JPS61275672A - コイルを備えた磁気検出器 - Google Patents
コイルを備えた磁気検出器Info
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- JPS61275672A JPS61275672A JP11661685A JP11661685A JPS61275672A JP S61275672 A JPS61275672 A JP S61275672A JP 11661685 A JP11661685 A JP 11661685A JP 11661685 A JP11661685 A JP 11661685A JP S61275672 A JPS61275672 A JP S61275672A
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- Pending
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Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業の技術分野〕
本発明は、基板上にコイルを設けて磁気検出する検出器
に関する。
に関する。
〔在来技術の課題と該課題を解決する手段〕従来、磁気
検出をするのに、超小形のコイルを適当な形体、例えば
渦巻形に形成し、該コイルに外部磁界を検出するとか、
コイルに変化磁界を発生して外部の磁性体の接近等を検
出することが行なわれていた。しかしながら従来の検出
は小型に高精度のものが得られなかった。
検出をするのに、超小形のコイルを適当な形体、例えば
渦巻形に形成し、該コイルに外部磁界を検出するとか、
コイルに変化磁界を発生して外部の磁性体の接近等を検
出することが行なわれていた。しかしながら従来の検出
は小型に高精度のものが得られなかった。
そのため、いま小形コイルを低コストで精密に製作する
ことが第一の課題であシ、該コイルを基板に特性を低下
させることなく固着し小型で感度の高い検出器を形成す
るのが第二の課題である。
ことが第一の課題であシ、該コイルを基板に特性を低下
させることなく固着し小型で感度の高い検出器を形成す
るのが第二の課題である。
第三の課題は基板の改良によシ更に感度の高い検知をで
きるものを提供することである。
きるものを提供することである。
本発明の検知器コイルについて、超小形のものであるが
、該コイルの製作方法を説明し在来のも ：のよシ
も極めて小形であシ有効性が高いコイルであることを明
瞭にする。一つの実施例では、該コイルは最小限所要厚
さのセラミック製薄板を基板にし該基板に導電性材の所
要厚さの層を接着する。
、該コイルの製作方法を説明し在来のも ：のよシ
も極めて小形であシ有効性が高いコイルであることを明
瞭にする。一つの実施例では、該コイルは最小限所要厚
さのセラミック製薄板を基板にし該基板に導電性材の所
要厚さの層を接着する。
次に前記セラミック薄板の接着導電性層をレーザーを照
射して、数値（ＮＣ）制御等により所要形状に走査して
カットし所要の小形コイルを、所要ギャップを設けて所
要幅と所要高さのものとして、成形する。在来技術の一
般的なレーザーを用いない通常の方法では、コイルとギ
ャップのそれぞれの幅が数Ｕ程度の大きさまでであった
が、前記のレーザーカットの方法では数ミクロン程度の
小形なものを得ることができた。前記セラミック薄板と
しては、例えばＰＺＴ材水晶等の電歪材を用いて振動検
出することができる。
射して、数値（ＮＣ）制御等により所要形状に走査して
カットし所要の小形コイルを、所要ギャップを設けて所
要幅と所要高さのものとして、成形する。在来技術の一
般的なレーザーを用いない通常の方法では、コイルとギ
ャップのそれぞれの幅が数Ｕ程度の大きさまでであった
が、前記のレーザーカットの方法では数ミクロン程度の
小形なものを得ることができた。前記セラミック薄板と
しては、例えばＰＺＴ材水晶等の電歪材を用いて振動検
出することができる。
また金属板等を基板とする場合は表面に絶縁被覆層を形
成し、この上に導体コイルを形成するようにする。
成し、この上に導体コイルを形成するようにする。
レーザーカットによシ形成したコイルの端末にはリード
線を接続して信号を検出し、基板を高周波振動をさせ、
磁気検出器を構成する。
線を接続して信号を検出し、基板を高周波振動をさせ、
磁気検出器を構成する。
本発明を一実施例を挙げて図面に基づいて説明する。第
１図は基板１ｔ−振動片として端部を支持体１０にセッ
トし、上面に導電材の銅板４ｔ−接着しである。銅板に
発振器１１から反射鏡１２及び集束レンズ１３全通して
ＹＡＧレーザ−１４を照射し図示しない装置によシＮＣ
制御して走査しコイル形状の高精度の形状寸法をもつコ
イル３ｆ：レーザーカットして形成する。コイル３の両
端にリード線７，８ｔ−接着し端子６から外部のメータ
９に接続する。振動片１のコイル形成の下面に電極板２
を蒸着し、上面のコイル３とこの電極板２間に高周波電
圧を加える電源５を設ける。第２図は第１図の上面図で
ある。
１図は基板１ｔ−振動片として端部を支持体１０にセッ
トし、上面に導電材の銅板４ｔ−接着しである。銅板に
発振器１１から反射鏡１２及び集束レンズ１３全通して
ＹＡＧレーザ−１４を照射し図示しない装置によシＮＣ
制御して走査しコイル形状の高精度の形状寸法をもつコ
イル３ｆ：レーザーカットして形成する。コイル３の両
端にリード線７，８ｔ−接着し端子６から外部のメータ
９に接続する。振動片１のコイル形成の下面に電極板２
を蒸着し、上面のコイル３とこの電極板２間に高周波電
圧を加える電源５を設ける。第２図は第１図の上面図で
ある。
図において、振動片１に電歪振動（ＰＺＴ）板０゜０８
Ｂ厚さのものを用い、この上面に厚さ０．０４鶴の銅板
４を接着した。その銅板にＹＡＧレーザ−ビーム１４に
照射し図示コイル形状に走査しカットし、コイル幅１０
ミクロンでコイル間隔１０ミクロンの第２図に示す渦巻
形コイル３を製作した。コイルは４０Ｔにした。この場
合、振動板１の下面に０．０２１Ｌｌ厚さの銅蒸着膜か
ら成る電極板２を形成しコイル３と電極板２間に電歪振
動用の高周波電源５を回路１５と１６で接続した。電源
５によって４０ ｋＨｚの高周波電流を加えて振動を起
させた。この振動板１の振動によってコイル３を振動さ
せながら磁気検出し九とき４０Ｇの磁気検出することが
でき、そのときコイル３の検出電圧は２５ｍＶであった
。
Ｂ厚さのものを用い、この上面に厚さ０．０４鶴の銅板
４を接着した。その銅板にＹＡＧレーザ−ビーム１４に
照射し図示コイル形状に走査しカットし、コイル幅１０
ミクロンでコイル間隔１０ミクロンの第２図に示す渦巻
形コイル３を製作した。コイルは４０Ｔにした。この場
合、振動板１の下面に０．０２１Ｌｌ厚さの銅蒸着膜か
ら成る電極板２を形成しコイル３と電極板２間に電歪振
動用の高周波電源５を回路１５と１６で接続した。電源
５によって４０ ｋＨｚの高周波電流を加えて振動を起
させた。この振動板１の振動によってコイル３を振動さ
せながら磁気検出し九とき４０Ｇの磁気検出することが
でき、そのときコイル３の検出電圧は２５ｍＶであった
。
なお、勿論高周波電源５によシ振動させなくても検出が
できるが、検出感度を上げるには振動させた方がよい。
できるが、検出感度を上げるには振動させた方がよい。
基板には電歪振動材以外のセラミック、絶縁被膜形成物
等任意に利用できる。
等任意に利用できる。
以上のように本発明はレーザーカットを利用したので、
在来法によるコイルよシも著しく小形に且つ高精度に形
成することができ、この超小形のコイルを利用して検出
器を小形に製作することができた。コイル基板に電歪振
動片を利用することができ、高周波振動を起させながら
検出することによシ高感度の磁気検出することができた
。このような検出器は小形であシ、製作が容易でコスト
が低く、効率よく検出することができた。
在来法によるコイルよシも著しく小形に且つ高精度に形
成することができ、この超小形のコイルを利用して検出
器を小形に製作することができた。コイル基板に電歪振
動片を利用することができ、高周波振動を起させながら
検出することによシ高感度の磁気検出することができた
。このような検出器は小形であシ、製作が容易でコスト
が低く、効率よく検出することができた。
第１図は本発明の一実施例の検出器の側面図で、第２図
はその上面図である。
はその上面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ セラミックその他の絶縁材表面もしくは絶縁被覆層
表面に導電材を接着した層を設け、該導電材層に集束レ
ーザービームを照射し走査して所要形状にカットしたコ
イルを形成し、該コイルの端末に検出リード線を接続し
て成ることを特徴としたコイルを備えた磁気検出器。 ２ 導電材の接着基板に電歪材を用いた特許請求の範囲
の第１項に記載のコイルを備えた磁気検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11661685A JPS61275672A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | コイルを備えた磁気検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11661685A JPS61275672A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | コイルを備えた磁気検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61275672A true JPS61275672A (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=14691590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11661685A Pending JPS61275672A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | コイルを備えた磁気検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61275672A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016217729A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 測定装置 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11661685A patent/JPS61275672A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016217729A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 測定装置 |
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