JPS6180834A - ウエハ保持シ−ト - Google Patents
ウエハ保持シ−トInfo
- Publication number
- JPS6180834A JPS6180834A JP59202650A JP20265084A JPS6180834A JP S6180834 A JPS6180834 A JP S6180834A JP 59202650 A JP59202650 A JP 59202650A JP 20265084 A JP20265084 A JP 20265084A JP S6180834 A JPS6180834 A JP S6180834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- base material
- wafer
- sheet
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P54/00—Cutting or separating of wafers, substrates or parts of devices
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は前姐埋完了後のウェハを個々のチップに分離す
るダイシングに用いられるウェハ保持シートに関する。
るダイシングに用いられるウェハ保持シートに関する。
（発明の技術的ｒ７租］
電気試験完了後のウェハを個々のチップにダイシングす
る際に、ウェハ保持シートが用いられる。
る際に、ウェハ保持シートが用いられる。
このつｆハ保持シートは通畠°保（１基材とこのＬｊ材
表面に／ｌイ１１された接活剤どから４１ってＪ３す、
テープ、また【よシー１〜状になっている。
表面に／ｌイ１１された接活剤どから４１ってＪ３す、
テープ、また【よシー１〜状になっている。
第１図はこの３Ｌう４＾ウー「ハ保持シー１への断面構
造の説明図である。保持基材１の一面にのり２等の接着
剤が１店布され、これが因１形紙３に接着された状態で
Ｈ６成されている。基材１とのり２とは密イ１．性が高
いが、のり２と外形紙とは容易にその界面ＣｎＩＩ税で
さるよう（、：するために、通常離形紙３にはのり２が
１・１着しないよに表面処理が施しである１゜ 第２図はロール状に巻いて使用する保持シートの−１９
１の斜？、ｌＪ図で、図中○印を１１シたＡの部分は拡
大されてその１所而形状が示されている。このように［
］−ル状に巻いて１史川する場合には、保持基材１の接
着剤２が塗イロされていない面は表面処理か施され、接
ン′１剤２がくっつかないようにしであるため、第１図
に示すように囮１形紙３を用いることなく、この保持Ｊ
、、ｔ 、＋４１を外形紙のかわりに使用づることかＣ
゛さる。
造の説明図である。保持基材１の一面にのり２等の接着
剤が１店布され、これが因１形紙３に接着された状態で
Ｈ６成されている。基材１とのり２とは密イ１．性が高
いが、のり２と外形紙とは容易にその界面ＣｎＩＩ税で
さるよう（、：するために、通常離形紙３にはのり２が
１・１着しないよに表面処理が施しである１゜ 第２図はロール状に巻いて使用する保持シートの−１９
１の斜？、ｌＪ図で、図中○印を１１シたＡの部分は拡
大されてその１所而形状が示されている。このように［
］−ル状に巻いて１史川する場合には、保持基材１の接
着剤２が塗イロされていない面は表面処理か施され、接
ン′１剤２がくっつかないようにしであるため、第１図
に示すように囮１形紙３を用いることなく、この保持Ｊ
、、ｔ 、＋４１を外形紙のかわりに使用づることかＣ
゛さる。
この、」、うなウェハ保持シー１−を１．Ｌかして１＆
？」剤塗右面につ■ハを貼るＪる場合には、：″１１形
ＭＬ（３をｊｌすη“際、あるいＧ；Ｕ ＩＩ−／し状
のシー１〜を（よどく原１（こ静電気が発生しウェハに
帯電覆ることがある。このような静電気があるどウェハ
内の」′導体チップが破損することがあるため、従来は
つＬハのｌ’Ｊ’；す（＝Ｉ’ ｔプにあたっては保持
シー；・から静電気を除去１するために静電気除去Ｉ装
置をｉＪ、４−）ていた。
？」剤塗右面につ■ハを貼るＪる場合には、：″１１形
ＭＬ（３をｊｌすη“際、あるいＧ；Ｕ ＩＩ−／し状
のシー１〜を（よどく原１（こ静電気が発生しウェハに
帯電覆ることがある。このような静電気があるどウェハ
内の」′導体チップが破損することがあるため、従来は
つＬハのｌ’Ｊ’；す（＝Ｉ’ ｔプにあたっては保持
シー；・から静電気を除去１するために静電気除去Ｉ装
置をｉＪ、４−）ていた。
しかし保持シートの使用時にアイオナイザ等の静電気除
去装置を使うの【、１面倒であるし、たとえアイオナイ
ザによって静電気を除去してし他の■ｆ’ｒ ＜−静電
気が発生した場合にはそのＪ：ま帯電してしまって、半
導休チップをＷＩ ＩＱ Ｌ ＣＬ／ ：１．うという
欠点があった。
去装置を使うの【、１面倒であるし、たとえアイオナイ
ザによって静電気を除去してし他の■ｆ’ｒ ＜−静電
気が発生した場合にはそのＪ：ま帯電してしまって、半
導休チップをＷＩ ＩＱ Ｌ ＣＬ／ ：１．うという
欠点があった。
本発明は上述した欠点を除去づ°るために４１されたち
ので、静電気の発生や帯電をおこさ植ハ、Ｊ、う
１にしたウェハ保持シートを捉１＋、することを目的
とづる。
ので、静電気の発生や帯電をおこさ植ハ、Ｊ、う
１にしたウェハ保持シートを捉１＋、することを目的
とづる。
〔で１′：明の概要）
Ｌ記の目的’Ｅ Ｊ構成づるため本発明は、保持基材、
接着剤等の構成要素に導電性を侍だしするようにしたウ
ェハ保持シートを提供するものである。
接着剤等の構成要素に導電性を侍だしするようにしたウ
ェハ保持シートを提供するものである。
〔発明の実／ｌＩ！１例〕
以下、添（・１図面を参照して本発明の詳細な説明する
が、その基本構造は第１図Ｊ５よび第２図に示した（１
−１造と同一である。
が、その基本構造は第１図Ｊ５よび第２図に示した（１
−１造と同一である。
第１１閃、第２図から明らかなように、一般につ■ハ保
持シートはにｔ＋４１ 、のり２、離形紙３から（（？
１成されているため、このＩｔ成′ｇ、、Ｐのいづれか
に；９電竹を持たしてＪ３けば、離形紙３を剥したりロ
ール状の保持シートを呑き広したりり゛る時に静電気の
発生は無い。したがってウェハをこの保持シー ｌ−に
貼り１」番プでも帯電にＪ：る半η体チップの破Ｉｆｉ
が発生しない。
持シートはにｔ＋４１ 、のり２、離形紙３から（（？
１成されているため、このＩｔ成′ｇ、、Ｐのいづれか
に；９電竹を持たしてＪ３けば、離形紙３を剥したりロ
ール状の保持シートを呑き広したりり゛る時に静電気の
発生は無い。したがってウェハをこの保持シー ｌ−に
貼り１」番プでも帯電にＪ：る半η体チップの破Ｉｆｉ
が発生しない。
第３しＩはウェハ保持シーｌ−の使用（ル様を示した図
である。保持基材１上ののり２を介してウェハ４を保持
に！祠１Ｌに結石し、この保持基材１をフラットリング
５で★））シてダイシング処理を施す。
である。保持基材１上ののり２を介してウェハ４を保持
に！祠１Ｌに結石し、この保持基材１をフラットリング
５で★））シてダイシング処理を施す。
なお、基＜４１に導電性を持たけるには種々の方法が７
くえられ、例えば導電性のシー１〜を用いるようにして
もよく、非導電性のシートに導電性の材料を混入して）
ｑ電性としてらよい。のり２に導電性を持たける場合し
同様に導電性ペースト１１本を塗ｆｌｉ シてもよく、
非導電性のベース１〜に導電性のペーストを混入したし
のを用いてらよい。
くえられ、例えば導電性のシー１〜を用いるようにして
もよく、非導電性のシートに導電性の材料を混入して）
ｑ電性としてらよい。のり２に導電性を持たける場合し
同様に導電性ペースト１１本を塗ｆｌｉ シてもよく、
非導電性のベース１〜に導電性のペーストを混入したし
のを用いてらよい。
なお第１図に示ずようにη１形爪３をｖ 、ＩＡ’ ｉ
と別に用いる保持シー１〜では一１形紙３に導電性を１
）たＵて１Ｊ３１−Ｊぼ、それを：Ｉ′ＩＩシてつ丁ハ
４を貼るする段階に静電気の発生を防止でΔる。しかし
、その殴の工程により静電気が発生する場合があり、ま
たウェハと直接に接するのはのり２であるため、望まし
くはのり２が導電性を持つように（７４成づるのが良く
、より望ましくは保持基材１とのり２の双方がλ９電性
を持つように構成した方がよい。
と別に用いる保持シー１〜では一１形紙３に導電性を１
）たＵて１Ｊ３１−Ｊぼ、それを：Ｉ′ＩＩシてつ丁ハ
４を貼るする段階に静電気の発生を防止でΔる。しかし
、その殴の工程により静電気が発生する場合があり、ま
たウェハと直接に接するのはのり２であるため、望まし
くはのり２が導電性を持つように（７４成づるのが良く
、より望ましくは保持基材１とのり２の双方がλ９電性
を持つように構成した方がよい。
第２図に示１ようなロール状の保持シートを用いる場合
には、基材１が離形紙３の役；り１を果しＣいる！こめ
このような問題は発生し４ｃい。
には、基材１が離形紙３の役；り１を果しＣいる！こめ
このような問題は発生し４ｃい。
（発明の効宋）
以ｌ：の如く本発明によれば保持基材接着剤着の：１°
１１成リド、：、ｔ、：’（： ｊｌｉ ｌ’ｌ ６１
、°ＪたＬ！ ６ Ｊ、 〕ニしタノ（・、静電気の発
生を防Ｅ１−することができ、’ｔ’−ａ １４．チッ
プの［・良の光ｑ−を、：１表少さＶることのできるつ
１ハ保１′ｌシートを１；することがでさる。
１１成リド、：、ｔ、：’（： ｊｌｉ ｌ’ｌ ６１
、°ＪたＬ！ ６ Ｊ、 〕ニしタノ（・、静電気の発
生を防Ｅ１−することができ、’ｔ’−ａ １４．チッ
プの［・良の光ｑ−を、：１表少さＶることのできるつ
１ハ保１′ｌシートを１；することがでさる。
また、静電気に、ｊ、−）−（ゴミやダイシング時のシ
リコンくザがウェハに付１１りるのを効果的に防止する
ことが（゛さる。
リコンくザがウェハに付１１りるのを効果的に防止する
ことが（゛さる。
ハ）１図Ｃ，Ｌつ１ハＣ１，侍シートの面白構造の説明
図、第２図ｔ；Ｌ ＩＮ−ル状に５かれたウェハ保持シ
ートどその問１１″ｎ ｉ！°１１造の説明図、第３図
はウェハ保持シートの使用状態の説明図Ｃある。 １・・・筺１．＋Ｊ塁材、２・・・のり、３・・・（２
１形紙、４・・・つ１ハ。 出願人代理人 猪 股 清 ３１１１に ５２ に Ｆ、、３１に
図、第２図ｔ；Ｌ ＩＮ−ル状に５かれたウェハ保持シ
ートどその問１１″ｎ ｉ！°１１造の説明図、第３図
はウェハ保持シートの使用状態の説明図Ｃある。 １・・・筺１．＋Ｊ塁材、２・・・のり、３・・・（２
１形紙、４・・・つ１ハ。 出願人代理人 猪 股 清 ３１１１に ５２ に Ｆ、、３１に
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、保持基材と、この保持基材表面に塗布された接着剤
とを有するウェハ保持シートにおいて、前記保持基材お
よび接着剤のうちの少なくとも一方に導電性を持たせた
ことを特徴するウェハ保持シート。 ２、前記保持基材および接着剤の両方に導電性を持たせ
た特許請求の範囲第１項記載のウェハ保持シート。 ３、保持基材と、この保持基材表面に塗布された接着剤
と、この接着剤を介して前記保持基材表面を覆う離形紙
とを有するウェハ保持シートにおいて、前記保持基材、
接着剤および離形紙のうちの少なくとも１つに導電性を
持たせたことを特徴とするウェハ保持シート。 ４、前記保持基材および接着剤の両方に導電性を持たせ
た特許請求の範囲第３項記載のウェハ保持シート。 ５、前記保持基材および離形紙の両方に導電性を持たせ
た特許請求の範囲第３項記載のウェハ保持シート。 ６、前記接着剤および離形紙の両方に導電性を持たせた
特許請求の範囲第３項記載のウェハ保持シート。 ７、前記保持基材、接着剤および離形紙の全てに導電性
を持たせた特許請求の範囲第３項記載のウェハ保持シー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202650A JPS6180834A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | ウエハ保持シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202650A JPS6180834A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | ウエハ保持シ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180834A true JPS6180834A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16460857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59202650A Pending JPS6180834A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | ウエハ保持シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180834A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139927A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-29 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのテープ貼付け方法およびテープ剥離方法 |
| JP2009114393A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nitto Denko Corp | 検査用粘着シート |
| JP2009114394A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nitto Denko Corp | 検査用粘着シート |
-
1984
- 1984-09-27 JP JP59202650A patent/JPS6180834A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139927A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-29 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのテープ貼付け方法およびテープ剥離方法 |
| JP2009114393A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nitto Denko Corp | 検査用粘着シート |
| JP2009114394A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nitto Denko Corp | 検査用粘着シート |
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