JPS6199043U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6199043U JPS6199043U JP1984183662U JP18366284U JPS6199043U JP S6199043 U JPS6199043 U JP S6199043U JP 1984183662 U JP1984183662 U JP 1984183662U JP 18366284 U JP18366284 U JP 18366284U JP S6199043 U JPS6199043 U JP S6199043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- central part
- light
- forward scattered
- scattered light
- reflector
- Prior art date
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- Granted
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図ａは本考案一実施例の要部斜視図、第１
図ｂは本考案に係る３部分よりなる反射鏡の説明
用側面図である。 １…マスク基板、２…ミラーａ、３…ミラーｂ
、４…ミラーｃ、５…集光レンズ、６…受光器、
７…投射レーザビーム、８…走査点、９，９ａ…
透過光、１０，１０ａ…前方散乱光。
図ｂは本考案に係る３部分よりなる反射鏡の説明
用側面図である。 １…マスク基板、２…ミラーａ、３…ミラーｂ
、４…ミラーｃ、５…集光レンズ、６…受光器、
７…投射レーザビーム、８…走査点、９，９ａ…
透過光、１０，１０ａ…前方散乱光。
Claims (1)
- ガラス基板、及びガラス基板をクロム蒸着膜で
被覆したマスクブランクスの、表面の傷、異物、
ピンホールなどの欠陥を、レーザビームの垂直照
射、走査により検査するマスク基板表面検査装置
において、検査試料を通つて来た光を反射させて
受光器に入射させる反射鏡を設け、この反射鏡を
、中央部および両側部の３部分よりなり、反射鏡
全体としての位置、姿勢はそのまま、中央部のみ
取付け、取外し自在に構成し、中央部を取付けた
状態で透過光に前方散乱光を加えたものを反射さ
せ、中央部を取外した状態で前方散乱光だけを反
射させるようにして、透過光と前方散乱光とに対
する受光器を１個で済ませながら双方を分別計測
し、欠陥の種類の判定に役立たせたことを特徴と
するマスク基板表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984183662U JPH0328363Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984183662U JPH0328363Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199043U true JPS6199043U (ja) | 1986-06-25 |
| JPH0328363Y2 JPH0328363Y2 (ja) | 1991-06-18 |
Family
ID=30741160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984183662U Expired JPH0328363Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328363Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP1984183662U patent/JPH0328363Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0328363Y2 (ja) | 1991-06-18 |
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