JPS61282224A

JPS61282224A - 搬送装置の出し入れ口装置

Info

Publication number: JPS61282224A
Application number: JP12115585A
Authority: JP
Inventors: Teruo Kurihara; 栗原　照男
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1985-06-04
Filing date: 1985-06-04
Publication date: 1986-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は清浄環境、いわゆるクリーンルーム忙設置さ
れた搬送装置に設けられるものであって発塵の少な１出
［、入れ口装置の構成に関するものである。

〔従来の技術〕

まず、第２〜第４図によって例えば実開昭５６−４７８
７４号公報に示されたものに類似したドアー開閉装置が
出し入れ口に設けられた従来の搬送装置を説明する。

図中、（１）は立設された移動路で、　　（１ａ）は移
動路（１）の周壁、　＋２１　（２’）はそれぞれ−側
の周壁（１ａ）に設けられた出し入れ口で、（２）は建
物（図示しない）の１階用の出し入れ口、　　（２’）
は２階用の出し入れ口、　　（２ａ）は出し入れ口＋２
１　（２’）の上下方向に沿う縁部に設けられて溝（２
ｂ）が凹設された案内ｖ　−ｐｗ　、　　（２ｃ　）は
両俳縁部がそれぞれ＃１（２１））　Ｉｃ移動可能に嵌
合された引き戸、　　（２ｄ）は周壁（１ａ）ｋ固定さ
れて引き戸（２Ｃ）に連結ζ終、引き戸（２ｃ）を上下
方向へ開閉動作させるニア°シリンダからなる駆動機構
、（３）は移動路（１）頂部に設けられ駆動綱車（３ａ
）を持つ巻上機、（４）は移動路（１）内忙立設された
レール、（５）は移動路（１）内に配置された搬器で、
　　（５ａ）は搬器（５）に枢着されてレール（４）を
挾持した複数のローラからなる案内装置、（６）は搬器
（５１に隣接し移動路（１１に配ｆｉｌれたっり合おも
り。

（７）は駆動綱車（３ａ）に巻き掛けられて一端処搬器
（５）、他端につり合おもり（６）が連結されたロープ
。

（８）は移動路（１１の長手に沿って配置され周壁（１
ａ）の−面と搬器（５）の移動経路との間忙空間（９）
を形成して設けられたＨ　Ｋ　Ｐ　Ａ　（Ｈｌｇｈ　Ｆ
！ｆｆ１ｃｉｅｎｃｙ　ＰａｒｔｉｃｕｌａｔθＡｉｒ
）フィルターからなるフィルター。

鵠は移動路（１）の長手に沿って設けられて搬器（１５
１。

つり合おもす（６）それぞれの移動経路の間に配置され
、フィルター（８）＃の周壁（１ａ）と対向した周壁（
１ａ）との間に空間ａｌｌを形成して配置されたパンチ
ングメタル等の多孔板、αりは移動路（１）に対応して
設けられた送風装置とフィルター（８）を主体とする空
気清浄装置で、　　（１２ａ）はフィルター（８）側の
周壁（１ａ）　ＩＣ開口した空気清浄装置ａコの吹出し
管路。

（１２ｂ）は多孔板（ＩＯ側の周壁（１ａ）Ｋ開口した
空気清浄装置０２の吸込み管路、　　（１２ｃ）は空気
清浄装置ａ２の送風機で；矢印Ａは移動路ｆ１１のフィ
ルター（８１と多孔板α〔の間における空気清浄装置Ｕ
Ｋよる空気流、α９は搬器（５）によって搬送される半
導体等の搬送品である。

すなわち１巻上機（３）が付勢されて駆動綱車（３ａ）
が回転し、ロープ（７）を介し搬器（５）がレール（４
）に案内されて移動して搬送品（１３が一方の出し入れ
口（２）から他方の出り入れ口（２つへ搬送され、また
搬送に伴って引き戸（２Ｃ）が開閉される。一方、搬送
品（１３等によって移動路（１１内に進入する塵埃をフ
ィルター（８１によって捕捉するため空気清浄装置α２
が運転され、吹出し管路（１２ａ）を経てフィルター（
８）から清浄化され九層状の空気流人によヴ移動路（１
）の空気清浄度が維持される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の搬送装置では、フィルター（８）等
によって移動路（１１の空気清浄化が行なわれるものの
引き戸（２Ｃ）の動作により主として案内レール（２ａ
）箇所から発塵して移動路（１）の空気清浄度が低くな
る問題点があった。

この発明は上記問題点の解消を目的とするもので９出し
入れ口の引き戸による空気清浄度の低下の少な−搬送装
置の出し入れ口装置を提供しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかわる搬送装置の出し入れ口装置は、引き
戸の縁部が嵌合１だ溝状部を持つ縁部構成体が出り入れ
口に設けられて、溝状部内に吸入部が開口した排気装置
が設けられる。

〔作用〕

この発明では排気装置により出し入れ口の縁部構成体に
おける溝状部内の空気が排出され引き戸による発塵の移
動路内への流入が阻止される。

〔実施例〕

以下、第１図によってこの発明の一実施例を説明する。

図中、第２〜第４図と同符号は相当部分を示し。

（２ａ）は出し入れ口〔２）の引き戸（２ｃ）の動作方
向に沿う縁部に設けられて−９に開口して引き戸（２Ｃ
）縁部が移動可能に係合された溝状部（２ｂ）を持つ縁
部構成体、　（１４１は周壁（１ａ）に固定された排気
装置で、　　（１４ａ）は縁部構成体（２ａ）の溝状部
（２ｂ）の溝底面に開口し、かつ縁部構成体（２ａ）の
長手に互いに離れて配置された排気装置Ｉの吸入部、　
　（１４ｂ）は清浄環境外へ配管された排気装置α４の
排気部である。

すなわち、排気装置ａ４が付勢されてそれのポンプ（図
示しない）に↓り溝状部（２ｂ）内の空気が清浄環境外
へ排気される。これ釦よって引き戸（２ｃ）の動作釦よ
る発塵は移動路（１）の空気とともに吸引されて溝状部
（２ｂ）を経て排出される。したがって、出し入れ口＋
２１　（２勺の引き戸（２ｃ）の動作時等による発塵に
よって生じる空気清浄度の低下を防ぐことができ、容易
に所要の空気清浄度を維持することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したとおりこの発明は１周壁によって囲まれて
適所に出り入れ口が設けられた移動路を＃動する搬器と
、移動路を清浄化する空気清浄装置と、出し入れ口を開
閉する引き戸とが設けられたものに、引き戸の縁部が移
動可能に嵌合された溝状部が設けられて、出し入れ口の
縁部に引き戸の動作方向に沿って配置された縁部構成体
と、吸入部が溝状部に開口して溝状部の空気を排出する
排気装置とを設けたものである。これによって引き戸に
よる発塵が移動路の空気とともに吸引されて溝状部を経
て排出される。したがって引き戸の発塵による空気清浄
度の低下を防ぐことができ。

容易に所要の空気清浄度を得ることができる搬送装置の
出し入れ口装置を実現するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による搬送装置の出し入れ口装置の一
実施例を示す図で後述する第３図相当図。第２図は従来の搬送装置を一部縦断して示す正面概念図
、第３図は第２図の■−■線断面拡大図。第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線断面図である。＋１１・・・移動路、　　（１ａ）・・・周壁、　＋２
１　（２’）・・・出し入れ口、　　（２ａ）−０縁部
構成体、　　（２１））・、、溝状部ｅ　（２ｃ）・・
・引き戸、（５）・・・搬器、α２・・・空気清浄装置
、α４・・・排気装置、　　（１４ａ３・・・吸入部。なお９図中同一部分または相当部分は同一符号により示
す。富　２　図

Claims

【特許請求の範囲】

周壁によつて囲まれて上記周壁の適所に出し入れ口が設
けられた移動路、この移動路を移動して上記出し入れ口
に対向して停止する搬器、上記移動路内を清浄化する空
気清浄装置及び上記出し入れ口を開閉する引き戸とが設
けられたものにおいて、上記出し入れ口の上記引き戸の
動作方向に沿う縁部に設けられて長手に沿う一側に開口
して上記引き戸の縁部が嵌合された一状部を有する縁部
構成体と、この縁部構成体の溝内に吸入部が開口し上記
溝内の空気を排出する排気装置とを備えたことを特徴と
する搬送装置の出し入れ口装置。