JPS6049023A - 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物 - Google Patents

電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物

Info

Publication number
JPS6049023A
JPS6049023A JP15590983A JP15590983A JPS6049023A JP S6049023 A JPS6049023 A JP S6049023A JP 15590983 A JP15590983 A JP 15590983A JP 15590983 A JP15590983 A JP 15590983A JP S6049023 A JPS6049023 A JP S6049023A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
parts
mold
composition
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15590983A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6226651B2 (ja
Inventor
Toshio Shiobara
利夫 塩原
Kazutoshi Tomiyoshi
富吉 和俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP15590983A priority Critical patent/JPS6049023A/ja
Publication of JPS6049023A publication Critical patent/JPS6049023A/ja
Publication of JPS6226651B2 publication Critical patent/JPS6226651B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不梶明は熱硬化性樹脂組成物一時(二はエポキシ樹脂を
主剤とする電子部品封止用などl二使用される熱硬化性
樹脂組成物に関するもσ)である。
半専体装籠などθ)ような電子部品の封止g二ついて&
工セラミツクーキャンによるものから一大鼠生届性で低
価格の樹脂封止方式l二移りつつあり−こσ)封比用イ
6(脂としては電気特性−機械的特性に−「ぐれている
ということから工ボキゾノ樹脂σ)使用が増大している
しか1.−この半導体装置l二ついてt工高集結化に伴
なう半導体素子の大型化と共にこれを封止するパッケー
ジが小型化、薄型化されてきているために、大聖の素子
を樹脂封止したときには樹脂の硬化時C二発生する応力
によって素子の半導体特性が劣化したり−そのパッシベ
ーション膜や素子が破壊されるという事故が引き起され
る不利がある。
また−この封止が特に小型化−薄型化されたときg二(
工ヒートサイクル(二より、あるいはそのハンダ処理(
−よって樹脂層1二容易にクラックが入るという欠点も
あり、またこの樹脂層を薄くすると湿気がこの樹脂層を
容易に透過して半導体素子の表面に到達するためアルミ
ニウム電極などが腐蝕されるという不利が生じる。
他方−こσJ樹脂封止をゴし産性一作業性という面から
はとんどがトランスファー成ノ1つで行なわれて1゜1
1−これによって200〜]、000個という多数個取
りが常識化されCいるが、これC′−a金型からσ)樹
脂のノ1シ離れを艮<1″るために使用される離ノ42
剤の金@つ表面への蚕栢によって金型が汚染されるとい
う不利があ1)−こσ)汚染を除去するために金J、B
9をクリーニングイう4脂で涜神するといつ工程が必用
“とされている。
本弁明はこのような不利を解決した熱(1q!化性樹脂
組成物(3男するもので−A)熱硬化性エポキシ樹脂1
0041!νA’NB−B ) 5個以上のフッ素原子
をに’h−するパーフルオロアルキル基を少なくとも1
細面するオルガノボリシロギサンO】〜20重匍ftl
i Ci )無機質充填剤50〜50 (+ −!に’
 46部よ蚤〕なることを特徴とするものである。
これを説明すると一本発明者らはエボキi、/樹脂を主
剤とてる電子部品封止用樹脂組成物σ)物性改善策l二
ついて種々検討した結果−エポキシ樹脂と無機質充填剤
とからなる組成物に一パーフルオロアルキル基ヲ有する
オルガノボリシロキサンヲ添加すると−この組成物で成
形される樹脂封止層の耐衝撃性が改善されると共に、撥
水性をもつものとされるので耐湿性のすぐれたものとな
り−さらにはその離型効果によって金型汚染も防止され
るということを艶出し、したがってヒートサイクル−ハ
ンダ処土1pC二よってもクラ゛ソゲの発生がなく−i
−気の侵入l二よる電極σ)腐蝕も発生しない樹脂封止
層を得ることができることをMM W忍し−このオルガ
ノシロキサンの種類、添加層などについての研究を進め
本発明を完成させた。
本発明の組成物を構成する主剤としての熱硬化性エポキ
シ樹脂はこの柿の組成物に従来から使用されている公知
のものでよく一分子中に少なくとも1個−好ましくは2
個以上のエポキシ基を有する一エビゾロルヒドリンとビ
スフェノールAとからなるもの一ル)るいを工各柚のノ
ボラック樹脂から合成される樹脂−脂環式エボキV柚脂
−塩g電子−臭累原子などのハロゲン電子を含むエポキ
シ樹脂などが例示されるか−これにその分子構造、分子
14tなどC二特に制限はなく−またその2種もしくは
2種以上の混合物であってもよい。
このエポキシ樹脂f:汀当然硬化剤が併用されるが−こ
れにはジアミノジフェニルメタン−ジアミノジフェニル
スルホン−メタフェニレンジアミンなどのアミン系硬化
剤−無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸などの酸無水物系硬化剤−フエ
ノールノボラック−クレゾールノボラックなどのように
分子中に/K 酸基を2個以上有するフェノールノボラ
ッグ糸硬化剤−各柚イミダゾール誘導体−三級アミン誘
導体−リフロアミジン誘導体−ホスフィン化合物あるい
は三フッ化はう索などの触媒的硬化剤などが例示される
つぎに本発明の和成物C二おけるB)成分としてのオル
ガノボリシロキザンはその分子中に少すくとも1個のパ
ーフルオロアルキル基を含むことが必要とされるが、こ
のパーフルオロアルギル基としてはフッ素原子を少なく
とも5個含むものとすることがよく−これには下Mr2
のものが例示される。
OF OF OF −+ 0F3(OIi’2)naH
20B□−−322 aF゛3(OF2)r、a)]20H2S −−0F3
(cP2)訂】F20F2Coo−1(n−3〜30)
、 e7Iii5CUT20)(20− このパーフルオロアルキル基を有−「るオルガツボll
 、/ Gキサンは線状1分枝状、三次元構造物のいず
れであってもよ(R’SiO4f位−R5i03 qS
 2 小位−)(”Si(] 単位、810 単位に\にR1
−11,52 )(−Rは1価の有a基またをエフッ素原子を1個以上
有する自機茫)の任意(1す酸比からなるもので、こり
)勺漁基がメチル基−エチル基、ゾロビル基−ブチル基
などのアルキル基−ビニル基、アリル基などのアルケニ
ル基、フェニル基、トリル基などのアリール基+シクa
ヘキシル基などのシクロアルギル基、これらの基の炭素
1東子に結合する水素原子σ)1都をハロゲン1息子、
シアノ基などで置換した基−ざらにやエメトキシ基、エ
トキシ基などのとルコギシ基−アミノノ、¥−エボキi
/基、ナ万−ル基−水酸ノ、(−カルボキシル基などの
官能基から選ばれるものであればよい。またーこのオル
ガノポリシロキチンσ)粘度は特に規だされず一低粘1
y−市粘度σ)?+?杖物でも一献化点を有する固体状
のものでもよく−これ(二をエトぎ己のものが例示され
る。
CR30H3 R。
(R+ yJ<素原子またQエアルキル基)−〇H8C
6II5 (2)分枝状ポリシロキサン 0f−1−8i −CHO)l R 1″ ′ CR ”R300H3 0H3−S 1−0H20H2Rf 夏 CH3 (3)三次元構造ポリ、7C7キチン f (06H5Sin、5)。、s ((OHB)2SiO
’l。、2−f −(OH3S i o ) o、s 〔十8已におけるRf+”!パーフルオロアルキルを示
す〕 なお−このオルガノポリシロキチンのA)成分[二対す
る添加fJはこれがA)成分1 0 0重量部に対0.
117i一部以下ではこの組成物から作られる封止樹脂
層の+Iu4湿性向上、金型からの畔型性向上効果が少
なく、これを20重一部以上とすると成形物表面(ニブ
リードしたり、二〇)樹脂界面とリードとの密着性が1
代下するようになるので、これI工A)成分としてσ)
エポキi/樹脂100盲稙部当りO1〜20萌11一部
、好ましくは05〜lO重は部とすることがよい。なお
、このノく一フlレオロアルギル基C二ついてはそのフ
ッ累1宗子敬が5個以下であるとこのオルガノボリシσ
キチンが十分な離型性を示さないので−これはフッ素原
子を5個以上有するものとする必要がある。
また−〇)成分としてα)無機質充填剤は公知σ)もσ
)でよく−乾式シリカー湿式すリカーm融石英粉−結晶
性石英粉−ガラスi維−アルミナー炭酸カルシウム−マ
グネサイト−亜鉛華−クレーーカオリンータIレク、マ
イカ、アスベスト、カーボンブラックなどが例示される
が−これらは単独でもその2棟以上の併用としてもよい
。なお、この使用量はA)成分としてのエポキシ松脂1
00曹輩部に対し50重i11部以上とする必要がある
が多用ぽ二すぎるとその分散が困難となるばか加工性が
わるくなり−この成形品が低応カー耐グラッグ性C二欠
けたものとなるσ)で−5(lom一部までとすること
がよい。
本発明の組成物げ上記したA)−B)−0)各成分をミ
キサー−〇−ルなどで均一に混合することj二よって得
ることができるが、必要に応じ着色剤、カヅグリング剤
−酸化1カ止剤、難燃削lなど公知の添加剤を加えても
よい。この組成物は上記したフッ素原子含有4機基をも
つオルガノシロキチンを添加したもσ)であるが、こび
)オルガノシロキチンが耐熱性のすぐれたもので長時間
高温雰囲気C二おかれても劣化することがないし一硬化
性樹脂の離型剤として好適なものであり−さらにはすぐ
れた撥水性と各種樹脂に対する可撓性付与剤としての作
動性をもつもσ)であることから、これを添加した本発
明の組成物の成形で得られる封止樹脂Iff!はヒート
サイグルーノ\ンダ処理によってもクラックの発生する
おそれ【丁なく、また七〇)撥水性i二よって湿度の侵
入が防止されるσ」で、電極の腐蝕もなく、さらにを工
この組成物自体が離型性をもっているので金型の離型剤
による汚染もなくなるという准利性が与えられる。
つぎに本発明の実施例をあげるが一例中C二おける部は
重量部を示したものであI)−この各種物性はつぎの方
法による測定結果ないし観察結果を示したものである。
(h熱サイクル試8) 厚a 0.35鴨のりリコンウエ/\−ヲ16a+X4
.5櫃σ〕1是方形C二切lす丁し−これを14ビンI
Oフレーム(・12アrコイ)に接着させたものを一各
成112 u木4を用いて160℃−2分の成形条件で
トランスファー成型したのち一180℃で4時間ポスト
キュアーし一ついでこれを一55℃での30分間の冷却
−180℃での30分間加熱という冷熱サイクル処理を
打ない成形物のクラック割れl二よる不良率が50%に
なるまでのサイクル数を測定した。
(応力測定) 応力を二よl)抵抗値の変化するピエゾ抵抗を31角の
シリコンチッグに形成して14ビンICフレームC:金
線でワイヤボンドし一外部軍極に接続して初期の抵抗値
(RO)を測定し、ついでこσ)素子を160℃−70
に4/ctI−成形時間3分の成形条件で樹脂封止した
後の抵抗値(R)を測定して、このR−Ro / Ro
値を算出し−これを樹脂応力とした。
(熱時硬度) 曲げ試験片成形用金型を用いて各成形材料な175℃−
2分の条件で成形し、金型を解体した直後のIIII!
度をパーコール6史度計、TYZ−935で測定した。
(金型汚染) 1001戸×21厚さσ)日取を成形する金型な用いて
、175℃、2分の条件で100回の連続成形を行なっ
たのちの金小表面のくもり具合を肉眼でしらべた。
(耐湿性=アルミニウム電極腐妙性) アルミ腐蝕測定用のテスト素子を14ピンICリードフ
レームにボンディングし、これC二各椎成形材料をモー
ルドし−180℃で4時間ポストキュアーしてから−1
40℃−31気圧の水蒸気雰囲気中に放置してアルミニ
ウム電極の腐蝕をしらべた。
(一般物性) 冷然サイクル試験用に作成した成形品C二ついて一七の
曲げ強さ1曲げ弾性48− ガラヌ転移点、体積抵抗率
を測定した。なお−二の体積抵抗率は100℃で17)
 ii1足値fIlと水蒸気雰囲気C二100時間放置
後の測定値ttnを示した。
実施例1 オルソクレゾールエポキシノボラック樹脂63部とフェ
ノールノボラック樹脂32部およびブロム化エポキシノ
ボラック樹脂5部とからなるエポキシ樹脂組成物に一下
記(二示すオルガノポリシロキサンA〜Gの第1表g=
示した四と浴融シリカ扮250部−および第1表g=示
した鼠〇三酸化アンチモンーr−グリシドキリトリメト
キシシラン−カーボンブラック−トリフェニルホスフイ
ンージアジピシグa口(5,4,0)ウンデセン(D。
B、U、)、カルナバワックスを添加して組成物を作り
、これl:ついての物性テストを行なったところ一第2
表に示したとおりの結果が得られ−この耐湿性l二つい
ては第1図に示したとおりの結果が得られた。なお、試
料A13は比較例を示したものである。
ω 。
欣 。
誓 < trr () ρ 実施例2 エポキシノボラック樹脂、テトラヒドロ無水フタル酸お
よびジアミノジフェニルメタンとからなるエホキシ樹脂
組成物fニー実施例1で使用したオルガノボリシロキザ
ン0−Fと溶融リリカーおよびr−グJl 、7ドキシ
トリメトキシシラン、カーボンブラック−イミダゾール
−カルナバワックスを第3表C二示したとおりσ)社で
配合して組成油を作〇−これらf二ついてのg&物性を
しらべたところ、第3表f二併記したとおりの結果が得
られた。
なお−試料A16−17にオルガノボリリロキサンを添
加しない比較例を示したもび)である。
比較例 クレゾールエポキシノボラック樹脂63部、フェノール
ノボラック樹脂32部−ブロム化エポキシノボラッグ樹
脂5部一式 %式%) で示されるバーフルオロアルキル基含有オルガノポリシ
ロキサン2都−浴融シリカ扮250部、三酸化アンチモ
ン1([1,γ−グリシドキシトリメトキシシラン1.
2部、カーボンブラッ’71.0 #およびトリフェニ
ルホスフィン10部とを混練して組成物屋18を作番)
、またこの組成$A屋18の上記したパーフル万ロアル
キル基含有オルガノポリ、7(7ギサンを下記の式 で示されるバーフルオロアルキル! 含’f4− vリ
フ−ン生ゴムとしたほかは上記と同様にして紺成′$4
A19を作った。
つぎにこの組成物A18−19を使用しての耐湿性をし
らべたところ、これは第2図σ]とお6〕であり、これ
らをエバーフルオロアルキル基中のフッ累含有童が5個
以下であるから−これが5個以上σ)パーフルオロアル
キル基を含む利成物屋4シーくらべて耐湿性のわるいこ
とが確認された。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はいずれも本発明の組成物から作られた
電子部品封止用成形体の耐湿性を示すアルミニウム電極
腐蝕性の試験結果線図を示したもVフである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、A) 熱11ψ化性エポキシ樹脂 1 (l O重
    量部H) 5倒置、ヒのフヅ索1県子を含有するパーフ
    ルオロアルキル基を少t、cくとも1個有するオルガノ
    ボリシaキサン 01〜20重量部 C) 無機質充填剤 50〜500重口部とからなるこ
    とを特徴とするj、4%硬化性樹脂組成物。
JP15590983A 1983-08-26 1983-08-26 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物 Granted JPS6049023A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15590983A JPS6049023A (ja) 1983-08-26 1983-08-26 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15590983A JPS6049023A (ja) 1983-08-26 1983-08-26 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6049023A true JPS6049023A (ja) 1985-03-18
JPS6226651B2 JPS6226651B2 (ja) 1987-06-10

Family

ID=15616159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15590983A Granted JPS6049023A (ja) 1983-08-26 1983-08-26 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6049023A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6320325A (ja) * 1986-07-14 1988-01-28 Toshiba Corp 樹脂封止型半導体装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5869244A (ja) * 1981-10-21 1983-04-25 Toray Silicone Co Ltd 成形用エポキシ樹脂組成物

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5869244A (ja) * 1981-10-21 1983-04-25 Toray Silicone Co Ltd 成形用エポキシ樹脂組成物

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6320325A (ja) * 1986-07-14 1988-01-28 Toshiba Corp 樹脂封止型半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6226651B2 (ja) 1987-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6148544B2 (ja)
JPS61271319A (ja) 半導体封止用エポキシ樹脂組成物
JPS6312489B2 (ja)
JPS6360069B2 (ja)
JP2701695B2 (ja) エポキシ樹脂組成物及び半導体装置
KR930003510B1 (ko) 에폭시 수지 조성물
JPH05148411A (ja) 熱硬化性樹脂組成物及び半導体装置
JPS6049023A (ja) 電子部品封止用熱硬化性樹脂組成物
JPH0657740B2 (ja) 半導体封止用エポキシ樹脂組成物
JP4961635B2 (ja) エポキシ樹脂組成物及び半導体装置
JPS61101519A (ja) 電子部品封止用エポキシ成形材料
JPH0346486B2 (ja)
JP2933705B2 (ja) 樹脂組成物
JP2933706B2 (ja) 半導体封止用樹脂組成物
JPH04198211A (ja) 樹脂組成物
JPH05148410A (ja) 熱硬化性樹脂組成物及び半導体装置
JP3023023B2 (ja) 半導体封止用樹脂組成物
JPS63179920A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH01249826A (ja) 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料
JPH11158354A (ja) 封止用樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置
JPH02175717A (ja) エポキシ樹脂組成物
JPH0379623A (ja) エポキシ樹脂組成物
JP3317473B2 (ja) エポキシ樹脂組成物
JPH02274719A (ja) 樹脂組成物
JPS626573B2 (ja)