JPS6169633A - 薄板体の立替方法及びその立替装置 - Google Patents
薄板体の立替方法及びその立替装置Info
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- JPS6169633A JPS6169633A JP59190871A JP19087184A JPS6169633A JP S6169633 A JPS6169633 A JP S6169633A JP 59190871 A JP59190871 A JP 59190871A JP 19087184 A JP19087184 A JP 19087184A JP S6169633 A JPS6169633 A JP S6169633A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えば半導体ウニへ等の薄板体の多数枚を
平行配列状態のまま、一方の保持具に立て替える立替方
法及びその立替装置の改良に関するものである。
平行配列状態のまま、一方の保持具に立て替える立替方
法及びその立替装置の改良に関するものである。
従来一般に知られているこの種の方法並びに装置を第１
図ないし第２図で説明する。図において、１（よテフロ
ンの様な合成ｔ１４脂で作られた洗浄キャリヤで、互に
対向する両側部］ａの内面に（よ夫／Ｚ平行にくし形溝
１ｂが多数（例えば３７１６インチのピッチで２５箇所
）］屈設され、また、両側部１ａは連結棒ＩＥで結合さ
れている。ｌｃｌよ洗浄キャリヤ１の上下方向を解放す
る解放部、１ｄは側部ｌａの上面に設けられた係合突起
、１ｅは同様に側部１ａの上面に設けられた係合穴、２
（ゴ半導体ウェハ、３ば上面に多数の円弧溝３８が＋［
設された皿状の拡散ボートで、拡散炉の１品度１０００
℃〜１３００℃に＃４又得るように石英、シリコン、ン
リコンカーバイド、セラミック等の耐熱性材料で１１カ
成されている。４は半導体ウェハ２を把むピンセソ！・
である。
図ないし第２図で説明する。図において、１（よテフロ
ンの様な合成ｔ１４脂で作られた洗浄キャリヤで、互に
対向する両側部］ａの内面に（よ夫／Ｚ平行にくし形溝
１ｂが多数（例えば３７１６インチのピッチで２５箇所
）］屈設され、また、両側部１ａは連結棒ＩＥで結合さ
れている。ｌｃｌよ洗浄キャリヤ１の上下方向を解放す
る解放部、１ｄは側部ｌａの上面に設けられた係合突起
、１ｅは同様に側部１ａの上面に設けられた係合穴、２
（ゴ半導体ウェハ、３ば上面に多数の円弧溝３８が＋［
設された皿状の拡散ボートで、拡散炉の１品度１０００
℃〜１３００℃に＃４又得るように石英、シリコン、ン
リコンカーバイド、セラミック等の耐熱性材料で１１カ
成されている。４は半導体ウェハ２を把むピンセソ！・
である。
上記のように構成されたものにおいて、まず、ｉＺ ７
Ｐキヤリヤ１のくし形溝１ｂの夫々に第１図の如くピン
セット４でウェハ２を挿入し、次にウェハ２を挿入した
洗浄キャリヤ１を洗浄装置に配置し、硝酸などの強酸類
てウェハ２の拡散前処理が１度に実施される。一方、不
純物拡散工程においては、拡散炉内でガスをウェハ２に
環流させろために、或いは、ウェハ２の１０００℃〜１
３００℃の高温状態での加熱履歴を一様にするために、
ウェハ２を上面に立てることが可能な皿状のボー１−３
が用いられている。従って、洗浄キャリヤ１内のウェハ
２は拡散工程へ移行させるためにボート３へ移し替えろ
ことが必要となる。ところで、拡散のためのボート３や
今ウェハ２は周知のように極めて清浄に取り扱うことが
要求されており、手で囲むことは許されないので、その
作業も特別な作業となる。例えば、第１図の洗浄キャリ
ヤ１のくし形１ｒＩ￥ｌｂ内のウェハ２はピンセット４
にて一枚づつ第２図の拡散用のボート３の円弧溝３ａに
立て替えたり、又は、洗浄キャリヤ１の係合突起１ｄや
係合穴１ｅて他の工程のウェハ保持具の位置決めし、相
互の開口部を合わせてウェハ２を一括に反転させて移し
替えたりしていた。
Ｐキヤリヤ１のくし形溝１ｂの夫々に第１図の如くピン
セット４でウェハ２を挿入し、次にウェハ２を挿入した
洗浄キャリヤ１を洗浄装置に配置し、硝酸などの強酸類
てウェハ２の拡散前処理が１度に実施される。一方、不
純物拡散工程においては、拡散炉内でガスをウェハ２に
環流させろために、或いは、ウェハ２の１０００℃〜１
３００℃の高温状態での加熱履歴を一様にするために、
ウェハ２を上面に立てることが可能な皿状のボー１−３
が用いられている。従って、洗浄キャリヤ１内のウェハ
２は拡散工程へ移行させるためにボート３へ移し替えろ
ことが必要となる。ところで、拡散のためのボート３や
今ウェハ２は周知のように極めて清浄に取り扱うことが
要求されており、手で囲むことは許されないので、その
作業も特別な作業となる。例えば、第１図の洗浄キャリ
ヤ１のくし形１ｒＩ￥ｌｂ内のウェハ２はピンセット４
にて一枚づつ第２図の拡散用のボート３の円弧溝３ａに
立て替えたり、又は、洗浄キャリヤ１の係合突起１ｄや
係合穴１ｅて他の工程のウェハ保持具の位置決めし、相
互の開口部を合わせてウェハ２を一括に反転させて移し
替えたりしていた。
従って、ピンセット４を利用して１枚つつウェハ２を人
手で立て替える場合は、作業性が劣り、しかも自動化を
妨げろ要因となるばかりでなく、作業中にウェハ２が破
損したり、ピンセノ１〜４によりウェハ２が汚染される
等の問題点があり、また、洗浄キャリヤ１を他の保持具
と位置合わせして一括に反転させて移し替えろ場合にお
いても、位置合わせや、反転作業により、同様に作業性
が劣り、しかも手作業となりがちであった。
手で立て替える場合は、作業性が劣り、しかも自動化を
妨げろ要因となるばかりでなく、作業中にウェハ２が破
損したり、ピンセノ１〜４によりウェハ２が汚染される
等の問題点があり、また、洗浄キャリヤ１を他の保持具
と位置合わせして一括に反転させて移し替えろ場合にお
いても、位置合わせや、反転作業により、同様に作業性
が劣り、しかも手作業となりがちであった。
そこで、これらの欠点を改善した他の立替方法として実
公昭５３−４８５９１号公報に開示されている方法があ
る。これを第３図で説明する。図において、５は洗浄キ
ャリヤ１の解放部ｌｃ内を上下し得るウェハ２の押し上
げ具で、上記解放部ｌｃ内をスライドする台部５ａと、
この台部５ａの頂部上面に設けられたホルダ部５ｂと、
このホルダ部５ｂ上面にウェハ２を載置する保持溝５Ｃ
を有している。なお、押し上げ具５の台部５ａは石英ガ
ラス、ステンレス鋼、塩化ビニール四指、テフロン（コ
（脂が用いられ、ホルダ部５ｂは洗浄が容易となるテフ
ロン樹脂、石英ガラス等が用いられ、また、ホルダ部５
ｂの清浄度を管理できるように台部５ａから分離可能に
構成されている。上記のように構成されたものにおいて
は、まず、洗浄キャリヤ１の各クシ形７ｇ１ｂにウェハ
２をピンセット４で挿入し、洗浄工程へと移る。次に、
拡散工程では、まず、洗浄キャリヤ１の解放部ＩＣ内で
押し上げ具５を上方にスライドさせ、押し上げ具５の保
持ｉｆ＆ ５ ｃにウェハ２を係合させ、ホルダ部５ｂ
を洗浄キャリヤ１から取りはずして、例えば拡散炉に挿
入することになる。
公昭５３−４８５９１号公報に開示されている方法があ
る。これを第３図で説明する。図において、５は洗浄キ
ャリヤ１の解放部ｌｃ内を上下し得るウェハ２の押し上
げ具で、上記解放部ｌｃ内をスライドする台部５ａと、
この台部５ａの頂部上面に設けられたホルダ部５ｂと、
このホルダ部５ｂ上面にウェハ２を載置する保持溝５Ｃ
を有している。なお、押し上げ具５の台部５ａは石英ガ
ラス、ステンレス鋼、塩化ビニール四指、テフロン（コ
（脂が用いられ、ホルダ部５ｂは洗浄が容易となるテフ
ロン樹脂、石英ガラス等が用いられ、また、ホルダ部５
ｂの清浄度を管理できるように台部５ａから分離可能に
構成されている。上記のように構成されたものにおいて
は、まず、洗浄キャリヤ１の各クシ形７ｇ１ｂにウェハ
２をピンセット４で挿入し、洗浄工程へと移る。次に、
拡散工程では、まず、洗浄キャリヤ１の解放部ＩＣ内で
押し上げ具５を上方にスライドさせ、押し上げ具５の保
持ｉｆ＆ ５ ｃにウェハ２を係合させ、ホルダ部５ｂ
を洗浄キャリヤ１から取りはずして、例えば拡散炉に挿
入することになる。
ところが、ホルダ部５ｂはウェハ２の下部を支えろもの
であり、ウェハ２を保持溝５Ｃに係合させろ場合、ホル
ダ部５ｂが洗浄キャリヤ１を解放部ＩＣ内をスライドす
るものであるから、その幅寸法はおのずから小となる。
であり、ウェハ２を保持溝５Ｃに係合させろ場合、ホル
ダ部５ｂが洗浄キャリヤ１を解放部ＩＣ内をスライドす
るものであるから、その幅寸法はおのずから小となる。
この結果、ボート上のウェハが振動等で倒れる等の欠点
があるばかりでな（、洗浄キャリヤのくし形溝１ｂと同
長の保持？ｌつを有ずろボートが必要となり、ボートの
長さを自由に選択てきないという欠点も有していた。
があるばかりでな（、洗浄キャリヤのくし形溝１ｂと同
長の保持？ｌつを有ずろボートが必要となり、ボートの
長さを自由に選択てきないという欠点も有していた。
この発明は、かかる欠点を改善する目的でなされたもの
で、一方の保持具の主面上に整列して載置された多数枚
の薄板体を上記他方の保持共の主面上に一括して立替す
る際に、上記一方の保持具に載置された上記薄板体の配
列と同一ピンチの上記薄板体保持溝を有する一対の支持
部を、上記一方の保持共の両側に一且位置させ、その後
、上記一対の支持部を上方に持ち上げることにより、上
記薄板体保持溝に上記薄板体を係合させてすくい上げ、
次に上記他方の保持具の両側に上記一対の支持部が位置
するように上記一対の支持部を下降させろと共に、上記
各薄板体を上記他方の保持具の各薄板体保持ｉ１＋￥に
係合させることにより、上記薄板体を上記他方の保持共
に立替えることにより、また、主面上に多数の第１の薄
板体保持ｉ１°１￥が整列されｔコ保持具の幅よりも大
なる間隔て対向し、多数の薄板体の両側下部に係合し得
る一対の係合部、及びこの一対の係合部の夫々の一端を
結合する把持部を備えろことにより、薄板体を安定に且
つ迅速に立替えてきる薄板体の立替方法並びにその立替
装置を提供するもである。
で、一方の保持具の主面上に整列して載置された多数枚
の薄板体を上記他方の保持共の主面上に一括して立替す
る際に、上記一方の保持具に載置された上記薄板体の配
列と同一ピンチの上記薄板体保持溝を有する一対の支持
部を、上記一方の保持共の両側に一且位置させ、その後
、上記一対の支持部を上方に持ち上げることにより、上
記薄板体保持溝に上記薄板体を係合させてすくい上げ、
次に上記他方の保持具の両側に上記一対の支持部が位置
するように上記一対の支持部を下降させろと共に、上記
各薄板体を上記他方の保持具の各薄板体保持ｉ１＋￥に
係合させることにより、上記薄板体を上記他方の保持共
に立替えることにより、また、主面上に多数の第１の薄
板体保持ｉ１°１￥が整列されｔコ保持具の幅よりも大
なる間隔て対向し、多数の薄板体の両側下部に係合し得
る一対の係合部、及びこの一対の係合部の夫々の一端を
結合する把持部を備えろことにより、薄板体を安定に且
つ迅速に立替えてきる薄板体の立替方法並びにその立替
装置を提供するもである。
以下、この発明の一実施例を第４図ないし第５図で説明
する。６は断面円弧状に形成され、互に間隔Ｗて対向し
、テフロンＩｆ１４１１ｉ９、石英ガラス等の酸類て洗
浄し易い材料からなる一対の支持部６ａを有した立替具
、６ｂは一対の支持部６ａに夫々形成され、ウェハ２の
中央部から雨下側を保持する保持溝て、配列ピンチは押
し上げ具５の保持具５ａのピッチと同一ピンチに形成さ
れている。６Ｃは一対の支持部６ａを一定間隔Ｗ及び一
定角度で固定する把持部て、一対の支持部６ａがテフロ
ンｔ”（１ｌｆｆｆて作られた場合はステンレス錆で構
成され、石英ガラスで作られた場合は石英ガラスをその
まま延長されて構成され、ウェハ２に対し発塵や汚染を
波及しない材料とされている。７はウェハ２を支持する
複数のウェハ保持部７ａを有した例えば石英ガラス、多
結晶シリコン、ンリコンカーバイト等よりなる拡散ボー
トてウェハ保持部７ａの幅寸法は一対の支持部６ａの間
隔Ｗよりも若干小さい寸法となっている。７ｂは複数の
ウェハ保持部７ａを支える一対のレール部、７Ｃは上記
一対のレール部７ｂよりも高い位置で上記複数のウェハ
保持部７ａを上記一対のレール部７ｂに固定する複数の
一対の支柱で、上記立替具６の一対の支持部６ａの双方
がウェハ保持部７ａの平方に挿入できろ様になされてい
る。７ｄはウェハ保持部７ａに形成された表敬の円弧溝
て立替具６のウェハ保持部２と係合するように、上記一
対の支持部６ａの保持１１Ｉ￥６ｂと同ピンチに構成さ
れろ。
する。６は断面円弧状に形成され、互に間隔Ｗて対向し
、テフロンＩｆ１４１１ｉ９、石英ガラス等の酸類て洗
浄し易い材料からなる一対の支持部６ａを有した立替具
、６ｂは一対の支持部６ａに夫々形成され、ウェハ２の
中央部から雨下側を保持する保持溝て、配列ピンチは押
し上げ具５の保持具５ａのピッチと同一ピンチに形成さ
れている。６Ｃは一対の支持部６ａを一定間隔Ｗ及び一
定角度で固定する把持部て、一対の支持部６ａがテフロ
ンｔ”（１ｌｆｆｆて作られた場合はステンレス錆で構
成され、石英ガラスで作られた場合は石英ガラスをその
まま延長されて構成され、ウェハ２に対し発塵や汚染を
波及しない材料とされている。７はウェハ２を支持する
複数のウェハ保持部７ａを有した例えば石英ガラス、多
結晶シリコン、ンリコンカーバイト等よりなる拡散ボー
トてウェハ保持部７ａの幅寸法は一対の支持部６ａの間
隔Ｗよりも若干小さい寸法となっている。７ｂは複数の
ウェハ保持部７ａを支える一対のレール部、７Ｃは上記
一対のレール部７ｂよりも高い位置で上記複数のウェハ
保持部７ａを上記一対のレール部７ｂに固定する複数の
一対の支柱で、上記立替具６の一対の支持部６ａの双方
がウェハ保持部７ａの平方に挿入できろ様になされてい
る。７ｄはウェハ保持部７ａに形成された表敬の円弧溝
て立替具６のウェハ保持部２と係合するように、上記一
対の支持部６ａの保持１１Ｉ￥６ｂと同ピンチに構成さ
れろ。
上記のように植成されたものにおいては、まず、第４図
のように押し上げ具５のホルダ部５ｂには、その保持溝
５Ｃにウェハ２が配列されているうここて、立替具６の
一対の支持部６ａをホルダ部５ｂの両側に挿入し、上方
に持ら上げる乙とにより、ホルダ部５ｂのウェハ２が保
持溝６ｂに立て替えられる。次に、ウェハ２をウェハ保
持部７ａの円弧溝７ｄに合わせて立替具６の一対の支持
部６ａを拡散ボート７の上方から下方にウェハ保持部７
ａの両側まで挿入することにより、ウェハ保持部７ａの
円弧溝７ｄにウェハ２が一括して係合される。ここで、
一対の支持部６ａをウェハ保持部７ａよりも更に下降さ
せ、立替具６を引き扱くことにより、立替具６のウェハ
２は拡散ボート７に立替えられることになる。その後、
拡散ボート７は拡散炉に入れられ、所定の熱拡散、熱酸
化等の処理が実行される。
のように押し上げ具５のホルダ部５ｂには、その保持溝
５Ｃにウェハ２が配列されているうここて、立替具６の
一対の支持部６ａをホルダ部５ｂの両側に挿入し、上方
に持ら上げる乙とにより、ホルダ部５ｂのウェハ２が保
持溝６ｂに立て替えられる。次に、ウェハ２をウェハ保
持部７ａの円弧溝７ｄに合わせて立替具６の一対の支持
部６ａを拡散ボート７の上方から下方にウェハ保持部７
ａの両側まで挿入することにより、ウェハ保持部７ａの
円弧溝７ｄにウェハ２が一括して係合される。ここで、
一対の支持部６ａをウェハ保持部７ａよりも更に下降さ
せ、立替具６を引き扱くことにより、立替具６のウェハ
２は拡散ボート７に立替えられることになる。その後、
拡散ボート７は拡散炉に入れられ、所定の熱拡散、熱酸
化等の処理が実行される。
さて、拡散炉から出された拡散ボート７は上述のウェハ
２の立替え動作とは逆の動作により、洗浄キャリヤ１に
立替丸られ、久の工程が実行される。
２の立替え動作とは逆の動作により、洗浄キャリヤ１に
立替丸られ、久の工程が実行される。
ところで、上記説明では、洗浄キャリヤ１内を押し上げ
具５とを同一長さにしたもので説明したが、押し上げ具
５の長手方向の長さを洗浄キャリヤ１の長さよりも小さ
く （例えば１／２）しておれば、拡散ボート７に立て
替えられるウェハ２の枚数は半分となるから全体として
幅の狭い拡散ボー）・７が形成され、小口径の拡散炉に
投入ずろことがてき、押し上げ具５による立て替え枚数
の制御が可能となる。
具５とを同一長さにしたもので説明したが、押し上げ具
５の長手方向の長さを洗浄キャリヤ１の長さよりも小さ
く （例えば１／２）しておれば、拡散ボート７に立て
替えられるウェハ２の枚数は半分となるから全体として
幅の狭い拡散ボー）・７が形成され、小口径の拡散炉に
投入ずろことがてき、押し上げ具５による立て替え枚数
の制御が可能となる。
同様に、別の手段としては、立￥ｊｆ具６の一対の支持
部６ａの長さを洗浄キャリヤの例えば半分の長さにすれ
ば、上記同様にすくい上げろ枚数、即ち立て替え枚数を
制御できる。
部６ａの長さを洗浄キャリヤの例えば半分の長さにすれ
ば、上記同様にすくい上げろ枚数、即ち立て替え枚数を
制御できる。
なお、また、上記説明では、半導体ウェハ２の立て替え
手段について説明したが、他の薄板体、例えば水晶板、
ガラス板、サファイヤ板、セラミック板等の立替えにも
充分に利用てきろことはδ゛うまでもない。
手段について説明したが、他の薄板体、例えば水晶板、
ガラス板、サファイヤ板、セラミック板等の立替えにも
充分に利用てきろことはδ゛うまでもない。
以上のようにこの発明は１方の保持具の主面上に整列し
て載置された多数枚の薄板体を上記他方の保持具の主面
上に一括して立替する際に、上記一方の保持具に載置さ
れた上記薄板体の配列と同一ピンチの上記薄板体保持溝
を有する一対の支持部を、上記一方の保持具の両側に一
且位置させ、その後、上記一対の支持部を上方に持ち上
げることにより、上記薄板体、保持溝に上記薄板体を係
合させてすくい上げ、次に上記他方の保持工１の両Ｏ１
１に上記一対の支持部が位置するように上記一対の支持
部を下降させろと共に、上記各薄板体を上記他方の保持
具の各薄板体保持溝に係合させることにより、上記薄板
体を他方の保持具に立替えろようにしたので、また、主
面上に表敬の第１の薄板体保持溝が整列された保持共の
幅よりも大なる間隔で対向し、表敬の薄板体の両側下部
に係合しス１）ろ一対の係合部、及びこの一対の係合部
の夫、＋７の一端を結合ずろ把持部を備えたのて、ピー
、七ノ）・を介さずに表敬の薄板体を一括して立て替丈
ろことがてきるばかりてな（、立替時等にＪｊいて多数
の薄凹体の倒れを防出てさ、安定に且つ迅速に立て睦左
作業を実行できる効果があるっ ４ 、 ｌａ ｔｒｉの簡単な説明 第１図は従来のウェハの立て替え方法を示す斜視図、第
２図は同様に拡散ボートへの立て替え方法を示す斜視図
、第３図はウェハを洗浄キャリヤより押し出す従来の過
程を示す？′）視図、第４図はこの発明の一実施例を示
す側部の断面図、第５図（まウェハを立替具より拡散ボ
ートに立て替えるこの発明の過程を示す斜視図である。
て載置された多数枚の薄板体を上記他方の保持具の主面
上に一括して立替する際に、上記一方の保持具に載置さ
れた上記薄板体の配列と同一ピンチの上記薄板体保持溝
を有する一対の支持部を、上記一方の保持具の両側に一
且位置させ、その後、上記一対の支持部を上方に持ち上
げることにより、上記薄板体、保持溝に上記薄板体を係
合させてすくい上げ、次に上記他方の保持工１の両Ｏ１
１に上記一対の支持部が位置するように上記一対の支持
部を下降させろと共に、上記各薄板体を上記他方の保持
具の各薄板体保持溝に係合させることにより、上記薄板
体を他方の保持具に立替えろようにしたので、また、主
面上に表敬の第１の薄板体保持溝が整列された保持共の
幅よりも大なる間隔で対向し、表敬の薄板体の両側下部
に係合しス１）ろ一対の係合部、及びこの一対の係合部
の夫、＋７の一端を結合ずろ把持部を備えたのて、ピー
、七ノ）・を介さずに表敬の薄板体を一括して立て替丈
ろことがてきるばかりてな（、立替時等にＪｊいて多数
の薄凹体の倒れを防出てさ、安定に且つ迅速に立て睦左
作業を実行できる効果があるっ ４ 、 ｌａ ｔｒｉの簡単な説明 第１図は従来のウェハの立て替え方法を示す斜視図、第
２図は同様に拡散ボートへの立て替え方法を示す斜視図
、第３図はウェハを洗浄キャリヤより押し出す従来の過
程を示す？′）視図、第４図はこの発明の一実施例を示
す側部の断面図、第５図（まウェハを立替具より拡散ボ
ートに立て替えるこの発明の過程を示す斜視図である。
尚、各図中同一符号は同一、若しくは相当部分を示す。
１（よ洗浄キャリヤ、２ばウェハ、５は押し上げ具、６
は立替具、６ａは一対の支持部、６ｂは保持溝、６Ｃは
把持部、７は拡散ボートである。
は立替具、６ａは一対の支持部、６ｂは保持溝、６Ｃは
把持部、７は拡散ボートである。
Claims (2)
- （１）一方の保持具の主面上に整列して載置された多数
枚の薄板体を他方の保持具の主面上に一括して立替する
際に、上記一方の保持具に載置された上記薄板体の配列
と同一ピッチの上記薄板体保持溝を有する一対の支持部
を、上記一方の保持具の両側に一且位置させ、その後、
上記一対の支持部を上方に持ち上げることにより、上記
薄板体保持溝に上記薄板体を係合させてすくい上げ、次
に上記他方の保持具の両側に上記一対の支持部が位置す
るように上記一対の支持部を下降させると共に、上記各
薄板体を上記他方の保持具の各薄板体保持溝に係合させ
ることにより、上記薄板体を上記他方の保持具に立替え
ることからなる薄板体の立替方法。 - （２）主面上に多数の第１の薄板体保持溝が整列された
保持具の幅よりも大なる間隔で対向し、多数の薄板体の
両側下部に係合し得る一対の係合部、及びこの一対の係
合部の夫々の一端を結合する把持部を備えた薄板体の立
替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190871A JPS6169633A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 薄板体の立替方法及びその立替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190871A JPS6169633A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 薄板体の立替方法及びその立替装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6169633A true JPS6169633A (ja) | 1986-04-10 |
Family
ID=16265140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59190871A Pending JPS6169633A (ja) | 1984-09-10 | 1984-09-10 | 薄板体の立替方法及びその立替装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6169633A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008224094A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Osaka Gas Co Ltd | 自然混合式のガスバーナ |
| CN109454640A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-03-12 | 惠科股份有限公司 | 一种缩短交换片时长的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5759346A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-09 | Nec Kyushu Ltd | Auxiliary holder for semiconductor substrate |
-
1984
- 1984-09-10 JP JP59190871A patent/JPS6169633A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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