JPS6153545A - 定加速度試験用治具 - Google Patents
定加速度試験用治具Info
- Publication number
- JPS6153545A JPS6153545A JP59176006A JP17600684A JPS6153545A JP S6153545 A JPS6153545 A JP S6153545A JP 59176006 A JP59176006 A JP 59176006A JP 17600684 A JP17600684 A JP 17600684A JP S6153545 A JPS6153545 A JP S6153545A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- package
- jig
- groove
- grooves
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
- G01R31/2881—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to environmental aspects other than temperature, e.g. humidity or vibrations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は定加速度試験用治具、特に試料の定加速度試験
用分割量産型ロータに関する。
用分割量産型ロータに関する。
試料例えば集積回路が形成された半導体チップを封止し
た集積回路（ＩＣ）パッケージを大量に定加速度試験す
るに際しては、遠心分離方式の円筒形輪郭の量産型ロー
タが使用され、このロータを高速回転して３万Ｇの加速
度をＩＣパッケージに加えてＩＣパッケージの機械的強
度を試験する。このような加速度を加えるとＩＣパッケ
ージのどこかに欠点がある場合機械的強度の最も弱いと
ころから剥離、ひび割れ等が発生して当該ＩＣパッケー
ジの良否が判定される。そしてかかる試験はＩＣパッケ
ージの製造工場において頻繁に行われる重要な過程であ
る。
た集積回路（ＩＣ）パッケージを大量に定加速度試験す
るに際しては、遠心分離方式の円筒形輪郭の量産型ロー
タが使用され、このロータを高速回転して３万Ｇの加速
度をＩＣパッケージに加えてＩＣパッケージの機械的強
度を試験する。このような加速度を加えるとＩＣパッケ
ージのどこかに欠点がある場合機械的強度の最も弱いと
ころから剥離、ひび割れ等が発生して当該ＩＣパッケー
ジの良否が判定される。そしてかかる試験はＩＣパッケ
ージの製造工場において頻繁に行われる重要な過程であ
る。
前記したＩＣパッケージの定加速度試験のための冶具の
ロータとしては、先ず第２図の平面図に示されるものが
提案された。図において、■はロータを示し、このロー
タの中心に穴２が形成され、この穴２に図示しないモー
タの回転・袖が固定されてモータの回転によりロータ１
が■ｉ速回転する。
ロータとしては、先ず第２図の平面図に示されるものが
提案された。図において、■はロータを示し、このロー
タの中心に穴２が形成され、この穴２に図示しないモー
タの回転・袖が固定されてモータの回転によりロータ１
が■ｉ速回転する。
３はアダプタでこの内に例えば３１固のＩＣノマンケー
ジ４を収納する。かかる治具においては、ロータ１の中
心からそれぞれのＩＣパッケージへの距離と方向とがそ
れぞれ異なり、前記した定加速度試験においては、各Ｉ
Ｃパンケージはロータの中心から等距離、等方向に配置
されていなければならないので、定加速度試験用治具と
しては不通である。
ジ４を収納する。かかる治具においては、ロータ１の中
心からそれぞれのＩＣパッケージへの距離と方向とがそ
れぞれ異なり、前記した定加速度試験においては、各Ｉ
Ｃパンケージはロータの中心から等距離、等方向に配置
されていなければならないので、定加速度試験用治具と
しては不通である。
そこで第３図に示される治具が提案され（なお、第３図
以下において第２図に示した部分と同じ部分は同一符号
を付して表示する）、このロータ１においてはアダプタ
３をロータの外縁に沿って等間隔で配置するものである
。しかし、この提案によると、１度に多くて８個のＩＣ
パッケージしか試験できないので量産型でない。
以下において第２図に示した部分と同じ部分は同一符号
を付して表示する）、このロータ１においてはアダプタ
３をロータの外縁に沿って等間隔で配置するものである
。しかし、この提案によると、１度に多くて８個のＩＣ
パッケージしか試験できないので量産型でない。
そこで、第４図（ａ）の平面図と同図のＢ−Ｂ’線に沿
う断面図である第４図（ｂｌの断面図に示される治具が
開発された。ロータ１は例えばアルマイト処理を施した
Ａｌで作った円筒形のものであり、このロータ１にはそ
の中心から等距離、等間隔で配置された溝５が設げてあ
り、この溝５内にＩＣパッケージを入れる。そのために
は、第５図の斜視図に示すスティック６を用い、このス
ティック６はＩＣパッケージ４のフラット面にマグネッ
トを用いて付着するものであり、更にＩＣパッケージを
強固に保持するための１対の保持爪６ａを備えている。
う断面図である第４図（ｂｌの断面図に示される治具が
開発された。ロータ１は例えばアルマイト処理を施した
Ａｌで作った円筒形のものであり、このロータ１にはそ
の中心から等距離、等間隔で配置された溝５が設げてあ
り、この溝５内にＩＣパッケージを入れる。そのために
は、第５図の斜視図に示すスティック６を用い、このス
ティック６はＩＣパッケージ４のフラット面にマグネッ
トを用いて付着するものであり、更にＩＣパッケージを
強固に保持するための１対の保持爪６ａを備えている。
なお、第５図において４ａはＩＣパッケージ４のリード
を示す。
を示す。
ところで、ＩＣパッケージの機械的強度は第５図に見て
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向について試験されるが、そのうち図に見
てＸ方向の強度試験が最も重要であり、その試験が図示
の治具を用いてなされるのである。なお、第４図（ｂｌ
には説明のため左の溝内にのみＩＣパッケージを置いた
状態が示されるが１、試験に際してはすべての溝にＩＣ
パンケージを入れるものである。
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向について試験されるが、そのうち図に見
てＸ方向の強度試験が最も重要であり、その試験が図示
の治具を用いてなされるのである。なお、第４図（ｂｌ
には説明のため左の溝内にのみＩＣパッケージを置いた
状態が示されるが１、試験に際してはすべての溝にＩＣ
パンケージを入れるものである。
上記のロータとスティックを用いる場合に、試験実施の
ときにＩＣパッケージをステインクに取り付け、それか
らロータ内の溝に挿入し、試験が終るとロータからＩＣ
パッケージをステインクと共に取り出し、次いでＩＣパ
ッケージとスティックとを分離するというように手間が
２度必要になる。このことは１．前記した如く定加速度
試験が大量のＩＣパンケージについて頻繁に行われるこ
とを考慮するとかなりの時間と労力の浪費になる。スイ
ツタを省略することも提案されたが、スティックを用い
ないとＩＣパッケージを取り外すときに不便であること
が判明した。
ときにＩＣパッケージをステインクに取り付け、それか
らロータ内の溝に挿入し、試験が終るとロータからＩＣ
パッケージをステインクと共に取り出し、次いでＩＣパ
ッケージとスティックとを分離するというように手間が
２度必要になる。このことは１．前記した如く定加速度
試験が大量のＩＣパンケージについて頻繁に行われるこ
とを考慮するとかなりの時間と労力の浪費になる。スイ
ツタを省略することも提案されたが、スティックを用い
ないとＩＣパッケージを取り外すときに不便であること
が判明した。
また、溝５からスティックをＩＣパッケージと共に取り
出すときには、ロータを斜め下方に向けてスティックが
溝から外に出るようにするのであるが、そのとき、上方
の溝内にあったＩＣパッケージのり一ド４ａが損傷する
おそれがある。
出すときには、ロータを斜め下方に向けてスティックが
溝から外に出るようにするのであるが、そのとき、上方
の溝内にあったＩＣパッケージのり一ド４ａが損傷する
おそれがある。
本発明は、上記問題点を解消した定加速度試験において
大量のＩＣパッケージを１度に試験するに用いる冶具の
ための量産型ロータを提供するもので、その手段は、試
料の定加速度試験に用いる治具において、ほぼ円筒形の
ロータを上下方向にＮ等分に分割して取外し可能な分割
部を形成しくただしＮは２以上の整数）、各分割部には
治具の中心から等距離、等方向に配置された試料を収納
する溝を設けたことを特徴とする定加速度試験用治具に
よってなされる。
大量のＩＣパッケージを１度に試験するに用いる冶具の
ための量産型ロータを提供するもので、その手段は、試
料の定加速度試験に用いる治具において、ほぼ円筒形の
ロータを上下方向にＮ等分に分割して取外し可能な分割
部を形成しくただしＮは２以上の整数）、各分割部には
治具の中心から等距離、等方向に配置された試料を収納
する溝を設けたことを特徴とする定加速度試験用治具に
よってなされる。
前記治具を用いるときは、従来のスティックを用いるこ
となく、取外しが容易になり、個々の分割されたロータ
を取り出すことができるので、ＩＣパッケージをロータ
から容易に、かつ、リードなどに損傷を与えることなく
取り出すことが可能になる。
となく、取外しが容易になり、個々の分割されたロータ
を取り出すことができるので、ＩＣパッケージをロータ
から容易に、かつ、リードなどに損傷を与えることなく
取り出すことが可能になる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
本発明にがかる治具は第１図（ａｌに平面図で示され、
第１図（ｂ）はロータの中心線に沿う断面図、第１図（
Ｃ１はロータの四分割部の一つの斜視図である。
第１図（ｂ）はロータの中心線に沿う断面図、第１図（
Ｃ１はロータの四分割部の一つの斜視図である。
同図において、１１はロータ、ｌｌａ、 ｌｌｂ、 Ｉ
ｌｃ。
ｌｃ。
ｌｉｄはそれぞれロータを上下方向に４等分した四分割
部の一つを示す。これら四分割を組み合せる輪郭ほぼ円
筒形の治具の中心部分には穴１２が設けられ、このよう
にして作られる穴１２に従来例の如くモーフの回転軸が
固定される。ロータ１１の各四分割部のそれぞれにはそ
の中心から等距離、等方向に配置された溝１３が高密度
に設けられ、溝１３は第１図（ａｌにはロータの四分割
の一つにのみ示されるが、同じ溝はその他の四分割部に
も同様に設けられている。
部の一つを示す。これら四分割を組み合せる輪郭ほぼ円
筒形の治具の中心部分には穴１２が設けられ、このよう
にして作られる穴１２に従来例の如くモーフの回転軸が
固定される。ロータ１１の各四分割部のそれぞれにはそ
の中心から等距離、等方向に配置された溝１３が高密度
に設けられ、溝１３は第１図（ａｌにはロータの四分割
の一つにのみ示されるが、同じ溝はその他の四分割部に
も同様に設けられている。
溝１３は、第１図（ｂ）と（Ｃ１に示される如くロータ
１１の深さ方向に延び底１３ａで終り、この底１３ａの
上に試料例えばＩＣパッケージ（図示せず）がのせられ
る。そしてロータの内方に面する側には溝１３に平行に
延びる細溝１ｊｂが形成されている。ＩＣパッケージが
溝内にきっちりと納まり、四分割部１１ａを（頃けても
ＩＣパッケージが出てこないときは、このｌｌｌ１ｉ１
３ｂからピンまたは棒を入れてＩＣパッケージを外に出
すことができる。
１１の深さ方向に延び底１３ａで終り、この底１３ａの
上に試料例えばＩＣパッケージ（図示せず）がのせられ
る。そしてロータの内方に面する側には溝１３に平行に
延びる細溝１ｊｂが形成されている。ＩＣパッケージが
溝内にきっちりと納まり、四分割部１１ａを（頃けても
ＩＣパッケージが出てこないときは、このｌｌｌ１ｉ１
３ｂからピンまたは棒を入れてＩＣパッケージを外に出
すことができる。
ロータ１１は前記の如く四分割部１１ａ、 ｌｌｂ、、
、で構成されてはいるが、環状の外廓部１４内にきっち
りと納まるよう設定されているので、ロータが３万Ｇの
加速度を発生する程度に高速回転しても配置が乱される
ことはない。そして、ＩＣパッケージは、従来例の如く
スティック等の補助部材を用いることなく溝１３に入れ
ることができる。
、で構成されてはいるが、環状の外廓部１４内にきっち
りと納まるよう設定されているので、ロータが３万Ｇの
加速度を発生する程度に高速回転しても配置が乱される
ことはない。そして、ＩＣパッケージは、従来例の如く
スティック等の補助部材を用いることなく溝１３に入れ
ることができる。
高速度回転が所定の時間経過後終了せしめられると、四
分割部１１ａ、 ｌｌｂ、、、をそれぞれ取り出し、斜
めに傾けて溝１３に入っているＩＣパッケージを外に出
す。それ故に、従来例の場合の如くロータを傾けたとき
上の方のＩＣパッケージがＪＭ （Ｘを受けることはな
い。
分割部１１ａ、 ｌｌｂ、、、をそれぞれ取り出し、斜
めに傾けて溝１３に入っているＩＣパッケージを外に出
す。それ故に、従来例の場合の如くロータを傾けたとき
上の方のＩＣパッケージがＪＭ （Ｘを受けることはな
い。
ロータの四分割部は従来の如くアルマイト処理したＡβ
で、またはその他の適当な材料で作る。
で、またはその他の適当な材料で作る。
上記の例では、ロータを四分割部で構成したが、ＩＣパ
ンケージとロータの寸法に応じてロータを６分割部、８
分割部、１００．で構成することもできる。
ンケージとロータの寸法に応じてロータを６分割部、８
分割部、１００．で構成することもできる。
また、上記の例ではＩＣパッケージの試験について説明
したが、本発明の適用範囲はその場合に限定されるもの
でなく、その他の試料の機械的強度試験の場合にも及ぶ
ものである。
したが、本発明の適用範囲はその場合に限定されるもの
でなく、その他の試料の機械的強度試験の場合にも及ぶ
ものである。
以上説明したように本発明によれば、遠心分離機方式の
定加速度試験に用いるロータを等分割した分割部により
構成し、各分割部に高密度に設けた溝内に試料を入れ、
各分割部を組み合せて−っのロータとし、このロータを
高速回転して定加速度試験を行い、ロータの高速回転後
は分割部毎に ｊ□外に出しそれを傾けるこ
とにより試料を取り出すのであるから、従来例のステイ
ンクの如き補助部材を用いることなく、試料をロータか
ら容易に、かつ、試料になんら損傷を与えることなく取
り出しうるので、大量の試料の定加速度試験が、効率良
くまた信頼性を損なうことな〈実施することが可能であ
る。
定加速度試験に用いるロータを等分割した分割部により
構成し、各分割部に高密度に設けた溝内に試料を入れ、
各分割部を組み合せて−っのロータとし、このロータを
高速回転して定加速度試験を行い、ロータの高速回転後
は分割部毎に ｊ□外に出しそれを傾けるこ
とにより試料を取り出すのであるから、従来例のステイ
ンクの如き補助部材を用いることなく、試料をロータか
ら容易に、かつ、試料になんら損傷を与えることなく取
り出しうるので、大量の試料の定加速度試験が、効率良
くまた信頼性を損なうことな〈実施することが可能であ
る。
第１図（ａｌと（ｂ）は本発明実施例の平面図と断面図
、同図ｔｃ）は同図（ａｌのロータの四分割部の一つの
斜視図、第２図と第３図は従来提案されたロータの平面
図、第４図（ａ）と（１））は従来例ロータの平面図と
断面図、第５図はスティックに組み合わされたＩＣパッ
ケージの斜視図である。 回申、１１はロータ、Ｉｌａ、 ｌｌｂはロータの四分
割部、１２は穴、１３は溝、１３ａは溝１３の底、１３
ｂはフ■溝、１４は外廓部、をそれぞれ示す。 第１図 （Ｑ） １１ｃ ｌｌｄ 第１図 （ｂ） （Ｃ） 第２図 第３図
、同図ｔｃ）は同図（ａｌのロータの四分割部の一つの
斜視図、第２図と第３図は従来提案されたロータの平面
図、第４図（ａ）と（１））は従来例ロータの平面図と
断面図、第５図はスティックに組み合わされたＩＣパッ
ケージの斜視図である。 回申、１１はロータ、Ｉｌａ、 ｌｌｂはロータの四分
割部、１２は穴、１３は溝、１３ａは溝１３の底、１３
ｂはフ■溝、１４は外廓部、をそれぞれ示す。 第１図 （Ｑ） １１ｃ ｌｌｄ 第１図 （ｂ） （Ｃ） 第２図 第３図
Claims (1)
- 試料の定加速度試験に用いる治具において、ほぼ円筒
形のロータを上下方向にＮ等分に分割して取外し可能な
分割部を形成し（ただしＮは２以上の整数）、各分割部
には治具の中心から等距離、等方向に配置された試料を
収納する溝を設けたことを特徴とする定加速度試験用治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176006A JPS6153545A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 定加速度試験用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176006A JPS6153545A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 定加速度試験用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153545A true JPS6153545A (ja) | 1986-03-17 |
Family
ID=16006064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59176006A Pending JPS6153545A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 定加速度試験用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153545A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03206326A (ja) * | 1990-01-09 | 1991-09-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コンバーチブルガスタービンエンジン |
| JP2020004785A (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-09 | 株式会社ディスコ | デバイスチップの強度検出方法 |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP59176006A patent/JPS6153545A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03206326A (ja) * | 1990-01-09 | 1991-09-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コンバーチブルガスタービンエンジン |
| JP2020004785A (ja) * | 2018-06-26 | 2020-01-09 | 株式会社ディスコ | デバイスチップの強度検出方法 |
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