JPS6053759B2 - 部分メツキ方法及びその装置 - Google Patents
部分メツキ方法及びその装置Info
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- JPS6053759B2 JPS6053759B2 JP10433778A JP10433778A JPS6053759B2 JP S6053759 B2 JPS6053759 B2 JP S6053759B2 JP 10433778 A JP10433778 A JP 10433778A JP 10433778 A JP10433778 A JP 10433778A JP S6053759 B2 JPS6053759 B2 JP S6053759B2
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Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は部分メッキ、特にメッキ対象部分に間隙のあ
る被メッキ材（例えば集積回路用のリード フレーム）
にメッキするための部分メッキ方法及びその装置に関す
るものである。
る被メッキ材（例えば集積回路用のリード フレーム）
にメッキするための部分メッキ方法及びその装置に関す
るものである。
リードフレームの如き被メッキ材へのメッキ処理は、
種々の利点からメッキ液をジェット流にして被メッキ材
に施こす高速部分メッキ方法と装置が多用されており、
そのメッキ処理は金その他の貴金属メッキが殆んどであ
る。
種々の利点からメッキ液をジェット流にして被メッキ材
に施こす高速部分メッキ方法と装置が多用されており、
そのメッキ処理は金その他の貴金属メッキが殆んどであ
る。
そしてこの様な高速部分メッキでは被メッキ材のメッキ
対象部分をマスキングで区画露出するものであり、メッ
キ部分と非メッキ部分の明確化並びに経済性の向上とい
う観点よりマスキングの技術が極めて重要視される。と
ころで、メッキ対象部に間隙のない被メッキ材であれば
通常のマスキングが利用できるものの、間隙のある被メ
ッキ材であるとこの間隙内へのメッキ液の入り込みを止
むを得す許すか又は個々の被メッキ材の形状、構造に合
致させたマスク体を得て間隙内に嵌入し得る凸部をその
マスク体に形成するかしなければならない。そして、前
者では高価な金その他の貴金属メッキ液の無駄な・使用
を抑制できず又後者ではその都度被メッキ材のメッキ対
象部分の形状・構造、特に間隙の形状・構造、に合わせ
特殊なマスク体を作成せねばならないという不都合があ
る。 本発明は叙上の点に着目して開発された部分メ門
ツキ方法及びその装置であつて、その意図するところは
非メッキ部の表面にマスク体をあてがうだけでなくメッ
キ対象部の間隙内にエアーを導入噴射し其処へのメッキ
液の侵入・付着を防止することにあり、具体的には被メ
ッキ材の間隙のあるメッキ対象部を、開口部付きマスク
体で区画露出させそこにメッキ液をノズルより噴射する
ようにした部分メッキ方法に於いて、メッキ対象部の裏
面及び／又は表面側にエアーノズルを配してメッキ液の
噴射の際上記間隙内にエアーを噴射し同間隙内へのメッ
キ液の侵入を阻止するようにしたことを特徴とする部分
メッキ方法を提供せんとするものであつて、更にメッキ
液の噴射ノズルを備えたメッキ装置本体と、メッキ液の
噴射側に配置されるもので被メッキ材の間隙のあメッキ
対象部を区画露出する開口部付きの表側マスク手段と、
該表側マスク手段に対峙して配置されるものでメッキ対
象部の裏面相応部分に密着させられる裏当て部並びにこ
の裏当て部を囲繞する位置に形成されるエアー噴射部を
併せ有する裏側マスク手段と、そして該裏側マスク手段
を表側マスク手段に対し近接・離反せしめる押圧手段と
から成ることを特徴とする部分メッキ装置を提供せんと
するものである。
対象部分をマスキングで区画露出するものであり、メッ
キ部分と非メッキ部分の明確化並びに経済性の向上とい
う観点よりマスキングの技術が極めて重要視される。と
ころで、メッキ対象部に間隙のない被メッキ材であれば
通常のマスキングが利用できるものの、間隙のある被メ
ッキ材であるとこの間隙内へのメッキ液の入り込みを止
むを得す許すか又は個々の被メッキ材の形状、構造に合
致させたマスク体を得て間隙内に嵌入し得る凸部をその
マスク体に形成するかしなければならない。そして、前
者では高価な金その他の貴金属メッキ液の無駄な・使用
を抑制できず又後者ではその都度被メッキ材のメッキ対
象部分の形状・構造、特に間隙の形状・構造、に合わせ
特殊なマスク体を作成せねばならないという不都合があ
る。 本発明は叙上の点に着目して開発された部分メ門
ツキ方法及びその装置であつて、その意図するところは
非メッキ部の表面にマスク体をあてがうだけでなくメッ
キ対象部の間隙内にエアーを導入噴射し其処へのメッキ
液の侵入・付着を防止することにあり、具体的には被メ
ッキ材の間隙のあるメッキ対象部を、開口部付きマスク
体で区画露出させそこにメッキ液をノズルより噴射する
ようにした部分メッキ方法に於いて、メッキ対象部の裏
面及び／又は表面側にエアーノズルを配してメッキ液の
噴射の際上記間隙内にエアーを噴射し同間隙内へのメッ
キ液の侵入を阻止するようにしたことを特徴とする部分
メッキ方法を提供せんとするものであつて、更にメッキ
液の噴射ノズルを備えたメッキ装置本体と、メッキ液の
噴射側に配置されるもので被メッキ材の間隙のあメッキ
対象部を区画露出する開口部付きの表側マスク手段と、
該表側マスク手段に対峙して配置されるものでメッキ対
象部の裏面相応部分に密着させられる裏当て部並びにこ
の裏当て部を囲繞する位置に形成されるエアー噴射部を
併せ有する裏側マスク手段と、そして該裏側マスク手段
を表側マスク手段に対し近接・離反せしめる押圧手段と
から成ることを特徴とする部分メッキ装置を提供せんと
するものである。
以下図面に基づき詳細を述べると、１はメッキ装置本体
て内部に上向きに配置されたメッキ液の噴射ノズル２を
備える。
て内部に上向きに配置されたメッキ液の噴射ノズル２を
備える。
この噴射ノズル２は先端にアノード３を有する。そして
、メッキ液の噴射ノズル２の上方、即ちメッキ液の噴射
側に表側マスク手段４が配置される。この表側マスク手
段４は一方でメッキ装置本体１の上蓋を構成し他方で押
圧手段（後述）の押圧を受止めるベース体５とその上面
側に固設されたマスク体６より成る。べ．ース体５は円
滑なメッキ液の流れをガイドするための傾斜面７付き噴
射開口８を有し、マスク体６はこの噴射開口に連通する
もので、被メッキ材９のメッキ対象部Ａを区画露出させ
る開口部１０を有する。ベース体５とマスク体６は予め
一体化し．てもよく又、ベース体５より上蓋の役目を除
くことも任意である。この様な表側マスク手段４に対峙
して裏側マスク手段１１が配置される。裏側マスク手段
１１には裏当て部１２とエアー噴射部１３が設けられ、
斯かる裏側マスク手段１１を表側一マスク手段４と組合
わせ使用するところに本発明の特色がある。裏当て部１
２はメッキ対象部Ａの裏面の相応部分、好ましくは表側
のメッキ対象部分より若干大サイズの裏側相応部分、に
密着させられるものでそれに見合う面積を有する。エア
ー噴射部１３はエアーノズルとなるものでありこの裏当
て部１２を囲繞する位置に形成されるもので、少くとも
メッキ対象部Ａの間隙１４の一部〔間隙１４の連通部分
〕に対応する位置へ形成される。ところで図示の例で、
この裏側マスク手段１１は裏側マスク体１５と押え板１
６を備え、裏側マスク体１５の中央部が前述の裏当て部
１２に、又その外側が前述のエアー噴射部１３と成つｊ
ており、更に残りの部分が押圧部１７を形成する。押え
板１６はその下面側に裏側マスク体１５を固設するもの
でエアー噴射部１３に連通させたエアー供給路１８を有
する。この裏側マスク体１５と押え板１６は予め一体化
してもよくエアー供給路１８はどの様に形成してもよい
。１９は圧力シリンダーのような押圧手段で、裏側マス
ク手段１１を表側マスク手段４に対して近接・離反せし
めるものである。
、メッキ液の噴射ノズル２の上方、即ちメッキ液の噴射
側に表側マスク手段４が配置される。この表側マスク手
段４は一方でメッキ装置本体１の上蓋を構成し他方で押
圧手段（後述）の押圧を受止めるベース体５とその上面
側に固設されたマスク体６より成る。べ．ース体５は円
滑なメッキ液の流れをガイドするための傾斜面７付き噴
射開口８を有し、マスク体６はこの噴射開口に連通する
もので、被メッキ材９のメッキ対象部Ａを区画露出させ
る開口部１０を有する。ベース体５とマスク体６は予め
一体化し．てもよく又、ベース体５より上蓋の役目を除
くことも任意である。この様な表側マスク手段４に対峙
して裏側マスク手段１１が配置される。裏側マスク手段
１１には裏当て部１２とエアー噴射部１３が設けられ、
斯かる裏側マスク手段１１を表側一マスク手段４と組合
わせ使用するところに本発明の特色がある。裏当て部１
２はメッキ対象部Ａの裏面の相応部分、好ましくは表側
のメッキ対象部分より若干大サイズの裏側相応部分、に
密着させられるものでそれに見合う面積を有する。エア
ー噴射部１３はエアーノズルとなるものでありこの裏当
て部１２を囲繞する位置に形成されるもので、少くとも
メッキ対象部Ａの間隙１４の一部〔間隙１４の連通部分
〕に対応する位置へ形成される。ところで図示の例で、
この裏側マスク手段１１は裏側マスク体１５と押え板１
６を備え、裏側マスク体１５の中央部が前述の裏当て部
１２に、又その外側が前述のエアー噴射部１３と成つｊ
ており、更に残りの部分が押圧部１７を形成する。押え
板１６はその下面側に裏側マスク体１５を固設するもの
でエアー噴射部１３に連通させたエアー供給路１８を有
する。この裏側マスク体１５と押え板１６は予め一体化
してもよくエアー供給路１８はどの様に形成してもよい
。１９は圧力シリンダーのような押圧手段で、裏側マス
ク手段１１を表側マスク手段４に対して近接・離反せし
めるものである。
ところで上述の表側マスク手段４にもエヤー噴射部を形
成すること可能で、第５図を参照しこの点を説明すると
、表側マスク手段４ａを構成するベース体５ａにエアー
供給路１８ａが又マスク体６ａにエアー噴射部１３ａが
各々形成される。
成すること可能で、第５図を参照しこの点を説明すると
、表側マスク手段４ａを構成するベース体５ａにエアー
供給路１８ａが又マスク体６ａにエアー噴射部１３ａが
各々形成される。
該エアー噴射部１３ａはリング状ノズルを構成し開口部
１０ａを囲繞する位置に設けられる。尚、このエアー噴
射部１３ａは裏側マスク手段１１のエアー噴射部１３と
併用しても又選択的使用してもよく、要は被メッキ材の
メッキ対象部内にある間隙へエアーを導入・噴射し易い
方のエアー噴射部１３及び／又は１３ａを使用すればよ
い。次に、被メッキ材９の詳細を述べ、併せて部分メッ
キ装置の作用と部分メッキ方法について説明する。
１０ａを囲繞する位置に設けられる。尚、このエアー噴
射部１３ａは裏側マスク手段１１のエアー噴射部１３と
併用しても又選択的使用してもよく、要は被メッキ材の
メッキ対象部内にある間隙へエアーを導入・噴射し易い
方のエアー噴射部１３及び／又は１３ａを使用すればよ
い。次に、被メッキ材９の詳細を述べ、併せて部分メッ
キ装置の作用と部分メッキ方法について説明する。
図示の被メッキ材９はリードフレームを概略化したもの
で、素子のマウント部分２０と金属細線でボンディング
する部分２１との一部に金メッキ処理が施されるもので
、各部分の間には複雑形状の間隙１４が残されている。
で、素子のマウント部分２０と金属細線でボンディング
する部分２１との一部に金メッキ処理が施されるもので
、各部分の間には複雑形状の間隙１４が残されている。
この被メッキ材９を表側のマスク体６に載置し、押圧手
段１９を働かせて裏側マスク体１５を第１図中の下方へ
押圧し両マスク体６，１５間に被メッキ材９を挟持した
状態下でメッキ処理を行なう。メッキ液は噴射ノズル２
より噴射されるが、それに先立ちエアーノズルを構成す
るエアー噴射部１３よりエアーを噴出させ続ける。噴射
されたエアーは間隙１４を通過し被メッキ材９の表側（
第１図下面側）へ噴出される。他方、噴射ノズル２より
上向きに噴射されたメッキ液は表側のマスク体６の開口
部１０が区画露出させている被メッキ材のメッキ対象部
Ａに到り、メッキ対象部Ａ内にある被メッキ材の表側の
露出面上でのみ析出するが、間隙１４内への浸入は対向
するエアー噴射流で邪魔され阻止される。尚、この際、
表側マスク手段４ａのエアー噴射部１３ａよりエアーを
間隙１４内に導入・噴射することもでき、前記エアー噴
射部１３と併用又は選択的に使用できる。従つて、マウ
ント部分２０とポンデインングされる部分２１の肉厚に
相応する側面部分へメッキ液は施されない状態を呈する
。そして、どの様な複雑形状・構造の１間隙ョであつて
も、噴射されたエアーはそこを通過しつつ裏面側より表
面側へ抜けてゆくので、メッキ液は１間隙ョ内に浸入で
きず、又当然に１間隙ョ内で拡散したり表・裏両マスク
体間のメッキ対象部以外の０間隙ョの部分へ流れ込むこ
ともない。図面上この状態を判り易くするため、裏当て
部１２でマスクされる部分を？で、エアー噴射部１３の
あてがわれる部分を＼で、そして、メッキ液の施される
部分をＺて図示した。尚、第３図中Ｉで図示される部分
はメッキされた部分を示す。以上説明したことく、本発
明の方法及び装置に拠れば、対向するエアー流の存在で
メッキ液流の浸入を阻止するので、被メッキ材のメッキ
対象部にどの様な複雑形状・構造の間隙があつても、其
処へはエアー流が流れ込み必ずメッキ液流が入り込むの
を防ぐから微細部分にも正確なマスキング処理ができる
上に、メッキ対象部内の表面部分のみメッキされ表面に
連らなる側面部分にはメッキが施されず、しかもメッキ
対象部以外へのメッキ液の漏出は勿論阻止され、メッキ
液の無駄な使用の抑制と非メッキ部とメッキ部の境界の
明確化が達成でき、メッキ対象部の裏面及び／又は表面
側に配するエアーノズルの構成・形成も比較的容易で装
置として製造し易くしかも従来のジェット流式のスポッ
トメッキ装置に組込み使用可能で、汎用性が高く、繁雑
なマスキング処理も不要なので迅速なメッキ処理ができ
るという多くの利点がある。
段１９を働かせて裏側マスク体１５を第１図中の下方へ
押圧し両マスク体６，１５間に被メッキ材９を挟持した
状態下でメッキ処理を行なう。メッキ液は噴射ノズル２
より噴射されるが、それに先立ちエアーノズルを構成す
るエアー噴射部１３よりエアーを噴出させ続ける。噴射
されたエアーは間隙１４を通過し被メッキ材９の表側（
第１図下面側）へ噴出される。他方、噴射ノズル２より
上向きに噴射されたメッキ液は表側のマスク体６の開口
部１０が区画露出させている被メッキ材のメッキ対象部
Ａに到り、メッキ対象部Ａ内にある被メッキ材の表側の
露出面上でのみ析出するが、間隙１４内への浸入は対向
するエアー噴射流で邪魔され阻止される。尚、この際、
表側マスク手段４ａのエアー噴射部１３ａよりエアーを
間隙１４内に導入・噴射することもでき、前記エアー噴
射部１３と併用又は選択的に使用できる。従つて、マウ
ント部分２０とポンデインングされる部分２１の肉厚に
相応する側面部分へメッキ液は施されない状態を呈する
。そして、どの様な複雑形状・構造の１間隙ョであつて
も、噴射されたエアーはそこを通過しつつ裏面側より表
面側へ抜けてゆくので、メッキ液は１間隙ョ内に浸入で
きず、又当然に１間隙ョ内で拡散したり表・裏両マスク
体間のメッキ対象部以外の０間隙ョの部分へ流れ込むこ
ともない。図面上この状態を判り易くするため、裏当て
部１２でマスクされる部分を？で、エアー噴射部１３の
あてがわれる部分を＼で、そして、メッキ液の施される
部分をＺて図示した。尚、第３図中Ｉで図示される部分
はメッキされた部分を示す。以上説明したことく、本発
明の方法及び装置に拠れば、対向するエアー流の存在で
メッキ液流の浸入を阻止するので、被メッキ材のメッキ
対象部にどの様な複雑形状・構造の間隙があつても、其
処へはエアー流が流れ込み必ずメッキ液流が入り込むの
を防ぐから微細部分にも正確なマスキング処理ができる
上に、メッキ対象部内の表面部分のみメッキされ表面に
連らなる側面部分にはメッキが施されず、しかもメッキ
対象部以外へのメッキ液の漏出は勿論阻止され、メッキ
液の無駄な使用の抑制と非メッキ部とメッキ部の境界の
明確化が達成でき、メッキ対象部の裏面及び／又は表面
側に配するエアーノズルの構成・形成も比較的容易で装
置として製造し易くしかも従来のジェット流式のスポッ
トメッキ装置に組込み使用可能で、汎用性が高く、繁雑
なマスキング処理も不要なので迅速なメッキ処理ができ
るという多くの利点がある。
更に、これらの効果は本発明の方法・装置を水平方向に
メッキ液を噴射するタイプの部分メッキ方法及びその装
置に適用しても十分期待できるものである。
メッキ液を噴射するタイプの部分メッキ方法及びその装
置に適用しても十分期待できるものである。
第１図は本発明の装置一例を概略的に示す断面図、第２
図は第１図中■方向より眺めた被メッキ材とメッキ液噴
射開口との位置関係を示す説明図、第３図は第１図■方
向より眺めた被メッキ材とエアー噴射部との位置関係を
示す説明図、第４図は間隙内でのメッキ液とエアー流の
対向状態を示す説明図、そして第５図はエアー噴射部の
変形例を示す表側マスク手段の部分断面図てある。
図は第１図中■方向より眺めた被メッキ材とメッキ液噴
射開口との位置関係を示す説明図、第３図は第１図■方
向より眺めた被メッキ材とエアー噴射部との位置関係を
示す説明図、第４図は間隙内でのメッキ液とエアー流の
対向状態を示す説明図、そして第５図はエアー噴射部の
変形例を示す表側マスク手段の部分断面図てある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被メッキ材の間隙のあるメッキ対象部を、開口部付
きマスク体で区画露出させそこにメッキ液をノズルより
噴射するようにした部分メッキ方法に於いて、メッキ対
象部の裏面及び／又は表面側にエアーノズルを配してメ
ッキ液の噴射の際上記間隙内にエアーを噴射し同間隙内
へのメッキ液の入を阻止するようにしたことを特徴とす
る部分メッキ方法。 ２ メッキ液の噴射ノズルを備えたメッキ装置本体と、
メッキ液の噴射側に配置されるもので被メッキ材の間隙
のあるメッキ対象部を区画露出する開口部付きの表側マ
スク手段と、該表側マスク手段に対峙して配置されるも
のでメッキ対象部の裏面相応部分に密着させられる裏当
て部並びにこの裏当て部を囲繞する位置に形成されるエ
アー噴射部を併せ有する裏側マスク手段と、そして該裏
側マスク手段を表側マスク手段に対し近接・離反せしめ
る押圧手段とから成ることを特徴とする部分メッキ装置
。 ３ 上記表側マスク手段にはその開口部を囲繞する位置
にエアー噴射部が形成されているものである、特許請求
の範囲第２項記載の部分メッキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10433778A JPS6053759B2 (ja) | 1978-08-29 | 1978-08-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10433778A JPS6053759B2 (ja) | 1978-08-29 | 1978-08-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5531168A JPS5531168A (en) | 1980-03-05 |
| JPS6053759B2 true JPS6053759B2 (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=14378107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10433778A Expired JPS6053759B2 (ja) | 1978-08-29 | 1978-08-29 | 部分メツキ方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053759B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5852034B2 (ja) * | 1981-08-26 | 1983-11-19 | 株式会社ソニツクス | 部分メツキ方法及びその装置 |
-
1978
- 1978-08-29 JP JP10433778A patent/JPS6053759B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5531168A (en) | 1980-03-05 |
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