JPS61226745A - 半導体集積回路製造用のスピンコート用レジスト組成物 - Google Patents

半導体集積回路製造用のスピンコート用レジスト組成物

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Publication number: JPS61226745A
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Prior art date: 1985-03-30
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Mitsunobu Koshiba

小柴　満信

Takao Miura

孝夫三浦

Yoshiyuki Harita

榛田　善行

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Japan Synthetic Rubber Co Ltd

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1985-03-30

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1985-03-30

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1986-10-08

1985-03-30 Application filed by Japan Synthetic Rubber Co Ltd filed Critical Japan Synthetic Rubber Co Ltd

1985-03-30 Priority to JP6498685A priority Critical patent/JPS61226745A/ja

1986-10-08 Publication of JPS61226745A publication Critical patent/JPS61226745A/ja

1993-08-25 Publication of JPH0558189B2 publication Critical patent/JPH0558189B2/ja

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