、ｆ……渦気流、Ｃ……チ
ヤネル、５……高圧送風管兼ハンガー、６……パ
ンカールーバー型吹出口。
Claims (1)
- １ 一定の間隔をおいて天井全面に配設した空気
吹出口から下方へ吹き出す空気をエアフイルター
で浄化して画室に供給し、その画室で発生する塵
埃等で汚れた前記空気をグレーチング床等の通気
孔を有する床から吸い出して画室を浄化するに際
し、画室に設置した各種作業台に発生する渦気流
を、床下から一部空気を吸引して高圧空気にして
浄化した後、前記エアフイルターを保持するチヤ
ネルを吊り下げる高圧送風管兼ハンガーの下端に
装備したパンカールーバー型吹出口から噴射して
排除するクリーンルームに発生する渦気流の消去
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153077A JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58153077A JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6048431A JPS6048431A (ja) | 1985-03-16 |
| JPH0252774B2 true JPH0252774B2 (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=15554470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58153077A Granted JPS6048431A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | クリ−ンル−ムに発生する渦気流の消去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048431A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0311645Y2 (ja) * | 1986-05-01 | 1991-03-20 | ||
| JPS62179539U (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-14 | ||
| JPS635322U (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-14 | ||
| JP5330805B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2013-10-30 | パナソニック株式会社 | クリーンルーム |
| FR2983945B1 (fr) * | 2011-12-08 | 2014-01-10 | France Air | Systeme de ventilation de salle propre et procede de regulation d'un tel systeme de ventilation |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP58153077A patent/JPS6048431A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6048431A (ja) | 1985-03-16 |
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