JPS6056343A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS6056343A JPS6056343A JP58164809A JP16480983A JPS6056343A JP S6056343 A JPS6056343 A JP S6056343A JP 58164809 A JP58164809 A JP 58164809A JP 16480983 A JP16480983 A JP 16480983A JP S6056343 A JPS6056343 A JP S6056343A
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- Japan
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- sample
- particle beam
- signal
- charged particle
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明）よ、走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡等の荷電
粒：Ｆ線装置に関し、特に、試料像の観察視野の移動を
行うに際してｔ）Ｙ適な拘電粒子ＩＱ装置に関する。
粒：Ｆ線装置に関し、特に、試料像の観察視野の移動を
行うに際してｔ）Ｙ適な拘電粒子ＩＱ装置に関する。
［従来技術］
走査電子顕微鏡、透過電子顕微鏡等の荷電粒子線装置に
Ｊ３いて、例えば、単一のつよみを用意し、該゛つまみ
の回転速度２回転量に応じて試料を機械的に移動し、該
試料の観察視野の移動を行い１ｑるＪ、うに構成りるこ
とは、装置の操作上好ましい。
Ｊ３いて、例えば、単一のつよみを用意し、該゛つまみ
の回転速度２回転量に応じて試料を機械的に移動し、該
試料の観察視野の移動を行い１ｑるＪ、うに構成りるこ
とは、装置の操作上好ましい。
通常試料の機械的な移動は、パルスモータによって行う
が、つまみの回転位置と回転速度によって試料の移動量
を指示しでも、試料を載置した試料スｊ−ジは、慣性が
あるために急には動さにくく、又、」１−りにくい。そ
のため、移動つまみの位置と、該試石位蒔に対応した観
察視野とは対応せず、例えば、つまみの位置を最終的に
固定しても、表示装置上の試料像の視野は、依然として
移動しているケースもあり、このつまみによってパルス
モータを駆動−づる方式は、装置のΔベレータに不安感
を抱かせる等の、取扱い上の欠点を有することになる。
が、つまみの回転位置と回転速度によって試料の移動量
を指示しでも、試料を載置した試料スｊ−ジは、慣性が
あるために急には動さにくく、又、」１−りにくい。そ
のため、移動つまみの位置と、該試石位蒔に対応した観
察視野とは対応せず、例えば、つまみの位置を最終的に
固定しても、表示装置上の試料像の視野は、依然として
移動しているケースもあり、このつまみによってパルス
モータを駆動−づる方式は、装置のΔベレータに不安感
を抱かせる等の、取扱い上の欠点を有することになる。
［発明の目的１
本発明は、上述した点に鑑みてなされ１こもので、試來
１を機械的に移動させることによる視野移動の指示と、
実際（ご表示される試ね像の視野ど４略処１応′Ｃキけ
ることのできる荷電粒子Ｆｌ！装置を提供りることを目
的とづる。
１を機械的に移動させることによる視野移動の指示と、
実際（ご表示される試ね像の視野ど４略処１応′Ｃキけ
ることのできる荷電粒子Ｆｌ！装置を提供りることを目
的とづる。
［発明の構成］
本発明に基づく荷電粒子線装置は、葡電柁了わ；１を試
料に照則し、該試料の像を表示りるＪ、う（、ニした荷
電粒子線装置において、該試料の観察視野の移動を指示
り−る手段と、該指示手段からのイ８８に応じて該試料
の機械的な移動を行うための試わ１移動機構と、該試料
移動機構による試料の実際の移動に対応した信号を発生
する手段と、該試お１観察視野をｆ・η電粒子線の偏向
によっ（行うために設（］られｌこ荷電粒子線偏向手段
どを（イ１１えて３１３す、該試料の機械的な実際の移
動に対応した信号と、該指示手段からの信号の差に応じ
た偏向仁君を、該偏向手段に供給づ−るように構成した
ことを特徴どしている。
料に照則し、該試料の像を表示りるＪ、う（、ニした荷
電粒子線装置において、該試料の観察視野の移動を指示
り−る手段と、該指示手段からのイ８８に応じて該試料
の機械的な移動を行うための試わ１移動機構と、該試料
移動機構による試料の実際の移動に対応した信号を発生
する手段と、該試お１観察視野をｆ・η電粒子線の偏向
によっ（行うために設（］られｌこ荷電粒子線偏向手段
どを（イ１１えて３１３す、該試料の機械的な実際の移
動に対応した信号と、該指示手段からの信号の差に応じ
た偏向仁君を、該偏向手段に供給づ−るように構成した
ことを特徴どしている。
［実施例１
以下、本発明の一実施例を添附図面に基づいて訂述づる
。
。
第１図は、本発明を実施した走査電子顕微鏡を示しでお
り、１は電子銃である。該電子銃１から発生し、加速さ
れた電子線は、集束レンズ２ａ。
り、１は電子銃である。該電子銃１から発生し、加速さ
れた電子線は、集束レンズ２ａ。
対物レンズ２ｂによって試料ステージ３上に配置された
試お１４表面」ニに細く集束されると共に、偏向手段５
にＪ、って偏向される。該偏向手段５には、走査信弓発
４１−回路６からの走査イム化が加幹器７を介して供給
されており、該加緯器７には、つまみの回転によって試
￥８１の移動量を指示ヅる指示回路９からの信号も減幹
器８を介して供給されている。
試お１４表面」ニに細く集束されると共に、偏向手段５
にＪ、って偏向される。該偏向手段５には、走査信弓発
４１−回路６からの走査イム化が加幹器７を介して供給
されており、該加緯器７には、つまみの回転によって試
￥８１の移動量を指示ヅる指示回路９からの信号も減幹
器８を介して供給されている。
該指示回路９からの信号は、更に、△−Ｄ変換器１０に
よってディジタル信号に変換された後、マイクロ］ンピ
コータの如き制御手段１１に供給される。該制御手段１
１は、指示回路９からの信号に応じたディジタル信号を
、該試料ステージの駆り１を行うパルスモータ１２の駆
動回路１３に供給する。該制御手段１１は、更に、該駆
すノ回路１３に供給した信号に応じて移動する試料ステ
ージの、実際の移動に対応した信号を発生し、そのディ
ジタル信号は、Ｄ−Δ変換器１４を介し−（前記減Ｑ器
８に供給される。尚、１５は試料３への電ｒ線の黒用に
阜づいて、該試訃）から発什Ｊる：？次電電子検出づる
検出器であり、該検１ｊ器１５からの（１）出信号は、
増幅器１６を介して前記走査信シシ介′１回路６から走
査イム化が供給されている陰１〜線Ｔ１１７に、輝度変
調信号どして供給される。
よってディジタル信号に変換された後、マイクロ］ンピ
コータの如き制御手段１１に供給される。該制御手段１
１は、指示回路９からの信号に応じたディジタル信号を
、該試料ステージの駆り１を行うパルスモータ１２の駆
動回路１３に供給する。該制御手段１１は、更に、該駆
すノ回路１３に供給した信号に応じて移動する試料ステ
ージの、実際の移動に対応した信号を発生し、そのディ
ジタル信号は、Ｄ−Δ変換器１４を介し−（前記減Ｑ器
８に供給される。尚、１５は試料３への電ｒ線の黒用に
阜づいて、該試訃）から発什Ｊる：？次電電子検出づる
検出器であり、該検１ｊ器１５からの（１）出信号は、
増幅器１６を介して前記走査信シシ介′１回路６から走
査イム化が供給されている陰１〜線Ｔ１１７に、輝度変
調信号どして供給される。
上）ボした如さ構成において、走沓信弓発生回路６１）
１１らの走査仁君を［−向手段５５に供給し、試料４上
の所定範囲を電子線で走査りれば、該試ｉ＋＋の２次電
Ｔ−線像が該陰極線質１７に表示される。ここで、該陰
極線管１７に表示されている像の視野の移動（Ｊ、指示
回路９に設けられた甲−のつよみを回転させ、該つＪ、
みの回転速度１回転量にｌ、ｉ；； Ｌ］／、＝信号を
パルスＥ−タ駆動回路に供給し、該試料ステージ１２を
電子線に対して移動させることにＪっで行ねぇＩる。第
２図（ε））のグラフは、該つまみの移動を表したもの
で、横軸は時間、縦Ｉｔ’Ｉｌｌは１ｉ−１転量を示し
ている。このグラフに示したつまみの回転に対応した信
号が、パルスモータ１２の駆動回路１３に供給される訳
であるが、このような信号の供給に対して、該試料ステ
ージ３は慣性を右しているために、その移動速度は、第
２図（ｂ）に示づ如く、つまみの指示に対して応答が近
れたものと４劣る。該第２図（ｂ）に承りステージの移
動速度により、該ステージ３の位置は、第２図（Ｃ）に
承り如く変化する。該制御手段１１は、指示回路９から
供給される第２図（Ｆ〕）に示づ信号から、第２図（Ｃ
）に承り如き実際の試料移動に対応した信号をめ、この
信号をＤ−Ａ変換器１４を介して減算器８に供給覆るよ
うにしている。
１１らの走査仁君を［−向手段５５に供給し、試料４上
の所定範囲を電子線で走査りれば、該試ｉ＋＋の２次電
Ｔ−線像が該陰極線質１７に表示される。ここで、該陰
極線管１７に表示されている像の視野の移動（Ｊ、指示
回路９に設けられた甲−のつよみを回転させ、該つＪ、
みの回転速度１回転量にｌ、ｉ；； Ｌ］／、＝信号を
パルスＥ−タ駆動回路に供給し、該試料ステージ１２を
電子線に対して移動させることにＪっで行ねぇＩる。第
２図（ε））のグラフは、該つまみの移動を表したもの
で、横軸は時間、縦Ｉｔ’Ｉｌｌは１ｉ−１転量を示し
ている。このグラフに示したつまみの回転に対応した信
号が、パルスモータ１２の駆動回路１３に供給される訳
であるが、このような信号の供給に対して、該試料ステ
ージ３は慣性を右しているために、その移動速度は、第
２図（ｂ）に示づ如く、つまみの指示に対して応答が近
れたものと４劣る。該第２図（ｂ）に承りステージの移
動速度により、該ステージ３の位置は、第２図（Ｃ）に
承り如く変化する。該制御手段１１は、指示回路９から
供給される第２図（Ｆ〕）に示づ信号から、第２図（Ｃ
）に承り如き実際の試料移動に対応した信号をめ、この
信号をＤ−Ａ変換器１４を介して減算器８に供給覆るよ
うにしている。
該減算器８【こおい−Ｃは、指示回路９からの第２図（
ａ）に示ヂ信号と、制御手段１１からの第２図（Ｃ）に
示す信号との差信号をめ、加掠器７に供給している。第
２図（ｄ）は、該減算器８の出力信号を示しＣおり、こ
の信号は、電磁的な視野移動信号として偏向手段５に供
給される。この電磁的な視野移動信号は、指示手段９に
Ｊ、る視野移動の指示に対する、機械的な試料ストジの
移動の遅れを補償づるためのものであり、この電磁的な
視野移動により、表示装置１７に表示さｉする試料像の
視野（ユ、指示手段９のつまみの回転速（９）。
ａ）に示ヂ信号と、制御手段１１からの第２図（Ｃ）に
示す信号との差信号をめ、加掠器７に供給している。第
２図（ｄ）は、該減算器８の出力信号を示しＣおり、こ
の信号は、電磁的な視野移動信号として偏向手段５に供
給される。この電磁的な視野移動信号は、指示手段９に
Ｊ、る視野移動の指示に対する、機械的な試料ストジの
移動の遅れを補償づるためのものであり、この電磁的な
視野移動により、表示装置１７に表示さｉする試料像の
視野（ユ、指示手段９のつまみの回転速（９）。
回転ｉ３Ｊ置にｉｒ′１接的にス４応づろものとなる１
゜このように、本発明におい−Ｃは、機械的な試１′≧
１移動と、電■君的な視野移動とをｉｌｌ用しく Ｊ”
ｉう、Ｊ、゛）にしているｌこめ、単一のつまみによつ
Ｃ視野の移動を行っ’Ｃｂ、該つまみの回転と、表示装
置１９上の試料像の視野移動とか一ス・１−にス・ｊ応
りることに′／「す、装置のオペレータにとつ【操作ｎ
が白土りることになる。ところで、上述した実ＩＭ ｉ
’ＡＩ ？、’ １．Ｌ、制御回路からのディジタル信
号に基ついでパルス（−夕が駆動さ１′シる構成に４Ｃ
つＣおり、そのため、このパルスモータに」；るステー
ジの駆動にＪ、つ（は、最小ディジクル１１１位以干の
試Ｊ′ｊｌの全小移動を行うことかＣ・きない１．シか
しながら、−１ｊ！！ｌ！シた実施例ては、１ｈ示回路
９からのアナログ信号を減τ）器８に供給しＣ１試斜の
実際の移動にり・］応したｊイジタル信号をＡ−Ｄ変換
したアナログ信号と０〕差信号をめるようにしているた
め、最終的に、減算器８からは、最小ディジタル単位以
下の電磁偏向量が残ることになり、この偏向量は、偏向
手段５に供給されることから、パルスモータによる、ス
テージの機械的ｌｆ移動では行うことかて゛きない微小
な視野移動を、正確に行うことができる。尚、」）小し
た実施例においては、電子線を電磁的に偏向り−るＪ、
うにしたが、静電的に偏向−４１−るようにしても良い
１、又、指示回路にａ３いては、つまみの回転によつ−
Ｃ視野の移動を指示するようにしたが、スライド式のつ
まみによって該視野の移動を指示づるようにしても良い
。更に、上述した実施例では、本発明を走査電子顕微鏡
に適用した場合について説明したが、本発明は、透過−
電子顕微鏡にも）内用でるものである。その場合、例え
ば、対物レンズと投影レンズの間に偏向手段が設（プら
れ、パルスモータによる試料ステージの移動と共に、視
野移動の指示回路からのアブログ信号と、試料の実際の
移動に対応した信号との差信号が該偏向手段に供給され
る。更に又、本発明は、電子線を使用した装置に限定さ
れず、イオン顕微鏡等の他の同型粒子線装置にも適用で
きるものである。
゜このように、本発明におい−Ｃは、機械的な試１′≧
１移動と、電■君的な視野移動とをｉｌｌ用しく Ｊ”
ｉう、Ｊ、゛）にしているｌこめ、単一のつまみによつ
Ｃ視野の移動を行っ’Ｃｂ、該つまみの回転と、表示装
置１９上の試料像の視野移動とか一ス・１−にス・ｊ応
りることに′／「す、装置のオペレータにとつ【操作ｎ
が白土りることになる。ところで、上述した実ＩＭ ｉ
’ＡＩ ？、’ １．Ｌ、制御回路からのディジタル信
号に基ついでパルス（−夕が駆動さ１′シる構成に４Ｃ
つＣおり、そのため、このパルスモータに」；るステー
ジの駆動にＪ、つ（は、最小ディジクル１１１位以干の
試Ｊ′ｊｌの全小移動を行うことかＣ・きない１．シか
しながら、−１ｊ！！ｌ！シた実施例ては、１ｈ示回路
９からのアナログ信号を減τ）器８に供給しＣ１試斜の
実際の移動にり・］応したｊイジタル信号をＡ−Ｄ変換
したアナログ信号と０〕差信号をめるようにしているた
め、最終的に、減算器８からは、最小ディジタル単位以
下の電磁偏向量が残ることになり、この偏向量は、偏向
手段５に供給されることから、パルスモータによる、ス
テージの機械的ｌｆ移動では行うことかて゛きない微小
な視野移動を、正確に行うことができる。尚、」）小し
た実施例においては、電子線を電磁的に偏向り−るＪ、
うにしたが、静電的に偏向−４１−るようにしても良い
１、又、指示回路にａ３いては、つまみの回転によつ−
Ｃ視野の移動を指示するようにしたが、スライド式のつ
まみによって該視野の移動を指示づるようにしても良い
。更に、上述した実施例では、本発明を走査電子顕微鏡
に適用した場合について説明したが、本発明は、透過−
電子顕微鏡にも）内用でるものである。その場合、例え
ば、対物レンズと投影レンズの間に偏向手段が設（プら
れ、パルスモータによる試料ステージの移動と共に、視
野移動の指示回路からのアブログ信号と、試料の実際の
移動に対応した信号との差信号が該偏向手段に供給され
る。更に又、本発明は、電子線を使用した装置に限定さ
れず、イオン顕微鏡等の他の同型粒子線装置にも適用で
きるものである。
［ダｊ果］
以上の説明より明らかなように、本発明に基づく装置に
よれば、試料をは械的に移動させることによる視野移動
の指示と、実際に表示される試１″１１像の視野を一対
−に対応させることがＣさ、操作性を向上サケることが
できる。
よれば、試料をは械的に移動させることによる視野移動
の指示と、実際に表示される試１″１１像の視野を一対
−に対応させることがＣさ、操作性を向上サケることが
できる。
第１図は、本発明を実施した走査電子顕微鏡を−示す図
、第２図は、第１図の走査電子顕微鏡の動作を説明する
ために使用した信号波形図（ある。 １・・・電子銃 ｒ３・・・試オ′３１ステージ ４・・・試別５・・・
偏向手段 ６・・・走査信号梵生回銘 ７・・・加算器 ８・・・減算器 ９・・・指示回路 １０・・・Δ−１）変換器１１・・
・制御手段 １２・・・パルスセータ１３・・・パルス
モータ駆動回路 １４・・・Ｄ−Ａ変換器 特り′ｆ出願人 日本電子株式会社 代表者 イノ１藤 −夫 第１図
、第２図は、第１図の走査電子顕微鏡の動作を説明する
ために使用した信号波形図（ある。 １・・・電子銃 ｒ３・・・試オ′３１ステージ ４・・・試別５・・・
偏向手段 ６・・・走査信号梵生回銘 ７・・・加算器 ８・・・減算器 ９・・・指示回路 １０・・・Δ−１）変換器１１・・
・制御手段 １２・・・パルスセータ１３・・・パルス
モータ駆動回路 １４・・・Ｄ−Ａ変換器 特り′ｆ出願人 日本電子株式会社 代表者 イノ１藤 −夫 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）仙電粒子線を試料に黒用し・、該試料の像を表示
するようにした荷電粒子線装置において、該試１′」の
観察視野の移動を指示する手段と、該指示手段からの信
号に応じて該試料の機械的な移動をイラうための試料移
動機構と、該試料移動機構による試料の実際の移動に対
応した（５号を発生づ−る手ｇ、シど、該試料観察視野
を荷電粒子線の偏向によって行うために設【プられた荷
電粒子線偏向手段とをｌｆｉ： ’えＣおり、該試料の
機械的な実際の移動にえ１応し／、＝信昼と、該指示手
段からの信号の差に応じた偏向信号を、該偏向手段に供
給づるＪうに構成しｌこ荷電粒子線装置。 （２）該荷電粒子線装置は、細く集束された荷電粒子線
を試料上の所定範囲で走査するようにした走査型の荷電
粒子線装置であり、該偏向手段によって試料上の荷電粒
子線走査範囲が移動させられる特許請求の範ＭＩ第＜
１ ） ｔＨＨ記載の荷電粒子線装置。 （３）該１′：ｈ電粒子線装間は、試料を透過し／＝電
電子を拡大投影づるようにした電子顕微鏡てあり、該偏
向手段によって試料を透過しＩｃ ？ｒｒ子線をｆｉｉ
＋１向Ｊるようにした特許請求の範囲第く′１へ珀記載
の向電粒子線装防。 （１１）該試わ１１９：動（類椙はパルス七−りをＩ！
え−（，１３つ、該パルスモータの駆動のためのデ（シ
タル仁弓【こ基づいて、該試料の実際の移動（二対１心
したｊイジタル（ｇ Ｑが得られ、該ディジクル信５・
；（まノ′フ１グイ８月に変換された後、該指示手段か
らのノ′ノログ信号と演算され、差信号をｉｃ： ４
ｊ、うに（・た１”ｆム’Ｉ 請求の範囲第（１）項乃
至第（３） ｉｉ’ｉ記載の？・；１電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164809A JPS6056343A (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164809A JPS6056343A (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056343A true JPS6056343A (ja) | 1985-04-01 |
Family
ID=15800324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164809A Pending JPS6056343A (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009181923A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS564237A (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-17 | Jeol Ltd | Method of moving sample stage in exposure to electron beam |
-
1983
- 1983-09-07 JP JP58164809A patent/JPS6056343A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS564237A (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-17 | Jeol Ltd | Method of moving sample stage in exposure to electron beam |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009181923A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
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