JPS6084005A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS6084005A JPS6084005A JP19179184A JP19179184A JPS6084005A JP S6084005 A JPS6084005 A JP S6084005A JP 19179184 A JP19179184 A JP 19179184A JP 19179184 A JP19179184 A JP 19179184A JP S6084005 A JPS6084005 A JP S6084005A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting
- electrodes
- acoustic wave
- surface acoustic
- gratings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波共振子に係り、特に共振電極のパタ
ーンエツチングの工程に於ける反射電極素子間の間隔を
所定値１こすることが可能な弾性表面波共振子の構造に
関するものである。
ーンエツチングの工程に於ける反射電極素子間の間隔を
所定値１こすることが可能な弾性表面波共振子の構造に
関するものである。
弾性表面波共振子は、所定の周波数により直接発振が可
能な利点があるため、例えばＶＴ几などの几Ｆコンバー
タなどに広く使用されるようになってきた。
能な利点があるため、例えばＶＴ几などの几Ｆコンバー
タなどに広く使用されるようになってきた。
次に弾性表面波共振子の一例を第１図及び第２図により
説明する。
説明する。
即ち、従来の弾性表面波共振子は、ＬｉＴａ０． 。
ＬｉＮｂＯ３＊水晶、セラミックスなどからなる圧電基
板（１）の−主面上に互いに噛み合った櫛形の励振電極
（２）と、この励振電極（２）の両側に所定間隔をもっ
て、それぞれ多数個の反射格子（３１）（４θ及びこの
反射格子（３，）（４，）の両端部を互に導接する一対
の共通電極（３，）（４，）からなる反射電極（３）
（４）とからなる。この弾性表面波共振子は、励振電極
（２）の端子（２ａ） （２ｂ） 間に印加される所定
の周波数の信号゛重圧のみを圧電基板（１）の表面波を
利用して両側の反射電極（３） （４）の反射格子（３
，）（４，）により反射して再度励振電極（２）にフィ
ードバックし、所屋の周波数により直接発振を行なうよ
うになっ−ている。この場合、共通電極（３，）（４，
）はそれぞれの励振格子（３１）（４１）の電界による
帯電により生じる共振特性の劣化を防止するためＪこ設
けられている。
板（１）の−主面上に互いに噛み合った櫛形の励振電極
（２）と、この励振電極（２）の両側に所定間隔をもっ
て、それぞれ多数個の反射格子（３１）（４θ及びこの
反射格子（３，）（４，）の両端部を互に導接する一対
の共通電極（３，）（４，）からなる反射電極（３）
（４）とからなる。この弾性表面波共振子は、励振電極
（２）の端子（２ａ） （２ｂ） 間に印加される所定
の周波数の信号゛重圧のみを圧電基板（１）の表面波を
利用して両側の反射電極（３） （４）の反射格子（３
，）（４，）により反射して再度励振電極（２）にフィ
ードバックし、所屋の周波数により直接発振を行なうよ
うになっ−ている。この場合、共通電極（３，）（４，
）はそれぞれの励振格子（３１）（４１）の電界による
帯電により生じる共振特性の劣化を防止するためＪこ設
けられている。
然るにこの様な弾性表面波共振子は通常圧′嘔基板（１
）の−主面上ｆこアルミニウムなどの薄膜を一面に蒸着
などの手段により被着形成し、フォトレジスト膜を設け
たのち、所定のネガパターンを介してフォトレジスト膜
の所定部を光硬化させたのち現像、エツチング、レジス
ト膜除去を行う所謂フォトエツチング方法により形成さ
れる。しかしながら、このエツチング工程で励振電極（
２）は交互に突出して噛み合うよう１こなっているので
エツチング液の通りが良い。これに反して、反射電極（
３） （４）では反射格子（３１）（４１）と共通電極
（３２）（４，）により、エツチングされる反射格子（
３，）（４ｔ）それぞれの間の部分のエツチング液の通
りが悪くなる。そのため、反射格子（３Ｉ）（４，）な
どの幅や圧電基板（１）と反射格子（３，）（４，）な
どの接触部の角度などに精密性を要求される弾性表面波
共振子に対して同一エツチング条件で励振電極（２）と
反射格子（３，）（４，）とを同時に良好に仕上げるこ
とは極めて困難であり、弾性表面波共振子の共振周波数
が高くなり、反射格子（３，）（４，）それぞれの間隔
が狭くなるｊこ従い、このエツチングの不均一による諸
問題が出でくる欠点かあった。
）の−主面上ｆこアルミニウムなどの薄膜を一面に蒸着
などの手段により被着形成し、フォトレジスト膜を設け
たのち、所定のネガパターンを介してフォトレジスト膜
の所定部を光硬化させたのち現像、エツチング、レジス
ト膜除去を行う所謂フォトエツチング方法により形成さ
れる。しかしながら、このエツチング工程で励振電極（
２）は交互に突出して噛み合うよう１こなっているので
エツチング液の通りが良い。これに反して、反射電極（
３） （４）では反射格子（３１）（４１）と共通電極
（３２）（４，）により、エツチングされる反射格子（
３，）（４ｔ）それぞれの間の部分のエツチング液の通
りが悪くなる。そのため、反射格子（３Ｉ）（４，）な
どの幅や圧電基板（１）と反射格子（３，）（４，）な
どの接触部の角度などに精密性を要求される弾性表面波
共振子に対して同一エツチング条件で励振電極（２）と
反射格子（３，）（４，）とを同時に良好に仕上げるこ
とは極めて困難であり、弾性表面波共振子の共振周波数
が高くなり、反射格子（３，）（４，）それぞれの間隔
が狭くなるｊこ従い、このエツチングの不均一による諸
問題が出でくる欠点かあった。
本発明は前述した従来の弾性表面波共振子の諸人点ｆこ
鑑みなされたものであり、共振周波数が高くなっても励
振電極と反射格子とを同一条件にてエツチングしても反
射格子間の間隔を所定値にすることが可能な弾性表面波
共振子を提供することを目的としている。
鑑みなされたものであり、共振周波数が高くなっても励
振電極と反射格子とを同一条件にてエツチングしても反
射格子間の間隔を所定値にすることが可能な弾性表面波
共振子を提供することを目的としている。
次に第３図により本発明の一実施例を説明する。
即ち、本実施例の弾性表面波共振子はＬｉＴａ０．。
Ｌ ｉ ＮｂＯ５＋水晶、セラミックスなどからなる圧
電基板ａυの一生面上に互いに噛み合った櫛形の励仮電
極（１りと、との励振゛電極Ｑ急の両側に所定間隔をも
って、それぞれ多数個の反射格子（１３１） （１４１
）及びこの反射格子（１３＋） （１４θの一端部を互
ｌｃ導接する共通電極（１３□） （１４２）からなる
反射電極ａ階ａ養とからなる。この弾性表面波共振子は
、励振電極αりの端子（１２ａ） （１２ｂ）間に印加
される所定の周波数の信号電圧のみを圧電基板αυの表
面波を利用して両側の反射電極α階α〜の反射格子（ｔ
ａｌ）（１４１）により反射して再度励振電極Ｑ功にフ
ィードバックし、所定の周波数で直接発振を行なうよう
になっている。
電基板ａυの一生面上に互いに噛み合った櫛形の励仮電
極（１りと、との励振゛電極Ｑ急の両側に所定間隔をも
って、それぞれ多数個の反射格子（１３１） （１４１
）及びこの反射格子（１３＋） （１４θの一端部を互
ｌｃ導接する共通電極（１３□） （１４２）からなる
反射電極ａ階ａ養とからなる。この弾性表面波共振子は
、励振電極αりの端子（１２ａ） （１２ｂ）間に印加
される所定の周波数の信号電圧のみを圧電基板αυの表
面波を利用して両側の反射電極α階α〜の反射格子（ｔ
ａｌ）（１４１）により反射して再度励振電極Ｑ功にフ
ィードバックし、所定の周波数で直接発振を行なうよう
になっている。
この様な構造にすることにより、共通電極（１３Ｄ（１
４２） によりそれぞれの反射格子（１３＋） （１４
１）の電界による帯電を防止し得るのは従来のものとｉ
ｔは同様の効果がある。その上、一実施例の弾性表面波
共振子は、製造工程即ち圧電基板αυの一生面上ｆこア
ルミニウムなどの薄膜を一面Ｉζ蒸着などの手段１こよ
り被着形成し、フォトレジスト膜を設けたのち、所定の
ネガパターンを介してフォトレジスト膜の励振電極αり
と反射電極（１３） Ｑ４）に対応する部分を光硬化さ
せたのち、現象、エツチングを行なっても励振電極（１
鐵と同様反射電極ａ■σ荀の他方の共通電極が全部欠除
部となっているので、エツチングされる反射格子（１３
１）（１４１） 、それぞれの間の部分のエツチング液
の通りが良好と表る。したがって、反射格子（１３，）
（１４１）などの幅や圧電基板（１）と反射格子（１
３１）（１４＋）などの接触部の角度なども精密に仕上
げられ、励振電極αりと反射電極ａ階（＋４１を同一エ
ツチング条件でエツチングしても極めて特性の良好な弾
性表面波共振子を得ることが可能となった。
４２） によりそれぞれの反射格子（１３＋） （１４
１）の電界による帯電を防止し得るのは従来のものとｉ
ｔは同様の効果がある。その上、一実施例の弾性表面波
共振子は、製造工程即ち圧電基板αυの一生面上ｆこア
ルミニウムなどの薄膜を一面Ｉζ蒸着などの手段１こよ
り被着形成し、フォトレジスト膜を設けたのち、所定の
ネガパターンを介してフォトレジスト膜の励振電極αり
と反射電極（１３） Ｑ４）に対応する部分を光硬化さ
せたのち、現象、エツチングを行なっても励振電極（１
鐵と同様反射電極ａ■σ荀の他方の共通電極が全部欠除
部となっているので、エツチングされる反射格子（１３
１）（１４１） 、それぞれの間の部分のエツチング液
の通りが良好と表る。したがって、反射格子（１３，）
（１４１）などの幅や圧電基板（１）と反射格子（１
３１）（１４＋）などの接触部の角度なども精密に仕上
げられ、励振電極αりと反射電極ａ階（＋４１を同一エ
ツチング条件でエツチングしても極めて特性の良好な弾
性表面波共振子を得ることが可能となった。
次に第４図により本発明の他の実施例を説明する。
即ち他の実施例の弾性表面波共振子は圧電基板Ｃυに励
振電極（イ）と、との励振電極（２ツの両側１こ所定間
隔をもってそれぞれ多数個の反射格子（２３□）（２４
１）及びこの反射格子（２３Ｌ） （２４θの一端部ま
たは両端部ｌこ欠除部（２３ａ） （２４ａ）を有する
共通型ｍ （２３ｔ）（２４ｚ）を反射格子（２３□）
（２４１）それぞれの間をエツチング液が通り易いよう
に交互に設けた反射電極（ハ）ｅ４）とからなり、励振
電極Ｑ々の端子（２２ａ） （２２ｂ）間１こ印加され
る所定の周波数の信号電圧のみを圧’ｉＭ基板Ｃυの表
面波を利用して両側の反射電極Ｃ！３）Ｌ２４）の反射
格子（２３１） （２４１）により反射して再度励振電
極（２功にフィードバックし、所定の周波数により直接
発振を行なうようになっている。
振電極（イ）と、との励振電極（２ツの両側１こ所定間
隔をもってそれぞれ多数個の反射格子（２３□）（２４
１）及びこの反射格子（２３Ｌ） （２４θの一端部ま
たは両端部ｌこ欠除部（２３ａ） （２４ａ）を有する
共通型ｍ （２３ｔ）（２４ｚ）を反射格子（２３□）
（２４１）それぞれの間をエツチング液が通り易いよう
に交互に設けた反射電極（ハ）ｅ４）とからなり、励振
電極Ｑ々の端子（２２ａ） （２２ｂ）間１こ印加され
る所定の周波数の信号電圧のみを圧’ｉＭ基板Ｃυの表
面波を利用して両側の反射電極Ｃ！３）Ｌ２４）の反射
格子（２３１） （２４１）により反射して再度励振電
極（２功にフィードバックし、所定の周波数により直接
発振を行なうようになっている。
この様な構造にすること゛により共通電極（２３２）（
ｚｔＪは反射格子（２３θ（２４１）を介して連接され
ているので、反射格子（２３１） （２４ｔ）の電界に
よる帯電を防止し得るのは従来のものとほぼ同縁の効果
が形成されているので製造工程中のエツチング時にも反
射格子（２３ｓ） （２４ｓ）それぞれの間の部分のエ
ツチング液の通りが良好となり、励振電極（２りと反射
電極（ハ）（２優を同一エツチング条件でエツチングし
ても極めて特性の良好な弾性表面波共振子を得ることが
可能となった。
ｚｔＪは反射格子（２３θ（２４１）を介して連接され
ているので、反射格子（２３１） （２４ｔ）の電界に
よる帯電を防止し得るのは従来のものとほぼ同縁の効果
が形成されているので製造工程中のエツチング時にも反
射格子（２３ｓ） （２４ｓ）それぞれの間の部分のエ
ツチング液の通りが良好となり、励振電極（２りと反射
電極（ハ）（２優を同一エツチング条件でエツチングし
ても極めて特性の良好な弾性表面波共振子を得ることが
可能となった。
上述の構成をとるととＩこより、本発明の弾性表面波共
振子は、反射電極の複数個の反射格子の電界による帯電
を防止つり、その上、共通電極に欠除部が設けられてい
るため、製造工程中のエツチング時１こも反射格子それ
ぞれの間の部分のエツチング液の通りが良好となり、反
射格子などの幅や圧電基板（すと反射格子などの接触部
の角度なども精密に仕上げられる。このため、励振電極
と反射電極を同一エツチング条件でエツチングしても極
めて特性の良好な弾性表面波共振子を得ることができる
。
振子は、反射電極の複数個の反射格子の電界による帯電
を防止つり、その上、共通電極に欠除部が設けられてい
るため、製造工程中のエツチング時１こも反射格子それ
ぞれの間の部分のエツチング液の通りが良好となり、反
射格子などの幅や圧電基板（すと反射格子などの接触部
の角度なども精密に仕上げられる。このため、励振電極
と反射電極を同一エツチング条件でエツチングしても極
めて特性の良好な弾性表面波共振子を得ることができる
。
第１図及び第２図は従来の弾性表面波共振子を示す図で
あり、第１図は平面図、第２図は要部拡大平面図、第３
図は本発明の弾性表面波共振子の一実施例を示す平面図
、第４図は本発明の弾性表面波共振子の他の実施例を示
す平面図である。 １．１１．２１・・・圧電基板 ２ ＃１２．２２・・
・励振電極３．４．１３．Ｌ４．２３．２４・・・反射
電極３１．４１，１３１１１４に、２３□２４．・・・
反射格子３□、４２１１３２，１４２１２３２，２４２
・・・共通電極２３ａ 、 ２４ａ・・・欠除部
あり、第１図は平面図、第２図は要部拡大平面図、第３
図は本発明の弾性表面波共振子の一実施例を示す平面図
、第４図は本発明の弾性表面波共振子の他の実施例を示
す平面図である。 １．１１．２１・・・圧電基板 ２ ＃１２．２２・・
・励振電極３．４．１３．Ｌ４．２３．２４・・・反射
電極３１．４１，１３１１１４に、２３□２４．・・・
反射格子３□、４２１１３２，１４２１２３２，２４２
・・・共通電極２３ａ 、 ２４ａ・・・欠除部
Claims (3)
- （１） 圧電基板の一生面に励振電極と、との励振電極
の両側に配設された反射電極とを具備し、前記反射電極
がそれぞれ複数個の反射格子と、この反射格子の両端部
を互に導接する一対の共通電極とからなる弾性表面波共
振子に於て、前記共通電極に欠除部が形成されているこ
とを特徴とする弾性表面波共振子 - （２）欠除部が一方の共通電極全部であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波共振子 - （３）欠除部が両方の共通電極に交互に設けられている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面
波共振子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19179184A JPS6084005A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19179184A JPS6084005A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 弾性表面波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6084005A true JPS6084005A (ja) | 1985-05-13 |
| JPH047606B2 JPH047606B2 (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=16280595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19179184A Granted JPS6084005A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6084005A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5799814A (en) * | 1980-10-23 | 1982-06-21 | United Technologies Corp | Surface sound wave reflector type resonator |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP19179184A patent/JPS6084005A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5799814A (en) * | 1980-10-23 | 1982-06-21 | United Technologies Corp | Surface sound wave reflector type resonator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047606B2 (ja) | 1992-02-12 |
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