JPS6067656A - 真空蒸着方法 - Google Patents
真空蒸着方法Info
- Publication number
- JPS6067656A JPS6067656A JP17374783A JP17374783A JPS6067656A JP S6067656 A JPS6067656 A JP S6067656A JP 17374783 A JP17374783 A JP 17374783A JP 17374783 A JP17374783 A JP 17374783A JP S6067656 A JPS6067656 A JP S6067656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- cover
- drum
- mask
- resistant material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は１紙、プラスチＩクフィルムまたはこれらの積
層フィルムからなる基材にアルミニウム等の金属を真空
蒸着する真空蒸着方法に関するもので、詳しくは基材の
両側の真空蒸着層との境界および／またはストライプ状
の真空蒸着を美麗に施す真空蒸着方法に関するもので）
）る。
層フィルムからなる基材にアルミニウム等の金属を真空
蒸着する真空蒸着方法に関するもので、詳しくは基材の
両側の真空蒸着層との境界および／またはストライプ状
の真空蒸着を美麗に施す真空蒸着方法に関するもので）
）る。
アルミニウム等の金属を暴利」−に真空蒸着−４−るに
は、第１図に示すように暴利（１）とドラム（２１Ｌ−
こ密着した状態にし、このドラム（２）下方からアルミ
ニウム等の金属を耐熱性材料からなるルツボ、ボート等
の容器（３）から蒸着していた。
は、第１図に示すように暴利（１）とドラム（２１Ｌ−
こ密着した状態にし、このドラム（２）下方からアルミ
ニウム等の金属を耐熱性材料からなるルツボ、ボート等
の容器（３）から蒸着していた。
このような蒸着方法に蒸着すると基・１′Ａの中央部に
おいては、所望の蒸着層が施さハるが両側においては、
所定の蒸着量が得られず、蒸着フィルムとして使える巾
が狭く、有効的に使用できなかった。
おいては、所望の蒸着層が施さハるが両側においては、
所定の蒸着量が得られず、蒸着フィルムとして使える巾
が狭く、有効的に使用できなかった。
そこでセラミック等の耐熱性イＡ別からなり、第２図に
示すように外枠（５１（５１とこの外枠（５１ｆ５１間
にドラムに対応した円弧状のマスク（６）から１．Ｃる
カバー（７１を用いて両側の蒸着不良を防止していた。
示すように外枠（５１（５１とこの外枠（５１ｆ５１間
にドラムに対応した円弧状のマスク（６）から１．Ｃる
カバー（７１を用いて両側の蒸着不良を防止していた。
そしてこのカバー（７）は外枠（５１（５１およびマス
ク（６）とも１伶却のため通水可能な構造であった。
ク（６）とも１伶却のため通水可能な構造であった。
これにより前記の側部の蒸着不良およびストライプ状の
蒸着が可能となった。
蒸着が可能となった。
しかし、このカバー（７）は１通水可能な構造のたメ、
所定の大きさのカバーであるには蒸着［１］やストライ
プの間隔を変えればその都度、新しいものを作らなけれ
ばならなかった。
所定の大きさのカバーであるには蒸着［１］やストライ
プの間隔を変えればその都度、新しいものを作らなけれ
ばならなかった。
そこでカバー（７１を銅板のような金属板を用いたスト
ライプ用のカバーとした場合、１回は使用可能であるが
、２回以上使用できないため、結局１回ずつ新しいもの
を使用せざる得なかった。
ライプ用のカバーとした場合、１回は使用可能であるが
、２回以上使用できないため、結局１回ずつ新しいもの
を使用せざる得なかった。
本発明は、上記のような従来の欠点を鑑み、２回以上使
用可能で、しかも基材の両側および／またはストライプ
状の蒸着を良好に行なうことができる真空蒸着方法を提
供することをｌ」的とするものである。
用可能で、しかも基材の両側および／またはストライプ
状の蒸着を良好に行なうことができる真空蒸着方法を提
供することをｌ」的とするものである。
また、他の目的は蒸着ｌ］および／またはストライプの
１１］を変えるとき、カバーを取り換え１゛に容易に行
なえる真空蒸着方法を提供することである。
１１］を変えるとき、カバーを取り換え１゛に容易に行
なえる真空蒸着方法を提供することである。
以下本発明について説明する。
本発明は、紙、プラスチックフィルムまたはこれらの積
層フィルムからなる暴利にアルミニウム等の金属を真空
蒸着する真空蒸着方法において第６図に示すように基材
（１１］を円１０１形のドラノ、（１２）に密着した状
態で、該ドラム（１２１の下方に設けた耐熱性材料から
なるルツボ、ボート等の容器（Ｉ３）からカバー０４）
を介して真空蒸着する真空蒸着方法である。
層フィルムからなる暴利にアルミニウム等の金属を真空
蒸着する真空蒸着方法において第６図に示すように基材
（１１］を円１０１形のドラノ、（１２）に密着した状
態で、該ドラム（１２１の下方に設けた耐熱性材料から
なるルツボ、ボート等の容器（Ｉ３）からカバー０４）
を介して真空蒸着する真空蒸着方法である。
上記カバー（１４１は１例えば第４図に示すように通水
可能で耐熱性材料からなる外枠［１５） （１，５１の
一側部に通水可能で、ドラムの外周に対応した円弧状に
成形されたマスク（１６）を設け、該マスク（１Ｇ）と
外枠ｆ１５）ｆ１５）の他側端間に蒸着ｌ］に応じて銅
板のような熱伝導性の良好な金属材料（１ηからなり、
類Ｎ側に厚さろ〜５ｍｍのセラミックフィバ−を取り伺
けたマスク（２０１［２０１ヲ取付ケタモノテ、 コノ
マスク（２０１ハトラム（１２１の外周形状に合せた円
弧形状のサイドカバー（２＋１を設けたものである。
可能で耐熱性材料からなる外枠［１５） （１，５１の
一側部に通水可能で、ドラムの外周に対応した円弧状に
成形されたマスク（１６）を設け、該マスク（１Ｇ）と
外枠ｆ１５）ｆ１５）の他側端間に蒸着ｌ］に応じて銅
板のような熱伝導性の良好な金属材料（１ηからなり、
類Ｎ側に厚さろ〜５ｍｍのセラミックフィバ−を取り伺
けたマスク（２０１［２０１ヲ取付ケタモノテ、 コノ
マスク（２０１ハトラム（１２１の外周形状に合せた円
弧形状のサイドカバー（２＋１を設けたものである。
このマスク（２０）に用いる金属栃刺面の厚さはろ〜７
Ｉ＋ｌＩ＋＋の範囲が適当で、３配未満であると蒸着時
の副射熱で変形し易く、また７ｗｎ以上の厚さになると
前記変形は防止できるが、ドラムの形状に応じた成形加
工が難しく、適当でない。
Ｉ＋ｌＩ＋＋の範囲が適当で、３配未満であると蒸着時
の副射熱で変形し易く、また７ｗｎ以上の厚さになると
前記変形は防止できるが、ドラムの形状に応じた成形加
工が難しく、適当でない。
そして、マスク（２０）の前後端には外枠（１■ａ９に
取伺けるための穴＋２２１ Ｅを設り−てなる。
取伺けるための穴＋２２１ Ｅを設り−てなる。
第４図は、暴利に全面蒸着を施すためのカバー０４）の
構造を示すもので、ストライプ状の蒸着を施すためには
第５図に示１−ように、第４図に示したカバー０４）の
マスク（２０１（２０）間に両側にサイドカバー（２１
１（２１Ｉを設け、マスク（２０）と同じ材料からなり
、前後端に長穴（２３１（１２３１・・・を設げたセン
ターマスク（２４）を外枠（１５１（Ｉ５）に取付けた
カバー（２５）を用いる。
構造を示すもので、ストライプ状の蒸着を施すためには
第５図に示１−ように、第４図に示したカバー０４）の
マスク（２０１（２０）間に両側にサイドカバー（２１
１（２１Ｉを設け、マスク（２０）と同じ材料からなり
、前後端に長穴（２３１（１２３１・・・を設げたセン
ターマスク（２４）を外枠（１５１（Ｉ５）に取付けた
カバー（２５）を用いる。
ここでセンターマスク（２倶よ、所望のストライプ１］
、間隔に応じて適宜設ければよく、また長穴（２３）に
より横方向に微調整を行なうことができるので。
、間隔に応じて適宜設ければよく、また長穴（２３）に
より横方向に微調整を行なうことができるので。
一定幅のストライプ蒸着を行なえる。
本発明は、上記のようにマスク間の距離を適宜変更可能
なカバーを用いて真空蒸着を行なうため基材の両側にそ
れぞれ５〜１０咽の余分に取って蒸着しなければならな
かったのを解消でき、基材の１］〕を有効に活用できる
ようになった。
なカバーを用いて真空蒸着を行なうため基材の両側にそ
れぞれ５〜１０咽の余分に取って蒸着しなければならな
かったのを解消でき、基材の１］〕を有効に活用できる
ようになった。
また、熱伝導性が良好で、かつ成形加工のし易い銅板か
らなるマスクを用いているので、マスクにより蒸着境界
線をはっきりすることができる。
らなるマスクを用いているので、マスクにより蒸着境界
線をはっきりすることができる。
さらに、蒸着ｌ］、間隔に応じて、従来はカバー全体を
取り換えなければならｌ゛１１価格いばかりでなく、取
り換え時間に多くを安していＩこが、本発明においては
外枠間に取伺けたカバーを所望の巾、間隔に応じて適宜
変更すればよく、取り換えも容易で、しかも安価に行な
うことができる。
取り換えなければならｌ゛１１価格いばかりでなく、取
り換え時間に多くを安していＩこが、本発明においては
外枠間に取伺けたカバーを所望の巾、間隔に応じて適宜
変更すればよく、取り換えも容易で、しかも安価に行な
うことができる。
第１図は、従来の蒸着方法を示す説明図、第２図は従来
のカバーを示す説明図、第３図は本発明の蒸着方法を示
す説明図、第４図は本発明で用いるカバーの一例を示す
説明図および第５図し」、他のカバーの例を示す説明図
である。 旧ｊ・・・基材 （［２）・・ドラム （１：（＋・・
容器 （１４１（２５１−・−カバー （１ω・・・外
枠 （Ｌ６１ （２０＋・・・マスク ０７）・・・金
属月利 （２１）・・・サイドカバー （２２）・・・
穴 （２３）・・・長穴 し・１）・・センター −ｒ
２ ｐ 特許出願人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴 木 和 夫 第１図 ９ ヒ＝が４ 日＼１３ 手わｔンｉ１ｊ ｉｌ云−・：（１１式）％式％ １、事件の表示 昭和５８年特￥１願第１７３７／Ｉ ７号２、発明の名
称 真空蒸着方法 ３、補正をりる者 事件との関係 特ｒ１出願人 住所 東京都台東［ス台東１１目５５番１）」４、補正
命令の日イ・］ 昭和５９年 １月３１１１名称」を１
３、発明の詳細な説明−１と訂正づる。。
のカバーを示す説明図、第３図は本発明の蒸着方法を示
す説明図、第４図は本発明で用いるカバーの一例を示す
説明図および第５図し」、他のカバーの例を示す説明図
である。 旧ｊ・・・基材 （［２）・・ドラム （１：（＋・・
容器 （１４１（２５１−・−カバー （１ω・・・外
枠 （Ｌ６１ （２０＋・・・マスク ０７）・・・金
属月利 （２１）・・・サイドカバー （２２）・・・
穴 （２３）・・・長穴 し・１）・・センター −ｒ
２ ｐ 特許出願人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴 木 和 夫 第１図 ９ ヒ＝が４ 日＼１３ 手わｔンｉ１ｊ ｉｌ云−・：（１１式）％式％ １、事件の表示 昭和５８年特￥１願第１７３７／Ｉ ７号２、発明の名
称 真空蒸着方法 ３、補正をりる者 事件との関係 特ｒ１出願人 住所 東京都台東［ス台東１１目５５番１）」４、補正
命令の日イ・］ 昭和５９年 １月３１１１名称」を１
３、発明の詳細な説明−１と訂正づる。。
Claims (1)
- （］）紙、プラスチックフィルムまたはこれらの積層フ
ィルムからなる基材にアルミニウム等の金属を真空蒸着
する真空蒸着方法において、基材を円筒形のドラムに密
着した状態で、該ドラムの下方に設けた耐熱性材料から
なる容器から１通水可能で耐熱性材料からなる２本の外
枠、該外枠の１側部に外枠と同様な構造のマスクおよび
該マスクと外枠の他側部間に熱伝導性の良好な金属材料
からなり蒸着側に耐熱性材料を設け、かつ蒸着側と反対
側にドラムの外周に対応した円弧状のザイドカバーを設
けたマスクを少なくとも２つ取付けてなるカバーを介し
て真空蒸着する真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17374783A JPS6067656A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17374783A JPS6067656A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 真空蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067656A true JPS6067656A (ja) | 1985-04-18 |
Family
ID=15966379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17374783A Pending JPS6067656A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067656A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118196B1 (ko) | 2011-07-20 | 2012-02-24 | 김민호 | 하부 드럼 마스크가 부착된 드럼 마스크 |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP17374783A patent/JPS6067656A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118196B1 (ko) | 2011-07-20 | 2012-02-24 | 김민호 | 하부 드럼 마스크가 부착된 드럼 마스크 |
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