JPS61264237A - 液体中の微粒子計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野）゛ 本発明は、液体中の微粒子計測装置、特に、シースフロ
ーを微粒子計測装置に関する。

（従来の技術） 半導体製造過程においては極めて清浄な洗浄用水を大量
に必要とするところから、一定体積の洗浄用水中に含ま
れる微粒子の数を一定値以下１ζする必要がある。

前記洗浄用水中に含まれる微粒子を計測する従来技術と
して、散乱セル中に洗浄用水の一部をサンプル水として
導入し、これにタングステンランプによる光を入射光と
して照射して、そのときサンプル水の表面で生ずる散乱
光を光検出器によって受光し、これに基づいてサンプル
水中の微粒子の大きさ並びにその数を計測するようにし
ていた。

しかし、上記従来技術によれば、入射光が散乱セルの中
を横断する範囲の中で、散乱光検出領域以外に非検出領
域が存在し、この非検出領域からの散乱光が所謂バック
グラウンドとして有害となり、極微粒子の検出を行なう
のが困難になる。

これを解決する手段として、本願出願人は、シースフロ
ー型の液体中の微粒子計測装置を別途実用新案登録出願
しているところである。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明はシースフロー型液体中の微粒子計測装置におい
て、シースフロー液を簡便に得ること並びに計測装置の
校正時に用いる必要な標準校正液を簡便に得ることを目
的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため、第１の発明はサンプル取入口
に接続された圧力調整バルブの出口側に、第１流量計を
接続した第１流路と、流量バランス調整バルブと第２流
量計とフィルタ装置とを順次接続した第２流路とを並列
接続し、前記第１流路の終端及び第２流路の終端を散乱
セルに接続すると共に、前記散乱セルの出口側に流ｉ調
整バルブを接続した点に特徴がある。

又、第２の発明はサンプル取入口に接続された圧力調整
弁の出口側に、第１流量計を接続した第１流路と、流ｔ
４整バルブと第２流量計とフィルタ装置とを順次接続し
た第２流路とを並列接続し、前記第１流路の終端及び第
２流路の終端を散乱セルに接続すると共に、前記散乱セ
ルの出口側に流量調整バルブを接続し、更に、前記第１
流量計と散乱セルとの間に弁を設け、前記フィルタ装置
の出口側と前記弁との間に逆止弁を有する第８流路を設
けると共に、前記弁と逆上弁との間に、標準粒子供給装
置と標準粒子注入シリンジを互いに並列に接続した点に
特徴がある。

（作用） 上記第１の発明において、サンプル取入口から取入れら
れた洗浄用水は圧力調整バルブにより所定圧力に減圧さ
れた後、第１流路及び第２流路に分岐されて流れる。第
１流路側への洗浄水は第１流量計を経てサンプルとして
散乱セルに供給される。他方、第２流路側への洗浄水は
流量バランス調整バルブ、第２流量計を経てフィルタ装
置に至り、このフィルタ装置において濾過され、微粒子
を殆んど含まない純水となり、この純水はシースフロー
液として散乱セルに供給される。このように、サンプル
として取り入れられた洗浄用水の一部を濾過することに
よりシースフロー液を得ることができ、シースフロー用
の液ラインを別途設け“る必要がない。なお、流量バラ
ンス調整バルブは第１流路と第２流路のそれぞれの流量
バランスを調整し、又、流量ｙ４！！バルブは散乱セル
における気泡の発生を防止するためのバルブである。

そして、第２発明においては、フィルタ装置を出た濾過
水の一部を第８流路に導入し、一方、標準粒子供給装置
内に収容されている標準径の標準粒子（高濃度）を、前
記第８流路に接続された標準粒子注入シリンジ内に導入
しておき、前記第８流路を介して純水を前記シリンジ内
に導入することにより、標準粒子を所定濃度にまで希釈
することができる。このようにすることにより、所定濃
度の標準粒子を散乱セルに供給することができる。

（実施例） 次に、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。

図において、１は例えば半導体工場の洗浄ライン（図示
しない）に流れている洗浄用水を取り入れるためのサン
プル取入口である。２はこのサンプル取入口１に接続さ
れた圧力調整弁で、前記洗浄ライン内の洗浄水の圧力が
高い（例えば６に１）ので、これを所定圧力に減圧する
ための元圧調整弁として機能するものである。

１０は前記圧力調整弁２の出口側に接続された第１流路
で、第１流量計１１及び三方弁（図示するものは三方電
磁弁）１２を備え、その終端は散乱セルＳＣにおけるサ
ンプル射出用ノズル（図示しない）に接続されている。

この第１流路１０は圧力調整弁２で所定圧力に減圧され
た洗浄用水をサンプルとして散乱セルＳＣに供給するも
ので、第１流路１０を流れるサンプルの流量は第１流量
計１１によって測定される。

２０は前記第１流路１０と並列的に設けられる第２流路
で、流量バランス調整バルブ２１、第２流量計２２、フ
ィルタ装置２８を備え、その終端は散乱セルＳＣのシー
スフロー供給部（図示しない）に接続されている。流量
バランス調整バルブ２１は互いに並列接続された第１流
路１０と第２流路２０における液流量のバランス調整を
行なうバルブである。第２流量計２２は第２流路２０の
液流量を測定するものであり、その測定結果並びに＠１
流量計８の測定結果に基づいて、流量バランス調整バル
ブ２１が制御される。フィルタ装置２８は０．０５〜０
．１μｍ程度の微粒子を除去できる性能を有する例えば
薄膜フィルタが用いられる。

上述のように構成された第２流路２０においては、圧力
調整弁２で所定圧力に減圧された洗浄用水をフィルタ装
置２８によって濾過することにより、微粒子等不純物を
含まない純水が得られ、この濾過水はシースフロー液と
して散乱セルＳＣに供給される。

８０は前記フィルタ装置２８と散乱セルＳＣとの間の点
２４と前記三方弁１２との間を接続するようにして設け
られた第８流路で、３１はこの第８流路８０に設けられ
る逆上弁である。逆上弁８１と三方弁１２との間の点８
２には、標準粒子供給装置４１と標準粒子注入シリンジ
４２が互いに並列的に接続されている。標準粒子供給装
置４１は標準径を有する標準粒子を含む高濃度の標準液
を貯蔵しており、逆止弁４８を介して第８流路８０に接
続されている。なお逆上弁４８は標準粒子供給装置４１
と一体的に構成してあってもよい。標準粒子注入シリン
ジ４２は例えば電気的動力により駆動され、ピストンを
上下動することにより前記純水又は標準液を吸引し、こ
れを押し出すよう構成されている。８３は開閉弁、４４
はピストンである。

８は散乱セルＳＣの出口側に設けられる流量調整バルブ
で、散乱セルＳＣ内の圧力を所定圧に維持する仁とによ
り該セルｓｃ内における気泡の発生を防ぐバルブである
。４は排出口である。

上述の構成において、洗浄用水中の微粒子を測定する場
合、サンプル取入口から取入れられた洗浄用水は圧力調
整バルブ２によって所定圧力に減圧される。流量バラン
ス調整バルブ２１の適宜な開度調整により、前記洗浄用
水は第１流路１０と第２流路２０とに所定流量比となる
ように分岐される。

三方弁１２のｆａ８流路８０側への開口が閉じられてい
るから、第１流路１０側に分岐導入された洗浄水は第１
流路計１１、三方弁１２を経てサンプルとして散乱セル
ＳＣに供給される。

他方、第２流路２０側に分岐導入された洗浄用水は、流
量バランス調整バルブ２１、第２流量計２２を経てフィ
ルタ装置２８に至る。そして、このフィルタ装置２８を
通過する際、所定の濾過が行なわれて、フィルタ装置２
８を出た濾過水は極めて清浄な液となり、シースフロー
液として散乱セルＳＣに供給される。

そして、散乱セルＳＣの出口側には流量調整バルブ８が
設けてあり、このバルブ８が散乱セルＳＣ内の圧力をサ
ンプル取入口１の取入圧力より極端に低くならないよう
にして、散乱セルＳＣ内（ζおける気泡の発生を防止し
ている。

次に、散乱セルＳＣに所定１度に希釈された標準液を供
給して、微粒子計測装置の校正を行なうには、開閉弁３
８を閉状態、三方弁１２の＠８流路側の口を閉状態にし
ておき、標準粒子供給装置４１の元栓を開いて逆止弁４
３を介して所定量の標準液を第８流路８０側へ導入する
。このとき標準粒子注入シリンジ４２のピストン４４を
矢印り方向を移動させると、前記標準液がシリンジ４２
内に吸引される。次いで、開閉弁３３を開くと、接続点
２４を経てフィルタ装ｆｌｔ２Ｂからの純水が第８流路
３０に導入され、標準粒子シリンジ４２内に吸引導入さ
れる。そして、標準粒子供給装置４１からの標準液の量
に対して、第２流路２０からの純水を所定量シリンジ４
２内に牧人することにより、該シリンジ４２内のｍ＄粒
子の濃度が希釈され、計測装置の作動範囲内におさめる
ことができる。この場合、シリンジ４２のピストン動乍
を数回繰返して行なうと、所定濃度に希釈することがで
きる。なお、上記希釈された標準液が計測装置の乍動範
囲内であるか否かを判別するにはオシロスコープ又はモ
ニタ指示装置を用いればよい。

而して、三方弁１２を操作して、第８流路８０と散乱セ
ルＳＣとが連通された状態で、ピストン４４をＵ方向に
移動させると、シリンジ内の希釈された標準液が散乱セ
ルＳＣに供給され、所定の校正が行なわれる。

尚、上記三方弁１２に代えて二方弁を２個用いてもよい
。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明によればシースフロー液を
簡便に得ることができると共に、計測装置の校正時に用
いる標準粒子を簡単に所定濃度に希釈することができる
。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す構成図である。 １・・・サンプル取入口、２・・・圧力調整バルブ、８
・・・流量調整バルブ、１０・・・第１流路、１１・・
・第１流量計、１２・・・三方弁（弁）、２０・・・第
２流路、２１・・・流量バランス調整バルブ、２２・・
・第２流量計、２８・・・フィルタ装置、３０・・・第
８流路、８１・・・逆止弁、４１・・・標準粒子供給装
置、４２・・・標準粒子注入シリンジ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）サンプル取入口に接続された圧力調整バルブの出
   口側に、第１流量計を接続した第１流路と、流量バラン
   ス調整バルブと第２流量計とフィルタ装置とを順次接続
   した第２流路とを並列接続し、前記第１流路の終端及び
   第２流路の終端を散乱セルに接続すると共に、前記散乱
   セルの出口側に流量調整バルブを接続したことを特徴と
   する液体中の微粒子計測装置。
2. （２）サンプル取入口に接続された圧力調整弁の出口側
   に、第１流量計を接続した第１流路と、流量バランス調
   整バルブと第２流量計とフィルタ装置とを順次接続した
   第２流路とを並列接続し、前記第１流路の終端及び第２
   流路の終端を散乱セルに接続すると共に、前記散乱セル
   の出口側に流量調整バルブを接続し、更に、前記第１流
   量計と散乱セルとの間に弁を設け、前記フィルタ装置の
   出口側と前記弁との間に逆止弁を有する第３流路を設け
   ると共に、前記弁と逆止弁との間に、標準粒子供給装置
   と標準粒子注入シリンジを互いに並列に接続したことを
   特徴とする液体中の微粒子計測装置。